一種銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠的復(fù)合磨粒、其拋光液組合物及其制備方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠的復(fù)合磨粒、其拋光液組合物及其制備方法。本發(fā)明的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒，所述的復(fù)合磨粒按照重量百分?jǐn)?shù)由以下成分組成：含銅化合物0.1?5wt.%；氧化硅溶膠99.9?95 wt.%。本發(fā)明的復(fù)合磨粒的物理結(jié)構(gòu)為納米球形，該磨粒的化學(xué)組成上含有銅元素，銅元素可以提高磨粒的化學(xué)作用?；瘜W(xué)作用可提高磨粒的拋光速率，提高材料的去除速率。采用本發(fā)明提供的拋光液對(duì)藍(lán)寶石基片進(jìn)行拋光，可以有效地降低藍(lán)寶石表面的粗糙度，提高藍(lán)寶石表面的去除速率。
【專利說明】
一種銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠的復(fù)合磨粒、其拋光液組合物及 其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及一種拋光磨粒、拋光液組合物及其制備方法，特別是一種銅元素?fù)诫s 硅溶膠復(fù)合磨粒的制備方法以及原材料表面研磨拋光技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002] 藍(lán)寶石材料由于其較高的莫氏硬度和較好的化學(xué)穩(wěn)定性，被廣泛的應(yīng)用于電學(xué)、 光學(xué)等領(lǐng)域。在光電子領(lǐng)域中，發(fā)光二極管(LED)具有低工作電壓、低功耗、高效率、長(zhǎng)壽命、 固體化、快響應(yīng)速度和驅(qū)動(dòng)電路等簡(jiǎn)單優(yōu)點(diǎn)，被公認(rèn)為21世紀(jì)最具發(fā)展前景的高技術(shù)領(lǐng)域 之一。藍(lán)寶石因?yàn)槠溆辛己玫母邷胤€(wěn)定性和力學(xué)性能，而作為L(zhǎng)ED的襯底材料。藍(lán)寶石的表 面質(zhì)量對(duì)LED器件性能和質(zhì)量有著非常重要的影響，目前要求超光滑、無缺陷且粗糙度小于 0.2nm。因此藍(lán)寶石最后一道拋光加工的要求很高，成為最重要的制程。
[0003] 目前，普遍采用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)對(duì)藍(lán)寶石器件表面進(jìn)行精密拋光。磨粒是 化學(xué)機(jī)械拋光液中的主要成分，目前實(shí)際中廣泛采用的研磨粒通常是氧化硅、氧化鋁等傳 統(tǒng)無機(jī)粒子。而氧化硅磨粒對(duì)藍(lán)寶石的拋光效果較好，但在CMP拋光過程中主要存在一些問 題，如拋光速率低而導(dǎo)致生產(chǎn)效率低，表面質(zhì)量有待繼續(xù)提高。因此我們通過改變拋光液中 磨粒特性來提高去除率。
[0004] 專利申請(qǐng)"201110298605. X"，名稱為"含拋光活性元素的多孔納米復(fù)合磨粒、拋光 液組合物及其制備方法"，這個(gè)專利為傳統(tǒng)的共沉淀-燒結(jié)-球磨方式，這種方法雖然引入活 性元素提高了拋光液的效率，但是很難保持顆粒的很好的均一性，并且儲(chǔ)存、分散性能較 差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本發(fā)明通過水溶液中晶體生長(zhǎng)方法制備復(fù)合磨 粒，制備過程中，磨粒是處于水溶液體系，分散性良好，且是溶膠狀態(tài)，提高拋光液拋光效率 的同時(shí)，也使得復(fù)合磨粒分散均勻，不易聚沉。
[0006] 本發(fā)明的目的之一在于提供了一種銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒。
[0007] 本發(fā)明的目的之二在于提供含有銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒的拋光液組合 物。
[0008] 本發(fā)明的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒，所述的復(fù)合磨粒，按照重量百分?jǐn)?shù)由 以下成分組成：
[0009] 含銅化合物 0.1-5%
[0010] 氧化硅溶膠 95-99.9%。
[0011] 優(yōu)選地，
[0012] 所述的復(fù)合磨粒按照重量百分?jǐn)?shù)由以下成分組成：
[0013] 含銅化合物 1-2%
[0014] 氧化硅溶膠 98-99%
[0015]所述的含銅化合物為氫氧化銅。
