玻璃鍍膜系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及玻璃鍍膜系統(tǒng)，其用于對(duì)待鍍膜玻璃進(jìn)行鍍膜，該玻璃鍍膜系統(tǒng)包括第一鍍膜艙、狹縫隔艙、第二鍍膜艙及傳送單元，該狹縫隔艙位于該第一鍍膜艙與該第二鍍膜艙之間，該傳送單元位于該第一鍍膜艙、該狹縫隔艙及該第二鍍膜艙的下端，該傳送單元用于在該第一鍍膜艙、該狹縫隔艙及該第二鍍膜艙內(nèi)傳送該待鍍膜玻璃，該狹縫隔艙還包括狹縫板及與該狹縫板相連的升降模組，該狹縫板位于該傳送單元上方，該升降模組與該狹縫板相連用于調(diào)節(jié)該狹縫板與該傳送單元之間的相對(duì)距離。上述玻璃鍍膜系統(tǒng)具有保證不同鍍膜艙內(nèi)的陰極氣體不互相串通擴(kuò)散的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說(shuō)明】玻璃鍍膜系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種鍍膜裝置，尤其是一種玻璃鍍膜系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著近年來(lái)國(guó)家節(jié)能減排政策的執(zhí)行以及人們對(duì)低碳環(huán)保意識(shí)的加強(qiáng)，節(jié)能玻璃在門窗、玻璃幕墻中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。如圖1所示，在生產(chǎn)節(jié)能玻璃的鍍膜生產(chǎn)線中，相鄰的兩個(gè)陰極，在濺射過(guò)程中，可能要分別通入不同的反應(yīng)氣體，如通入不同反應(yīng)氣體7a和16a，進(jìn)行反應(yīng)鍍膜，為了保證反應(yīng)鍍膜的純凈性，要求7a與16a氣體不互相串通，不互相擴(kuò)散。這就需要大大拉長(zhǎng)相鄰兩個(gè)陰極之間的距離。一般要拉長(zhǎng)到61個(gè)陰極隔艙，同時(shí)要在每一個(gè)隔艙中至少配備一至兩臺(tái)真空泵進(jìn)行抽氣，才能使氣體7a與16a不互相串通擴(kuò)散，這樣使得整條生產(chǎn)線的長(zhǎng)度大大加長(zhǎng)，浪費(fèi)了大量的空間，增加了生產(chǎn)線的制造成本。
[0003]如圖1所示，為常規(guī)的節(jié)能玻璃鍍膜生產(chǎn)線局部圖，當(dāng)真空室2a由真空泵8a抽取到一定的真空度時(shí)，隔艙室3a內(nèi)，由隔艙室3a內(nèi)的供氣管la，通入反應(yīng)氣體7a，置于隔艙室3a上部的陰極5a，開(kāi)始工作，進(jìn)行反應(yīng)濺射。需要被鍍膜的玻璃6a，由真空室2a底部的輥道4a傳入真空室，當(dāng)需要被鍍膜的玻璃6a通過(guò)陰極5a下面時(shí)，玻璃表面被鍍上一層膜。這就是真空鍍膜。同理當(dāng)玻璃被輥道傳送到隔艙室15a區(qū)域內(nèi)時(shí)，由隔艙室15a內(nèi)的供氣管13a，通入反應(yīng)氣體16a，置于隔艙室15a上部的陰極14a，開(kāi)始工作，進(jìn)行反應(yīng)濺射，玻璃表面被鍍上另外一種膜。為了保證隔艙3a、15a之間的氣體不互相串通和擴(kuò)散，需要有中間隔艙10a，以及配備的真空泵8a，這樣氣體7a在擴(kuò)散到中間隔艙IOa中，會(huì)被真空泵8a抽走一部分。同理，如果中間隔艙的數(shù)量足夠多時(shí)，如中間隔艙11a，中間隔艙12a等，最終可以保證，隔艙3a、15a之間的氣體不互相串通擴(kuò)散。這樣就導(dǎo)致整條生產(chǎn)線的長(zhǎng)度要大大增加,配備的真空泵的數(shù)量也要大大增加,生產(chǎn)線的造價(jià)也大大提高。
[0004]

