本發(fā)明涉及溶液制膜裝置及方法。

背景技術：

在智能手機或平板終端等中搭載的中小型顯示器的市場中，要求進一步的高精細化。因此，對于這些顯示器中使用的膜，要求比以往進一步提高膜面中的平滑度。此外，對于這些顯示器中使用的膜，還一并要求使厚度更薄、具體而言制成40μm以下。

通常，膜被制造成長條，切割成目標大小后，供于使用。作為長條的膜的制造方法，大致分類有溶液制膜方法和熔融制膜方法。其中，溶液制膜方法在能夠制造膜面更平滑的膜的方面比熔融制膜方法更有優(yōu)勢。溶液制膜方法是通過將聚合物溶解于溶劑中而得到的膠漿從流延模流出到移動的支撐體上而形成流延膜，并通過將該流延膜從流延支撐體上剝離來制造膜的方法。支撐體上的流延膜在朝向從支撐體上被剝取的剝取位置移送的期間通過送入干燥風等而溶劑揮發(fā)(蒸發(fā))，被干燥至剝取后能夠搬送的程度。

另一方面，流延膜、特別是剛流延后的流延膜由于表面不穩(wěn)定，所以若急劇地使溶劑揮發(fā)(蒸發(fā))，則存在產生厚度不均的問題。因此，在日本特開2013-156488號公報中，通過對流延膜吹噴包含溶劑的溶劑氣體來防止厚度不均。此外，在日本特開2005-096182號公報中，通過同時進行溶劑氣體的抽吸和溶劑氣體的供給、抑制溶劑的急劇的揮發(fā)(蒸發(fā))來防止厚度不均。

但是，如日本特開2013-156488號公報那樣僅對流延膜吹噴溶劑氣體時，存在流延膜的干燥沒有進展、剝取之前的時間變長、生產效率差的問題。與此相對，在日本特開2005-096182號公報中，由于在規(guī)定的區(qū)域內不僅供給溶劑氣體還進行抽吸，所以通過將該區(qū)域內的溶劑的濃度控制為流延膜的干燥適度地進展的程度，還能夠抑制生產效率的降低。

然而，在日本特開2005-096182號公報中，存在以下問題：區(qū)域內的各位置處的溶劑氣體的濃度不同，起因于此而使得流延膜的各位置處的干燥的程度不同，產生厚度不均。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供能夠抑制生產效率的降低、并且防止厚度不均的溶液制膜裝置及方法。

本發(fā)明的溶液制膜裝置具備一對遮風板、溶劑氣體抽吸機構和溶劑氣體供給機構，通過將聚合物溶解于溶劑中而得到的聚合物溶液流延到移動的支撐體上而形成流延膜。一對遮風板沿著流延膜的側緣而設置，將支撐體的上方的空間分隔成流延膜所流延的內側區(qū)域、和流延膜的外側的外側區(qū)域。溶劑氣體抽吸機構從配置在內側區(qū)域內的吸氣口進行吸氣，對包含從流延膜揮發(fā)的溶劑的溶劑氣體進行抽吸。溶劑氣體供給機構將包含使聚合物溶解的溶劑的溶劑氣體供給到支撐體與遮風板之間的間隙。

在將流延膜中的溶劑的質量設為ms，將流延膜的質量設為mf時，優(yōu)選在以{ms/(mf-ms)}×100表示的溶劑含有率為200％以上的區(qū)域中，進行利用溶劑氣體抽吸機構的抽吸、和利用溶劑氣體供給機構的供給。

