專利名稱：：二酰亞胺類化合物及包含該化合物的化學(xué)增幅抗蝕劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種二酰亞胺類化合物、以及每含該化合物的化學(xué)增幅抗蝕劑組合物。
背景技術(shù)：
：JP2007-72214Al公開(kāi)了由下述結(jié)構(gòu)式表示的化合物，其被用作產(chǎn)酸劑。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種新穎的二酰亞胺類化合物、以及包含該化合物的化學(xué)增幅抗蝕劑組合物。本發(fā)明涉及下述內(nèi)容<1>由結(jié)構(gòu)式(I)表示的二酰亞胺類化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>其中，R1代表C1-C20脂肪烴基、C5-C10芳基或C6-C20芳烷基，并且C1-C20脂肪烴基、C5-C10芳基和C6-C20芳烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子；W'代表-CO-0-、-OCO-、-CH20-、-0-CH2-、-012(><:0或-0)-0012-;Q'和(^各自獨(dú)立地代表氫原子、氟原子、C1-C6烷基或C1-C6全氟代垸基；并且A代表由結(jié)構(gòu)式(1-1)表示的基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>其中，A'代表-CH2-CH2-、-CH2-CH2-CH2-、-CH=CH^K-CH=CH-CH2-,其中一個(gè)以上氫原子可以用Cl-C6脂肪烴基、C3-C12脂環(huán)烴基或C6-C10芳烴基取代，并且相鄰取代基可以彼此成鍵從而形成環(huán)，并且C1-C6脂肪烴基、C3-C12脂環(huán)烴基和C6-C10芳烴基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。<2>根據(jù)<1>的二酰亞胺類化合物，其中，(^和(52各自獨(dú)立地代表氟原子或三氟代甲基。<3>根據(jù)<1>的二酰亞胺類化合物，其中，Q'和Q2是氟原子。<4>根據(jù)<1>至<3>中任一項(xiàng)所述的二酰亞胺類化合物，其中，R1是用丙烯酰基氧基或甲基丙烯?；趸〈腃1-C2Q垸基，并且該C1-C20烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。<5>根據(jù)<1>至<3>中任一項(xiàng)所述的二酰亞胺類化合物，其中，R1是C3-C20脂環(huán)烴基，其可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。<6>根據(jù)<1>至<5>中任一項(xiàng)所述的二酰亞胺類化合物，其中，由結(jié)構(gòu)式(I)表示的化合物是由結(jié)構(gòu)式(III)、(IV)、(V)、(VI)或(VII)表示的化合物其中，U'至lje各自獨(dú)立地代表氫原子、C1-C4烴基或C1-C4烴氧基，并且R1、W1、Q1和Q2的意義與如上限定的意義相同。<7>—種包含衍生于根據(jù)<4>的二酰亞胺類化合物的結(jié)構(gòu)單元的聚合物。<8>根據(jù)<7>的聚合物，其中，除了衍生于根據(jù)<4>的二酰亞胺類化合物的結(jié)構(gòu)單元之外，該聚合物還包含具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元。<9>一種化學(xué)增幅抗蝕劑組合物，其包含樹(shù)脂和根據(jù)<1>至<6>中任一項(xiàng)所述的二酰亞胺類化合物。<10>—種化學(xué)增幅抗蝕劑組合物，其包含樹(shù)脂和根據(jù)<7>或<8>的聚合物。<11>根據(jù)<9>或<10>的化學(xué)增幅抗蝕劑組合物，其中，樹(shù)脂是這樣一種樹(shù)脂其包含具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，并且不溶于或微溶于堿性水溶液，但是在酸的作用下變得可溶于堿性水溶液。<12>根據(jù)<9>至<11>中任一項(xiàng)所述的化學(xué)增幅抗蝕劑組合物，其中，所述樹(shù)脂進(jìn)一步含有其他的產(chǎn)酸劑。<13>—種用于生產(chǎn)由結(jié)構(gòu)式(I)表示的二酰亞胺類化合物的方法<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>其中，R1代表C1-C20脂肪烴基、C5-C10芳基或C6-C20芳烷基，并且C1-C20脂肪烴基、C5-C10芳基和C6-C20芳烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子；w'代表-co-o陽(yáng)、陽(yáng)o-co曙、-ch2o-、-o-ch2-、-<^20-(:0-或-(:0-0012-;Q'和(^各自獨(dú)立地代表氫原子、氟原子、C1-C6烷基或C1-C6全氟代烷基；并且A代表由結(jié)構(gòu)式(1-1)表示的基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(I一l)其中，A'代表-CH2-CH2-、-CH2-CH2-CH2-、-CH-CH-或-CH-CH-CH2-，其中一個(gè)以上氫原子可以用Cl-C6脂肪烴基、C3-C12脂環(huán)烴基或C6-C10芳烴基取代，并且相鄰取代基可以彼此成鍵從而形成環(huán)，并且C1-C6脂肪烴基、C3-C12脂環(huán)烴基和C6-C10芳烴基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子，該方法包括在堿存在的條件下，使由結(jié)構(gòu)式(VIII)表示的化合物與由結(jié)構(gòu)式(IX)表示的化合物進(jìn)行反應(yīng)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>(IX)其中，結(jié)構(gòu)式(VIII)中，A的意義與如上限定的意義相同；結(jié)構(gòu)式(IX)中，R1、W1、Q'和(^的意義與如上限定的意義相同，并且L代表鹵素原子。具體實(shí)施例方式由結(jié)構(gòu)式(i)表示的二酰亞胺類化合物(在下文中，簡(jiǎn)稱為二酰亞胺(i))是一種新穎的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>在結(jié)構(gòu)式(i)中，RM戈表c1-c20脂肪烴基、c5-c10芳基或c6-c20芳烷基。c1-c20脂肪烴基、c5-c10芳基和c6-c20芳烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。取代基的例子包括鹵素原子比如氟原子和氯原子，Cl-c20烷基，羥基，硝基，橋氧基，氰基，Cl-c4?；热缫阴；捅；?，Cl-c4全氟代垸基比如三氟代甲基、五氟代乙基、七氟代丙基和九氟代丁基，以及c2-c5烷氧羰基比如甲氧羰基和乙氧羰基。雜原子的例子包括氧原子、硫原子和氮原子。c1-c20脂肪烴基的例子包括c1-c20烷基和c3-c20脂環(huán)烴基。Cl-c20烷基的例子包括甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一基、十二基、十三基、十四基、十五基、十六基、十七基、十八基、十九基、二十基、2，4-二甲基己基、2，3，6-三甲基庚基、4-乙基-3-丙基辛基以及2-甲氧丁基。未被取代的或被取代的c3-c20脂環(huán)烴基的例子包括由結(jié)構(gòu)式(rM)至(rl77)表示的下述基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子的C5-C10芳基的例子包括由結(jié)構(gòu)式(R1-78)至(R1-94)表示的下述基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子的C6-C20芳烷基的例子包括由結(jié)構(gòu)式(R'-95)至(R1-119)表示的下述基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>(R'-119)r1優(yōu)選是c3-c20脂環(huán)烴基，其可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。被取代的烷基的例子包括用丙烯?；趸图谆；趸〈腸1-c20烷基，其中c1-c20烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。丙烯?；趸鶅?yōu)選被鍵合于烷基的末端，并且甲基丙烯?；趸鶅?yōu)選被鍵合于烷基的末端。其例子包括由結(jié)構(gòu)式(rm20)至(rM71)表示的下述基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>在結(jié)構(gòu)式(I)中，W1代表-CO-O-、-O-CO、-CH2O-、-0-CH2-、-CH2OCO-或-CO-OCH2.并且優(yōu)選w1是-co-o-。(^和02各自獨(dú)立地代表氫原子、氟原子、Cl-C6烷基或Cl-C6全氟代烷基。Cl-C6烷基的例子包括甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基。Cl-C6全氟代烷基的例子包括三氟代甲基、五氟代乙基、七氟代丙基、九氟代丁基、十一氟代戊基和十三氟代己基，并且三氟代甲基是優(yōu)選的。優(yōu)選Q'和CP各自獨(dú)立地代表氟原子或C1-C6全氟代烷基，更優(yōu)選Q'和(^各自獨(dú)立地代表氟原子或三氟代甲基，并且尤其優(yōu)選Q'和Cp是氟原子。在結(jié)構(gòu)式(I)中，A代表由結(jié)構(gòu)式(1-1)表示的基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>其中，A'代表-CH2-CH2-、-CH2-CH2-CH2-、-CHK:H-或-CH-CH-CH2-，其中一個(gè)以上氫原子可以用C1-C6脂肪烴基、C3-C12脂環(huán)烴基或C6-C10芳烴基取代，并且相鄰取代基可以彼此成鍵從而形成環(huán)，并且C1-C6脂肪烴基、C3-C12脂環(huán)烴基和C6-C10芳烴基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。取代基的例子包括鹵素原子比如氟原子和氯原子，Cl-C20烷基，羥基，硝基，橋氧基，氰基，Cl-C4?；热缫阴；捅；珻l-C4全氟代烷基比如三氟代甲基、五氟代乙基、七氟代丙基和九氟代丁基，以及C2-C5烷氧羰基比如甲氧羰基和乙氧羰基。雜原子的例子包括氧原子、硫原子和氮原子。C1-C6脂肪烴基的例子包括C1-C6烷基，而C1-C6烷基的例子包括甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、戊基和己基。C3-C12脂環(huán)烴基的例子包括下述基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>C6-C10芳烴基的例子包括苯基、l-萘基和2-萘基。