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]鑒于上述狀況，有必要提供一種玻璃鍍膜系統(tǒng)，其既可以保證各隔艙區(qū)內(nèi)陰極氣體不互相串通擴(kuò)散，又能使兩個(gè)陰極之間的距離大大縮短，同時(shí)在鍍不同的厚度玻璃時(shí)，并不需停機(jī)、破壞真空、中斷生產(chǎn)，只需在真空中進(jìn)行調(diào)整，就可繼續(xù)生產(chǎn)，并可連續(xù)生產(chǎn)不同厚度的玻璃。
[0006]為解決上述問(wèn)題，提供一種玻璃鍍膜系統(tǒng)，其用于對(duì)待鍍膜玻璃進(jìn)行鍍膜，該玻璃鍍膜系統(tǒng)包括第一鍍膜艙、狹縫隔艙、第二鍍膜艙及傳送單元，該狹縫隔艙位于該第一鍍膜艙與該第二鍍膜艙之間，該傳送單元位于該第一鍍膜艙、該狹縫隔艙及該第二鍍膜艙的下端，該傳送單元用于在該第一鍍膜艙、該狹縫隔艙及該第二鍍膜艙內(nèi)傳送該待鍍膜玻璃，該狹縫隔艙還包括狹縫板及與該狹縫板相連的升降模組，該狹縫板位于該傳送單元上方，該升降模組與該狹縫板相連用于調(diào)節(jié)該狹縫板與該傳送單元之間的相對(duì)距離。
[0007]該升降模組包括伺服電機(jī)和偏心輪機(jī)構(gòu)，該伺服電機(jī)設(shè)于該狹縫隔艙外，該偏心輪機(jī)構(gòu)連接于該狹縫板，該伺服電機(jī)的輸出軸連接有聯(lián)軸器。
[0008]該偏心輪機(jī)構(gòu)包括有固定在該狹縫隔艙側(cè)壁上的軸承座，該軸承座上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，該轉(zhuǎn)動(dòng)軸上設(shè)有偏心輪，該轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過(guò)該聯(lián)軸器與該伺服電機(jī)的輸出軸連接。
[0009]該偏心輪與該狹縫板連接接觸，該狹縫板通過(guò)該伺服電機(jī)的輸出軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)該狹縫板的上下移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)該狹縫板與該傳送單元之間的相對(duì)距離。
[0010]該伺服電機(jī)輸出軸與該狹縫隔艙之間設(shè)有密封圈；該伺服電機(jī)輸出軸與該密封圈之間設(shè)有真空密封組件。
[0011]該升降模組為兩個(gè)，分別連接在該狹縫板的兩側(cè)。 [0012]該狹縫隔艙中的傳送單元包括有兩個(gè)平行輥道，該狹縫隔艙下端還固定設(shè)有底板，該兩個(gè)平行輥道將該底板分成左底板、中底板和右底板，該底板表面未超出該兩個(gè)平行棍道的最聞點(diǎn)。
[0013]該第一鍍膜艙和該第二鍍膜艙的傳送單元上方分別設(shè)有陰極，并分別設(shè)有供氣管，該供氣管連通有反應(yīng)氣體，該狹縫隔艙的傳送單元上方設(shè)有真空泵。
[0014]該狹縫板中央設(shè)有狹縫抽氣口，該狹縫抽氣口設(shè)于該真空泵的正下方。
[0015]上述玻璃鍍膜系統(tǒng)，通過(guò)在第一鍍膜艙和第二鍍膜艙之間安裝可調(diào)狹縫系統(tǒng)，因此本系統(tǒng)寬度只需廣2個(gè)鍍膜艙，就可不必再增加兩個(gè)陰極之間的距離，也能保證不同鍍膜艙內(nèi)陰極氣體不互相串通擴(kuò)散。使兩個(gè)陰極之間的距離大大縮短，同時(shí)本發(fā)明具有在真空中連續(xù)可調(diào)的特點(diǎn)，當(dāng)生產(chǎn)不同厚度的玻璃時(shí)，并不需要采取停機(jī)、破壞真空、對(duì)狹縫進(jìn)行調(diào)整的步驟，而中斷生產(chǎn)，只需在真空中對(duì)狹縫板進(jìn)行上下調(diào)整，使其適合不同待鍍膜玻璃的厚度，使連續(xù)生產(chǎn)不同厚度的待鍍膜玻璃成為可能。