本實(shí)用新型涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片脫膠清洗設(shè)備。

背景技術(shù)：

多線切割晶棒生產(chǎn)硅片的過程中，對(duì)切割好的硅片一般采用傳統(tǒng)手工進(jìn)行脫膠，因脫膠過程中對(duì)力度、溫度掌握不均勻，且不穩(wěn)定，易出現(xiàn)硅片崩邊、毛邊、氧化等現(xiàn)象，產(chǎn)生廢片。另外用于對(duì)硅片脫膠的水往往是一次性使用，即浪費(fèi)又不環(huán)保。目前市場(chǎng)上也出現(xiàn)了用于硅片脫膠的硅片脫膠機(jī)，一般都是采用硅片脫膠劑進(jìn)行浸泡等方式，其脫膠效率低，脫膠效果不理想，對(duì)硅片脫膠劑及水的用量也極大，不能循環(huán)使用，造成嚴(yán)重的浪費(fèi)及污染。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實(shí)用新型提供一種。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，一種硅片脫膠清洗設(shè)備，包括有清洗箱和水箱，清洗箱內(nèi)設(shè)有若干用于垂直放置硅片的硅片架，硅片架上方設(shè)有若干朝下安裝的噴嘴，噴嘴固定在清洗箱頂部，清洗箱頂部設(shè)有連通噴嘴的進(jìn)水管，清洗箱底部設(shè)有回流口，水箱上設(shè)有進(jìn)水口和出水口，回流口連接水箱上的進(jìn)水口，水箱的出水口通過管道連接進(jìn)水管，出水口與進(jìn)水管之間設(shè)有高壓水泵，水箱內(nèi)設(shè)有恒溫加熱器。

硅片架上設(shè)有若干垂直卡槽，硅片架由水平放置且相互平行的左側(cè)桿、右側(cè)桿及底桿構(gòu)成，底桿上設(shè)有托住硅片底部的凹槽一，左側(cè)桿設(shè)有用于頂住硅片左側(cè)的凹槽二，右側(cè)桿設(shè)有用于頂住硅片右側(cè)的凹槽三，凹槽一、凹槽二以及凹槽三共同構(gòu)成與硅片相匹配的垂直卡槽。

清洗箱內(nèi)設(shè)有加熱裝置。

清洗箱的側(cè)壁設(shè)有可開合的箱門，箱門位于硅片架與噴嘴之間，箱門由透明玻璃制成。

進(jìn)水管內(nèi)設(shè)有過濾網(wǎng)。

本實(shí)用新型的工作原理是：打開箱門，將待脫膠的硅片分別放入硅片架上的垂直卡槽內(nèi)，關(guān)閉箱門，啟動(dòng)清洗箱中的加熱裝置給硅片預(yù)熱并維持箱內(nèi)恒溫。水箱中裝滿帶有硅片脫膠劑的恒溫水溶液，高壓水泵將帶有脫膠劑的恒溫水溶液壓送至清洗箱的進(jìn)水管，經(jīng)噴嘴形成帶有一定沖洗壓力的水束，水束持續(xù)沖洗硅片直到完成脫膠。

本實(shí)用新型的有益效果是，本實(shí)用新型的硅片脫膠清洗設(shè)備脫膠效果好，脫膠速度快，浪費(fèi)的水及脫膠劑少，降低了工序成本。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是清洗箱的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是硅片架的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

如圖1-3所示，一種硅片脫膠清洗設(shè)備，包括有清洗箱1和水箱2，清洗箱1內(nèi)設(shè)有用于垂直放置硅片的硅片架3，硅片架3上方設(shè)有若干朝下安裝的噴嘴4，噴嘴4固定在清洗箱1頂部，清洗箱1頂部設(shè)有連通噴嘴4的進(jìn)水管5，清洗箱1底部設(shè)有回流口6，水箱2上設(shè)有進(jìn)水口7和出水口8，回流口6連接水箱上的進(jìn)水口7，出水口8通過管道連接進(jìn)水管5，出水口8與進(jìn)水管5之間設(shè)有高壓水泵，水箱2內(nèi)設(shè)有恒溫加熱器。

硅片架3上設(shè)有若干垂直卡槽，硅片架3由水平放置且相互平行的左側(cè)桿9、右側(cè)桿10及底桿構(gòu)成11，底桿11上設(shè)有托住硅片底部的凹槽一12，左側(cè)桿9設(shè)有用于頂住硅片左側(cè)的凹槽二13，右側(cè)桿10設(shè)有用于頂住硅片右側(cè)的凹槽三14，凹槽一12、凹槽二13以及凹槽三14共同構(gòu)成與硅片相匹配的垂直卡槽。

清洗箱1內(nèi)設(shè)有加熱裝置，硅片放置進(jìn)去后啟動(dòng)加熱裝置給硅片預(yù)熱。

清洗箱1的側(cè)壁設(shè)有可開合的箱門15，箱門15位于硅片架3與噴嘴4之間，箱門15由透明玻璃制成，方便觀察脫膠效果。

進(jìn)水管5內(nèi)設(shè)有過濾網(wǎng)，將脫膠過程中的大顆粒雜物過濾下來，防止堵塞噴嘴4及損傷硅片。

打開箱門15，將待脫膠的硅片分別放入硅片架3上的垂直卡槽內(nèi)，關(guān)閉箱門15，啟動(dòng)清洗箱4中的加熱裝置給硅片預(yù)熱并維持箱內(nèi)恒溫。水箱2中裝滿帶有硅片脫膠劑的恒溫水溶液，高壓水泵將帶有脫膠劑的恒溫水溶液壓送至清洗箱1的進(jìn)水管5，經(jīng)噴嘴4形成帶有一定沖刷壓力的水束，水束持續(xù)沖洗硅片直到完成脫膠。清洗箱1底部的水溶液經(jīng)回流口6流出，經(jīng)進(jìn)水口7回到水箱2。根據(jù)場(chǎng)地需要，可以在回流口6與進(jìn)水口7之間加裝水泵。

以上詳細(xì)描述了本實(shí)用新型的較佳具體實(shí)施例，應(yīng)當(dāng)理解，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員無需創(chuàng)造性勞動(dòng)就可以根據(jù)本實(shí)用新型的構(gòu)思做出諸多修改和變化，因此，凡本技術(shù)領(lǐng)域中技術(shù)人員依本實(shí)用新型的構(gòu)思在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過邏輯分析、推理或者有限的實(shí)驗(yàn)可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在由權(quán)利要求書所確定的保護(hù)范圍內(nèi)。