由結(jié)構(gòu)式(1-1)表示的基團(tuán)的例子包括由結(jié)構(gòu)式(A-l)至(A-16)表示的下述基團(tuán)，其中，結(jié)構(gòu)式(1-1)中的A1是其上一個(gè)以上氫原子可以用未被取代的或被取代的Cl-C6脂肪烴基、未被取代的或被取代的C3-C12脂環(huán)烴基、或者未被取代的或被取代的C6-C10芳烴基進(jìn)行取代的-CH2-CH2-CH2-:由結(jié)構(gòu)式(1-1)表示的基團(tuán)的例子包括由結(jié)構(gòu)式(A-17)至(A-22)表示的下述基團(tuán)，其中，結(jié)構(gòu)式(1-1)中A'是其上一個(gè)以上氫原子用未被取代的或被取代的C1-C6脂肪烴基、未被取代的或被取代的c3-c12脂環(huán)烴基、或者未被取代的或被取代的c6-c10芳烴基進(jìn)行取代的-CH2-ch2-ch2-，并且相鄰取代基彼此成鍵從而形成環(huán)由結(jié)構(gòu)式(1-1)表示的基團(tuán)的例子包括由結(jié)構(gòu)式(a-23)至(a-45)表示的下述基團(tuán)，其中，結(jié)構(gòu)式(1-1)中八1是其上一個(gè)以上氫原子可以用未被取代的或被取代的(:1^6脂肪烴基、未被取代的或被取代的c3-c12脂環(huán)烴基、或者未被取代的或被取代的c6-c10芳烴基進(jìn)行取代的-CH2-ch2-ch2-或-chk:h-ch2-，并且相鄰取代基彼此成鍵從而形成環(huán)由結(jié)構(gòu)式(1-1)表示的基團(tuán)的例子包括由結(jié)構(gòu)式(A-46)至(A-61)表示的下述基團(tuán)，其中，結(jié)構(gòu)式(1-1)中的A'是其上一個(gè)以上氫原子可以用未被取代的或被取代的Cl-C6脂肪烴基、未被取代的或被取代的C3-C12脂環(huán)烴基、或者未被取代的或被取代的C6-C10芳烴基進(jìn)行取代的-CH2-CH2-:由結(jié)構(gòu)式(1-1)表示的基團(tuán)的例子包括由結(jié)構(gòu)式(A-62)至(A-84)表示的下述基團(tuán)，其中，結(jié)構(gòu)式(1-1)中A'是其上一個(gè)以上氫原子可以用未被取代的或被取代的C1-C6脂肪烴基、未被取代的或被取代的C3-C12脂環(huán)烴基、或者未被取代的或被取代的C6-C10芳烴基進(jìn)行取代的-CH2-CH2-或-CH-CH-，并且相鄰取代基彼此成鍵從而形成環(huán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>二酰亞胺(I)的例子包括由結(jié)構(gòu)式(I)表示的二酰亞胺類化合物，其中，R"是由結(jié)構(gòu)式(R1-1)至(RM71)表示的基團(tuán)中的任何一個(gè)；Q'和Q2是氟原子；W是-CO-O-;并且A是由結(jié)構(gòu)式(A-l)至(A-84)表示的基團(tuán)中的任何一個(gè)。而二酰亞胺(I)，優(yōu)選是由結(jié)構(gòu)式(III)、(IV)、(V)、(VI)或(VII)表示的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>其中，U'至l^各自獨(dú)立地代表氫原子、C1-C4烴基或C1-C4烴氧基，并且R1、W1、Q1和Q2的意義與如上限定的意義相同。二酰亞胺(I)的具體例子包括下述<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage27</formula>二酰亞胺(i)能夠通過(guò)如下方法制備在堿存在的條件下，使由結(jié)構(gòu)式(vm)表示的化合物與由結(jié)構(gòu)式(ix)表示的化合物進(jìn)行反應(yīng)，A—H(V工工工)H一W1—R1(IX)0Q2其中，結(jié)構(gòu)式(VIII)中，A的意義與如上限定的意義相同；結(jié)構(gòu)式(IX)中，R'、W1、Q'和(^的意義與如上限定的意義相同，并且L代表鹵素原子。反應(yīng)優(yōu)選在惰性溶劑比如甲苯、四氫呋喃、N，N-二甲基甲酰胺、二甲亞砜、乙腈、氯仿和二氯甲垸中進(jìn)行。反應(yīng)溫度通常是約0至150。C，優(yōu)選約0至100。C，并且優(yōu)選反應(yīng)在攪拌下進(jìn)行。由L表示的鹵素原子的例子包括氟原子、氯原子、溴原子和碘原子。由結(jié)構(gòu)式(IX)表示的化合物的含量通常是約0.9至2摩爾、并且優(yōu)選1至1.5摩爾/每摩爾由結(jié)構(gòu)式(VIII)表示的化合物。堿的例子包括無(wú)機(jī)堿，比如氫氧化鈉、氫氧化鉀和碳酸鉀；以及有機(jī)堿，比如吡啶、三乙胺和二甲基吡啶。堿的含量通常是1至3摩爾、并且優(yōu)選l至2摩爾/每摩爾由結(jié)構(gòu)式(vm)表示的化合物。通過(guò)上述方法得到的二酰亞胺(I)能夠通過(guò)進(jìn)行萃取、接著濃縮而被分離，并且分離的二酰亞胺(I)能夠通過(guò)重結(jié)晶或柱層析而進(jìn)行純化。本發(fā)明的抗蝕劑組合物包含樹(shù)脂和二酰亞胺(I)。樹(shù)脂的例子包括這樣的樹(shù)脂其包含具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，并且不溶于或微溶于堿性水溶液，但是在酸的作用下變得可溶于堿性水溶液。二酰亞胺(I)可用作產(chǎn)酸劑。在本說(shuō)明書中，"酸不穩(wěn)定性的基團(tuán)"是指在酸的作用下能被清除的基團(tuán)。在本說(shuō)明書中，"-COOR"可以被描述為"具有羧酸酯的結(jié)構(gòu)"，并且也可以被簡(jiǎn)稱為"酯基"。具體地講，"-COOC(CH3)3"可以被描述為"具有羧酸叔丁基酯的結(jié)構(gòu)"、或者簡(jiǎn)稱為"叔丁基酯基"。酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的例子包括這樣的結(jié)構(gòu)其具有羧酸酯比如其中鄰接于氧原子的碳原子是季碳原子的垸基酯基、其中鄰接于氧原子的碳原子是季碳原子的脂環(huán)族酯基、以及其中鄰接于氧原子的碳原子是季碳原子的內(nèi)酯基。該"季碳原子"是指"連接于四個(gè)除氫原子之外的取代基的碳原子"。酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的其他例子包括具有連接于3個(gè)碳原子的季碳原子和-OR'基(其中，R'代表垸基)的基團(tuán)。酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的例子包括其中鄰接于氧原子的碳原子是季碳原子的烷基酯基團(tuán)，比如叔丁基酯基；縮醛型酯基，比如甲氧基甲酯、乙氧基甲酯、1-乙氧基乙酯、1-異丁氧基乙酯、1-異丙氧基乙酯、1-乙氧基丙氧基酯、1-(2-甲氧基乙氧基)乙酯、1-(2-乙酰基乙氧基)乙酯、1-[2-(l-金剛烷基氧基)乙氧基乙酯、1-[2-(l-金剛烷羰基氧基)乙氧基]乙酯、四氫-2-呋喃基酯和四氫-2-吡喃基酯基；其中鄰接于氧原子的碳原子是季碳原子的脂環(huán)族酯基，比如異冰片基酯、1-烷基環(huán)烷基酯、2-烷基-2-金剛烷基酯和1-(1-金剛烷基)-l-烷基烷基酯基。在金剛烷基中的至少一個(gè)氫原子可以用羥基取代。具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的例子包括衍生于丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元、衍生于甲基丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元、衍生于降冰片烯羧酸酯的結(jié)構(gòu)單元、衍生于三環(huán)癸烯羧酸酯的結(jié)構(gòu)單元、和衍生于四環(huán)癸烯羧酸酯的結(jié)構(gòu)單元。衍生于丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元是優(yōu)選的。通過(guò)進(jìn)行單體或者具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)和烯烴雙鍵的單體的聚合反應(yīng)，可以得到本組合物所用樹(shù)脂。在單體中，具有大體積的和酸不穩(wěn)定性的基團(tuán)比如脂環(huán)族酯基團(tuán)(例如，2-垸基-2-金剛垸基酯、和1-(l-金剛烷基)-l-垸基烷基酯基)的那些單體是優(yōu)選的，因?yàn)楫?dāng)獲得的該樹(shù)脂在本發(fā)明的抗蝕劑組合物中使用時(shí)，可以得到出色的分辨率。這樣含有大體積的和酸不穩(wěn)定性的基團(tuán)的單體的例子包括2-烷基-2-金剛烷基丙烯酸酯、2-烷基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、1-(l-金剛烷基)-l-烷基垸基丙烯酸酯、1-G-金剛垸基)-1-烷基烷基甲基丙烯酸酯、2-烷基-2-金剛烷基5-降冰片烯-2-羧酸酯、1-(l-金剛烷基-l-烷基垸基5-降冰片烯-2-羧酸酯、2-烷基-2-金剛垸基a-氯代丙烯酸酯、以及1-(l-金剛烷基)-1-烷基垸基a-氯代丙烯酸酯。特別是，當(dāng)2-烷基-2-金剛垸基丙烯酸酯、2-烷基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯或2-烷基-2-金剛烷基a-氯代丙烯酸酯被用作在本發(fā)明的抗蝕劑組合物中所用樹(shù)脂組分的單體時(shí)，容易得到分辨率出色的抗蝕劑組合物。其典型的例子包括2-甲基-2-金剛烷基丙烯酸酯、2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、2-乙基-2-金剛垸基丙烯酸酯、2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、2-正丁基-2-金剛垸基丙烯酸酯、2-甲基-2-金剛烷基ct氯代丙烯酸酯、以及2-乙基-2-金剛烷基ct-氯代丙烯酸酯。特別是，當(dāng)2-乙基-2-金剛垸基丙烯酸酯、2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、2-異丙基-2-金剛烷基丙烯酸酯、或2-異丙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯用于本發(fā)明的抗蝕劑組合物時(shí)，容易得到敏感性和耐熱性出色的抗蝕劑組合物。本發(fā)明中，具有在酸的作用下分離出的基團(tuán)的兩種以上單體必要時(shí)可以一起使用。通過(guò)使2-烷基-2-金剛烷醇或其金屬鹽與丙烯酸鹵反應(yīng)，通常能夠制備出2-烷基-2-金剛烷基丙烯酸酯；并且通過(guò)使2-烷基-2-金剛烷醇或其金屬鹽與甲基丙烯酸鹵反應(yīng)，通常能夠制備出2-垸基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯。除上述具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元之外，本發(fā)明的抗蝕劑組合物所用樹(shù)脂還可以包含其他由酸穩(wěn)定的單體衍生的結(jié)構(gòu)單元。在此，"由酸穩(wěn)定的單體衍生的結(jié)構(gòu)單元"是指不會(huì)被酸分離的結(jié)構(gòu)單元。