本發(fā)明玻璃鍍膜系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于連續(xù)玻璃鍍膜生產(chǎn)線上。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的玻璃鍍膜裝置剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖2是本發(fā)明玻璃鍍膜系統(tǒng)的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖3是本發(fā)明玻璃鍍膜系統(tǒng)中升降模組連接結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]其中:12、第一鍍膜艙；122、陰極；124、供氣管；14、第二鍍膜艙；142、陰極；144、供氣管；16、狹縫隔艙；162、真空泵；163、狹縫板；1632、狹縫抽氣口； 1642、左底板；1644、中底板；1646、右底板；166、狹縫；
20、傳送單元；22、輥道；
30、待鍍膜玻璃；
42、44、反應(yīng)氣體；
50、升降模組；51、伺服電機(jī)；52、真空密封組件；53、聯(lián)軸器；54、轉(zhuǎn)動(dòng)軸；55、軸承座；56、偏心輪；57、密封圈；58、輸出軸。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的玻璃鍍膜系統(tǒng)作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0021]請(qǐng)參見(jiàn)圖2、圖3，本發(fā)明實(shí)施例的一種玻璃鍍膜系統(tǒng)，其用于對(duì)待鍍膜玻璃30進(jìn)行鍍膜，該玻璃鍍膜系統(tǒng)包括第一鍍膜艙12、狹縫隔艙16、第二鍍膜艙14及傳送單元20，該狹縫隔艙16位于該第一鍍膜艙12與該第二鍍膜艙14之間，該傳送單兀20位于該第一鍍膜艙12、該狹縫隔艙16及該第二鍍膜艙14的下端，該傳送單元20用于在該第一鍍膜艙12、該狹縫隔艙16及該第二鍍膜艙14內(nèi)傳送該待鍍膜玻璃30，該狹縫隔艙16還包括狹縫板163及與該狹縫板163相連的升降模組50，該狹縫板163位于該傳送單元20上方，該升降模組50與該狹縫板163相連用于調(diào)節(jié)該狹縫板163與該傳送單元20之間的相對(duì)距離，在鍍膜過(guò)程中，可以調(diào)整該相對(duì)距離，該可調(diào)整的相對(duì)距離我們稱作狹縫166，在本可調(diào)狹縫系統(tǒng)中，當(dāng)待鍍膜玻璃30的厚度改變時(shí)，并不需要停機(jī)、充入大氣、對(duì)狹縫進(jìn)行調(diào)整而中斷生產(chǎn)，只需在真空條件下對(duì)狹縫進(jìn)行調(diào)整，使其適合不同厚度的玻璃，就可以了。
[0022]該升降模組50包括伺服電機(jī)51和偏心輪機(jī)構(gòu),該伺服電機(jī)51設(shè)于該狹縫隔艙16外，該偏心輪機(jī)構(gòu)連接于該狹縫板163，該伺服電機(jī)51的輸出軸58連接有聯(lián)軸器53 ;該偏心輪機(jī)構(gòu)包括有固定在該狹縫隔艙16側(cè)壁上的軸承座55，該軸承座55上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)軸54，該轉(zhuǎn)動(dòng)軸54上設(shè)有偏心輪56，該轉(zhuǎn)動(dòng)軸54通過(guò)該聯(lián)軸器53與該伺服電機(jī)51的輸出軸58連接；該偏心輪56與該狹縫板163連接接觸，該狹縫板163通過(guò)該伺服電機(jī)51的輸出軸58的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)該狹縫板163的上下移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