專(zhuān)利名稱(chēng)：正向光界定多聚羧酸酚醛和熱固化樹(shù)脂組合物的制作方法
背景技術(shù)：
印刷線(xiàn)路板(PWB)應(yīng)用于整個(gè)電子行業(yè)。為電子元件提供電路連接同時(shí)，印刷線(xiàn)路板還用于固定和保護(hù)電子元件。
元件微型化及其特點(diǎn)將定型電子行業(yè)的未來(lái)發(fā)展。消費(fèi)者對(duì)更小巧、更輕便電子產(chǎn)品的需求，導(dǎo)致了產(chǎn)品生產(chǎn)者需要功能集成水平不斷增強(qiáng)的小型半導(dǎo)體插件。這樣更小型、更密集、高集成化的插件需要單位板面積具有大量互連通路的印刷線(xiàn)路板。使用多層印刷線(xiàn)路板，能夠?qū)崿F(xiàn)支持高集成插件的高密度互連(HDI)，其中多層線(xiàn)路被層壓在多層板中。對(duì)于封裝電子元件，與常規(guī)雙面板相比，這種類(lèi)型的線(xiàn)路板在單位面積上提供了更具潛力的互接。
不斷增長(zhǎng)的多層板內(nèi)互連密度需要穿過(guò)線(xiàn)路板電介質(zhì)聚合物層的通路，此通路連接到印刷在線(xiàn)路板各層的導(dǎo)電圖上。該通路應(yīng)小于經(jīng)濟(jì)上傳統(tǒng)機(jī)械穿孔所能達(dá)到的水平。比傳統(tǒng)機(jī)械鉆孔所能達(dá)到的水平更小的通路被稱(chēng)為“微通路”。線(xiàn)路板生產(chǎn)商應(yīng)用下列四種技術(shù)制造微通路樹(shù)脂涂箔(resin coated foil)、激光消融、等離子加工(plasma machining)、光界定電介質(zhì)材料。
光界定電介質(zhì)化學(xué)性質(zhì)以正向作用或負(fù)向作用分類(lèi)。正向作用的化學(xué)性質(zhì)可溶于紫外線(xiàn)曝光后的顯影劑腐蝕。相反，紫外線(xiàn)曝光后，負(fù)向作用的化學(xué)性質(zhì)不具有可溶性。當(dāng)前市場(chǎng)中，印刷線(xiàn)路板的生產(chǎn)普遍使用負(fù)向作用的光界定電介質(zhì)材料。正向作用的感光性樹(shù)脂的優(yōu)點(diǎn)是，其可以自然形成“V”型(形狀)通路，由于薄膜頂端接受了大于穿透薄膜底部的紫外線(xiàn)照射量，因此，薄膜頂部具有稍強(qiáng)的溶解性。為了實(shí)現(xiàn)有效的金屬化，V型通路是人們所期望的。
正向作用的聚合材料產(chǎn)生了更高的溶解度，因?yàn)榕c負(fù)向作用的聚合材料不同，在顯影過(guò)程中正向作用的聚合物不溶脹。在印刷線(xiàn)路板的應(yīng)用中，從負(fù)向作用的光界定電介質(zhì)材料轉(zhuǎn)向使用正向作用的光界定電介質(zhì)材料，能夠增加線(xiàn)路板的產(chǎn)量。因此，從理論上講，線(xiàn)路板生產(chǎn)者會(huì)優(yōu)選正向作用的光界定電介質(zhì)材料。然而，人們嘗試著生產(chǎn)正向作用的光界定產(chǎn)品，通常受到問(wèn)題的困擾，如曝光后顯影過(guò)程中電介質(zhì)層過(guò)量的厚度損失、和/或在紫外線(xiàn)曝光步驟中曝光的高能量要求。
發(fā)明概述本發(fā)明正向作用的光界定電介質(zhì)組合物含有堿顯影的多聚羧酸樹(shù)脂和酚醛樹(shù)脂。多聚羧酸樹(shù)脂含有至少下列的一種成分充分酯化或水解的馬來(lái)酸酐與苯乙烯的共聚物、丙烯酸聚合物或其共聚物、甲基丙烯酸聚合物或其共聚物。正向作用的光界定電介質(zhì)組合物還含有堿顯影的酚醛樹(shù)脂、熱固化樹(shù)脂、和感光化合物。
