本實(shí)用新型主要涉及半導(dǎo)體芯片行業(yè)和光伏太陽能行業(yè)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓花籃。

背景技術(shù)：

隨著半導(dǎo)體和太陽能工業(yè)自動化生產(chǎn)程度的不斷提高和普及，適用整條生產(chǎn)線加工載體的要求越來越高，尤其是精度和功能必須達(dá)到各自動化設(shè)備能識別和感應(yīng)到該載體，從而達(dá)到滿足自動化設(shè)備各種動作的需要。目前國內(nèi)市場上花籃最大只能滿足8英寸以下晶圓片、硅片、芯片的需求，而12英寸及以下的花籃，國內(nèi)還不能提供，該產(chǎn)品對花籃的尺寸精度，材料，加工工藝要求更高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種晶圓花籃。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型所采取的措施：

一種晶圓花籃，包括花籃主體，所述的花籃主體包括前側(cè)面、后側(cè)面和兩個(gè)相對的側(cè)壁，兩側(cè)壁上開設(shè)有若干列相對應(yīng)的插槽，插槽垂直走向均勻分布在側(cè)壁上，花籃主體的前側(cè)面和后側(cè)面與兩側(cè)壁一體成型，所述花籃主體的四角設(shè)有立柱，兩側(cè)壁分別位于立柱外側(cè)并向外成一定弧度，花籃主體的底邊沿、上邊沿和兩側(cè)壁成梯形結(jié)構(gòu)。

所述的花籃主體的兩側(cè)壁上沿向外凸出平行設(shè)置有托邊，托邊的外沿中間位置設(shè)有半圓形缺口，所述的花籃主體的前側(cè)面和后側(cè)面下部設(shè)有向上開口的半圓形缺口。

所述的前側(cè)面和后側(cè)面的上沿分別設(shè)有橫梁，前側(cè)面橫梁的高度為后側(cè)面橫梁高度的一半，前側(cè)面橫梁和后側(cè)面橫梁與兩側(cè)壁之間分別連接有加強(qiáng)柱。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型滿足了晶圓片硅片芯片自動化生產(chǎn)的需要，填補(bǔ)了目前國內(nèi)市場上對12英寸及以下花籃的需求。

附圖說明

圖1、本實(shí)用新型的前側(cè)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2、本實(shí)用新型的后側(cè)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3、本實(shí)用新型的俯視圖。

具體實(shí)施方式

如圖1-3所示，本實(shí)用新型提供的一種晶圓花籃，一種晶圓花籃，包括花籃主體1，所述的花籃主體1包括前側(cè)面2、后側(cè)面3和兩個(gè)相對的側(cè)壁4，兩側(cè)壁4上開設(shè)有若干列相對應(yīng)的插槽5，插槽5垂直走向均勻分布在側(cè)壁4上，花籃主體1的前側(cè)面2和后側(cè)面3與兩側(cè)壁4一體成型，所述花籃主體1的四角設(shè)有立柱6，兩側(cè)壁4分別位于立柱6外側(cè)并向外成一定弧度，花籃主體1的底邊沿、上邊沿和兩側(cè)壁4成梯形結(jié)構(gòu)，兩側(cè)壁4內(nèi)徑與晶圓直徑相匹配，晶圓片剛好放入插槽中，兩側(cè)壁4上沿向外凸出平行設(shè)置有托邊7，托邊7的外沿中間位置設(shè)有半圓形缺口，可以托住托邊7將整個(gè)晶圓花籃托起移動。

所述的花籃主體1的前側(cè)面2和后側(cè)面3下部設(shè)有向上開口的半圓形缺口，所述的前側(cè)面2和后側(cè)面3的上沿分別設(shè)有橫梁，前側(cè)面2橫梁的高度為后側(cè)面3橫梁高度的一半，前側(cè)面2橫梁和后側(cè)面3橫梁與兩側(cè)壁4之間分別連接有加強(qiáng)柱，前側(cè)面2和后側(cè)面3外側(cè)的橫梁下方位置設(shè)置有若干條橫柱，可以從前側(cè)面看到晶圓片情況，花籃整體結(jié)構(gòu)更牢固。

根據(jù)用戶的自動化設(shè)備技術(shù)參數(shù)要求，設(shè)計(jì)12寸及以下的花籃，通過精密注塑模具的設(shè)計(jì)，模具精密加工和模具拋光處理等精密工藝，同時(shí)選用日本進(jìn)口Polybutylene naphthalat防靜電材料，通過1200T的注塑機(jī)注塑而成。

以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理、主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本領(lǐng)域內(nèi)普通的技術(shù)人員的簡單更改和替換都是本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。