)該狹縫板163與該傳送單元20之間的相對(duì)距離，當(dāng)?shù)谝诲兡づ?2、狹縫隔艙16、第二鍍膜艙14的真空度達(dá)到濺射真空度的時(shí)候，啟動(dòng)伺服電機(jī)51，使伺服電機(jī)51旋轉(zhuǎn)一定的角度，帶動(dòng)輸出軸58轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)聯(lián)軸器53帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸54轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸54又帶動(dòng)偏心輪56轉(zhuǎn)動(dòng)，偏心輪56的高低使狹縫板163距左底板1642、中間底板1644、右底板1646上表面的距離較小，形成了狹縫166。
[0023]該伺服電機(jī)51輸出軸58與該狹縫隔艙16之間設(shè)有密封圈57 ;該伺服電機(jī)51輸出軸58與該密封圈57之 間設(shè)有真空密封組件52，密封圈57和真空密封組件52將伺服電機(jī)51輸出軸58分成真空室內(nèi)部分和真空室外部分，保證了第一鍍膜艙12、狹縫隔艙16、第二鍍膜艙14的真空度。
[0024]該升降模組50為兩個(gè)，分別連接在該狹縫板163的兩側(cè)，該升降模組50分別在該狹縫板163的兩側(cè)設(shè)置，使該狹縫板163在升降過(guò)程中更平穩(wěn)，調(diào)整度更精確。
[0025]該狹縫隔艙16中的傳送單元20包括有兩個(gè)平行輥道22，該狹縫隔艙16下端還固定設(shè)有底板，該兩個(gè)平行輥道22將該底板分成左底板1642、中底板1644和右底板1646，該底板表面未超出該兩個(gè)平行輥道22的最高點(diǎn)。
[0026]該第一隔艙區(qū)12和該第二隔艙區(qū)14的傳送單元20上方分別設(shè)有陰極122、142，并分別設(shè)有供氣管124、144，該供氣管124、144連通有反應(yīng)氣體42、44，該狹縫隔艙16的傳送單元20上方設(shè)有真空泵162，該真空泵162可以是分子泵，也可以是其它真空泵的抽氣□。
[0027]該狹縫板163中央設(shè)有狹縫抽氣口 1632，該狹縫抽氣口 1632設(shè)于該真空泵162的正下方，可使得當(dāng)有少量的反應(yīng)氣體42、44擴(kuò)散到此處時(shí)，被真空泵162抽走，而不能擴(kuò)散到第二鍍膜艙14的范圍內(nèi)。
[0028]如圖2、圖3所示，該玻璃鍍膜裝置的鍍膜方法，包括如下步驟:
啟動(dòng)狹縫隔艙16的真空泵162，開(kāi)始抽空空氣，該玻璃鍍膜系統(tǒng)，包括第一鍍膜艙12、狹縫隔艙16、第二鍍膜艙14及傳送單元20，該狹縫隔艙16位于該第一鍍膜艙12與該第二鍍膜艙14之間，該傳送單元20位于該第一鍍膜艙12、該狹縫隔艙16及該第二鍍膜艙14的下端，該傳送單元20用于在該第一鍍膜艙12、該狹縫隔艙16及該第二鍍膜艙14內(nèi)傳送該待鍍膜玻璃30，該狹縫隔艙16還包括狹縫板163及與該狹縫板163相連的升降模組50，該狹縫板163位于該傳送單元20上方，該升降模組50與該狹縫板163相連用于調(diào)節(jié)該狹縫板163與該傳送單元20之間的相對(duì)距離 '及 將該待鍍膜玻璃30放在該玻璃鍍膜系統(tǒng)的傳送單元20上，
1)當(dāng)?shù)谝桓襞搮^(qū)12、狹縫隔艙16、第二鍍膜艙14內(nèi)的真空度達(dá)到濺射真空度的時(shí)候，啟動(dòng)伺服電機(jī)51,使伺服電機(jī)51旋轉(zhuǎn)一定的角度,通過(guò)聯(lián)軸器53帶動(dòng)偏心輪56轉(zhuǎn)動(dòng),從而調(diào)節(jié)狹縫板163與底板上表面的距離，形成了間隙，該間隙稱之為狹縫；