生產(chǎn)印刷線(xiàn)路板是通過(guò)，先用導(dǎo)電層(例如，銅層)層壓基底；接著，在導(dǎo)電層上覆蓋正向作用的光界定電介質(zhì)組合物；隨后，曝光光界定的電介質(zhì)組合物，諸如紫外線(xiàn)曝光，增強(qiáng)電介質(zhì)組合物在堿性溶液中的溶解度。此后，當(dāng)暴露于顯影劑溶液中，光界定電介質(zhì)組合物的曝光部分會(huì)迅速溶解，而未曝光部分基本不溶于顯影劑溶液。通過(guò)無(wú)電源和電解電鍍處理，導(dǎo)電材料(例如，以金屬電鍍形式)會(huì)沉積在電介質(zhì)層上。
本發(fā)明正向作用的光界定電介質(zhì)組合物具有多種優(yōu)點(diǎn)。第一、多聚羧酸樹(shù)脂與酚醛樹(shù)脂組合產(chǎn)生了易于加工的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，其最終涂層的特殊性質(zhì)可以通過(guò)改變兩種樹(shù)脂的比例調(diào)節(jié)。例如，增加多聚羧酸樹(shù)脂的比例，能夠增強(qiáng)此組合物的顯影性；而增加酚醛樹(shù)脂的比例，將改善對(duì)組合物表面損失的控制。第二、組合物能夠產(chǎn)生更高的溶解度，因?yàn)樵陲@影過(guò)程中該組合物不產(chǎn)生溶脹。第三、用本發(fā)明正向作用的光界定電介質(zhì)組合物生成的薄膜具有大約160℃(320°F)的玻璃態(tài)轉(zhuǎn)化溫度，其可以使薄膜耐受印刷線(xiàn)路板的常規(guī)處理與加工條件。第四、本發(fā)明正向作用的光界定電介質(zhì)組合物能夠鍍銅，產(chǎn)生以高剝離強(qiáng)度結(jié)合的涂層。
附圖
簡(jiǎn)述本圖是多層印刷線(xiàn)路板的剖面圖形，該多層印刷線(xiàn)路板帶有穿透正向作用的光界定電介質(zhì)層的通道。本圖沒(méi)有定量說(shuō)明。
發(fā)明詳述本發(fā)明正向作用的光界定電介質(zhì)組合物含有下列四種成分堿顯影的多聚羧酸樹(shù)脂、堿顯影的酚醛樹(shù)脂、熱固化樹(shù)脂、和感光化合物。該組合物可特別用于生成電介質(zhì)層，特別是在光刻和顯影過(guò)程中曝光并被去除的特別區(qū)域。
堿顯影的多聚羧酸樹(shù)脂包括，充分酯化或水解的馬來(lái)酸酐與苯乙烯的共聚物、丙烯酸聚合物或其共聚物、和/或甲基丙烯酸聚合物或其共聚物。文中所用名詞，“充分酯化”或“充分水解”指的是共聚物中大部分的酸酐官能團(tuán)都已經(jīng)轉(zhuǎn)化為羧酸基團(tuán)或羧酸加酯基團(tuán)。相應(yīng)地，共聚體中酸酐基團(tuán)的剩余量小于10％。由于在粘合干燥過(guò)程中，酸酐與酚醛樹(shù)脂的羥基發(fā)生反應(yīng)，因此，本發(fā)明組合物中存在大量酸酐會(huì)干擾顯影過(guò)程。依照本發(fā)明使用的堿顯影多聚羧酸樹(shù)脂的具體實(shí)例有低分子量的苯乙烯與丙烯酸的共聚物，諸如來(lái)自BF Goodrich Specialty Chemicals(Cleveland，Ohio)的聚合物CARBOSET GA-1160、GA-1161、GA-1162和GA-2299。
酚醛樹(shù)脂，諸如酚醛清漆樹(shù)脂(例如，來(lái)自Diversitec公司的酚醛清漆樹(shù)脂P-4)，也與多聚羧酸樹(shù)脂結(jié)合使用，作為可顯影樹(shù)脂。作為電介質(zhì)層沉淀并且經(jīng)過(guò)紫外線(xiàn)曝光后，感光化合物在顯影劑中的性質(zhì)由不溶性轉(zhuǎn)變?yōu)榭扇苄裕虼嗽黾恿穗娊橘|(zhì)層曝光區(qū)域的可溶性，從而產(chǎn)生了電介質(zhì)層曝光區(qū)域與非曝光區(qū)域各自溶解度的實(shí)質(zhì)性差別。