[0016] 本發(fā)明的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒的制備方法，包括如下步驟：
[0017] 1)將水玻璃通過陽離子交換樹脂，待流出的液體的pH值在2.0-3.5之間時(shí)接收流 出的液體，則得到活性硅酸溶液；
[0018] 2)在100°C及攪拌下，將硝酸銅溶液與步驟1)所得的活性硅酸溶液，加入到晶種氧 化硅溶液中，同時(shí)滴加氫氧化鈉溶液，控制滴加速度，保持氧化硅晶種母液的液面保持基本 不變，且控制pH范圍在8.5-10.5之間；
[0019] 3)控制滴加及水分蒸發(fā)速度，使母液的液面保持基本不變，直到混合液滴完，關(guān)掉 加熱器，攪拌降溫到室溫;即得到銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠的復(fù)合磨粒。
[0020] 所述的步驟1)中，水玻璃的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為8% ;所述的活性硅酸溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2-3%〇
[0021] 所述的步驟2)中，硝酸銅溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.3%;所述的晶種氧化硅溶液的質(zhì)量 分?jǐn)?shù)為10 %。
[0022] 含有銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒的拋光液組合物，所述的拋光液組合物按照 重量百分?jǐn)?shù)由以下成分組成：
[0023] 銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒10.06-10.12wt. %，
[0024] 分散劑六偏磷酸鈉 6 · 67wt · %，
[0025] 去離子水 余量，
[0026]各組分的質(zhì)量百分含量之和為100%。
[0027]所述的拋光液組合物的制備方法，包括如下步驟：
[0028] 1)上述銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒溶液通過350目的濾篩，除去大顆粒；
[0029 ] 2)向其中加入分散劑六偏磷酸鈉，攪拌均勻;得到拋光液組合物。
[0030] 本發(fā)明的復(fù)合磨粒的物理結(jié)構(gòu)為納米球形，該磨粒的化學(xué)組成上含有銅元素，銅 元素可以提高磨粒的化學(xué)作用。化學(xué)作用可提高磨粒的拋光速率，提高材料的去除速率。
[0031] 采用本發(fā)明提供的拋光液對(duì)藍(lán)寶石基片進(jìn)行拋光，可以有效地降低藍(lán)寶石表面的 粗糙度，提高藍(lán)寶石表面的去除速率。
【具體實(shí)施方式】
[0032] 現(xiàn)將本發(fā)明的具體實(shí)施例綜述于后。
[0033] 實(shí)施例1
[0034] 本實(shí)施例的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒可采用共沉淀法制備。制備過程為： 在離子交換法制備硅溶膠的過程中將銅元素通過共沉淀的方法摻雜到氧化硅溶膠顆粒中。 具體步驟如下：
[0035] 1)將質(zhì)量分?jǐn)?shù)為8.0%水玻璃通過陽離子交換樹脂，待流出的液體的pH值在2.0-3.5之間時(shí)接收流出的液體，則得到質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2.7 %活性硅酸溶液；
[0036] 2)在100°C及攪拌下，將1954克質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.30%硝酸銅溶液與1954克步驟1)所 得的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2.7 %活性硅酸溶液，加入到3000克質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10 %的晶種氧化硅溶液中， 同時(shí)滴加質(zhì)量分?jǐn)?shù)為〇. 5 %的氫氧化鈉溶液，控制滴加速度，保持氧化硅晶種母液的液面保 持基本不變，且控制pH范圍在8.5-10.5之間。
[0037] 3)控制滴加及水分蒸發(fā)速度，使母液的液面保持基本不變，反應(yīng)一直進(jìn)行，直到銅 離子與活性硅酸的混合液滴加完后，反應(yīng)7小時(shí)后關(guān)掉加熱器，攪拌降溫到室溫;然后倒入 燒杯中即可得到銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠的復(fù)合磨粒。
[0038]
[0039] 是氫氧化銅的摩爾質(zhì)量；
[0040] Μ〇!(ν〇3)2是硝酸銅的摩爾質(zhì)量；
