本實用新型屬于一種光學(xué)制造設(shè)備的部件，主要用于大四軸晶體平面拋光機(jī)的氣缸機(jī)構(gòu)，也可用于其它類似晶體平面拋光機(jī)。

背景技術(shù)：

在光電行業(yè)中，加工晶體基片和光學(xué)面板平面的平面拋光機(jī)，在上下盤對工件拋光時需要對上盤施加一定的壓力和速度，才能完成拋光任務(wù)。因此拋光機(jī)工作時，除了旋轉(zhuǎn)動力外，在機(jī)床的上方還有一套專門的氣缸系統(tǒng)，來對活塞桿進(jìn)行推動，施以一定的壓力給上盤，以保證拋光機(jī)的正常工作。這樣氣缸系統(tǒng)和一些連接零部件全部裝入拋光機(jī)，就帶來整機(jī)體積較大，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，相關(guān)的零件加工困難，導(dǎo)致制造成本居高不下，不適應(yīng)現(xiàn)代化生產(chǎn)的需要。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的主要任務(wù)和目的是，根據(jù)現(xiàn)有的晶體平面拋光機(jī)存在的不足，在此基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，設(shè)計一套新的氣缸機(jī)構(gòu)，用于晶體平面拋光機(jī)，去掉原來的專門的氣缸系統(tǒng)。從根本上克服拋光機(jī)整機(jī)體積較大，結(jié)構(gòu)復(fù)雜的現(xiàn)象，達(dá)到有效的提高生產(chǎn)效率，降低制造成本，適應(yīng)現(xiàn)代化生產(chǎn)的需要。

本實用新型的主要技術(shù)方案：本實用新型包含主軸套筒、軸套、下蓋、氣缸筒、止轉(zhuǎn)桿、擋圈、活塞、進(jìn)氣口、上蓋、螺桿、支撐條、螺釘、小密封圈、密封圈，具體結(jié)構(gòu)：在主軸套筒上，通過小密封圈、擋圈安裝活塞，與活塞配合再安裝氣缸筒，氣缸筒上端通過密封圈裝有上蓋，氣缸筒下端通過密封圈裝有下蓋，一根止轉(zhuǎn)桿通過小密封圈穿過活塞，與上蓋下蓋連接，以防止上蓋下蓋錯位轉(zhuǎn)動，用四根螺桿將上蓋和下蓋拉緊固定，這樣就形成一個完整的氣缸，在氣缸上蓋下蓋的左右兩面和后面，分別用螺釘固定連接一根支撐條。

本實用新型通過實際應(yīng)用證明：完全達(dá)到設(shè)計目的，使用時直接與拋光機(jī)的轉(zhuǎn)動軸配合連接，由進(jìn)氣口氣體推動活塞主軸套筒施壓于上工件盤，使工件正常進(jìn)行拋光，工件的加工效率和質(zhì)量與原機(jī)床相同。機(jī)床整機(jī)體積和重量明顯減小，主軸傳動部分結(jié)構(gòu)緊湊，零件工藝性好，生產(chǎn)效率得到提高，制造成本明顯降低，完全適應(yīng)現(xiàn)代化生產(chǎn)的需要。

附圖說明

下面結(jié)合附圖，對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)地描述。

圖1，是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2，是圖1的右視圖。

圖3，是圖1A—A向剖視圖。

圖4，是本實用新型應(yīng)用于大四軸晶體平面拋光機(jī)的示意圖，這里僅繪出一個軸的使用情況，因相同其它三軸省略。

圖5，是圖4標(biāo)記Ⅰ的放大圖。

圖6，是圖4標(biāo)記Ⅱ的放大圖。

具體實施方式

參照圖1、2、3，對本實用新型的主要技術(shù)方案進(jìn)行說明：本實用新型包含主軸套筒1、軸套2、下蓋3、氣缸筒4、止轉(zhuǎn)桿5、擋圈6、活塞7、進(jìn)氣口8、上蓋9、螺桿10、支撐條11、螺釘12、小密封圈13、密封圈14，具體結(jié)構(gòu)：在主軸套筒1上，通過小密封圈13、擋圈6安裝活塞7，與活塞配合再安裝氣缸筒4，氣缸筒上端通過密封圈14裝有上蓋9，氣缸筒下端通過密封圈14裝有下蓋3，一根止轉(zhuǎn)桿5通過小密封圈13穿過活塞7，與上蓋9下蓋3連接，以防止上蓋下蓋錯位轉(zhuǎn)動，用四根螺桿10將上蓋9和下蓋3拉緊固定，這就形成一個完整的氣缸，在氣缸的上蓋9下蓋3左右兩面和后面分別用螺釘12固定連接一根支撐條11。

參照圖1、4，本實用新型的工作過程：首先將本實用新型通過三根支撐條11與拋光機(jī)架固定，把主軸套筒1與機(jī)床的帶花鍵主軸16通過軸承18配合，并與上工件盤組件連接（見圖5、6），氣缸的上下進(jìn)氣口8和壓縮氣體管道聯(lián)通；工作時，電機(jī)15帶動帶花鍵主軸16轉(zhuǎn)動，帶花鍵主軸帶動撥盤和上工件盤17旋轉(zhuǎn)，此時由氣缸上面的進(jìn)氣口8輸入的壓縮氣體推動活塞7向下，活塞再推動主軸套筒1向下所產(chǎn)生的力（見圖1），施加在上工件盤17上，開始對工件進(jìn)行拋光；拋光結(jié)束，由氣缸下面的進(jìn)氣口8輸入的壓縮氣體推動活塞7向上，此時上工件盤17松開并向上提起，取下工件。

本實用新型已用于大四軸晶體平面拋光機(jī)和普通數(shù)控單軸晶體拋光機(jī)設(shè)備，效果較好。由于機(jī)構(gòu)簡單而且有它的獨(dú)立性，所以用于的拋光機(jī)種類這里不再一一列舉。