技術(shù)編號(hào)：3534148
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種二酰亞胺類化合物、以及每含該化合物的化學(xué)增幅抗蝕劑組合物。背景技術(shù)JP 2007-72214 Al公開了由下述結(jié)構(gòu)式表示的化合物，其被用作產(chǎn)酸劑。 <formula>formula see original document page 5</formula>發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種新穎的二酰亞胺類化合物、以及包含該化合物的化學(xué)增幅 抗蝕劑組合物。本發(fā)明涉及下述內(nèi)容<1>由結(jié)構(gòu)式(I)表示的二酰亞胺類...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。