這樣的其他由酸穩(wěn)定單體衍生的結(jié)構(gòu)單元的例子包括由具有游離羧基比如丙烯酸和甲基丙烯酸的單體衍生的結(jié)構(gòu)單元；由脂肪族不飽和二羧基酸酐比如馬來(lái)酸酐和衣康酸酐衍生的結(jié)構(gòu)單元；由2-降冰片烯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由丙烯腈或甲基丙烯腈衍生的結(jié)構(gòu)單元；由其中鄰接于氧原子的碳原子是仲碳原子或叔碳原子的烷基丙烯酸酯或烷基甲基丙烯酸酯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由1-金剛烷基丙烯酸酯或者l-金剛垸基甲基丙烯酸酯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由苯乙烯單體比如對(duì)羥基苯乙烯和間羥基苯乙烯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由具有可以用烷基取代的內(nèi)酯環(huán)的丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯或者甲基丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯衍生的結(jié)構(gòu)單元；等等。在此，1-金剛烷基氧基羰基是酸穩(wěn)定的基團(tuán)，盡管鄰接于氧原子的碳原子是季碳原子，并且1-金剛垸基氧基羰基可以用至少一個(gè)羥基取代。由酸穩(wěn)定單體衍生的結(jié)構(gòu)單元的具體例子包括由3-羥基-l-金剛烷基丙烯酸酯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由3-羥基-1-金剛垸基甲基丙烯酸酯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由3,5-二羥基-l-金剛垸基丙烯酸酯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由3，5-二羥基-l-金剛垸基甲基丙烯酸酯衍生的結(jié)構(gòu)單元;由ct-丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由a-甲基丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由P-丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由P-甲基丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由結(jié)構(gòu)式(kl)表示的結(jié)構(gòu)單元其中，R"代表氫原子或甲基，1123在各種情況下獨(dú)立地是甲基、三氟代甲基或鹵素原子，并且p代表0至3的整數(shù)；由結(jié)構(gòu)式(k2)表示的結(jié)構(gòu)單元其中，R^代表氫原子或甲基，R^在各種情況下獨(dú)立地是甲基、三氟代甲基或鹵素原子，并且q代表0至3的整數(shù)；由對(duì)羥基苯乙烯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由間羥基苯乙烯衍生的結(jié)構(gòu)單元；由具有烯烴雙鍵的脂環(huán)化合物衍生的結(jié)構(gòu)單元，比如由結(jié)構(gòu)式(k3)表示的結(jié)構(gòu)單元:其中，1125和1126各自獨(dú)立地代表氫原子、Cl-C3烷基、Cl-C3羥烷基、羧基、氰基、羥基或-COOU基團(tuán)，其中U代表醇類殘基；或者R"和RM能夠被鍵合在一起，從而形成表示為-C一0)OC(=O)-的羧基的酸酐殘基；由脂肪族不飽和二羧基的酸酐衍生的結(jié)構(gòu)單元，比如由結(jié)構(gòu)式(k4)表示的結(jié)構(gòu)單元:由丙烯酸或甲基丙烯酸的橋連二酯衍生的結(jié)構(gòu)單元，該橋連二酯比如是丙烯酸的亞乙基二酯、甲基丙烯酸的亞乙基二酯、丙烯酸的氧聯(lián)二乙基二酯和甲基丙烯酸的氧聯(lián)二亞乙基二酯。特別地，考慮到抗蝕劑對(duì)基材的粘著力和抗蝕劑的分辨率，除具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元之外，優(yōu)選樹(shù)脂進(jìn)一步具有至少一個(gè)選自下組的結(jié)構(gòu)單元由對(duì)羥基苯乙烯衍生的結(jié)構(gòu)單元、由間羥基苯乙烯衍生的結(jié)構(gòu)單元、由3-羥基-1-金剛垸基丙烯酸酯衍生的結(jié)構(gòu)單元、由3-羥基-l-金剛烷基甲基丙烯酸酯衍生的結(jié)構(gòu)單元、由3，5-二羥基-1-金剛垸基丙烯酸酯衍生的結(jié)構(gòu)單元、由3,5-二羥基-l-金剛垸基甲基丙烯酸酯衍生的結(jié)構(gòu)單元、由結(jié)構(gòu)式(kl)表示的結(jié)構(gòu)單元、和由結(jié)構(gòu)式(k2)表示的結(jié)構(gòu)單元。例如，通過(guò)對(duì)應(yīng)的羥基金剛烷與丙烯酸、甲基丙烯酸或其酸鹵進(jìn)行反應(yīng)，能夠制備出3-羥基-1-金剛烷基丙烯酸酯、3-羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3,5-二羥基-1-金剛烷基丙烯酸酯和3，5-二羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯。并且它們也可在市場(chǎng)上買到。由結(jié)構(gòu)式(k5)表示的結(jié)構(gòu)單元:進(jìn)一步地，通過(guò)使對(duì)應(yīng)的a-或P-溴代-Y-丁內(nèi)酯與丙烯酸或甲基丙烯酸進(jìn)行反應(yīng)，或者使對(duì)應(yīng)的a-或P-羥基-Y-丁內(nèi)酯與丙烯酸鹵或甲基丙烯酸鹵進(jìn)行反應(yīng)，能夠制備丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯和甲基丙烯酰基氧基-Y-丁內(nèi)酯?？商峁┯山Y(jié)構(gòu)式(kl)和(k2)表示的結(jié)構(gòu)單元的單體例子包括具有如下所述羥基的脂環(huán)族內(nèi)酯的丙烯酸酯、以及脂環(huán)族內(nèi)酯的甲基丙烯酸酯、及其混合物。例如，通過(guò)使對(duì)應(yīng)的具有羥基的脂環(huán)族內(nèi)酯與丙烯酸或甲基丙烯酸發(fā)生反應(yīng)能夠制備出這些酯，并且其生產(chǎn)方法，例如，如JP2000-26446中所述。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage33</formula>其中內(nèi)酯環(huán)可以用烷基取代的丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯和甲基丙烯酰基氧基-Y-丁內(nèi)酯的例子包括a-丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯、a-甲基丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯、a-丙烯?；趸?(J，P-二甲基-Y-丁內(nèi)酯、a-甲基丙烯酰基氧基-P，13-二甲基-Y-丁內(nèi)酯、a-丙烯?；趸?a-甲基-y-丁內(nèi)酯、a-甲基丙烯酰基氧基-a-甲基-y-丁內(nèi)酯、P-丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯、P-甲基丙烯?；趸?Y-丁內(nèi)酯、以及P-甲基丙烯?；趸?a-甲基-y-丁內(nèi)酯。就KrF光刻技術(shù)而言，甚至在使用由羥基苯乙烯比如對(duì)羥基苯乙烯和間羥基苯乙烯衍生的結(jié)構(gòu)單元作為樹(shù)脂組分之一的情況下，可以得到具有足夠透明度的抗蝕劑組合物。為了得到這樣的共聚樹(shù)脂，可以使對(duì)應(yīng)的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯單體與乙酰氧基苯乙烯和苯乙烯進(jìn)行自由基聚合，并且然后用酸使得在由乙酰氧基苯乙烯衍生的結(jié)構(gòu)單元中的乙酰氧基去乙?；?。因?yàn)橹h(huán)基被直接地呈現(xiàn)于其主鏈上，包含由2-降冰片烯衍生的結(jié)構(gòu)單元的樹(shù)脂顯示出較強(qiáng)的結(jié)構(gòu)，并且顯示出耐千法蝕刻性(dryetchingresistance)出色的特性。除對(duì)應(yīng)的2-降冰片烯之外，例如，通過(guò)使用脂肪族不飽和的二羧基酸酐比如馬來(lái)酸酐和衣康酸酐一起進(jìn)行自由基聚合，能夠?qū)⒂?-降冰片烯衍生的結(jié)構(gòu)單元導(dǎo)入主鏈。通過(guò)打開(kāi)其雙鍵，形成由2-降冰片烯衍生的結(jié)構(gòu)單元，并且能夠由上述結(jié)構(gòu)式(k3)表示。由馬來(lái)酸酐和衣康酸酑衍生的結(jié)構(gòu)單元，是由脂肪族不飽和的二羧基酸酐衍生的結(jié)構(gòu)單元，其通過(guò)打開(kāi)它們的雙鍵而形成，并且能夠分別地由上述結(jié)構(gòu)式(k4)和結(jié)構(gòu)式(k5)表示。在R"和R"中，Cl-C3烷基的例子包括甲基、乙基、以及正丙基；并且C1-C3羥垸基的例子包括羥甲基和2-羥乙基。在R"和R^中，-COOU基團(tuán)是由羧基形成的酯，并且對(duì)應(yīng)于U的醇類殘基的例子包括可選擇性取代的Cl-C8烷基、2-氧代草脲胺-3-基和2-氧代草脲胺-4-基，并且在Cl-C8烷基上的取代基的例子包括羥基和脂環(huán)烴。用于提供由上述結(jié)構(gòu)式(k3)表示的結(jié)構(gòu)單元的單體的具體例子可以包括2-降冰片烯、2-羥基-5-降冰片烯、5-降冰片烯-2-羧酸、甲基5-降冰片烯-2-羧酸酯、2-羥乙基5-降冰片烯-2-羧酸酯、5-降冰片烯-2-甲醇、以及5-降冰片烯-2,3-二羧基酸酐。當(dāng)在-COOU基團(tuán)中的U是酸不穩(wěn)定的基團(tuán)時(shí)，由結(jié)構(gòu)式(k3)表示的結(jié)構(gòu)單元是具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，即使其具有降冰片烯結(jié)構(gòu)。用于提供具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的單體的例子包括叔丁基5-降冰片烯-2-羧酸酯、1-環(huán)己基-1-甲基乙基5-降冰片烯-2-羧酸酯、1-甲基環(huán)己基5-降冰片烯-2-羧酸酯、2-甲基-2-金剛烷基5-降冰片烯-2-羧酸酯、2-乙基-2-金剛烷基5-降冰片烯-2-羧酸酯、1_(4-甲基環(huán)己基)-1-甲基乙基5-降冰片烯-2-羧酸酯、1-(4-羥基環(huán)己基)-1-甲基乙基5-降冰片烯-2-羧酸酯、1_甲基_1-(4-氧代環(huán)己基)乙基5-降冰片烯-2-羧酸酯、以及1-(l-金剛烷基)-1-甲基乙基5-降冰片烯-2-羧酸酯。在本發(fā)明組合物中使用的樹(shù)脂優(yōu)選通常以占樹(shù)脂中所有結(jié)構(gòu)單元的10至80mol。