[0041] m〇j(NQ3)2是硝酸銅的投料量；
[0042] mCu(NQ3)2 =硝酸銅溶液的投料量X0.3% ;
[0043] 噴觸涵糧為復(fù)合磨粒總的固含量；
[0044]
[0045] 實(shí)施例1中氫氧化銅含量為（1954X0.3% X 98/187 · 56)/(3000 X 10% + 1954X 0.3% X98/187.56) = 1%
[0046] 因此，復(fù)合磨粒中含有1 % w/w的氫氧化銅和99 % w/w的氧化娃溶膠顆粒。
[0047] 使用時(shí)，制成拋光液組合物，拋光液組合物的組成和質(zhì)量百分比如下：
[0048] 銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒 10.06wt.%
[0049] 分散劑六偏磷酸鈉 6.67wt.%
[0050] 去離子水 余量
[0051]各組分的質(zhì)量百分含量之和為100%。
[0052]拋光液組合物的制備方法：
[0053] 1)上述銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒溶液通過350目的濾篩，除去大顆粒；
[0054] 2)向其中加入分散劑六偏磷酸鈉，攪拌均勻;得到拋光液組合物。
[0055] 實(shí)施例2
[0056] 本實(shí)施例的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒，制備過程如下：采用2931克質(zhì)量分 數(shù)為0.30 %的硝酸銅溶液與2931克質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2.7 %活性硅酸溶液，其他步驟同實(shí)施例1。 得到銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠的復(fù)合磨粒。
[0057] 實(shí)施例2中氫氧化銅含量為（2931 X0.3% X98/187.56)/(3000X 10%+2931 X 0.3% X98/187.56) = 1.5%
[0058]因此，復(fù)合磨粒中含有1.5%w/w的氫氧化銅和98.5%w/w的氧化硅溶膠顆粒。
[0059] 使用時(shí)，制成拋光液組合物，拋光液組合物的組成和質(zhì)量百分比如下：
[0060] 銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒 10.09wt.%
[0061 ] 分散劑六偏磷酸鈉 6 · 67wt · %
[0062]去離子水 余量
[0063]各組分的質(zhì)量百分含量之和為100%。
[0064] 拋光液組合物的制備方法同實(shí)施例1。
[0065] 實(shí)施例3
[0066] 本實(shí)施例的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒，制備過程如下:采用3909克質(zhì)量分 數(shù)為0.30 %的硝酸銅溶液與3909克質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2.7 %活性硅酸溶液，其他步驟同實(shí)施例1。 得到銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠的復(fù)合磨粒。
[0067] 實(shí)施例3 中氫氧化銅含量為（3909X0.3% X 98/187.56)/(3000 X 10%+3909X 0.3% X98/187.56)=2%
[0068] 因此，復(fù)合磨粒中含有2%w/w的氫氧化銅和98%w/w的氧化硅溶膠顆粒。
[0069] 使用時(shí)，制成拋光液組合物，拋光液組合物的組成和質(zhì)量百分比如下：
[0070] 銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒 10.12wt. %
[0071] 分散劑六偏磷酸鈉 6 · 67wt · %
[0072] 去離子水 余量
[0073]各組分的質(zhì)量百分含量之和為100%。
[0074] 拋光液組合物的制備方法同實(shí)施例1。
[0075] 比較例1
[0076] 未摻雜的純的氧化硅溶膠拋光液。即反應(yīng)過程中不滴加硝酸銅溶液，得到未摻雜 銅的純氧化硅溶膠拋光液。
[0077] 純的膠體氧化硅磨粒拋光液的組成和質(zhì)量百分比如下：
[0078]未摻雜銅元素的氧化硅溶膠復(fù)合磨粒 lO.OOwt.%
[0079] 分散劑六偏磷酸鈉 6.67wt·%
[0080] 去離子水 83.33wt·%
[0081 ]實(shí)施例4拋光實(shí)驗(yàn)
[0082]使用上述拋光液在一定拋光條件下對(duì)藍(lán)寶石基片進(jìn)行拋光實(shí)驗(yàn)，拋光條件如下：
[0083] 拋光機(jī):UNIP0L-1502單面拋光機(jī)
[0084] 拋光工件:直徑為50.8nm的藍(lán)寶石基片
