本發(fā)明涉及一種晶圓轉(zhuǎn)移裝置。
背景技術：
晶圓生產(chǎn)過程中，涉及多種處理工藝。通常為了大規(guī)模生產(chǎn)的需要，多片晶圓放置在一個料盒中同時處理。料盒需要適應各個工序的處理裝置。但在實際生產(chǎn)過程中，即使是同一晶圓的料盒，在各處理工序使用的料盒尺寸不同。因此，這就決定了在整個處理工藝過程中，需要將晶圓從一個料盒轉(zhuǎn)移到另一個料盒中。現(xiàn)有技術中，依靠工人人工轉(zhuǎn)移晶圓，不僅勞動強度大，效率低，而且生產(chǎn)成本高，難以適應大規(guī)模生產(chǎn)的需要。
技術實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術的不足，提供一種可代替人工的晶圓轉(zhuǎn)移裝置。
為實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過以下技術方案實現(xiàn)：
晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括:
支撐臺，所述支撐臺設置有通孔，所述支撐臺可升降地設置；
托盤，所述托盤固定設置于所述支撐臺下方，所述支撐臺升降降過程中使所述托盤自所述通孔穿過；
第一機械臂和第二機械臂；所述第一機械臂與所述第二機械臂可相互靠近及遠離地設置，用于共同夾持晶圓；所述第一機械臂與所述第二機械臂設置于所述支撐臺上方；所述第一機械臂與所述第二機械臂可升降并可水平移動地設置。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，還包括第一驅(qū)動裝置，所述第一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述支撐臺升降或通過第一傳動裝置驅(qū)動所述支撐臺升降地設置。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第一驅(qū)動裝置為第一旋轉(zhuǎn)電機，所述第一傳動裝置為第一絲杠螺母；所述第一旋轉(zhuǎn)電機通過所述第一絲杠螺母驅(qū)動所述支撐臺升降地設置。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述支撐臺設置于支架上，所述支架與所述絲杠螺母連接。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，還包括第一導向裝置，所述支撐臺與所述導向裝置直接連接或間接連接，所述第一導向裝置為所述支撐臺升降時導向。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第一機械臂與所述第二機械臂可同步升降地設置。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，還包括第二驅(qū)動裝置，所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述第一機械臂與所述第二機械臂升降或通過第二傳動裝置驅(qū)動所述第一機械臂與所述第二機械臂同步升降地設置。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第二驅(qū)動裝置為第二旋轉(zhuǎn)電機，所述第二傳動裝置為第二絲杠螺母；所述第二旋轉(zhuǎn)電機通過第二絲杠螺母驅(qū)動所述第一機械臂和所述第二機械臂升降地設置。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，還包括第三導向裝置，所述第三導向裝置為所述第一機械臂和第二機械臂升降時導向。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，還包括支撐板；所述第一機械臂和所述第二機械臂設置在所述支撐板上，所述第一機械臂和所述第二機械臂兩者之一或兩者均可移動地設置；所述支撐板與所述第二導向裝置連接。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第一機械臂與所述第二機械臂可同步水平移動地設置。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，還包括第三驅(qū)動裝置，所述第三驅(qū)動裝置驅(qū)動所述第一機械臂與所述第二機械臂水平移動地設置或通過第三傳動裝置驅(qū)動所述第一機械臂與所述第二機械臂可同步水平移動地設置。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，還包括第三導向裝置；所述第一機械臂及所述第二機械臂與所述第三導向裝置連接；所述第三導向裝置為所述第一機械臂及所述第二機械臂同步移動時導向。