/。的比率包含具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，盡管該比率依據(jù)用于圖案曝光的輻射種類、酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的種類等而改變。特別地，當(dāng)衍生于2-烷基-2-金剛烷基丙烯酸酯、2-垸基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、1-(l-金剛垸基)-1-烷基烷基丙烯酸酯或1-(l-金剛烷基)-l-垸基烷基甲基丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元被用作具有所述酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元時(shí)，所述結(jié)構(gòu)單元在樹(shù)脂的所有結(jié)構(gòu)單元中占15moP/。以上的比率對(duì)于抗蝕劑的耐干法蝕刻性是有利的。樹(shù)脂可以具有由二酰亞胺(I)衍生的結(jié)構(gòu)單元，其中，R1是用丙烯酰基氧基或甲基丙烯?；趸〈腃1-C20烷基，并且該C1-C20烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。通過(guò)使對(duì)應(yīng)的單體進(jìn)行聚合反應(yīng)，通常能夠制備出本發(fā)明中使用的樹(shù)脂。通過(guò)使對(duì)應(yīng)的單體進(jìn)行低聚反應(yīng)、接著使得到的低聚體發(fā)生聚合，也可以制備該樹(shù)脂。通常在自由基引發(fā)劑存在的條件下進(jìn)行聚合反應(yīng)。自由基引發(fā)劑不受限制，并且其例子包括偶氮化合物，比如2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)、U，-偶氮二(環(huán)己烷-l-腈)、2,2，-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2，2，-偶氮二(2，4-二甲基-4-甲氧基戊腈)、二甲基-2，2，-偶氮二(2-丙酸甲酯)、以及2，2，-偶氮二(2-羥甲基丙腈)；有機(jī)氫過(guò)氧化物，比如過(guò)氧化月桂酰、叔丁基氫過(guò)氧化物、過(guò)氧化苯甲酰、叔丁基過(guò)氧化苯甲酸酯、異丙基苯過(guò)氧化氫、二異丙基過(guò)氧化二碳酸酯、二正丙基過(guò)氧化二碳酸酯、叔丁基過(guò)氧化新癸酸酯、叔丁基過(guò)氧化新戊酸酯、和3,5,5-三甲基己酰過(guò)氧化物；和無(wú)機(jī)過(guò)氧化物，比如過(guò)氧化二硫酸鉀、過(guò)氧化二硫酸銨；以及過(guò)氧化氫。其中，優(yōu)選偶氮化合物，并且更優(yōu)選2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)、U，-偶氮二(環(huán)己烷-l-腈)、2，2，-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、以及二甲基-2,2，-偶氮二(2-丙酸甲酯)。這些自由基引發(fā)劑可以單獨(dú)使用，或者呈兩種以上的混合物的形式使用。當(dāng)使用兩種以上的混合物時(shí)，混合比率不受限制?；谒袉误w或低聚體的摩爾含量，自由基引發(fā)劑的含量?jī)?yōu)選是1至20mo1。/0。聚合溫度通常是0至150°C，并且優(yōu)選40至10(TC。聚合反應(yīng)通常在溶劑中進(jìn)行，并且優(yōu)選使用足以溶解單體、自由基引發(fā)劑和得到的樹(shù)脂的溶劑。其例子包括烴類溶劑，比如甲苯；醚類溶劑，比如1,4-二氧六環(huán)和四氫呋喃；酮類溶劑，比如甲基異丁基酮；醇類溶劑，比如異丙醇；環(huán)狀酯類溶劑，比如Y-丁內(nèi)酯；乙二醇醚酯溶劑，比如丙二醇單甲醚醋酸酯；以及無(wú)環(huán)酯類溶劑，比如乳酸乙酯。這些溶劑可以單獨(dú)使用，并且可以使用其混合物。溶劑的量不受限制，并且特別地，相對(duì)于1份所有單體或低聚體，優(yōu)選溶劑是1至5重量份。當(dāng)具有烯烴雙鍵的脂環(huán)化合物和脂肪族不飽和二羧基酸酐被用作單體時(shí)，考慮不容易聚合的趨勢(shì)，優(yōu)選過(guò)量使用它們。在聚合反應(yīng)完成之后，例如，通過(guò)將樹(shù)脂不溶于或微溶于其中的溶劑加入至得到的反應(yīng)混合物中、并且過(guò)濾沉淀的樹(shù)脂，能夠分離出所產(chǎn)生的樹(shù)脂。如有必要，例如，通過(guò)用合適的溶劑洗滌，可以對(duì)分離的樹(shù)脂進(jìn)行純化。本發(fā)明的聚合物包含由二酰亞胺(I)衍生的結(jié)構(gòu)單元，其中，R1是用丙烯?；趸蚣谆；趸〈腃1-C20垸基，并且該C1-C20垸基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。該聚合物是一種新穎的聚合物。本發(fā)明的聚合物可以包含由二酰亞胺(I)衍生的結(jié)構(gòu)單元，該二酰亞胺(I)中，R1是用丙烯?；趸蚣谆；趸〈腃1-C20垸基，并且該C1-C20烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。除了由二酰亞胺(I)衍生的結(jié)構(gòu)單元之外，本發(fā)明的聚合物可以含有其他的結(jié)構(gòu)單元，二酰亞胺(I)中，R1是用丙烯酰基氧基或甲基丙烯?；趸〈腃1-C20烷基，并且該C1-C20烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。其他的結(jié)構(gòu)單元的例子包括具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元、具有酸穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元。具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元和具有酸穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的例子包括如上所述的結(jié)構(gòu)單元。當(dāng)本發(fā)明的聚合物含有具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元時(shí)，由二酰亞胺(I)衍生的結(jié)構(gòu)單元在本發(fā)明的聚合物中的所有結(jié)構(gòu)單元中所占比率通常是O.l至70mol%、優(yōu)選1至50mol%。其中，在二酰亞胺(I)中，R1是用丙烯?；趸蚣谆；趸〈腃1-C20烷基，并且該C1-C20烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。通過(guò)使二酰亞胺(I)發(fā)生聚合，或者使二酰亞胺(I)與其他的單體發(fā)生聚合，可以制備出本發(fā)明的聚合物。該二酰亞胺(I)中，R1是用丙烯?；趸蚣谆；趸〈腃1-C20烷基，并且該C1-C20烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。該聚合反應(yīng)能夠根據(jù)如上所述聚合反應(yīng)而進(jìn)行。本發(fā)明的抗蝕劑組合物可以包含本發(fā)明的聚合物，并且可以包含上述樹(shù)脂和本發(fā)明的聚合物。如上所述，二酰亞胺(I)可用作產(chǎn)酸劑。作為另一種選擇，本發(fā)明的聚合物也可用作產(chǎn)酸劑。本發(fā)明的抗蝕劑組合物還可包含其他的產(chǎn)酸劑。產(chǎn)酸劑是這樣一種物質(zhì)通過(guò)在該物質(zhì)本身或包含該物質(zhì)的抗蝕劑組合物上應(yīng)用輻射比如光、電子束等等，其會(huì)被分解從而產(chǎn)生酸。由產(chǎn)酸劑產(chǎn)生的酸作用于樹(shù)脂和/或本發(fā)明的聚合物，導(dǎo)致存在于樹(shù)脂和/或本發(fā)明的聚合物中的酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的裂解。產(chǎn)酸劑的例子包括鎗鹽化合物、有機(jī)鹵素化合物、砜類化合物和磺酸酯化合物。優(yōu)選鎗鹽化合物。在JP2003-5374Al中描述的產(chǎn)酸劑也能夠在本發(fā)明的抗蝕劑組合物中使用。鎗鹽化合物的例子包括二苯基碘鎗三氟甲烷磺酸鹽、4-甲氧基苯基苯基碘総六氟銻酸鹽、4-甲氧基苯基苯基碘鎗三氟甲烷磺酸鹽、二(4-叔丁基苯基)碘総四氟硼酸鹽、二(4-叔丁基苯基)碘鎗六氟磷酸鹽、二(4-叔丁基苯基)碘鎗六氟銻酸鹽、二(4-叔丁基苯基)碘鑰三氟甲烷磺酸鹽、三苯基锍六氟磷酸鹽、三苯基锍六氟銻酸鹽、三苯基锍三氟甲垸磺酸鹽、三苯基锍金剛烷基甲氧基羰基二氟甲垸磺酸鹽、三苯基锍(3-羥基金剛垸基)甲氧基羰基二氟甲垸磺酸鹽、三苯基锍1-(3-羥甲基金剛烷基)甲氧基羰基二氟甲烷磺酸鹽、三苯基锍1-(六氫化2-氧代-3,5-甲撐-2H-環(huán)戊[b]呋喃-6-基-氧基羰基)二氟甲垸磺酸鹽、三苯基锍4-氧代-1-金剛垸基氧基羰基二氟甲垸磺酸鹽、4-甲氧基苯基二苯基锍六氟銻酸鹽、4-甲氧基苯基二苯基锍三氟甲烷磺酸鹽、對(duì)甲苯基二苯基锍三氟甲垸磺酸鹽、對(duì)甲苯基二苯基锍十七氟辛烷磺酸鹽、2,4,6-三甲基苯基二苯基锍三氟甲烷磺酸鹽、4-叔丁基苯基二苯基锍三氟甲烷磺酸鹽、4-苯基硫代苯基二苯基锍六氟磷酸鹽、4-苯基硫代苯基二苯基锍六氟銻酸鹽、1-(2-萘酰甲基)锍(thiolanium)六氟銻酸鹽、1-(2-萘酰甲基)锍(thiolanium)三氟甲烷磺酸鹽、4-羥基-1-萘基二甲基锍六氟銻酸鹽、以及4-羥基-1-萘基二甲基锍三氟甲烷磺酸鹽。有機(jī)鹵化物化合物的例子包括2-甲基-4，6-二(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2，4，6-三(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-苯基-4，6-二(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(4-氯代苯基)-4,6-二(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-二(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(4-甲氧基-l-萘基)-4，6-二(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(苯并[d][l，3]二氧戊環(huán)(dioxolan)-5-基)-4，6-二(三氯甲基)-1,3,5-三嗪、2-(4-甲氧基苯乙烯基)-4,6-二(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(3，4，5-三甲氧基苯乙烯基)-4,6-二(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(3,4-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-二(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2_(2,4-二甲氧基苯乙烯基)-4,6-二(三氯甲基)-1，3,5-三嗪、2-(2-甲氧基苯乙烯基)-4,6-二(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、2-(4-丁氧基苯乙烯基)-4，6-二(三氯甲基)-1，3，5-三嗪、以及2冊(cè)(4-戊氧基苯乙烯基)-4，6-二(三氯甲基)-1,3,5-三嗪。