技術(shù)編號(hào)：12694090
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種拋光頭。背景技術(shù)相關(guān)技術(shù)中，拋光頭設(shè)計(jì)有浮動(dòng)結(jié)構(gòu)，在常見的化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的拋光頭，其浮動(dòng)結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心高于工件的拋光表面。這種方式下，工件拋光表面與拋光盤之間的摩擦力，使得拋光頭向拋光盤轉(zhuǎn)動(dòng)方向翹起，導(dǎo)致工件邊緣拋光速率快，工件表面平面度差，拋光效果不佳。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明的目的在于提出一種拋光頭，能夠減小接觸點(diǎn)變形，減少工件與拋光盤之間的偏擺，彌補(bǔ)拋光頭與拋光盤之間的平行度誤差，使工件貼合在拋光盤表面，且提升拋光效果。為達(dá)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。