1.一種硅片脫膠清洗設(shè)備，其特征在于，包括有清洗箱和水箱，清洗箱內(nèi)設(shè)有若干用于垂直放置硅片的硅片架，硅片架上方設(shè)有若干朝下安裝的噴嘴，噴嘴固定在清洗箱頂部，清洗箱頂部設(shè)有連通噴嘴的進(jìn)水管，清洗箱底部設(shè)有回流口，水箱上設(shè)有進(jìn)水口和出水口，回流口連接水箱上的進(jìn)水口，水箱的出水口通過管道連接進(jìn)水管，出水口與進(jìn)水管之間設(shè)有高壓水泵，水箱內(nèi)設(shè)有恒溫加熱器。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片脫膠清洗設(shè)備，其特征在于，所述, 硅片架上設(shè)有若干垂直卡槽,硅片架由水平放置且相互平行的左側(cè)桿、右側(cè)桿及底桿構(gòu)成，底桿上設(shè)有托住硅片底部的凹槽一，左側(cè)桿設(shè)有用于頂住硅片左側(cè)的凹槽二，右側(cè)桿設(shè)有用于頂住硅片右側(cè)的凹槽三，凹槽一、凹槽二以及凹槽三共同構(gòu)成與硅片相匹配的垂直卡槽。
3.如權(quán)利要求1所述的硅片脫膠清洗設(shè)備，其特征在于，所述清洗箱內(nèi)設(shè)有加熱裝置。
4.如權(quán)利要求1所述的硅片脫膠清洗設(shè)備，其特征在于，所述清洗箱的側(cè)壁設(shè)有可開合的箱門，箱門位于硅片架與噴嘴之間，箱門由透明玻璃制成。
5.如權(quán)利要求1所述的硅片脫膠清洗設(shè)備，其特征在于，所述進(jìn)水管內(nèi)設(shè)有過濾網(wǎng)。