砜類化合物的例子包括二苯基二砜、二對(duì)甲苯基二砜、二(苯磺酰)重氮甲烷、二(4-氯代苯磺酰)重氮甲垸、二(對(duì)甲苯磺酰)重氮甲垸、二(4-叔丁基苯磺酰)重氮甲烷、二(2，4-二甲苯磺酰)重氮甲烷、二(環(huán)己基磺酰)重氮甲烷、(苯甲酰)(苯磺酰)重氮甲烷、N-(苯磺酰氧基)琥珀酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰氧基)琥珀酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰氧基)酞酰亞胺、N-(三氟甲基磺酰氧基)-5-降冰片烯-2，3-二羰基二酰亞胺(dicarbodiimide)、N-(三氟甲磺酰氧基)萘二甲酰亞胺(naphthalimide)、以及N-(10-樟腦磺酰氧基)萘二甲酰亞胺?；撬狨セ衔锏睦影╨-苯甲?；?l-苯甲基對(duì)甲苯磺酸酯、2-苯甲?；?2-羥基-2-苯乙基鄰甲苯磺酸酯、1,2,3-苯三基三甲磺酸酯、2，6-二硝基苯甲基對(duì)甲苯磺酸酯、2-硝基芐基對(duì)甲苯磺酸酯、以及4-硝基節(jié)基對(duì)甲苯磺酸酯。本發(fā)明的抗蝕劑組合物優(yōu)選包括80至99.9wt。/。的樹(shù)脂組分和0.1至20wt。/。的產(chǎn)酸劑組分。在此，"產(chǎn)酸劑組分"含有二酰亞胺(I)、本發(fā)明的聚合物、其他的產(chǎn)酸劑或其混合物。當(dāng)抗蝕劑組合物含有包含由二酰亞胺(I)衍生的結(jié)構(gòu)單元的本發(fā)明聚合物、以及其他產(chǎn)酸劑時(shí)，本發(fā)明的聚合物和其他產(chǎn)酸劑的比率不受限制。在該二酰亞胺(I)中，R'是用丙烯?；趸蚣谆；趸〈腃1-C20烷基，并且該C1-C20垸基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。在本發(fā)明的抗蝕劑組合物中，通過(guò)加入有機(jī)堿化合物、特別是含氮有機(jī)堿化合物作為猝滅劑，能夠減小由酸的失活而引起的性能惡化，所述酸的失活由于曝光后延遲而發(fā)生。含氮有機(jī)堿化合物的具體例子包括由下述結(jié)構(gòu)式表示的胺化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage40</formula>其中，R"和R^獨(dú)立地代表氫原子、垸基、環(huán)垸基或芳基，并且烷基、環(huán)垸基和芳基可以用選自于下組的至少一種基團(tuán)取代羥基、可以用C1-C4烷基取代的氨基、以及可以用Cl-C6烷氧基取代的Cl-C6烴氧基；RB和RW獨(dú)立地代表氫原子、烷基、環(huán)烷基、芳基或烴氧基，并且垸基、環(huán)烷基、芳基和烴氧基可以用選自下組的至少一種基團(tuán)取代羥基、可以用C1-C4烷基取代的氨基、和Cl-C6烷氧基；或者1113和R"用碳原子彼此鍵合在一起從而形成芳香環(huán)；R15代表氫原子、烷基、環(huán)垸基、芳基、烴氧基或硝基，并且垸基、環(huán)烷基、芳基和烴氧基可以用選自于下組的至少一種基團(tuán)取代羥基、可以用C1-C4烷基取代的氨基、以及C1-C6垸氧基；R"代表垸基或環(huán)烷基，并且烷基和環(huán)垸基可以用選自下組的至少一種基團(tuán)取代羥基、可以用C1-C4烷基取代的氨基、和C1-C6垸氧基，并且W代表-CO-、-NH-、-S-、-S-S-、其上至少一個(gè)亞甲基可以被-O-取代的亞烷基、或者其上至少一個(gè)亞甲基可以被-O-取代的亞鏈烯基、以及由下述結(jié)構(gòu)式表示的季銨堿<formula>formulaseeoriginaldocumentpage40</formula>其中，R17、R18、1119和112()獨(dú)立地代表烷基、環(huán)垸基或芳基，并且烷基、環(huán)烷基和芳基可以用選自下組的至少一種基團(tuán)取代羥基、可以用C1-C4烷基取代的氨基和C1-C6烷氧基。在R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18、1119和R2Q中的烷基優(yōu)選具有約1至10個(gè)碳原子，并且更優(yōu)選具有約1至6個(gè)碳原子?？梢杂肅1-C4垸基取代的氨基的例子包括氨基、甲基氨基、乙基氨基、正丁氨基、二甲基氨基和二乙基氨基?？梢杂肅1-C6烷氧基取代的C1-C6烴氧基例子包括甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基、正己氧基和2-甲氧基乙氧基。可以用選自下組的至少一種基團(tuán)取代的烷基的具體例子羥基、可以用C1-C4垸基取代的氨基、以及可以用C1-C6烷氧基取代的C1-C6烴氧基，包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正辛基、正壬基、正癸基、2-(2-甲氧基乙氧基)乙基、2-羥乙基、2-羥丙基、2-氨乙基、4-氨丁基和6-氨己基。在R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18、1119和R2Q中的環(huán)烷基優(yōu)選具有約5至10個(gè)碳原子。可以用選自下組的至少一種基團(tuán)取代的環(huán)烷基的具體例子羥基、可以用Cl-C4烷基取代的氨基、和C1-C6垸氧基，包括環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)庚基、和環(huán)辛基。在R11、R12、R13、R14、R15、R17、R18、1119和R2Q中的芳基優(yōu)選具有約6至10個(gè)碳原子?？梢杂眠x自下組的至少一個(gè)基團(tuán)取代的芳基的具體例子羥基、可以用C1-C4烷基取代的氨基和C1-C6烷氧基，包括苯基、以及萘基。在R13、R"和R's中的烷氧基優(yōu)選具有約1至6個(gè)碳原子，并且其具體例子包括甲氧基、乙氧基、正丙氧基、異丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基、正戊氧基和正己氧基。在W中的亞烷基和亞鏈烯基優(yōu)選具有2至6個(gè)碳原子。亞烷基的具體例子包括亞乙基、三亞甲基、四亞甲基、亞甲基二氧基和亞乙基-l，2-二氧基，并且亞鏈烯基的具體例子包括乙烯-1,2-二取代基、l-丙烯-1,3-二取代基和2-丁烯-1,4-二取代基。胺類化合物的具體例子包括正己胺、正庚胺、正辛胺、正壬胺、正癸胺、苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、4-硝基苯胺、l-萘胺、2-萘胺、乙二胺、四亞甲基二胺、六亞甲基二胺、4，4，-二氨基-1,2-二苯乙烷、4，4，-二氨基-3，3，-二甲基二苯甲烷、4，4，-二氨基-3,3，-二乙基二苯甲垸、二丁胺、二戊基胺、二己胺、二庚胺、二辛胺、二壬胺、二癸基胺、N-甲基苯胺、哌啶、二苯胺、三乙胺、三甲胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、三己胺、三庚胺、三辛胺、三壬胺、十三胺、甲基二丁胺、甲基二戊胺、甲基二己胺、甲基二環(huán)己基胺、甲基二庚胺、甲基二辛胺、甲基二壬胺、甲基二癸胺、乙基二丁胺、乙基二戊胺、乙基二己胺、乙基二庚胺、乙基二辛胺、乙基二壬胺、乙基二癸胺、二環(huán)己基甲胺、三[2-(2-甲氧基乙氧基)乙萄胺、三異丙醇胺、N,N-二甲基苯胺、2,6-二異丙基苯胺、咪唑、苯并咪唑、吡啶、4-甲基吡啶、4-甲基咪唑、二吡啶、2，2，-二吡啶胺、二-2-吡啶酮、1，2-二(2-吡啶)乙烷、1,2-二(4-吡啶)乙烷、1,3-二(4-卩比徒)丙烷、1,2-二(2-吡啶基)乙烯、1,2-二(4-吡啶)乙烯、1，2-二(4-吡啶基氧基)乙烷、4,4，-二吡啶基硫化物、4,4，-二吡啶基二硫化物、1,2-二(4-吡啶基)乙烯、2，2，-二吡啶甲基胺和3,3，-二吡啶甲基胺。季銨堿的例子包括氫氧化四甲基銨、氫氧化四丁基銨、氫氧化四己基銨、氫氧化四辛基銨、氫氧化苯基三甲基銨、氫氧化(3-三氟甲基苯基)三甲基銨、以及氣氧化(2-羥乙基)三甲基銨(所謂的"膽堿")。在JP11-52575Al中公開(kāi)的具有哌啶架構(gòu)的位阻胺類化合物也能夠用作猝滅劑?？紤]到形成具有更高分辨率的圖案，優(yōu)選季銨堿用作猝滅劑。當(dāng)堿性化合物被用作猝滅劑時(shí)，以樹(shù)脂組分和產(chǎn)酸劑組分的總量為基準(zhǔn)，本發(fā)明的抗蝕劑組合物優(yōu)選包括0.01至1wtc/。的堿性化合物。必要時(shí)，本發(fā)明的抗蝕劑組合物能夠包含少量不同的添加劑，比如敏化劑、溶解抑制劑、其他聚合物、表面活性劑、穩(wěn)定劑和染料，只要本發(fā)明的效果不被抑制。本發(fā)明的抗蝕劑組合物通常呈抗蝕劑液體組合物形式，在其中，上述成分被溶于溶劑。并且該抗蝕劑液體組合物通過(guò)普通的方法比如旋涂法被涂敷到基材比如硅片上。使用的溶劑足以溶解上述成分，具有足夠的干燥速率，并且能在蒸去溶劑后提供均勻的和光滑的涂層。能夠使用通常在現(xiàn)有技術(shù)中使用的溶劑。溶劑的例子包括乙二醇醚酯，比如乙基溶纖劑醋酸酯、甲基溶纖劑醋酸酯和丙二醇單甲醚醋酸酯；無(wú)環(huán)的酯，比如乳酸乙酯、醋酸丁酯、醋酸戊酯和丙酮酸乙酯；酮，比如丙酮、甲基異丁基酮、2-庚酮和環(huán)己酮；以及環(huán)狀酯，比如r丁內(nèi)酯。這些溶劑可以單獨(dú)使用，并且可以其中兩種或多種混合使用。對(duì)涂敷到基材上、然后干燥的抗蝕膜進(jìn)行曝光，用于形成圖案，然后加熱處理以促進(jìn)解封閉反應(yīng)(deblockingreaction),并且此后用堿性顯影劑顯影。使用的堿性顯影劑可以是多種在現(xiàn)有技術(shù)中使用的堿水溶液之一。一般來(lái)講，氫氧化四甲銨或氫氧化(2-羥乙基)三甲基銨(通常被稱為"膽堿")的水溶液經(jīng)常被使用。實(shí)施例以下將通過(guò)實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更具體的描述，這些實(shí)施例不應(yīng)被解釋為對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限制。如無(wú)特別地注解，在下述實(shí)施例和對(duì)照例中使用的用于代表任何組分的含量和任何材料的含量的術(shù)語(yǔ)"％"和"份"是重量單位。在下述實(shí)施例中使用的任何材料的重均分子量是通過(guò)凝膠滲透色譜法[HLC-8120GPC型，柱子(三個(gè)柱TSKgelMultiporeHXL-M，溶劑四氫呋喃，東漕株式會(huì)社制造]得到的值，其使用苯乙烯作為標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)。通過(guò)NMR(GX-270型、或EX-270型、JEOL有限公司制造)和質(zhì)譜分析(液相色譜1100型、AGILENTTECHNOLOGIES公司制造，使用SumipaxODS-A210EC作為柱子，并且以水/乙腈作為洗脫液。