本實用新型涉及硅片拋光設備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種往復式硅塊拋光機。

背景技術(shù)：

當前，企業(yè)在對硅片進行拋光加工時均采用人工進給的方式，這種方式不僅效率較低，同時，人工操作存在人為的不確定性因素，容易導致硅片加工質(zhì)量低的問題，降低企業(yè)經(jīng)濟效益，存在不足。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種往復式硅塊拋光機，為克服上述的不足，采用電機控制的往復式進給方式，不僅提高了生產(chǎn)效率，同時，電機控制的誤差小，有利于提高硅片的加工質(zhì)量與精度，提高企業(yè)經(jīng)濟效益。

本實用新型的技術(shù)方案：

一種往復式硅塊拋光機，包括底座、電機座、第一電機、曲柄、連桿、導向套、第二電機、主動帶輪、傳動帶、從動帶輪、拋光輪、立柱、導向桿；其中：電機座、立柱均與底座固定連接，導向桿固定于電機座與立柱之間，電機座與第一電機固定連接，第一電機與曲柄固定連接，曲柄通過連桿與導向套活動連接，導向套內(nèi)壁與導向桿連接，導向套外壁與第二電機固定連接，第二電機與主動帶輪同軸連接，主動帶輪通過傳動帶與從動帶輪連接，從動帶輪與拋光輪連接。

一種往復式硅塊拋光機，其中：曲柄與連桿的長度之比為9:4。

一種往復式硅塊拋光機，其中：導向套的長度為300mm。

本實用新型的優(yōu)點在于：本裝置采用電機控制的往復式進給方式，不僅提高了生產(chǎn)效率，同時，電機控制的誤差小，有利于提高硅片的加工質(zhì)量與精度，提高企業(yè)經(jīng)濟效益。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意簡圖。

附圖標記：底座1、電機座2、第一電機3、曲柄4、連桿5、導向套6、第二電機7、主動帶輪8、傳動帶9、從動帶輪10、拋光輪11、立柱12、導向桿13。

具體實施方式

實施例1、一種往復式硅塊拋光機，包括底座1、電機座2、第一電機3、曲柄4、連桿5、導向套6、第二電機7、主動帶輪8、傳動帶9、從動帶輪10、拋光輪11、立柱12、導向桿13；其中：電機座2、立柱12均與底座1固定連接，導向桿13固定于電機座2與立柱12之間，電機座2與第一電機3固定連接，第一電機3與曲柄4固定連接，曲柄4通過連桿5與導向套6活動連接，導向套6內(nèi)壁與導向桿13連接，導向套6外壁與第二電機7固定連接，第二電機7與主動帶輪8同軸連接，主動帶輪8通過傳動帶9與從動帶輪10連接，從動帶輪10與拋光輪11連接。

實施例2、一種往復式硅塊拋光機，其中：曲柄4與連桿5的長度之比為9:4，有利于提高進給效率。其余同實施例1。

實施例3、一種往復式硅塊拋光機，其中：導向套6的長度為300mm，有利于提高導向精度，提高硅片的加工質(zhì)量與精度。其余同實施例1。

工作原理：

將硅塊放置于底座1之上，啟動第一電機3，第一電機3帶動曲柄4轉(zhuǎn)動，曲柄4通過連桿5推動導向套6沿著導向桿13往復運動，同時，第二電機7帶動主動帶輪8旋轉(zhuǎn)，主動帶輪8通過傳動帶9帶動從動帶輪10旋轉(zhuǎn)，從動帶輪10帶動拋光輪11旋轉(zhuǎn)，拋光輪11同時做自身轉(zhuǎn)動與往復運動，進而對硅塊進行拋光，通過往復運動實現(xiàn)對硅塊的拋光，可以大幅度提高硅塊表面的光潔度，動作結(jié)束。