用于該組合物的感光化合物包括帶有鄰苯醌二疊氮基團(tuán)的正向作用的任何感光劑。該化合物有1，2-萘醌-2-二疊氮基-5-磺?；然?、苯酚的酯及其衍生物、苯酚聚合物及其類(lèi)似物。特別是，可以使用二羥基二苯甲酮的酯，諸如Diversitec公司(FortCollins，Colorado，USA)的2，4-二羥基二苯甲酮的2-重氮基-1-萘酚-5-磺基酯。人們認(rèn)為，感光化合物(例如，重氮萘醌(DNQ)化合物)發(fā)揮作用，增加了曝光區(qū)域涂層的溶解度，降低了非曝光區(qū)域的溶解度。然而，通常非曝光區(qū)域的溶解速率不為零，因此，在顯影過(guò)程中，電介質(zhì)層的非曝光區(qū)域的厚度會(huì)稍微變薄，但是，它變薄的速率遠(yuǎn)低于曝光區(qū)域的速率。人們期望盡可能少地降低非曝光區(qū)域的厚度。本發(fā)明組合物在非曝光區(qū)域中厚度減少低于10％。
熱固化樹(shù)脂可以是環(huán)氧樹(shù)脂；典型的環(huán)氧樹(shù)脂有芳香族的縮水甘油基醚、脂肪族的縮水甘油基醚、至少含有二縮水甘油基醚官能團(tuán)的其它樹(shù)脂及其混合物。特別適合的環(huán)氧樹(shù)脂包括，每分子含有兩個(gè)或更多官能團(tuán)的芳香族和脂肪族的縮水甘油基樹(shù)脂，諸如酚醛環(huán)氧樹(shù)脂。在熱固化(后期)過(guò)程中，熱固化樹(shù)脂可以與酚醛樹(shù)脂和多聚羧酸樹(shù)脂反應(yīng)，生成擴(kuò)展的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。此外，可以加入固化催化劑，諸如氨樹(shù)酯(例如，來(lái)自Cytec工業(yè)公司(West Paterson，New Jersey，USA)的CYMEL 300，301等樹(shù)脂)，和催化劑，諸如CYCAT4040(來(lái)自Cytec公司)，以促進(jìn)固化。
正向作用的光界定電介質(zhì)組合物可以另外含有其它成分，諸如填料組合物，例如來(lái)自W.R Grace & Co.，Davison化學(xué)部(Columbia，Maryland，USA)的SYLOID 74硅填料、和/或來(lái)自ALCOA World Chemicals(Bauxite，Arkansas，USA)的HYDRAL710氧化鋁填料；消泡劑，諸如來(lái)自Toshiba硅氧烷公司(Tokyo，Japan)的TSA750硅氧烷；非水溶劑，諸如甲乙酮、乙酸2-乙基丁酯、二丙二醇甲基醚(DPM)、丙二醇甲基醚乙酸酯(PMA)、和/或二丙二醇甲基醚乙酸酯(DPMA)。
在正向作用的光界定電介質(zhì)組合物中，上述成分適合的濃度范圍如下5％-50％多聚羧酸樹(shù)脂、5％-30％酚醛樹(shù)脂、20％-70％熱固化樹(shù)脂、5％-20％感光化合物、0％-15％填料、1％-3％消泡劑、和30％-70％非水溶劑。在特別實(shí)施例中，這些成分的濃度范圍如下5％-30％多聚羧酸樹(shù)脂、5％-20％酚醛樹(shù)脂、30％-50％熱固化樹(shù)脂、10％-15％感光化合物、3％-6％填料、1.5％-2％消泡劑、和40％-50％非水溶劑。
可加入此組合物的其它成分有偶合劑，諸如3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷、和/或三甲氧基[2-(7-氧雜雙環(huán)[4.1.0]庚-3-基)乙基]硅烷；感光酸生成劑，諸如MP-三嗪或TME-三嗪；和/或翁鹽基團(tuán)酸生成劑，諸如二-(對(duì)三丁苯基)碘三氟甲基磺酸酯。
正向作用的光界定電介質(zhì)組合物12以液態(tài)形式涂布銅層14，該銅層14覆蓋在環(huán)氧玻璃態(tài)層疊基底16上。在附圖中，圖解說(shuō)明了由此三層組成的印刷線(xiàn)路板產(chǎn)品10。按照常規(guī)涂層工藝涂布電介質(zhì)組合物，諸如絲網(wǎng)印刷、幕式淋涂、噴涂等。在大約160°F(71℃)對(duì)流通風(fēng)的恒溫箱、或相似的干燥設(shè)備中，達(dá)到自由粘合的條件，加熱電介質(zhì)層去除溶劑。接著，通過(guò)曝光裝置，使線(xiàn)路板圖形曝光，其中500-700毫焦耳/平方厘米的紫外線(xiàn)穿過(guò)模板，照射到線(xiàn)路板上。模板確定了對(duì)應(yīng)正向作用的光界定電介質(zhì)層去除區(qū)域的孔隙。