質(zhì)譜分析LC/MSD型或者LC/MSDTOF型，AGILENTTECHNOLOGIES有限公司制造)來(lái)確定化合物的結(jié)構(gòu)。實(shí)施例1(a>(b>通過(guò)將2.0g的N-羥基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亞胺與4.4g的N，N-二甲基甲酰胺混合制備出溶液，向該溶液中加入1.4g的2，6-二甲基吡啶和4.0g的由上述結(jié)構(gòu)式(a)表示的化合物。將得到的混合物在室溫下攪拌24小時(shí)。向得到的反應(yīng)混合物中加入飽和的氯化銨水溶液，然后用乙酸乙酯萃取得到的混合物。用去離子水洗滌得到的有機(jī)層，然后減壓濃縮。用硅膠層析法純化得到的殘留物，從而得到2.4g由上述結(jié)構(gòu)式(b)表示的化合物，其被稱作Bl。1H-NMR(二甲亞砜-d6):S(ppm)6.08(2H，s)，3.53(2H,dd,J=3.1Hz，1.5Hz)，3.34(2H，s)，2.57(2H,s)，2.45-2.29(7H,m),2.02(2H，d，J=12.2Hz),1.85(2H，d，J=13.0Hz),1.60(IH，d，J=9.2Hz),1.53(1H，d，J=9.2Hz)19F-NMR(二甲亞砜-(16):5(ppm)-97.58"C-NMR(二甲亞砜-d6):S(ppm)213.07，168.81，154.25,134.65，112.16,86.20，50.81，46.38，44.44，42.59,39.70,38.76，37.00,29.61MS(ESI(+)譜)[M+Na]+508.1(C21H2,F2NO8S+=485.10)實(shí)施例2通過(guò)將2.5g的N-羥基琥珀酰亞胺與5.5g四氫呋喃混合制備出溶液，向其中加入1.4g的2,6-二甲基吡啶和4.5g由上述結(jié)構(gòu)式(a)表示的化合物。將得到的混合物在室溫下攪拌15小時(shí)。向得到的反應(yīng)混合物中加入飽和的氯化銨水溶液，然后用乙酸乙酯萃取得到的混合物。用去離子水洗漆得到的有機(jī)層，然后減壓濃縮。用硅膠層析法純化得到的殘留物，從而得到2.3g由上述結(jié)構(gòu)式(c)表示的化合物，其被稱作B2。1H-NMR(二甲亞砜-d6):$(ppm)2.84(4H，s)，2.59(2H，s)，2.45-2.34(7H，m),2.03(2H,d，J=12.2Hz)，1.87(2H,d，J=13.0Hz)19F-NMR(二甲亞砜-4):5(ppm)-97.90l3C-NMR(二甲亞砜-d6):S(ppm)213.11，169.05，154.29,112.23，86.19,46.40，39.73，38.78,37.02，29.63,25.40MS(ESI(+)譜)[M+Na]+444.0(d6H,7F2N08S+=421.06)實(shí)施例3(d)(e)(1)通過(guò)混合5g二氟(氟代磺酰)乙酸和15g二氯乙垸而制備出溶液，向其中加入5.6g金剛烷甲醇和0.1g硫酸，并且將得到的混合物回流攪拌3小時(shí)。將得到的反應(yīng)混合物冷卻至室溫，并且向其中加入40g的10y。的碳酸氫鈉水溶液，接著用80g氯仿萃取。用水洗滌得到的有機(jī)層，然后減壓濃縮，得到9.2g由上述結(jié)構(gòu)式(d)表示的化合物。1H-畫R(二甲亞砜-d6):S(ppm)4.10(1.7H，s)，2.01-1.88(3.0H，m)，1.75-1.44(12.0H，m)(2)通過(guò)將4.3g的N-羥基-5-降冰片烯-2，3-二甲酰亞胺與18.9g的N,N-二甲基甲酰胺混合而制備出溶液，向該溶液中加入3.1g的2，6-二甲基吡啶和8.5g的由上述結(jié)構(gòu)式(d)表示的化合物。將得到的混合物在室溫下攪拌17小時(shí)。向得到的反應(yīng)混合物中加入飽和的氯化銨水溶液，然后用乙酸乙酯萃取得到的混合物。用去離子水洗滌得到的有機(jī)層，然后減壓濃縮。用硅膠層析法純化得到的殘留物，從而得到2.6g由上述結(jié)構(gòu)式(e)表示的化合物，其被稱作B3。1H-NMR(二甲亞砜-d6):5(ppm)6.10(2H，s),4.07(2H,s)，3.55(2H,dd,J=3.1Hz，1.5Hz),3.36(2H,s)，1.95(3H，s)，1.72-1.49(14H，m)19F-NMR(二甲亞砜-(16):S(ppm)-98.0713C-NMR(二甲亞砜-d6):S(ppm)168.82，156.08，134.66，112.31，77.94,50.82,44.49，42.56,37.82,36.15，33.07,27.17MS卿(+)譜)[M+Na]+508.1(C22H2!F2NO7S+=485.10)實(shí)施例4(1)通過(guò)將7g二氟(氟代磺酰)乙酸與21g二氯乙烷混合而制備出溶液，向該溶液中加入5.4g環(huán)己烷甲醇和0.02g硫酸，并且將得到的混合物回流攪拌6小時(shí)。將得到的反應(yīng)混合物冷卻至室溫，并且向其中加入85g的10y。碳酸氫鈉水溶液，接著用205g氯仿萃取。用水洗滌得到的有機(jī)層，然后減壓濃縮，得到10.7g由上述結(jié)構(gòu)式(f)表示的化合物。'H-NMR(二甲亞砜-(16):S(ppm)4.32(2.0H,d，J=5.94Hz)，1.78-1.55(6.0H，m)，1.30-0.91(5.0H,m)(2)通過(guò)將4.0g的N-羥基-5-降冰片烯-2，3-二甲酰亞胺與17.6g的N,N-二甲基甲酰胺混合而制備出溶液，向該溶液中加入2.8g的2，6-二甲基吡啶和5.9g的由上述結(jié)構(gòu)式(f)表示的化合物。將得到的混合物在室溫下攪拌17小時(shí)。向得到的反應(yīng)混合物中加入飽和的氯化銨水溶液，然后用乙酸乙酯萃取得到的混合物。用去離子水洗滌得到的有機(jī)層，然后減壓濃縮。用硅膠層析法純化得到的殘留物，從而得到1.3g由上述結(jié)構(gòu)式(g)表示的化合物，其被稱作B4。'H-NMR(二甲亞砜-(16):S(ppm)6.10(2H,t，J=1.9Hz),4.28(2H,d，J=6.1Hz)，3.56-3.54(2H,m),3.37-3.34(2H,m)，1.74-1.60(7H,m),1.54(1H，d,J=9.2Hz)，1.27-1.05(3H，m)，1.05-0.95(2H，m)19F-NMR(二甲亞砜-d6):S(ppm)-98.0513C-NMR(二甲亞砜-d6):5(ppm)168.82，156.05,134.66，112.36,73.96,50.82,44.47,42.59，36.17,28.32，25.63，24.95MS(ESI(+)譜)[M+Na]+456.0(C,8H2,F2N07S+=433.10)實(shí)施例5通過(guò)混合2.2g的N-羥基-1,8-萘二甲酰亞胺、2.1g碳酸鉀和29g的N，N-二甲基甲酰胺而制備出混合物。在室溫下向該混合物中滴加通過(guò)將3.3g由上述結(jié)構(gòu)式(a)表示的化合物與6g的N,N-二甲基甲酰胺混合而制備的溶液。將得到的混合物在室溫下攪拌3小時(shí)。用去離子水稀釋得到的反應(yīng)混合物，接著用氯仿萃取。用去離子水洗滌得到的有機(jī)層，然后進(jìn)行濃縮。用硅膠層析法純化得到的殘留物，從而得到2,2g由上述結(jié)構(gòu)式(h)表示的化合物，其被稱作B5。'H-NMR(二甲亞砜-(16):5(ppm)8.63-8.58(4H)，7.97-7.94(2H),2.60-2.38(9H)，2.06-1.87(4H)19F-NMR(二甲亞砜-(16):5(ppm)-96.9213C-NMR(二甲亞砜-d6):S(ppm)213.24，159.61,154.81，136.31，132.36,131.74，127.73,126.87，121.42,114.98-110.19(t),86.00,46.57,40.00，39.00，37.20MS(ESI(+)譜)[M+Na]+542.0(C24H,9F2N08S+=519.08)通過(guò)將0.7g的N-羥基-苯基琥珀酰亞胺與2.6g四氫呋喃混合而制備出溶液，向其中加入0.4g的2，6-二甲基吡啶和1.2g由上述結(jié)構(gòu)式(a)表示的化合物。將得到的混合物在室溫下攪拌15小時(shí)。向得到的反應(yīng)混合物中加入飽和的氯化銨水溶液，然后用乙酸乙酯萃取得到的混合物。用去離子水洗滌得到的有機(jī)層，然后減壓濃縮。用硅膠層析法純化得到的殘留物，從而得到0.3g由上述結(jié)構(gòu)式(i)表示的化合物，其被稱作B6。1H-NMR(二甲亞砜-cU):S(ppm)7.54-7.19(5H,m)，4.40(1H，dd,J=10.0Hz,5.0Hz)，3.37(1H,dd,J=18.0Hz,9.0Hz),3.05(2H，dd,J=18.0Hz，5.4Hz)，2.60-2.53(2H,m)，2.40-2.31(7H，m),2.01(2H，d，J=12.5Hz),1.84(2H,d,J=12,9Hz)實(shí)施例6<formula>formulaseeoriginaldocumentpage47</formula>(a)(j)通過(guò)將0.6g的N-羥基高鄰苯二酰亞胺與1.6g的N，N-二甲基甲酰胺混合而制備出溶液，向其中加入0.3g的2，6-二甲基吡啶和1.0g由上述結(jié)構(gòu)式(a)表示的化合物。將得到的混合物在室溫下攪拌15小時(shí)。向得到的反應(yīng)混合物中加入飽和的氯化銨水溶液，然后用乙酸乙酯萃取得到的混合物。用去離子水洗滌得到的有機(jī)層，然后減壓濃縮。用硅膠層析法純化得到的殘留物，從而得到0.3g由上述結(jié)構(gòu)式(j)表示的化合物，其被稱作B7。'H-NMR(二甲亞砜-cU):5(ppm)8.08-7.59(4H,m),4.12(2H，d,J=5.6Hz),2.51-2.46(2H,m)，2.41-2.31(7H，m),1.97(2H,d，J=13.2Hz)，1.83(2H,d，J=9.6Hz)實(shí)施例8<formula>formulaseeoriginaldocumentpage47</formula>通過(guò)將1.0g的N-羥基-5-降冰片烯-2,3-二甲酰亞胺與0.9g的N,N-二甲基甲酰胺混合而制備出溶液，向該溶液中加入0.7g的2，6-二甲基吡啶和4.8g由上述結(jié)構(gòu)式(k)表示的化合物。將得到的混合物在室溫下攪拌18小時(shí)。用硅膠層析法純化得到的反應(yīng)混合物，得到L2g由上述結(jié)構(gòu)式(1)表示的化合物，其被稱作B8。1H-NMR(二甲亞砜-(16):S(ppm)6.08(2H,s),4.53-4.49(1H,m),4,44(2H，t,J=6.3Hz)，3.76-3.65(1H,m)，3.61-3.48(3H,m)，3.46-3.14(5H，m),1.76-1.17(20H，m)實(shí)施例9<formula>formulaseeoriginaldocumentpage47</formula>(1)(m)將1.2g由上述結(jié)構(gòu)式(1)表示的化合物溶于2g甲醇中。向得到的溶液中加入0.02g對(duì)甲苯磺酸一水合物，并且在室溫下將得到的混合物攪拌15小時(shí)。向得到的反應(yīng)混合物中加入10g甲醇和10g庚烷，并且分離出甲醇層。向甲醇層中加入3g去離子水，接著用乙酸乙酯進(jìn)行萃取。洗漆得到的有機(jī)層，減壓濃縮，得到0.8g由上述結(jié)構(gòu)式(m)表示的化合物，其被稱作B9。'