2)將第一隔艙區(qū)12的供氣管124通入反應(yīng)氣體42，第一隔艙區(qū)12的陰極122開(kāi)始濺射，再將第二隔艙區(qū)14的供氣管142通入反應(yīng)氣體44，第二隔艙區(qū)14的陰極142開(kāi)始濺射；
3)再將待鍍膜玻璃30—片接一片地傳入第一隔艙區(qū)12、狹縫隔艙16、第二鍍膜艙14進(jìn)行鍍膜，當(dāng)觀察到第一片待鍍膜玻璃30的前端接近左底板1642時(shí)，再啟動(dòng)伺服電機(jī)51，調(diào)整狹縫板163與待鍍膜玻璃30上表面的距離，使其小于Imm ；
4)當(dāng)本厚度的待鍍膜玻璃30鍍膜完成后，如需換另外一種厚度的待鍍膜玻璃30時(shí)，可以重復(fù)上述操作，對(duì)新厚度的待鍍膜玻璃30進(jìn)行鍍膜。
[0029]在鍍膜過(guò)程中，可以調(diào)整狹縫板163到待鍍膜玻璃30表面的間距，狹縫板163與待鍍膜玻璃30上表面形成的縫隙，我們稱作“狹縫”，當(dāng)間距的數(shù)值調(diào)整到很小的時(shí)候，如小于Imm時(shí)，第一鍍膜艙12、第二鍍膜艙14又都處于濺射鍍膜的真空度下，分子自由程數(shù)值要比間距的數(shù)值大很多，根據(jù)真空中分子運(yùn)動(dòng)原理，這時(shí)氣體分子很難通過(guò)此“狹縫”擴(kuò)散，所以第一鍍膜艙12、第二鍍膜艙4中反應(yīng)氣體42、44被阻隔，很難互相串通擴(kuò)散。另外在狹縫板163的中間設(shè)有狹縫抽氣口 1632，在狹縫隔艙16上部有真空泵162，使得當(dāng)有少量的反應(yīng)氣體42擴(kuò)散到此處時(shí)，被真空泵162抽走，而不能擴(kuò)散到第二鍍膜艙14的范圍內(nèi)。同理，反應(yīng)氣體44也不能擴(kuò)散到第一鍍膜艙12的范圍內(nèi)。這樣就實(shí)現(xiàn)了:用較短的距離使得相鄰陰極122、142的反應(yīng)氣體42、44不相互串通擴(kuò)散。同理，在沒(méi)有待鍍膜玻璃30的情況下，狹縫板163可向下調(diào)整,使狹縫板163距左底板1642，中間底板1644,右底板1646上表面的距離較小，在濺射鍍膜的真空度下，氣體分子自由程要比它們之間的距離大很多，根據(jù)真空中分子運(yùn)動(dòng)原理，這時(shí)氣體很難通過(guò)此“狹縫”擴(kuò)散，所以第一鍍膜艙12、第二鍍膜艙14的反應(yīng)氣體42、44被阻隔，也很難互相串通擴(kuò)散。
[0030]在本可調(diào)狹縫系統(tǒng)中，當(dāng)待鍍膜玻璃的厚度改變時(shí)，并不需要停機(jī)、充入大氣、對(duì)狹縫進(jìn)行調(diào)整，而中斷生產(chǎn)，只需在真空條件下對(duì)狹縫進(jìn)行調(diào)整，使其適合不同厚度的玻璃，就可以了。使連續(xù)生產(chǎn)不同厚度的玻璃成為可能。
[0031]上述玻璃鍍膜系統(tǒng)，通過(guò)在第一鍍膜艙和第二鍍膜艙之間安裝可調(diào)狹縫系統(tǒng)，本系統(tǒng)寬度只需廣2個(gè)隔艙位，就可不再拉長(zhǎng)兩個(gè)陰極之間的距離，也能保證不同隔艙區(qū)內(nèi)陰極氣體不互相串通擴(kuò)散。使兩個(gè)陰極之間的距離大大縮短，同時(shí)本發(fā)明具有在真空中連續(xù)可調(diào)的特點(diǎn)，當(dāng)生產(chǎn)不同厚度的玻璃時(shí)，并不需要采取停機(jī)、破壞真空、對(duì)狹縫進(jìn)行調(diào)整的步驟，而中斷生產(chǎn)，只需在真空中對(duì)狹縫板進(jìn)行上下調(diào)整，使其適合不同待鍍膜玻璃的厚度，使連續(xù)生產(chǎn)不同厚度的待鍍膜玻璃成為可能。本發(fā)明玻璃鍍膜系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于連續(xù)玻璃鍍膜生產(chǎn)線上。
