本實(shí)用新型屬于檢驗(yàn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片脫膠花籃檢具。

背景技術(shù)：

在硅片生產(chǎn)領(lǐng)域中，硅片切割好后需要插入花籃放入清洗槽進(jìn)行清洗，但是由于硅片對(duì)于平直度要求非常高，因此對(duì)盛放硅片的花籃平直度、垂直度以及外形尺寸要求非常高，在初次使用前需要對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)，使用過(guò)程中也需要定期進(jìn)行檢測(cè)，但是現(xiàn)在市場(chǎng)沒(méi)有專門的檢具對(duì)花籃的各個(gè)參數(shù)進(jìn)行檢測(cè)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片脫膠花籃檢具，可以快速便捷地對(duì)花籃是否合格進(jìn)行檢測(cè)。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：硅片脫膠花籃檢具，包括本體以及本體兩側(cè)相連且相對(duì)設(shè)置的凹字形測(cè)試板，本體相對(duì)的兩個(gè)端面上對(duì)稱設(shè)置有豎向的凹槽，本體端面上設(shè)置的凹槽與花籃上的凹槽形狀、尺寸以及位置相適應(yīng)，兩個(gè)測(cè)試板之間的距離與花籃的長(zhǎng)度相適應(yīng)，每個(gè)測(cè)試板相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)內(nèi)壁之間的距離與花籃的寬度相適應(yīng)。

本實(shí)用新型的特點(diǎn)還在于：

測(cè)試板的內(nèi)部側(cè)壁與最靠近的本體的凹槽之間的距離和花籃的側(cè)板外壁與最靠近的花籃的凹槽之間的距離相適應(yīng)。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型的硅片脫膠花籃檢具針對(duì)現(xiàn)有市 場(chǎng)上沒(méi)有專門檢測(cè)花籃是否合格檢具的問(wèn)題，提出一種可以快速便捷地對(duì)花籃的平直度、垂直度以及外形尺寸進(jìn)行檢測(cè)的硅片脫膠花籃檢具，只需觀測(cè)花籃可否通過(guò)檢具即可測(cè)得花籃是否合格。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的硅片脫膠花籃檢具的俯視圖。

圖中，1.本體，2.測(cè)試板，3.凹槽，21.第一側(cè)板，22.第二側(cè)板，23.第三側(cè)板，24.第四側(cè)板，25.第一端板，26.第二端板。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。

本實(shí)用新型提供的硅片脫膠花籃檢具的結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括本體1以及與本體1兩側(cè)相連且相對(duì)設(shè)置的凹字形測(cè)試板2，具體地，如圖1及圖1中方向所示，左邊的測(cè)試板2包括相對(duì)設(shè)置的第一側(cè)板21、第二側(cè)板22以及與第一側(cè)板21、第二側(cè)板22分別相連且相垂直的第一端板25，右邊的測(cè)試板2包括相對(duì)設(shè)置的第三側(cè)板23、第四側(cè)板24以及與第三側(cè)板23、第四側(cè)板24分別相連且相垂直的第二端板26。本體1相對(duì)的兩個(gè)端面上對(duì)稱設(shè)置有豎向的凹槽3，多個(gè)凹槽3的總距離為圖1中所標(biāo)的B，本體1端面上設(shè)置的凹槽3與花籃上的凹槽形狀、尺寸以及位置相適應(yīng)，兩個(gè)測(cè)試板2的端板之間的距離與花籃的長(zhǎng)度相適應(yīng)，每個(gè)測(cè)試板相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)內(nèi)壁之間的距離與花籃的寬度相適應(yīng)。

測(cè)試板2的內(nèi)部側(cè)壁與最靠近的本體1的凹槽3之間的距離為圖1中所標(biāo)的A，其與花籃的側(cè)板外壁與距最靠近的花籃的凹槽之間的距離相適應(yīng)。

本實(shí)用新型的硅片脫膠花籃檢具模擬硅片和插片機(jī)的使用過(guò)程來(lái)檢測(cè)花籃的平面度、垂直度以及外形尺寸是否合格，檢測(cè)時(shí)，將花籃從本體1的 正上方向下運(yùn)動(dòng)。第一端板25和第二端板26構(gòu)成兩個(gè)平行面，如果花籃可以通過(guò)這個(gè)平行空間，則說(shuō)明花籃的兩個(gè)側(cè)面平面度及長(zhǎng)度距離合格；第一側(cè)板21與第二側(cè)板22之間以及第三側(cè)板23與第四側(cè)板24之間的距離均與花籃的寬度距離相適應(yīng)，且第一側(cè)板21與第三側(cè)板23以及第二側(cè)板22和第四側(cè)板24之間形成兩個(gè)平行面，如果花籃能通過(guò)這兩個(gè)平面構(gòu)成的空間且寬度距離與相對(duì)的兩個(gè)側(cè)板距離相同，則花籃的兩個(gè)端面平面度及寬度距離是合格的；如果花籃能通過(guò)A尺寸這個(gè)空間，則花籃側(cè)板和第一個(gè)卡槽的尺寸是合格的；如果花籃能通過(guò)B尺寸這個(gè)空間，則花籃第一個(gè)卡槽和最后一個(gè)卡槽及他們之間的卡槽均合格。以上四個(gè)檢驗(yàn)項(xiàng)目同時(shí)滿足，則花籃可以從上向下套入本體1內(nèi)、且被相對(duì)設(shè)置的凹字形測(cè)試板2包圍，即花籃的平面度、垂直度以及外形尺寸是合格的。