H-NMR(二甲亞砜-ds):5(ppm)6.09(2H,s),4.43(2H，t,J=6.4Hz)，3.73-3.47(3H,brm),3.39-3.22(4H,m),1.56(2H，dd，J=20.5Hz，8.9Hz),1.47-1.19(12H，m)實(shí)施例10<formula>formulaseeoriginaldocumentpage48</formula>(m)(n)通過(guò)將0.8g由上述結(jié)構(gòu)式(m)表示的化合物與4g四氫呋喃混合而制備出溶液，向該溶液中加入0.3g的2,6-二甲基吡啶和0.3g甲基丙烯酰氯。將得到的混合物在0°C下攪拌1小時(shí)。用硅膠層析法純化得到的反應(yīng)混合物，得到0.9g由上述結(jié)構(gòu)式(n)表示的化合物，其被稱作BIO。1H-NMR(二甲亞砜-d6):S(ppm)6.08(2H,s),6.02-5.98(1H，m),5.65(1H,t，J=1.6Hz)，4.44(2H,t,J=6.3Hz),4.07(2H，t，J=6.6Hz)，3.55-3.51(2H,m)，3.30-3.25(2H，m)，1.86(3H,s)，1.65-1.20(14H，m)實(shí)施例11<formula>formulaseeoriginaldocumentpage48</formula>(1)將49.3g二氟(氟代磺酰)乙酸和30g的2-羥乙基甲基丙烯酸酯溶于300g二氯乙烷。向得到的溶液中加入少量作為阻聚劑的對(duì)甲氧基苯酚，然后向其中加入0.45g濃硫酸。將得到的混合物在87。C下回流7小時(shí)。將得到的反應(yīng)混合物冷卻至室溫，并且向其中加入300g去離子水和200g氯仿，接著進(jìn)行萃取。用純水洗滌得到的有機(jī)層三次，然后減壓濃縮，得到56.7g由上述結(jié)構(gòu)式(o)表示的化合物。產(chǎn)率84.8%。1H-NMR(二甲亞砜-d6):5(ppm)6.03(1H，d，J=1.5Hz),5.73-5.70(1H,m)，4.77(2H，t，J=4.6Hz)，4.43(2H，t，J=4.6Hz)，1.87(3H,s)19F-NMR(二甲亞砜-(16):S(ppm)-45.03，-99.46MS:M+291.0((:81193068+=2卯.01)(2)將14.7g的N-羥基-1,8-萘二甲酰亞胺和14.3g碳酸鉀溶于180g的N，N-二甲基甲酰胺中。向得到的溶液中加入20.0g由上述結(jié)構(gòu)式(o)表示的化合物，然后也向其中加入少量吡啶和少量作為阻聚劑的對(duì)甲氧基苯酚。將得到的混合物在28至30。C下攪拌2小時(shí)。過(guò)濾得到的反應(yīng)混合物，分離出不溶性物質(zhì)。用300g氯仿洗滌該不溶性物質(zhì)。用500g的1%乙二酸水溶液稀釋濾液，并且用300g氯仿進(jìn)行萃取。用去離子水洗滌得到的有機(jī)層，然后濃縮，得到22.78由上述結(jié)構(gòu)式(p)表示的化合物，其被稱作Bll。產(chǎn)率68.1%。'H-NMR(二甲亞砜-(16):5(ppm)8.60(2H，d，J=7.7Hz),8.30(2H,d,J=8.5Hz)，7.80(2H,t,J=7.7Hz)，6.11(1H，s)，5.53(1H,s),4.79(2H，m)，4.52(2H,m)，1.88(3H，s)19F-NMR(二甲亞砜陽(yáng)d6):5(ppm)-96.44l3C-NMR(二甲亞砜-(16):5(ppm)166.75，159.02，157.04，135.75,132.58，131.73,127.23，127.02，126.44，125.82，121.28，115.30-110.51(t)，66.24,61.26,18.04MS(ESI(+)譜)[M+Na]+506.0(C20H,5F2NO9S=483.04)在下述實(shí)施例中使用的單體是下述單體M1、M2和M3。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage49</formula>實(shí)施例12通過(guò)混合12.3g單體Ml、5.90g單體M2、4.25g單體M3、4.8g的Bl1、0.7g的2，2，-偶氮二異丁腈和45g的1，4-二氧六環(huán)而制備出溶液。向四口燒瓶中加入10g的1，4-二氧六環(huán)，然后加熱至70。C。在72至75。C下向燒瓶中滴加上述溶液，共滴加2小時(shí)。將得到的混合物在72至75°C下加熱5小時(shí)。將反應(yīng)混合物冷卻，然后傾入90%甲醇水溶液中，引起沉淀。分離沉淀物，用甲醇洗滌，然后在40。C下減壓干燥，得到2L2g聚合物，其重均分子量為17,808并且分散度(Mw/Mn)為2.245，產(chǎn)率為77.9%。該聚合物具有下述結(jié)構(gòu)單元。其被稱作B12。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage50</formula>在此，B12的重均分子量是通過(guò)凝膠滲透色譜分析法[裝置HLC-8120GPC類型；柱子TSK-GEL(52000HXL和TSK-GELG4000HXL,其被串聯(lián)起來(lái)；溶劑四氫呋喃；東漕株式會(huì)社制造]進(jìn)行測(cè)量的，使用聚苯乙烯作為標(biāo)準(zhǔn)參考物質(zhì)。樹(shù)脂合成實(shí)施例1將單體Ml、單體M2和單體M3溶于2倍量的全部待使用單體的量的甲基異丁基酮中(單體摩爾比；單體M1:單體M2:單體M3=5:2.5:2.5)。向該溶液中加入2，2'-偶氮二異丁腈作為引發(fā)劑，以所有單體的摩爾含量為基準(zhǔn)，引發(fā)劑的比率為2moin/。。將得到的混合物在80。C下加熱約8小時(shí)。將反應(yīng)溶液傾入大量庚烷中，以引起沉淀。分離沉淀物，并且將其溶于甲基異丁基酮。將得到的溶液傾入大量庚垸中，以引起沉淀。分離沉淀物，并且將其溶于甲基異丁基酮。將得到的溶液傾入大量庚烷中，以引起沉淀。分離沉淀物，并且將其溶于甲基異丁基酮。將得到的溶液傾入大量庚垸中，以引起沉淀。分離沉淀物。結(jié)果得到了重均分子量為約9,200的共聚物。該共聚物具有下述結(jié)構(gòu)單元。其被稱作樹(shù)脂A1。-CH2—C，實(shí)施例13至14和對(duì)照例1<產(chǎn)酸劑><formula>formulaseeoriginaldocumentpage50</formula><猝滅劑>Q1:2，6-二異丙基苯胺<溶劑>Yh丙二醇單甲醚醋酸酯100份2-庚酮20份丙二醇單甲醚40份y-丁內(nèi)酯3.5份混合并溶解下述組分，進(jìn)一步地，通過(guò)孔隙直徑為0,2nm的氟樹(shù)脂過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，制備出抗蝕劑組合物。樹(shù)脂(種類和含量如表1所述)產(chǎn)酸劑(種類和含量如表1所述)猝滅劑(種類和含量如表1所述)溶劑(種類如表1所述)表l<table>tableseeoriginaldocumentpage51</column></row><table>用"ARC-29A-8"(—種有機(jī)抗反射涂層組合物，購(gòu)自日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社)涂敷各個(gè)硅片，然后在205。C下烘烤60秒鐘，從而形成780A厚的有機(jī)抗反射涂層。每種按上述方法制備的抗蝕劑組合物都被旋涂在抗反射涂層上，使得干燥后最終的薄膜厚度變?yōu)?.15nm。將這樣用各個(gè)抗蝕劑液體涂敷的硅片在約105。C的電爐上預(yù)烘干60秒鐘。通過(guò)使用ArF激發(fā)步進(jìn)器(佳能公司制造的"FPA-5000AS3"，NA=0.75，2/3Annular),對(duì)每個(gè)這樣用各個(gè)抗蝕膜形成的晶片進(jìn)行線條和空間圖形曝光，曝光量被逐級(jí)改變。在曝光后，對(duì)每個(gè)晶片在電爐上于105°C下進(jìn)行曝光后焙烤60秒鐘，然后用2.38wt%氫氧化四甲銨的水溶液進(jìn)行槳式顯影15秒鐘。在顯影后用掃描電子顯微鏡("S4100"，日立株式會(huì)社制造)觀察每個(gè)顯影在有機(jī)抗反射涂層基材上的暗區(qū)圖案。結(jié)果如表2所示。在此使用的術(shù)語(yǔ)"暗區(qū)圖案"是指通過(guò)包含鉻底面(遮光部)和在鉻表面中形成、并且彼此對(duì)齊的線性玻璃層(透光部)的標(biāo)線進(jìn)行曝光和顯影而得到的圖案。因此，暗區(qū)圖案是在曝光和顯影之后由圍繞線條和空間圖形的抗蝕劑層殘留在基材上而形成的。分辯率其被表示為在有效靈敏度的曝光量下可通過(guò)線條圖形給出線條圖形裂隙的最小尺寸的空間圖形。圖案輪廓在顯影后在有機(jī)抗反射涂層基材上顯影的每個(gè)圖案，其在有效靈敏度的曝光量下得到。當(dāng)圖案的橫截面形狀是矩形時(shí)，圖案輪廓較好，并且其評(píng)價(jià)被標(biāo)注為"〇"；而當(dāng)圖案的橫截面形狀是錐形時(shí)，圖案輪廓較差，其評(píng)價(jià)被標(biāo)注為"X"。表2實(shí)<table>tableseeoriginaldocumentpage52</column></row><table>實(shí)施例15以及對(duì)照例2和3按照與實(shí)施例13中所述方法相同的方法，制備含有B1的抗蝕劑組合物，該組合物被稱作R1。按照與實(shí)施例13中所述方法相同的方法，制備含有三苯基锍三氟甲垸磺酸鹽的抗蝕劑組合物，該組合物被稱作R2。按照與對(duì)照例1中所述方法相同的方法，制備含有Cl的抗蝕劑組合物，該組合物被稱作R3。產(chǎn)酸劑的可浸出性按如下方法測(cè)量。用抗蝕劑組合物涂敷硅片。將直徑為52.8mm的0形環(huán)放在抗蝕膜上。使用微量注射器將20pL純水傾注在O形環(huán)中的抗蝕膜上。在10秒鐘后，使用微量注射器收集水樣，并且根據(jù)下列條件進(jìn)行分析，以測(cè)量含有收集的水樣的陰離子濃度。結(jié)果如表3所示。<分析條件>裝置液相色譜儀(IIOO型)，AGILENTTECHNOLOGIES有限公司制造，以及質(zhì)譜儀(LC/MSDTOF型)，AGILENTTECHNOLOGIES有限公司制造。柱子SUMIPAXODSA-210MS(5jxmx2.0mm(|)x150mm)洗脫液A:0.05%三氟乙酸水溶液B:0.05%三氟乙酸/乙腈溶液A/B-90/10(0至lmin.)至0/100(16min.)流速0.3ml/min。注射體積100|iL探測(cè)器UV-VIS210、220、254腿離子化模式ESI+、*VCap:4500V質(zhì)譜范圍50至500瞬時(shí)值20,000碎裂電壓(Fragmentor)=Pos:215V負(fù)極(Neg):175V錐孔電壓(Skimmer):60V干燥氣體350°C、13.0L/min.噴霧器(Neb)壓力35psi表3<table>tableseeoriginaldocumentpage53</column></row><table>本發(fā)明的二酰亞胺類化合物具有更好的可浸出性。實(shí)施例16按照與實(shí)施例13相同的方法制備抗蝕劑組合物，不同的是B3被用作產(chǎn)酸劑以代替Bl。按照與實(shí)施例13相同的方法得到了圖案，不同的是使用包含B3的抗蝕劑組合物以代替包含Bl的抗蝕劑組合物。實(shí)施例17按照與實(shí)施例13相同的方法制備抗蝕劑組合物，不同的是B4被用作產(chǎn)酸劑以代替Bl。