一種硅片脫膠支架的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅片脫膠技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]硅棒在進(jìn)行切片時(shí)一般通過(guò)粘膠固定在晶托上的玻璃板上，如圖1所示，晶托主要包括晶托板I和玻璃板2，切割好的硅片3通過(guò)粘膠粘在玻璃板2上。切割完成后需要對(duì)切割好的硅片3進(jìn)行脫膠清洗，即將硅片3從玻璃板2上分離，脫膠清洗是在脫膠架上進(jìn)行的。如圖1所示，脫膠架包括架體1、側(cè)面擋桿5，底部擋桿6和架體把手8。脫膠清洗時(shí)，將硅片連同晶托倒掛在脫膠架上，架體I上的橫梁7用于支撐晶托，底部擋桿6用于支撐脫膠后的硅片3，側(cè)面擋桿5用于限制硅片3前后移動(dòng)。脫膠時(shí)，將晶托連同硅片3放在脫膠架上，再將脫膠架放進(jìn)裝有溫水的脫膠箱里，溫水將粘膠融化后，硅片3會(huì)從玻璃板2上脫離，落到脫膠架上的底部擋桿6上。脫膠架為脫落后的硅片3提供支撐，脫膠完成后，需要進(jìn)行取片，即將硅片3從脫膠架上取出，放進(jìn)一個(gè)塑料盆中。原有的取片方式是人工取片，即操作人員用手將硅片3取出，由于硅片3有一定的重量，操作人員一次只取出十幾片，且硅片3數(shù)量較多，需要進(jìn)行多次取放操作，勞動(dòng)強(qiáng)度大，工作效率低下。并且，人為取片，一不小心容易造成裂片，且硅片表面容易被操作人員玷污，降低了成品率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種硅片脫膠支架，能夠?qū)崿F(xiàn)硅片的整租取出，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，能夠使用機(jī)器進(jìn)行取片操作，大大降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了工作效率，保證了成品率。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0005]一種硅片脫膠支架，包括架體，所述架體內(nèi)套有至少一組可從架體上取出的取片架，所述取片架包括左擋板、右擋板、底部擋桿和至少兩個(gè)側(cè)面擋桿，左擋板和右擋板分別位于取片架的兩端，左擋板和右擋板之間的底部設(shè)有底部擋桿，左擋板和右擋板之間的兩側(cè)面分別設(shè)有側(cè)面擋桿，左擋板和右擋板的外側(cè)面或頂部分別固定有勾手；底部擋桿、側(cè)面擋桿與左擋板、右擋板之間的連接方式為可拆卸式。
[0006]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述取片架的數(shù)量為2組。
[0007]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述底部擋桿的數(shù)量為兩個(gè)。
[0008]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述架體的底部固定有支撐板，用于支撐取片架。
[0009]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述取片架的左右兩邊還設(shè)有架體把手。
[0010]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述取片架的長(zhǎng)度為360mm-380mm。
[0011]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本實(shí)用新型在脫膠支架內(nèi)設(shè)置可拆卸式取片架，實(shí)現(xiàn)了整租硅片的取片操作，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，能夠使用機(jī)器進(jìn)行取片操作，大大降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了工作效率，保證了成品率。另外，設(shè)有的勾手便于使用機(jī)器將取片架取出；取片架設(shè)置成可拆卸式，方便取片后的放片操作。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1是傳統(tǒng)的脫膠支架結(jié)構(gòu)原理圖；
[0013]圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理圖；
[0014]在附圖中:1、晶托板，2、玻璃板，3、硅片，4、架體，5、側(cè)面擋桿，6、底部擋桿，7、橫梁，8、架體把手，9、左擋板，10、右擋板，11、勾手，12、支撐板，13、擋桿槽。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0016]如圖2所示，一種硅片脫膠支架，包括架體4，架體4內(nèi)套有至少一組可從架體4上取出的取片架，由于在實(shí)際操作中，脫膠支架上通常放置兩組待脫膠的硅片3，因此取片架的數(shù)量?jī)?yōu)選為2組。取片架的長(zhǎng)度為360mm-380mm。取片架包括左擋板9、右擋板10、底部擋桿6和至少兩個(gè)側(cè)面擋桿5。左擋板9和右擋板10分別位于取片架的兩端，左擋板9、右擋板10的高度小于脫膠支架上的橫梁7的高度，以便保證晶托能夠平放于橫梁7上。左擋板9和右擋板10之間的底部設(shè)有底部擋桿6，底部擋桿6為圓柱體形，數(shù)量為兩個(gè)，用于為脫落的硅片3提供支撐。