本發(fā)明涉及一種拋光頭。

背景技術：

相關技術中，拋光頭設計有浮動結構，在常見的化學機械拋光機的拋光頭，其浮動結構的轉動中心高于工件的拋光表面。

這種方式下，工件拋光表面與拋光盤之間的摩擦力，使得拋光頭向拋光盤轉動方向翹起，導致工件邊緣拋光速率快，工件表面平面度差，拋光效果不佳。

技術實現要素：

本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。

為此，本發(fā)明的目的在于提出一種拋光頭，能夠減小接觸點變形，減少工件與拋光盤之間的偏擺，彌補拋光頭與拋光盤之間的平行度誤差，使工件貼合在拋光盤表面，且提升拋光效果。

為達到上述目的，本發(fā)明實施例提出的拋光頭，包括：基板、驅動件、上浮動件、下浮動件、傳動件，以及吸附件，其中，所述驅動件包括：第一連接端，和第一傳動端；所述上浮動件包括：第二連接端和上浮動端，所述第二連接端與所述第一連接端同軸心固定相連，所述上浮動端為凹球面或者凹圓錐面；所述下浮動件包括：下浮動端和第三連接端，所述下浮動端為凸球面；所述下浮動端的凸球面與所述上浮動端的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，且所述上浮動件與所述下浮動件之間進行浮動的轉動中心不高于工件的拋光表面。

本發(fā)明實施例提出的拋光頭，通過拋光頭的下浮動端的凸球面與上浮動端的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，減小接觸點變形，減少工件與拋光盤之間的偏擺，彌補拋光頭與拋光盤之間的平行度誤差，使工件貼合在拋光盤表面，且提升拋光效果。

本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。

附圖說明

本發(fā)明上述的和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是根據本發(fā)明一個實施例的拋光頭的結構示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例中驅動件的結構示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例中上浮動件的結構示意圖；

圖4為本發(fā)明實施例中下浮動件的結構示意圖；

圖5為本發(fā)明實施例中基板的結構示意圖；

圖6為本發(fā)明實施例中傳動件的結構示意圖。

附圖標記：

拋光頭100；

基板101；驅動件102；上浮動件103；下浮動件104；傳動件105；吸附件106；

第四連接端1011；加載端1012；第二傳動端1013；

第一連接端1021；第一傳動端1022；驅動端1023；

第二連接端1031；上浮動端1032；第一溝槽1033；

下浮動端1041；第三連接端1042；第二溝槽1043；

傳動側A1051；傳動側B1052。

具體實施方式

下面詳細描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。相反，本發(fā)明的實施例包括落入所附加權利要求書的精神和內涵范圍內的所有變化、修改和等同物。

圖1是根據本發(fā)明一個實施例的拋光頭的結構示意圖。

參見圖1，該拋光頭100包括：基板101、驅動件102、上浮動件103、下浮動件104、傳動件105，以及吸附件106，具體而言，驅動件102包括：第一連接端1021，和第一傳動端1022；上浮動件103包括：第二連接端1031和上浮動端1032，第二連接端1031與第一連接端1021同軸心固定相連，上浮動端1032為凹球面或者凹圓錐面；下浮動件104包括：下浮動端1041和第三連接端1042，下浮動端1041為凸球面；下浮動端1041的凸球面與上浮動端1032的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連。

在本發(fā)明的一個實施例中，該拋光頭100包括：基板101、驅動件102、上浮動件103、下浮動件104、傳動件105，以及吸附件106。

在本發(fā)明的一個實施例中，參見圖2，圖2為本發(fā)明實施例中驅動件的結構示意圖，驅動件102包括：第一連接端1021，和第一傳動端1022。

在本發(fā)明的一個實施例中，參見圖2，驅動件102還包括：與設備驅動軸相連的驅動端1023。

在本發(fā)明的一個實施例中，參見圖3，圖3為本發(fā)明實施例中上浮動件的結構示意圖，上浮動件103包括：第二連接端1031和上浮動端1032，第二連接端1031與第一連接端1021同軸心固定相連，上浮動端1032為凹球面或者凹圓錐面。

通過第二連接端1031與第一連接端1021同軸心固定相連，提高了該拋光頭100的結構強度。

其中，上浮動端1032為部分凹球面或者部分凹圓錐面。

在本發(fā)明的一個實施例中，參見圖3，上浮動端1032表面設置有第一溝槽1033，第一溝槽1033用于存儲潤滑脂。

本發(fā)明實施例中的拋光頭100，通過在上浮動端1032的部分凹球面或者部分凹圓錐面上設置環(huán)形的溝槽，該溝槽中可以用于存儲潤滑脂，降低了接觸面的磨損，提高了浮動靈活性。

