技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種連續(xù)制備大顆粒硅溶膠的方法，該方法通過不斷地滴加堿性溶液與硅酸前驅(qū)體，以達(dá)到連續(xù)進(jìn)料、連續(xù)出料、二氧化硅顆粒連續(xù)生長的目的；而且該硅溶膠具有除鉀或鈉離子外其他所有金屬雜質(zhì)含量低的品質(zhì)，而鉀離子對大多數(shù)電子產(chǎn)品的拋光基本無影響。連續(xù)法制備硅溶膠，可以在有限的空間與時(shí)間內(nèi)連續(xù)地生產(chǎn)出所需要粒徑的大顆粒硅溶膠，與間隙法相比，生產(chǎn)效率大大提高。

技術(shù)研發(fā)人員：王宇湖;余佳佳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州納迪微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.23
技術(shù)公布日：2017.09.15