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，還包括第四驅(qū)動裝置，所述第四驅(qū)動裝置數(shù)量為一個或多個，驅(qū)動第一機械臂和第二機械臂其中一個或兩個移動地設置，所述第四驅(qū)動裝置驅(qū)動所述第一機械臂與所述第二機械臂相互靠近及遠離。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第四驅(qū)動裝置為雙桿氣缸，所述雙桿氣缸設置有第一活塞桿和第二活塞桿，所述第一活塞桿與所述第一機械臂連接；所述第二活塞桿與所述第二機械臂連接。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，還包括第四導向裝置，所述第四導向裝置數(shù)目為一個或多個，所述第四導向裝置為所述第一機械臂和所述第二機械臂中的一個或兩個移動時導向。
根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述第一機械臂設置有第一容置槽；所述第二機械臂設置有第二容置槽；所述第一機械臂與所述第二機械臂相互靠近時，可使晶圓兩側(cè)邊緣分別插入所述第一容置槽和所述第二容置槽內(nèi)，所述第一機械臂和所述第二機械臂共通夾持晶圓。
本發(fā)明中的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，將盛有晶圓的第一料盒和空的第二料盒間隔放置在支撐臺的通孔處，然后支撐臺下降，支撐臺下降過程中，托盤穿過支撐臺的通孔和第一料盒將晶圓從第一料盒中托出。然后再使用第一機械臂和第二機械臂夾持住晶圓。第一機械臂和第二機械臂夾持住晶圓水平移動至第二料盒上方后下降至將晶圓放置在另一個托盤上。支撐臺攜帶第二料盒上升，直至晶圓落入第二料盒內(nèi)，支撐臺攜帶第二料盒繼續(xù)上升至另一個托盤上方，至此完成晶圓在兩個料盒之間的轉(zhuǎn)移。
本發(fā)明利用托盤固定、支撐臺的升降取放晶圓，自動化程度高，可代替人工轉(zhuǎn)移晶圓，勞動強度小且效率高，可適應大規(guī)模生產(chǎn)的需要。本發(fā)明使用導向裝置，可確保各部件的運行穩(wěn)定，防止損壞晶圓。支撐臺可升降地設置，使托盤托住晶圓相對料盒升降，既可以將晶圓從料盒中托出，也可以托住晶圓進入料盒中，使用方便。第一機械臂和第二機械臂共同夾持晶圓，配合托盤使用可更方便地轉(zhuǎn)移晶圓。支撐臺可升降地設置，可交替將不同的料盒轉(zhuǎn)換位置，進一步提高晶圓轉(zhuǎn)移的自動化程度，效率更高。本發(fā)明適用于在處理液中將晶圓在不同的料盒之間轉(zhuǎn)移，晶圓的轉(zhuǎn)移不需要從處理液中露出，可確保晶圓處理的連續(xù)性，避免處理過程中露出處理液而影響處理品質(zhì)。
附圖說明
圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進行詳細的描述。
如圖1，晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其包括支撐臺10、托盤20、第一機械臂30和第二機械臂40。支撐臺10設置有多個通孔11。多個通孔11間隔設置。支撐臺10設置在支架12上。支架12可攜帶支撐臺10升降地設置。第一旋轉(zhuǎn)電機51與第一絲杠螺母61連接，支架12與第一絲杠螺母61連接。第一旋轉(zhuǎn)電機51通過第一絲杠螺母61驅(qū)動支架12升降。兩根第一導軌71上分別設置有第一滑塊(圖中未示出)。第一滑塊可沿第一導軌71升降滑動。支架12與第一滑塊連接。第一旋轉(zhuǎn)電機51通過第一絲杠螺母61驅(qū)動支架12沿第一導軌71滑動。支架12升降時攜帶支撐臺10升降。
本發(fā)明中的第一旋轉(zhuǎn)電機為第一驅(qū)動裝置的實施例，其還以采用其他類型的驅(qū)動裝置如直線電機、氣缸代替。第一絲杠螺母為第一傳動裝置的實施例，其也可以采用其他類型的傳動裝置如絲桿、同步帶、傳動鏈等代替。第一導軌和第一滑塊為第一導向裝置的實施例，其也可以采用其他具有導向功能的裝置如滑塊與滑槽相配合代替。
所述托盤20固定設置在支撐臺10下方。托盤20與通孔11位置上下相對。支撐臺10升降時，可使托盤20自通孔11內(nèi)穿過。
本發(fā)明中的第一機械臂30設置有多個第一容置槽31；所述第二機械臂40設置有多個第二容置槽(圖中未示出)。所述第一機械臂30與所述第二機械臂40設置于支撐板50上，并位于所述支撐臺10上方。所述第一機械臂30的第一容置槽31與所述第二機械臂40的第二容置槽相對設置，用于共同夾持晶圓。
本發(fā)明還設置有第二旋轉(zhuǎn)電機52、第二絲杠螺母62、第二導軌73和第二滑塊。第二旋轉(zhuǎn)電機52與第二絲杠螺母62連接。支撐板50與第二絲杠螺母62連接。兩根第二導軌73間隔設置，每根第二導軌73上設置有第二滑塊(圖中未示出)。第二滑塊可沿第二導軌73滑動。支撐板50與兩根第二導軌73上的第二滑塊連接并與第二絲杠螺母62連接。第二旋轉(zhuǎn)電機52通過第二絲杠螺母62驅(qū)動支撐板50沿第二導軌73升降。支撐板50帶動第一機械臂30與所述第二機械臂40同步升降。