將堿性顯影劑噴涂到經(jīng)曝光的電介質(zhì)層上，或?qū)⒔?jīng)其浸入堿顯影劑中。堿顯影劑的pH值范圍是12-14，其溶解、從而去除了電介質(zhì)層的曝光區(qū)域。顯影劑的實(shí)例有碳酸鈉、氫氧化鈉、或兩者的混合物。
然后，在150-200℃恒溫箱中加熱經(jīng)曝光的線(xiàn)路板1-2小時(shí)，進(jìn)一步交聯(lián)電介質(zhì)層，達(dá)到成品印刷線(xiàn)路板有效功能所需的物理和機(jī)械特性。接著，用導(dǎo)電材料(諸如銅)電鍍線(xiàn)路板，生成延伸到下面導(dǎo)電層的通路18(電介質(zhì)被去除的區(qū)域)。該通路18為銅層14與20提供了互連通路。
實(shí)施例實(shí)施例1制備由下列成分組成的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物
按照下列步驟制備多聚羧酸樹(shù)脂。首先，將303克SMA1000[來(lái)自ATOFINA Chemicals(以前稱(chēng)為E1f Atochem)ofPhiladelphia，Pennsylvania的馬來(lái)酸酐與苯乙烯共聚物]混合到305克乙酸2-乙基丁酯中。100℃下加熱并攪拌此混合物2小時(shí)。然后，將含有0.66克乙酸鋰的24克水加入SMA1000溶液。100℃下連續(xù)攪拌24小時(shí)。接著，將此混合物的溫度調(diào)節(jié)到70℃，再將20克甲醇加入混合物。連續(xù)攪拌過(guò)夜，并使用傅里葉變換紅外儀(FTIR)，測(cè)定按照此過(guò)程產(chǎn)生的樣品，顯示了大部分酸酐基團(tuán)被水解或酯化。
將上述組分加入混合容器，在帶有鋒利槳式攪拌器的容器中以300轉(zhuǎn)/每分鐘(rpm)攪拌。為了獲得最佳的分散效果，將混合物通過(guò)三輥滾壓機(jī)。將經(jīng)滾壓的電介質(zhì)組合物絲網(wǎng)印刷到覆銅的玻璃態(tài)基底上，生成厚度1.1密爾(0.028毫米)的第一涂層。第一涂層在160°F(71℃)下粘合干燥20分鐘。然后，將第二涂層的電介質(zhì)組合物絲網(wǎng)印刷到第一涂層表面，在160°F(71℃)下粘合干燥40分鐘。第二涂層厚度是1.2密爾(0.030毫米)，因此生成兩涂層的疊加厚度為2.3密爾(0.058毫米)。
將電介質(zhì)組合物覆蓋在覆銅基底上并干燥后，將此線(xiàn)路板放置在曝光裝置下，暴露于700毫焦/平方厘米的紫外線(xiàn)照射。曝光后，此線(xiàn)路板在含有1.5重量百分比氫氧化鈉水溶液中顯影2分鐘，接著用去離子水清洗1分鐘。人們發(fā)現(xiàn)，在顯影過(guò)程中，電介質(zhì)層的非曝光區(qū)域厚度損失小于5％，同時(shí)曝光區(qū)域被完全清除，從而顯露出下面的銅覆層。
此線(xiàn)路板經(jīng)過(guò)預(yù)固化步驟，將線(xiàn)路板在180°F(82℃)下加熱1小時(shí)，然后在200°F(93℃)下加熱1小時(shí)，在310°F(154℃)下加熱2小時(shí)。接著，此線(xiàn)路板經(jīng)過(guò)表面處理(或“desmear處理”)，清洗并粗糙化線(xiàn)路板表面，然后如下所述，進(jìn)行無(wú)電源電鍍和銅電解電鍍。
在表面處理過(guò)程中，將線(xiàn)路板按下列順序浸入下列組合物，并循環(huán)兩次(1)在175°F(79℃)下，浸入ENVISION MLB-497高錳酸鹽氧化劑5分鐘后，再在去離子水中清洗5分鐘；(2)在150°F(66℃)下，浸入ENVISION MLB-791中和劑2分鐘，去除錳酸鹽殘?jiān)?，再在去離子水中清洗5分鐘。