[0085] 拋光墊:聚氨酯材料、R0DEL生產(chǎn)
[0086]拋光壓力：藍(lán)寶石拋光為6公斤
[0087] 下盤轉(zhuǎn)速:60rpm
[0088] 拋光時(shí)間：藍(lán)寶石拋光為2小時(shí)
[0089] 拋光后，接著洗滌和干燥基片，然后測(cè)量基片的表面形貌特征。表面平均粗糙度 (1^)與微粗糙度(冊(cè)3)用41111^〇5^1-100表面形貌儀，其分辨力為0.1埃。測(cè)試范圍為93.5微 米X93.5微米?；亓坑梅治鎏炱椒Q量，拋光前后重量差除以基片表面積及拋光時(shí)間為 拋光速率。
[0090] 各實(shí)施例拋光液對(duì)藍(lán)寶石的拋光效果分別見表1.可見，與比較例1純氧化硅磨粒 拋光液相比，含銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒(實(shí)施例1、2、3)對(duì)藍(lán)寶石基片進(jìn)行拋光后， 均降低了藍(lán)寶石基片表面的粗糙度(Ra)及微粗糙度(RMS)，并提高了藍(lán)寶石基片表面的去 除率。
[0091] 表1各種拋光液對(duì)藍(lán)寶石基片的拋光效果
[0092]

【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒，其特征在于，所述的復(fù)合磨粒按照重量百分 數(shù)由以下成分組成： 含銅化合物 0.1-5% 氧化硅溶膠 95-99.9%。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所說的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒，其特征在于，所述的復(fù)合磨 粒按照重量百分?jǐn)?shù)由以下成分組成： 含銅化合物 1-2% 氧化硅溶膠 98-99% 所述的含銅化合物為氫氧化銅。3. 如權(quán)利要求1或2所述的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒的制備方法，其特征在于， 包括如下步驟： 1) 將水玻璃通過陽離子交換樹脂，待流出的液體的PH值在2.0-3.5之間時(shí)接收流出的 液體，則得到活性硅酸溶液； 2) 在100°C及攪拌下，將硝酸銅溶液與步驟1)所得的活性硅酸溶液，加入到晶種氧化硅 溶液中，同時(shí)滴加氫氧化鈉溶液，控制滴加速度，保持氧化硅晶種母液的液面保持基本不 變，且控制pH范圍在8.5-10.5之間； 3) 控制滴加及水分蒸發(fā)速度，使母液的液面保持基本不變，直到混合液滴完，關(guān)掉加熱 器，攪拌降溫到室溫;即得到銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠的復(fù)合磨粒。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒的制備方法，其特征在于，所 述的步驟1)中，水玻璃的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為8% ;所述的活性硅酸溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2-3%。5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒的制備方法，其特征在于，所 述的步驟2)中，硝酸銅溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.3%;所述的晶種氧化硅溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為 10%〇6. 含有如權(quán)利要求1-2任意一項(xiàng)所述的銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒的拋光液組合 物，其特征在于，所述的拋光液組合物按照重量百分?jǐn)?shù)由以下成分組成： 銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒 10.06-10.12wt. %， 分散劑六偏磷酸鈉 6.67wt. %， 去離子水 余量， 各組分的質(zhì)量百分含量之和為100 %。7. 如權(quán)利要求6所述的拋光液組合物的制備方法，其特征在于，包括如下步驟： 1) 上述銅元素?fù)诫s氧化硅溶膠復(fù)合磨粒溶液通過350目的濾篩，除去大顆粒； 2) 向其中加入分散劑六偏磷酸鈉，攪拌均勻;得到拋光液組合物。
【文檔編號(hào)】C09K3/14GK105907371SQ201610328093
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年5月17日
【發(fā)明人】李家榮, 顧倩, 雷紅, 朱小華
【申請(qǐng)人】江蘇天恒納米科技股份有限公司