本發(fā)明中的第二旋轉(zhuǎn)電機為第二驅(qū)動裝置的實施例，其還以采用其他類型的驅(qū)動裝置如直線電機、氣缸代替。第二絲杠螺母為第二傳動裝置的實施例，其也可以采用其他類型的傳動裝置如絲桿、同步帶、傳動鏈等代替。第二導軌和第二滑塊為第二導向裝置的實施例，其也可以采用其他具有導向功能的裝置如滑塊與滑槽相配合代替。
所述第一機械臂30與所述第二機械臂40可相互靠近及遠離地設置。所述第一機械臂30與所述第二機械臂40相互靠近時，可使晶圓90兩側(cè)邊緣分別插入所述第一容置槽31和所述第二容置槽內(nèi)，第一機械臂30與所述第二機械臂40共同夾持晶圓。本發(fā)明還設置有雙桿氣缸53、第三導軌77和第三滑塊78。雙桿氣缸53具有第一活塞桿54和第二活塞桿55。雙桿氣缸53設置在支撐板50上。第一活塞桿54與第一機械臂30連接，第二活塞桿55與第二機械臂40連接。第一活塞桿54和第二活塞桿55伸縮可驅(qū)動第一機械臂30和第二機械臂40相互靠近及遠離。第三導軌77安裝在支撐板50上。第三導軌77上設置有三個第四滑塊78，第三滑塊78可沿第三導軌77滑動。第一機械臂30與其中一個第四滑塊78連接，第二機械臂40與另一個第四滑塊78連接，雙桿氣缸53與第三個第四滑塊(圖中未示出)連接。雙桿 氣缸53通過第一活塞桿53和第二活塞桿54驅(qū)動第一機械臂30和第二機械臂40相互靠近及遠離。雙桿氣缸53、第一機械臂30及第二機械臂40均可沿第三導軌77滑動。
本發(fā)明中的雙桿氣缸為第四驅(qū)動裝置的實施例，其還以采用其他類型的驅(qū)動裝置如直線電機、旋轉(zhuǎn)電機代替。如第四驅(qū)動裝置采用其他類型的動力裝置，還可以傳動裝置如絲杠螺母、同步帶、傳動鏈結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明中還設置有第三旋轉(zhuǎn)電機56、第三絲杠螺母63。第三絲杠螺母63與雙桿氣缸53連接。第三旋轉(zhuǎn)電機56通過第三絲杠螺母63驅(qū)動雙桿氣缸53水平移動。雙桿氣缸53水平移動時帶動第一機械臂30、第二機械臂40沿第三導軌77同步水平移動。
本發(fā)明中的第三旋轉(zhuǎn)電機為第三驅(qū)動裝置的實施例，其還以采用其他類型的驅(qū)動裝置如直線電機、氣缸代替。第三絲杠螺母為第三傳動裝置的實施例，其也可以采用其他類型的傳動裝置如絲桿、同步帶、傳動鏈等代替。第三導軌和第三滑塊為第三導向裝置的實施例，其也可以采用其他具有導向功能的裝置如滑塊與滑槽相配合代替。
如圖1所示，本發(fā)明中的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，將盛有晶圓(圖中未示出)的第一料盒81和空的第二料盒82間隔放置在支撐臺的通孔11處，支撐臺10下降過程中使托盤20穿過支撐臺的通孔11和第一料盒81將晶圓從第一料盒81中托出，然后再使用第一機械臂30和第二機械臂40夾持住晶圓上升后水平移動至第二料盒82上方或者直接水平移動至另一個托盤20上方后下降。第一機械臂30和第二機械臂40相互遠離松開晶圓，將晶圓放置在另一個托盤20上。支撐臺10攜帶第二料盒82上升至托盤20上方，使晶圓落入第二料盒82內(nèi)，完成晶圓90在兩個料盒之間的轉(zhuǎn)移。
本發(fā)明所述的第一導向裝置、第二導向裝置為部分零部件升降時導向，因此兩者可一體設置或僅采用其中一個。本發(fā)明所述的第三導向裝置、第四導向裝置為部分零部件水平移動時導向，因此兩者可一體設置或僅采用其中一個。
本發(fā)明利用托盤固定、支撐臺的升降取放晶圓，自動化程度高，可代替人工轉(zhuǎn)移晶圓，勞動強度小且效率高，可適應大規(guī)模生產(chǎn)的需要。本發(fā)明使用導向裝置，可確保各部件的運行穩(wěn)定，防止損壞晶圓。支撐臺可升降地設置，使托盤托住晶圓相對料盒升降，既可以將晶圓從料盒中托出，也可以托住晶圓進入料盒中，使用方便。第一機械臂和第二機械臂共同夾持晶圓，配合托盤使用可更方便地轉(zhuǎn)移晶圓。支撐臺可升降地設置，可交替將不同的料盒轉(zhuǎn)換位置，進一步提高晶圓轉(zhuǎn)移的自動化程度，效率更高。本發(fā)明適用于在處理液中將晶圓在不同的料盒之間轉(zhuǎn)移，晶圓的轉(zhuǎn)移不需要從處理液中露出，可確保晶圓處理的連續(xù)性，避免 處理過程中露出處理液而影響處理品質(zhì)。
本發(fā)明本發(fā)明中的實施例僅用于對本發(fā)明進行說明，并不構(gòu)成對權利要求范圍的限制，本領域內(nèi)技術人員可以想到的其他實質(zhì)上等同的替代，均在本發(fā)明保護范圍內(nèi)。