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拋光頭的制作方法

文檔序號(hào):12694090閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種拋光頭,其特征在于,包括:基板、驅(qū)動(dòng)件、上浮動(dòng)件、下浮動(dòng)件、傳動(dòng)件,以及吸附件,其中,

所述驅(qū)動(dòng)件包括:第一連接端,和第一傳動(dòng)端;

所述上浮動(dòng)件包括:第二連接端和上浮動(dòng)端,所述第二連接端與所述第一連接端同軸心固定相連,所述上浮動(dòng)端為凹球面或者凹圓錐面;

所述下浮動(dòng)件包括:下浮動(dòng)端和第三連接端,所述下浮動(dòng)端為凸球面;

所述下浮動(dòng)端的凸球面與所述上浮動(dòng)端的凹球面或者凹圓錐面相適配,且可拆卸地相連,且所述上浮動(dòng)件與所述下浮動(dòng)件之間進(jìn)行浮動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心不高于工件的拋光表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭,其特征在于,所述上浮動(dòng)端表面設(shè)置有第一溝槽,所述第一溝槽用于存儲(chǔ)潤(rùn)滑脂。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭,其特征在于,所述下浮動(dòng)件的下浮動(dòng)端表面設(shè)置有第二溝槽,所述第二溝槽用于存儲(chǔ)潤(rùn)滑脂。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)件還包括:與設(shè)備驅(qū)動(dòng)軸相連的驅(qū)動(dòng)端。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭,其特征在于,所述基板包括:第四連接端、加載端,以及第二傳動(dòng)端,其中,所述第四連接端與所述第三連接端固定相連,所述第二傳動(dòng)端通過所述傳動(dòng)件與所述第一傳動(dòng)端相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光頭,其特征在于,所述加載端上設(shè)置有吸附件,所述吸附件,用于對(duì)待拋光工件進(jìn)行搬運(yùn)和加載。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光頭,其特征在于,所述傳動(dòng)件為膜片結(jié)構(gòu),可發(fā)生彈性形變。

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