在本發(fā)明的一個實施例中，參見圖4，圖4為本發(fā)明實施例中下浮動件的結構示意圖，下浮動件104包括：下浮動端1041和第三連接端1042，下浮動端1041為凸球面。

其中，下浮動端1041為部分凸球面。

在本發(fā)明的一個實施例中，下浮動端1041的凸球面與上浮動端1032的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，且上浮動件103與下浮動件104之間進行浮動的轉動中心不高于工件的拋光表面。

本發(fā)明實施例中的拋光頭100，通過下浮動端1041的凸球面與上浮動端1032的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，能夠減小接觸點變形，減少工件與拋光盤之間的偏擺，。通過上浮動件103與下浮動件104之間進行浮動的轉動中心不高于工件的拋光表面，即，進行浮動的轉動中心或者處于工件拋光表面，或者低于工件拋光表面，浮動結構轉動中心略低于工件拋光表面，拋光頭100向拋光盤轉動方向的反方向翹起，利于拋光液進入拋光表面中心，加快工件中心的去除率，提高拋光表面的平坦度。

在本發(fā)明的一個實施例中，參見圖4，下浮動件104的下浮動端1041表面設置有第二溝槽1043，第二溝槽1043用于存儲潤滑脂。

本發(fā)明實施例中的拋光頭100，通過在下浮動端1041表面設置有環(huán)形的溝槽，該溝槽中可以用于存儲潤滑脂，進一步降低了接觸面的磨損，提高了浮動靈活性。

在本發(fā)明的一個實施例中，參見圖5，圖5為本發(fā)明實施例中基板的結構示意圖，基板101包括：第四連接端1011、加載端1012，以及第二傳動端1013，其中，第四連接端1011與第三連接端1042固定相連，第二傳動端1013通過傳動件105與第一傳動端1022相連。

在本發(fā)明的一個實施例中，加載端1012上設置有吸附件106，吸附件106用于對待拋光工件進行搬運和加載。

在本發(fā)明的一個實施例中，參見圖6，圖6為本發(fā)明實施例中傳動件的結構示意圖，傳動件105為膜片結構，可發(fā)生彈性形變。

可選地，膜片結構可以包括傳動側A1051和傳動側B1052，一側與驅動件102相連，另一側與基板101相連，對此不作限制。

本實施例中，通過拋光頭的下浮動端的凸球面與上浮動端的凹球面或者凹圓錐面相適配，且可拆卸地相連，能夠減小接觸點變形，減少工件與拋光盤之間的偏擺，彌補拋光頭與拋光盤之間的平行度誤差，使工件貼合在拋光盤表面，且提升拋光效果。

需要說明的是，在本發(fā)明的描述中，術語“第一”、“第二”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。此外，在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。

流程圖中或在此以其他方式描述的任何過程或方法描述可以被理解為，表示包括一個或更多個用于實現特定邏輯功能或過程的步驟的可執(zhí)行指令的代碼的模塊、片段或部分，并且本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的范圍包括另外的實現，其中可以不按所示出或討論的順序，包括根據所涉及的功能按基本同時的方式或按相反的順序，來執(zhí)行功能，這應被本發(fā)明的實施例所屬技術領域的技術人員所理解。

應當理解，本發(fā)明的各部分可以用硬件、軟件、固件或它們的組合來實現。在上述實施方式中，多個步驟或方法可以用存儲在存儲器中且由合適的指令執(zhí)行系統(tǒng)執(zhí)行的軟件或固件來實現。例如，如果用硬件來實現，和在另一實施方式中一樣，可用本領域公知的下列技術中的任一項或他們的組合來實現：具有用于對數據信號實現邏輯功能的邏輯門電路的離散邏輯電路，具有合適的組合邏輯門電路的專用集成電路，可編程門陣列(PGA)，現場可編程門陣列(FPGA)等。

本技術領域的普通技術人員可以理解實現上述實施例方法攜帶的全部或部分步驟是可以通過程序來指令相關的硬件完成，所述的程序可以存儲于一種計算機可讀存儲介質中，該程序在執(zhí)行時，包括方法實施例的步驟之一或其組合。

此外，在本發(fā)明各個實施例中的各功能單元可以集成在一個處理模塊中，也可以是各個單元單獨物理存在，也可以兩個或兩個以上單元集成在一個模塊中。上述集成的模塊既可以采用硬件的形式實現，也可以采用軟件功能模塊的形式實現。所述集成的模塊如果以軟件功能模塊的形式實現并作為獨立的產品銷售或使用時，也可以存儲在一個計算機可讀取存儲介質中。

上述提到的存儲介質可以是只讀存儲器，磁盤或光盤等。

在本說明書的描述中，參考術語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。

盡管上面已經示出和描述了本發(fā)明的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本發(fā)明的限制，本領域的普通技術人員在本發(fā)明的范圍內可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。