左擋板9和右擋板10之間的兩側(cè)面分別設(shè)有側(cè)面擋桿5，在進(jìn)行取片操作時(shí)，保證硅片3的穩(wěn)定性。左擋板9和右擋板10的外側(cè)面或頂部分別固定有勾手11，以便于機(jī)器鉤掛勾手11進(jìn)行取片操作。底部擋桿6、側(cè)面擋桿5與左擋板9、右擋板10之間的連接方式為可拆卸式，在將取出的硅片3放至塑料盆中時(shí)，方便將取片架卸下。可拆卸式具體為:左擋板9與右擋板10上設(shè)有擋桿槽13，擋桿槽13上設(shè)有不同的檔位，側(cè)面擋桿5和底部擋桿6兩端分別插入左擋板9和右擋板10上的擋桿槽13上后，通過(guò)調(diào)節(jié)側(cè)面擋桿5和底部擋桿6至不同檔位，實(shí)現(xiàn)兩個(gè)側(cè)面擋桿5之間、兩個(gè)底部擋桿6之間寬度的調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)兩個(gè)側(cè)面擋桿5能夠滿足不同規(guī)格硅片的放置。架體4的底部固定有支撐板12，用于支撐取片架。取片架的左右兩邊還設(shè)有架體把手8，方便脫膠支架的搬運(yùn)、移動(dòng)。
[0017]本實(shí)用新型的工作原理是:操作時(shí)，將兩組帶有硅片3的晶托放置到脫膠支架的橫梁7上，兩組硅片3分別伸進(jìn)取片架內(nèi)；將脫膠支架放入溫水中進(jìn)行脫膠；待脫膠完成后，卸下晶托，使用機(jī)器鉤掛其中一組取片架的一組勾手11，將整租硅片3取出放至塑料盆中；拆卸取片架，即可完成一組硅片3的取放操作。進(jìn)行另一組硅片3的取放操作，直至完成兩組硅片3的取放操作。
[0018]本實(shí)用新型應(yīng)用于多個(gè)晶托上的多組硅片3的脫膠清洗時(shí)效果最佳，尤其在使用切片機(jī)NTC442進(jìn)行切割時(shí)。與NTC442配套的脫膠架恰好放置兩個(gè)晶托，通常是將兩組硅片3同時(shí)放入脫膠架中進(jìn)行脫膠，這樣應(yīng)用本實(shí)用新型進(jìn)行脫膠時(shí)，脫膠完成后分別取出兩個(gè)取片架，完成取片放片操作即可，提高了工作效率，保證了硅片3的質(zhì)量。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片脫膠支架，其特征在于包括架體(4)，所述架體(4)內(nèi)套有至少一組可從架體(4)上取出的取片架，所述取片架包括左擋板(9)、右擋板(10)、底部擋桿(6)和至少兩個(gè)側(cè)面擋桿(5)，左擋板(9)和右擋板(10)分別位于取片架的兩端，左擋板(9)和右擋板(10)之間的底部設(shè)有底部擋桿(6)，左擋板(9)和右擋板(10)之間的兩側(cè)面分別設(shè)有側(cè)面擋桿(5)，左擋板(9)和右擋板(10)的外側(cè)面或頂部分別固定有勾手(11);底部擋桿(6)、側(cè)面擋桿(5)與左擋板(9)、右擋板(10)之間的連接方式為可拆卸式。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片脫膠支架，其特征在于所述取片架的數(shù)量為2組。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片脫膠支架，其特征在于所述底部擋桿(6)的數(shù)量為兩個(gè)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片脫膠支架，其特征在于所述架體(4)的底部固定有支撐板(12)，用于支撐取片架。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片脫膠支架，其特征在于所述取片架的左右兩邊還設(shè)有架體把手(8)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片脫膠支架，其特征在于所述取片架的長(zhǎng)度為360mm-380mmo
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種硅片脫膠支架，涉及硅片脫膠技術(shù)領(lǐng)域；包括架體，所述架體內(nèi)套有至少一組可從架體上取出的取片架，所述取片架包括左擋板、右擋板、底部擋桿和至少兩個(gè)側(cè)面擋桿，左擋板和右擋板分別位于取片架的兩端，左擋板和右擋板之間的底部設(shè)有底部擋桿，左擋板和右擋板之間的兩側(cè)面分別設(shè)有側(cè)面擋桿，左擋板和右擋板的外側(cè)面或頂部分別固定有勾手；底部擋桿、側(cè)面擋桿與左擋板、右擋板之間的連接方式為可拆卸式。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)硅片的整租取出，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，能夠使用機(jī)器進(jìn)行取片操作，大大降低了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了工作效率，保證了成品率。
【IPC分類】H01L21/673, H01L21/687
【公開號(hào)】CN204632737
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520327090
【發(fā)明人】王會(huì)敏, 何京輝, 李立偉, 張立濤, 張穩(wěn)
【申請(qǐng)人】邢臺(tái)晶龍電子材料有限公司
【公開日】2015年9月9日
【申請(qǐng)日】2015年5月20日