[0032]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容做出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修 改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃鍍膜系統(tǒng)，其用于對(duì)待鍍膜玻璃進(jìn)行鍍膜，其特征在于:該玻璃鍍膜系統(tǒng)包括第一鍍膜艙、狹縫隔艙、第二鍍膜艙及傳送單元，該狹縫隔艙位于該第一鍍膜艙與該第二鍍膜艙之間，該傳送單元位于該第一鍍膜艙、該狹縫隔艙及該第二鍍膜艙的下端，該傳送單元用于在該第一鍍膜艙、該狹縫隔艙及該第二鍍膜艙內(nèi)傳送該待鍍膜玻璃，該狹縫隔艙還包括狹縫板及與該狹縫板相連的升降模組，該狹縫板位于該傳送單元上方，該升降模組與該狹縫板相連用于調(diào)節(jié)該狹縫板與該傳送單元之間的相對(duì)距離。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃鍍膜系統(tǒng)，其特征在于:該升降模組包括伺服電機(jī)和偏心輪機(jī)構(gòu)，該伺服電機(jī)設(shè)于該狹縫隔艙外，該偏心輪機(jī)構(gòu)連接于該狹縫板，該伺服電機(jī)的輸出軸連接有聯(lián)軸器。
3.如權(quán)利要求2所述的玻璃鍍膜系統(tǒng)，其特征在于:該偏心輪機(jī)構(gòu)包括有固定在該狹縫隔艙側(cè)壁上的軸承座，該軸承座上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，該轉(zhuǎn)動(dòng)軸上設(shè)有偏心輪，該轉(zhuǎn)動(dòng)軸通過(guò)該聯(lián)軸器與該伺服電機(jī)的輸出軸連接。
4.如權(quán)利要求3所述的玻璃鍍膜系統(tǒng)，其特征在于:該偏心輪與該狹縫板連接接觸，該狹縫板通過(guò)該伺服電機(jī)的輸出軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)該狹縫板上下移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)該狹縫板與該傳送單元之間的相對(duì)距離。
5.如權(quán)利要求2所述的玻璃鍍膜系統(tǒng),其特征在于:該伺服電機(jī)輸出軸與該狹縫隔艙之間設(shè)有密封圈；該伺服電機(jī)輸出軸與該密封圈之間設(shè)有真空密封組件。
6.如權(quán)利要求2所述的玻璃鍍膜系統(tǒng)，其特征在于:該升降模組為兩個(gè)，分別連接在該狹縫板的兩側(cè)。
7.如權(quán)利要求2所述的玻璃鍍膜系統(tǒng)，其特征在于:該狹縫隔艙中的傳送單元包括有兩個(gè)平行輥道，該狹縫隔艙下 端還固定設(shè)有底板，該兩個(gè)平行輥道將該底板分成左底板、中底板和右底板，該底板表面未超出該兩個(gè)平行輥道的最高點(diǎn)。
8.如權(quán)利要求1所述的玻璃鍍膜系統(tǒng)，其特征在于:該第一鍍膜艙和該第二鍍膜艙的傳送單元上方分別設(shè)有陰極，并分別設(shè)有供氣管，該供氣管連通有反應(yīng)氣體，該狹縫隔艙的傳送單元上方設(shè)有真空泵。
9.如權(quán)利要求8所述的玻璃鍍膜系統(tǒng)，其特征在于:該狹縫板中央設(shè)有狹縫抽氣口，該狹縫抽氣口設(shè)于該真空泵的正下方。
【文檔編號(hào)】C03C17/00GK103663996SQ201310588999
【公開(kāi)日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年11月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月20日
【發(fā)明者】陳海峰, 謝仕武, 白振中, 曾小綿 申請(qǐng)人:中國(guó)南玻集團(tuán)股份有限公司