完成表面處理后，開(kāi)始將線(xiàn)路板金屬化，按照下列順序?qū)⒕€(xiàn)路板浸入下列組合物中。
(1)在120°F(49℃)下，浸入ENVISION調(diào)節(jié)劑PPD-9201中10分鐘，再用去離子水清洗5分鐘；(2)在92°F(33℃)下，浸入ENPLATE AD-485溫和蝕刻溶液1分鐘，去除微粗糙，再用去離子水清洗1分鐘；(3)浸入10％體積比的硫酸溶液1分鐘，再用去離子水清洗1分鐘；(4)浸入ENPLATE PC-236酸性活化劑1分鐘；(5)在90°F(32℃)下，浸入ENPLATE活化劑444鈀催化劑5分鐘，再用去離子水清洗5分鐘；(6)在室溫下，浸入ENPLATE PA493后活化劑3分鐘，再用去離子水清洗2分鐘；(7)在90°F(32℃)下，浸入無(wú)電源鍍銅溶液ENPLATE CU-406中30分鐘；
金屬化處理后，在310°F(154℃)下將經(jīng)鍍銅的線(xiàn)路板后期固化20分鐘。在銅鍍層與電介質(zhì)層之間，鍍銅成功的線(xiàn)路板表現(xiàn)出4.0磅/平方英寸(28千帕)的剝離強(qiáng)度。
每個(gè)上述的ENVISION和ENPLATE產(chǎn)品均由Enthone-OMI公司(New Haven，Connecticut，USA)商業(yè)提供。
實(shí)施例2制備由下列成分組成的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物
如實(shí)施例1中所述，混合、絲網(wǎng)印刷并曝光此電介質(zhì)組合物。然后，在1.5重量百分比NaOH溶液中顯影此電介質(zhì)組合物2分鐘，再用去離子水清洗1分鐘。人們發(fā)現(xiàn)，在顯影過(guò)程中，電介質(zhì)層的未曝光區(qū)域損失5％厚度，曝光區(qū)域被完全清除，從而顯露出下面的銅覆層。
將電介質(zhì)層顯影后，在180°F(82℃)下，預(yù)固化此線(xiàn)路板1.5小時(shí)后，在200°F(95℃)下固化2小時(shí)，再在310°F(154℃)下固化2小時(shí)。如實(shí)施例1所述，對(duì)此線(xiàn)路板進(jìn)行desmear加工，并鍍銅。鍍銅后，在310°F(154℃)下后期固化此線(xiàn)路板20分鐘。在銅層與電介質(zhì)層之間，成功的銅鍍層具有4.9-5.0磅/平方英寸(34-35千帕)的剝離強(qiáng)度。
由于實(shí)施方案對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了具體的說(shuō)明與描述，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解的是，在不脫離所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明范圍內(nèi)，可以做出形式與細(xì)節(jié)上的各種變化。
權(quán)利要求
1.一種正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，其中含有(a)堿顯影的多聚羧酸樹(shù)脂，其中含有至少下列的一種成份(1)充分酯化或水解的馬來(lái)酸酐與苯乙烯的共聚物；(2)丙烯酸聚合物或其共聚物；(3)甲基丙烯酸聚合物或其共聚物；(b)堿顯影的酚醛樹(shù)脂；(c)熱固化樹(shù)脂(d)感光化合物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，其中還含有填料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，還含有消泡劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，還含有非水溶劑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，其中熱固化樹(shù)脂是環(huán)氧樹(shù)脂。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，其中熱固化樹(shù)脂含有至少下列的一種成分芳香族的縮水甘油基醚；脂肪族的縮水甘油基醚；和至少含有二縮水甘油基醚基團(tuán)的其它成分。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，其中感光化合物是帶有鄰苯醌二疊氮基團(tuán)的正向作用的感光劑。
