技術(shù)編號(hào)：11243923
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及化學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及電子化學(xué)品領(lǐng)域，特別涉及一種連續(xù)制備大顆粒硅溶膠的方法。背景技術(shù)大顆粒硅溶膠是指平均顆粒大小≧80nm的硅溶膠，是一種重要的精密拋光耗材，也可以用于其他多個(gè)領(lǐng)域。隨著電子產(chǎn)業(yè)的興起，大顆粒硅溶膠在藍(lán)寶石襯底、硅晶圓片等精密拋光和集成電路多層布線時(shí)的化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)工藝中的作用越來(lái)越大，市場(chǎng)對(duì)其需求也越來(lái)越大。目前制備大顆粒硅溶膠的方法主要有離子交換法和直接酸化法。其基本原理為：離子交換法采用水玻璃為原料，經(jīng)過離子的交換、硅酸的制備、晶種的制備、粒子的增長(zhǎng)反...
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