技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提出一種拋光頭，該拋光頭包括基板、驅(qū)動(dòng)件、上浮動(dòng)件、下浮動(dòng)件、傳動(dòng)件，以及吸附件，其中，驅(qū)動(dòng)件包括：第一連接端，和第一傳動(dòng)端；上浮動(dòng)件包括：第二連接端和上浮動(dòng)端，第二連接端與第一連接端同軸心固定相連，上浮動(dòng)端為凹球面或者凹圓錐面；下浮動(dòng)件包括：下浮動(dòng)端和第三連接端，下浮動(dòng)端為凸球面；下浮動(dòng)端的凸球面與上浮動(dòng)端的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，且上浮動(dòng)件與下浮動(dòng)件之間進(jìn)行浮動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心不高于工件的拋光表面。通過本發(fā)明能夠減小接觸點(diǎn)變形，減少工件與拋光盤間的偏擺，彌補(bǔ)拋光頭與拋光盤之間的平行度誤差，使工件貼合在拋光盤表面，且提升拋光效果。

技術(shù)研發(fā)人員：許振杰;鄭家旺;路新春;沈攀
受保護(hù)的技術(shù)使用者：天津華海清科機(jī)電科技有限公司;清華大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710117233
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.01
技術(shù)公布日：2017.06.27