8.根據(jù)權(quán)利要求7的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，其中感光劑含有重氮萘醌化合物。
9.根據(jù)權(quán)利要求7的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，其中感光化合物含有二羥基苯酮酯。
10.一種多層印刷線(xiàn)路板，其中包括A)基底；B)覆蓋在基底上的導(dǎo)電層；C)覆蓋在導(dǎo)電層上的正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，該電介質(zhì)組合物含有(1)堿顯影的多聚羧酸樹(shù)脂，其中至少含有下列的一種成份(a)充分酯化或水解的馬來(lái)酸酐與苯乙烯的共聚物；(b)丙烯酸聚合物或其共聚物；(c)甲基丙烯酸聚合物或其共聚物；(2)堿顯影的酚醛樹(shù)脂；(3)熱固化樹(shù)脂；(4)感光化合物。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的多層印刷線(xiàn)路板，其中導(dǎo)電層含有銅。
12.根據(jù)權(quán)利要求10的多層印刷線(xiàn)路板，其中感光化合物是帶有鄰苯醌二疊氮基團(tuán)的正向作用的感光劑。
13.一種生產(chǎn)印刷線(xiàn)路板的方法，包括下列步驟先用導(dǎo)電層覆蓋基底；再用正向作用的光界定電介質(zhì)組合物覆蓋導(dǎo)電層，該電介質(zhì)組合物含有，堿顯影的多聚羧酸樹(shù)脂，其中含有至少下列的一種成份充分酯化或水解的馬來(lái)酸酐與苯乙烯共聚物、丙烯酸聚合物或其共聚物、甲基丙烯酸聚合物或其共聚物；堿顯影的酚醛樹(shù)脂；熱固化樹(shù)脂；和感光化合物。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的方法，還包括曝光光界定電介質(zhì)組合物的步驟。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的方法，其中曝光是采用紫外線(xiàn)曝光。
16.根據(jù)權(quán)利要求13的方法，還包括對(duì)光界定電介質(zhì)組合物使用顯影劑組合物的步驟，該顯影劑組合物選擇性地去除了光界定電介質(zhì)組合物的曝光區(qū)域。
17.根據(jù)權(quán)利要求16的方法，還包括對(duì)經(jīng)曝光電介質(zhì)組合物的去除區(qū)域使用導(dǎo)電組合物的步驟。
全文摘要
一種正向作用的光界定電介質(zhì)組合物，在曝光后的顯影過(guò)程中具有最小的厚度損失，并/或在固化過(guò)程中減少了紫外線(xiàn)的曝光量，其中含有(a)堿顯影的多聚羧酸樹(shù)脂，選自(1)酯化或水解的馬來(lái)酸酐－苯乙烯的共聚物、(2)丙烯酸聚合物或其共聚物、或(3)(甲基)丙烯酸聚合物或其共聚物，(b)堿顯影的酚醛樹(shù)脂，(c)熱固化樹(shù)脂、諸如環(huán)氧樹(shù)脂，和(d)感光化合物。
文檔編號(hào)C08L33/02GK1500119SQ02807359
公開(kāi)日2004年5月26日 申請(qǐng)日期2002年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月26日
發(fā)明者孫沈良, 林寅年 申請(qǐng)人:音思萬(wàn)有限公司