本實(shí)用新型涉及硅片拋光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種雙向轉(zhuǎn)動(dòng)高效硅片拋光機(jī)。

背景技術(shù)：

當(dāng)前，企業(yè)在對(duì)硅片進(jìn)行拋光加工時(shí)所采用的拋光機(jī)均為單向轉(zhuǎn)動(dòng)的模式，這種轉(zhuǎn)動(dòng)模式相對(duì)速度較低，在同等產(chǎn)量的前提下需要更多的時(shí)間才能完成，拋光效率較低，存在不足。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種雙向轉(zhuǎn)動(dòng)高效硅片拋光機(jī)，為克服上述的不足，采用雙向轉(zhuǎn)動(dòng)模式，硅片與磨輪同時(shí)具有相反的轉(zhuǎn)動(dòng)，大大提高了相對(duì)轉(zhuǎn)速，提高拋光效率。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案：

一種雙向轉(zhuǎn)動(dòng)高效硅片拋光機(jī)，包括機(jī)體、第一電機(jī)、第一傳動(dòng)帶、第一主動(dòng)帶輪、第一從動(dòng)帶輪、磨輪、磨齒、第二電機(jī)、第二主動(dòng)帶輪、第二傳動(dòng)帶、第二從動(dòng)帶輪、彈簧室、彈簧、固定塊、拋光液箱、管道、噴頭；其中：機(jī)體與第一電機(jī)固定連接，第一電機(jī)與第一主動(dòng)帶輪同軸連接，第一主動(dòng)帶輪通過(guò)第一傳動(dòng)帶與第一從動(dòng)帶輪連接，第一從動(dòng)帶輪與磨輪同軸連接，磨輪上部設(shè)有磨齒，第二電機(jī)與第二主動(dòng)帶輪同軸連接，第二主動(dòng)帶輪通過(guò)第二傳動(dòng)帶與第二從動(dòng)帶輪連接，第二從動(dòng)帶輪與彈簧室固定連接，彈簧室內(nèi)部設(shè)有彈簧，彈簧與固定塊連接，拋光液箱通過(guò)管道與噴頭連通。

一種雙向轉(zhuǎn)動(dòng)高效硅片拋光機(jī)，其中：磨輪與固定塊的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：本裝置采用雙向轉(zhuǎn)動(dòng)模式，硅片與磨輪同時(shí)具有相反的轉(zhuǎn)動(dòng)，大大提高了相對(duì)轉(zhuǎn)速，提高拋光效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意簡(jiǎn)圖。

附圖標(biāo)記：機(jī)體1、第一電機(jī)2、第一傳動(dòng)帶3、第一主動(dòng)帶輪4、第一從動(dòng)帶輪5、磨輪6、磨齒7、第二電機(jī)8、第二主動(dòng)帶輪9、第二傳動(dòng)帶10、第二從動(dòng)帶輪11、彈簧室12、彈簧13、固定塊14、拋光液箱15、管道16、噴頭17。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1、一種雙向轉(zhuǎn)動(dòng)高效硅片拋光機(jī)，包括機(jī)體1、第一電機(jī)2、第一傳動(dòng)帶3、第一主動(dòng)帶輪4、第一從動(dòng)帶輪5、磨輪6、磨齒7、第二電機(jī)8、第二主動(dòng)帶輪9、第二傳動(dòng)帶10、第二從動(dòng)帶輪11、彈簧室12、彈簧13、固定塊14、拋光液箱15、管道16、噴頭17；其中：機(jī)體1與第一電機(jī)2固定連接，第一電機(jī)2與第一主動(dòng)帶輪4同軸連接，第一主動(dòng)帶輪4通過(guò)第一傳動(dòng)帶3與第一從動(dòng)帶輪5連接，第一從動(dòng)帶輪5與磨輪6同軸連接，磨輪6上部設(shè)有磨齒7，第二電機(jī)8與第二主動(dòng)帶輪9同軸連接，第二主動(dòng)帶輪9通過(guò)第二傳動(dòng)帶10與第二從動(dòng)帶輪11連接，第二從動(dòng)帶輪11與彈簧室12固定連接，彈簧室12內(nèi)部設(shè)有彈簧13，彈簧13與固定塊14連接，拋光液箱15通過(guò)管道16與噴頭17連通。

實(shí)施例2、一種雙向轉(zhuǎn)動(dòng)高效硅片拋光機(jī)，其中：磨輪6與固定塊14的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反，固定塊14與磨輪6同時(shí)具有相反的轉(zhuǎn)動(dòng)方向，大大提高了相對(duì)轉(zhuǎn)速，提高拋光效率。其余同實(shí)施例1。

工作原理：

同時(shí)啟動(dòng)第一電機(jī)2與第二電機(jī)8，第二電機(jī)8帶動(dòng)第二主動(dòng)帶輪9旋轉(zhuǎn)，第二主動(dòng)帶輪9通過(guò)第二傳動(dòng)帶10帶動(dòng)第二從動(dòng)帶輪11旋轉(zhuǎn)，第二從動(dòng)帶輪11帶動(dòng)彈簧室12旋轉(zhuǎn)，彈簧室12帶動(dòng)固定塊14旋轉(zhuǎn)，同時(shí)，彈簧13通過(guò)彈力將固定塊14頂出，使得固定塊14將硅片推向磨輪6，此時(shí)，第一電機(jī)2帶動(dòng)第一主動(dòng)帶輪4旋轉(zhuǎn)，第一主動(dòng)帶輪4通過(guò)第一傳動(dòng)帶3帶動(dòng)第一從動(dòng)帶輪5旋轉(zhuǎn)，第一從動(dòng)帶輪5帶動(dòng)磨輪6旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)磨齒7轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)，拋光液從拋光液箱15中流出，經(jīng)過(guò)管道16與噴頭17噴向被加工的硅料表面，最終實(shí)現(xiàn)對(duì)硅料的拋光加工，當(dāng)磨輪6與固定塊14的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反時(shí)，其相對(duì)速度得到大幅度提高，進(jìn)而提高拋光效率，同時(shí)也確保了拋光表面的光潔度，有利于提升產(chǎn)品質(zhì)量，動(dòng)作結(jié)束。