按照與實(shí)施例13相同的方法得到了圖案，不同的是使用包含B4的抗蝕劑組合物以代替包含B1的抗蝕劑組合物。實(shí)施例18按照與實(shí)施例13相同的方法制備抗蝕劑組合物，不同的是B5被用作產(chǎn)酸劑以代替Bl。按照與實(shí)施例13相同的方法得到了圖案，不同的是使用包含B5的抗蝕劑組合物以代替包含Bl的抗蝕劑組合物。實(shí)施例19按照與實(shí)施例13相同的方法制備抗蝕劑組合物，不同的是B6被用作產(chǎn)酸劑以代替Bl。按照與實(shí)施例13相同的方法得到了圖案，不同的是使用包含B6的抗蝕劑組合物以代替包含B1的抗蝕劑組合物。實(shí)施例20按照與實(shí)施例13相同的方法制備抗蝕劑組合物，不同的是B7被用作產(chǎn)酸劑以代替Bl。按照與實(shí)施例13相同的方法得到了圖案，不同的是使用包含B7的抗蝕劑組合物以代替包含B1的抗蝕劑組合物。實(shí)施例21按照與實(shí)施例13相同的方法制備抗蝕劑組合物，不同的是B8被用作產(chǎn)酸劑以代替Bl。按照與實(shí)施例13相同的方法得到了圖案，不同的是使用包含B8的抗蝕劑組合物以代替包含B1的抗蝕劑組合物。實(shí)施例22按照與實(shí)施例13相同的方法制備抗蝕劑組合物，不同的是B9被用作產(chǎn)酸劑以代替Bl。按照與實(shí)施例13相同的方法得到了圖案，不同的是使用包含B9的抗蝕劑組合物以代替包含B1的抗蝕劑組合物。實(shí)施例23和對(duì)照例4<樹(shù)脂>B12、Al<產(chǎn)酸劑>Cl<猝滅劑>Ql:2，6-二異丙基苯胺<溶劑>Y2:丙二醇單甲醚醋酸酯90份丙二醇單甲醚130份Y-丁內(nèi)酯5.0份混合并溶解下述組分，進(jìn)一步地，通過(guò)孔隙直徑為0.2nm的氟樹(shù)脂過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，制備出抗蝕劑組合物。樹(shù)脂(種類和含量如表4所述)產(chǎn)酸劑(種類和含量如表4所述)猝滅劑(種類和含量如表4所述)溶劑(種類如表4所述)<table>tableseeoriginaldocumentpage55</column></row><table>用"ARC-29A-8"(—種有機(jī)抗反射涂層組合物，購(gòu)自日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社)涂敷各個(gè)硅片，然后在205。C下烘烤60秒鐘，從而形成780A厚的有機(jī)抗反射涂層。每種按上述方法制備的抗蝕劑組合物都被旋涂在抗反射涂層上，使得干燥后最終的薄膜厚度變?yōu)?.15nm。將這樣用各個(gè)抗蝕劑液體涂敷的硅片在接近105°(:的電爐上預(yù)烘干60秒鐘。通過(guò)使用ArF激發(fā)步進(jìn)器(佳能公司制造的"FPA-5000AS3"，NA=0.75，2/3Annular),對(duì)每個(gè)這樣用各個(gè)抗蝕膜形成的晶片進(jìn)行線條和空間圖形曝光，曝光量被逐級(jí)改變。在曝光后，對(duì)每個(gè)晶片在電爐上于105°C下進(jìn)行曝光后焙烤60秒鐘，然后用2.38wt%氫氧化四甲銨的水溶液進(jìn)行槳式顯影15秒鐘。在顯影后用掃描電子顯微鏡("S4100",日立株式會(huì)社制造)觀察每個(gè)顯影在有機(jī)抗反射涂層基材上的暗區(qū)圖案。結(jié)果如表5所示。在此使用的術(shù)語(yǔ)"暗區(qū)圖案"是指通過(guò)包含鉻底面(遮光部)和在鉻表面中形成、并且彼此對(duì)齊的線性玻璃層(透光部)的標(biāo)線進(jìn)行曝光和顯影而得到的圖案。因此，暗區(qū)圖案是在曝光和顯影之后由圍繞線條和空間圖形的抗蝕劑層殘留在基材上而形成的。圖案輪廓在顯影后在有機(jī)抗反射涂層基材上顯影的每個(gè)圖案，其在有效靈敏度的曝光量下得到。當(dāng)圖案的上表面或側(cè)壁表面比對(duì)照例4更平滑時(shí)，圖案輪廓較好，并且其評(píng)價(jià)被標(biāo)注為"〇"；當(dāng)圖案的上表面或側(cè)壁表面與對(duì)照例4相似時(shí)，圖案輪廓正常，并且其評(píng)價(jià)被標(biāo)注為"△";而當(dāng)圖案上表面或側(cè)壁表面比對(duì)照例4粗糙時(shí)，圖案輪廓較差，并且其評(píng)價(jià)被標(biāo)注為"X"。<table>tableseeoriginaldocumentpage55</column></row><table>本發(fā)明的二酰亞胺類化合物和本發(fā)明的聚合物是新穎的，并且可用作產(chǎn)酸劑。包含本發(fā)明二酰亞胺類化合物或本發(fā)明的聚合物的本發(fā)明組合物可以提供具有較好圖案輪廓的抗蝕圖形，尤其適合于ArF準(zhǔn)分子激光器光刻技術(shù)、KrF準(zhǔn)分子激光器光刻技術(shù)和ArF浸沒(méi)式光刻技術(shù)。權(quán)利要求1.一種由結(jié)構(gòu)式(I)表示的二酰亞胺類化合物其中，R1代表C1-C20脂肪烴基、C5-C10芳基或C6-C20芳烷基，并且所述C1-C20脂肪烴基、所述C5-C10芳基和所述C6-C20芳烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子；W1代表-CO-O-、-O-CO-、-CH2O-、-O-CH2-、-CH2O-CO-或-CO-OCH2-；Q1和Q2各自獨(dú)立地代表氫原子、氟原子、C1-C6烷基或C1-C6全氟代烷基；并且A代表由結(jié)構(gòu)式(I-1)表示的基團(tuán)其中，A1代表-CH2-CH2-、-CH2-CH2-CH2-、-CH＝CH-或-CH＝CH-CH2-，其中一個(gè)以上氫原子可以用C1-C6脂肪烴基、C3-C12脂環(huán)烴基或C6-C10芳烴基取代，并且相鄰取代基可以彼此成鍵從而形成環(huán)，并且所述C1-C6脂肪烴基、所述C3-C12脂環(huán)烴基和所述C6-C10芳烴基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。2.如權(quán)利要求1所述的二酰亞胺類化合物，其特征在于，(^和Cp各自獨(dú)立地代表氟原子或三氟代甲基。3.如權(quán)利要求1所述的二酰亞胺類化合物，其特征在于，Q'和C^是氟原子。4.如權(quán)利要求1所述的二酰亞胺類化合物，其特征在于，R'是用丙烯?；趸蚣谆；趸〈腃1-C20烴基，并且所述C1-C20烴基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子。5.如權(quán)利要求1所述的二酰亞胺類化合物，其特征在于，R'是可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子的C3-C20脂環(huán)烴基。6.如權(quán)利要求1所述的二酰亞胺類化合物，其特征在于，所述由結(jié)構(gòu)式(I)表示的化合物是由結(jié)構(gòu)式(III)、(IV)、<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(V)、(VI)或(VII)表示的化合物:<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>其中，！^至Ue各自獨(dú)立地代表氫原子、C1-C4烴基或C1-C4烴氧基，并且R1、W1、Q1和Q2的意義與如上限定的意義相同。7.—種聚合物，其包含由如權(quán)利要求4所述的二酰亞胺類化合物衍生的結(jié)構(gòu)單元。8.如權(quán)利要求7所述的聚合物，其特征在于，除了所述由如權(quán)利要求4所述的二酰亞胺類化合物衍生的結(jié)構(gòu)單元之外，所述聚合物還包含具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元。物'9.一種化學(xué)增幅抗蝕劑組合物，其包含樹(shù)脂和如權(quán)利要求1所述的二酰亞胺類化合10.—種化學(xué)增幅抗蝕劑組合物，其包含樹(shù)脂和如權(quán)利要求7所述的聚合物。11.如權(quán)利要求9或10所述的化學(xué)增幅抗蝕劑組合物，其特征在于，所述樹(shù)脂是這樣一種樹(shù)脂其包含具有酸不穩(wěn)定性基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元，并且不溶于或微溶于堿性水溶液，但是在酸的作用下變得可溶于堿性水溶液。12.如權(quán)利要求9或10所述的化學(xué)增幅抗蝕劑組合物，其特征在于，所述樹(shù)脂進(jìn)一步含有其他的產(chǎn)酸劑。13.—種用于生產(chǎn)由結(jié)構(gòu)式(I)表示的二酰亞胺類化合物的方法<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>其中，R1代表C1-C20脂肪烴基、C5-C10芳基或C6-C20芳烷基，并且所述C1-C20脂肪烴基、所述C5-C10芳基和所述C6-C20芳烷基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子；W'代表-CO-0-、-O-CO-、-CH20-、-Q-CH2-、-(^20-0)-或-(:0-0012-;Q'和(^各自獨(dú)立地代表氫原子、氟原子、C1-C6烷基或C1-C6全氟代烷基；并且A代表由結(jié)構(gòu)式(1-1)表示的基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中，A'代表-CH2-CH2-、-CH2-CH2-CH2-、-01=0^或-(:11=(:11-012-，其中一個(gè)以上氫原子可以用Cl-C6脂肪烴基、C3-C12脂環(huán)烴基或C6-C10芳烴基取代，并且相鄰取代基可以彼此成鍵從而形成環(huán)，并且所述Cl-C6脂肪烴基、所述C3-C12脂環(huán)烴基和所述C6-C10芳烴基可以具有一個(gè)以上取代基和一個(gè)以上雜原子，所述方法包括在堿存在的條件下，使由結(jié)構(gòu)式(vm)表示的化合物與由結(jié)構(gòu)式(ix)表示的化合物進(jìn)行反應(yīng)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中，結(jié)構(gòu)式(VIII)中，A的意義與如上限定的意義相同；結(jié)構(gòu)式(IX)中，R1、W1、Q'和(^的意義與如上限定的意義相同，并且L代表鹵素原子。全文摘要一種由結(jié)構(gòu)式(I)表示的二酰亞胺類化合物，其中，R¹代表C1-C20脂肪烴基等；W¹代表-CO-O-等，Q¹和Q²各自獨(dú)立地代表氟原子等；并且A代表由結(jié)構(gòu)式(I-1)表示的基團(tuán)，其中，A¹代表-CH₂-CH₂-等，本發(fā)明還公開(kāi)了含有該化合物的化學(xué)增幅抗蝕劑組合物。文檔編號(hào)C07D221/00GK101638388SQ200910164949公開(kāi)日2010年2月3日申請(qǐng)日期2009年7月27日優(yōu)先權(quán)日2008年7月30日發(fā)明者增山達(dá)郎,平岡崇志,武元一樹(shù)申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社