優(yōu)選設置將一個遮風板的上端部與另一個遮風板的上端部連接的蓋部件，并通過蓋部件將內側區(qū)域從上方覆蓋。

也可以在內側區(qū)域中設置紅外線照射機，紅外線照射機通過對流延膜照射紅外線，從而促進流延膜中包含的溶劑的揮發(fā)。

溶劑氣體供給機構也可以是從設置在遮風板的下端部的側面的供給口進行供給的機構。

溶劑氣體供給機構也可以是從供給口朝向下方的支撐體垂直地供給包含使聚合物溶解的溶劑的溶劑氣體的機構。

在將溶劑氣體抽吸機構所抽吸的溶劑氣體即抽吸氣體的濃度設為a，將溶劑氣體供給機構所供給的溶劑氣體即供給氣體的濃度設為b時，優(yōu)選滿足a/5≤b。

在將溶劑氣體抽吸機構所抽吸的溶劑氣體即抽吸氣體的濃度設為a，將溶劑氣體供給機構所供給的溶劑氣體即供給氣體的濃度設為b時，優(yōu)選滿足b≤a。

優(yōu)選具備測定溶劑氣體抽吸機構所抽吸的溶劑氣體的濃度的傳感器、和基于傳感器的測定結果而控制從溶劑氣體供給機構供給的溶劑氣體的濃度的供給氣體濃度控制機構。

也可以從溶劑氣體供給機構供給溶劑氣體抽吸機構所抽吸的溶劑氣體。

通過將流延膜從支撐體上剝取而制造的膜的厚度也可以為40μm以下。

本發(fā)明的溶液制膜方法具有流延膜形成步驟、移送步驟和剝取步驟。流延膜形成步驟是將聚合物溶解于溶劑中而得到的聚合物溶液流延到移動的支撐體上而形成流延膜。移送步驟是將流延膜移送至從支撐體上剝取的剝取位置。剝取步驟是在剝取位置將流延膜從支撐體上剝取。在移送步驟中，通過沿著流延膜的側緣而設置的一對遮風板，將支撐體的上方的空間分隔成流延膜所流延的內側區(qū)域和流延膜的外側的外側區(qū)域，從配置在內側區(qū)域內的吸氣口進行吸氣，對包含從流延膜揮發(fā)的溶劑的溶劑氣體進行抽吸，從支撐體與遮風板之間的間隙供給包含使聚合物溶解的溶劑的溶劑氣體。

根據(jù)本發(fā)明，通過從流延膜的上方的區(qū)域(內側區(qū)域)抽吸溶劑氣體，促進流延膜的干燥，能夠抑制生產效率的降低。此外，根據(jù)本發(fā)明，通過從伴隨溶劑氣體的抽吸而新的空氣流入的部位、即遮風板與支撐體的間隙供給溶劑氣體，能夠使流延膜的表面附近的各位置處的溶劑濃度勻稱化(能夠防止流延膜的側緣部附近的溶劑濃度相對于流延膜的中央部附近的溶劑濃度降低)，還能夠防止厚度不均。

附圖說明

上述目的、優(yōu)點通過參照所附的附圖，并閱讀優(yōu)選的實施例的詳細的說明，本領域技術人員可以容易地理解。

圖1是溶液制膜裝置的概略圖。

圖2是表示溶劑氣體抽吸機構的構成的說明圖。

圖3是表示溶劑氣體供給機構的構成的說明圖。

具體實施方式

如圖1中所示的那樣，本發(fā)明的溶液制膜裝置10是用于通過將膠漿12流延到支撐體上而形成流延膜14，使流延膜14干燥后從支撐體上剝取來制造膜16的裝置。溶液制膜裝置10從上游側起依次設置有流延裝置20、拉幅機22、輥干燥裝置24、切條機26、卷取裝置28。另外，本實施方式中，通過溶液制膜裝置10，制造厚度為10μm以上且40μm以下的膜16。

膠漿12是聚合物溶解于溶劑中而得到的聚合物溶液，本實施方式中，作為聚合物，使用三醋酸纖維素(tac，triacetylcellulose)。在聚合物溶液中，作為成為膜16的固體成分，也可以包含除聚合物以外的固體成分。作為除聚合物以外的固體成分，例如有增塑劑、紫外線吸收劑、延遲控制劑、微粒等，本實施方式中包含增塑劑。微粒是為了對膜16賦予滑動性和/或耐擦傷性、或者抑制重疊膜16時的粘附等目的而使用的所謂的消光劑。在將固體成分的質量設為mp，將溶劑的質量設為ms時，膠漿12中的固體成分以mp/(mp+ms)×100所表示的百分率計，設定為10％以上且23％以下的范圍內，本實施方式中設定為19％。

作為溶劑，本實施方式中，使用二氯甲烷與甲醇的混合物。溶液制膜中使用的溶劑通常使用在氣體狀態(tài)下比氣氛(例如空氣)重的溶劑，本實施方式的溶劑也在氣體狀態(tài)下比氣氛(例如空氣)重。溶劑并不限于本實施方式的例子，例如可以使用丁醇、乙醇、丙醇等，它們也可以作為混合物而將2種以上并用。

另外，本說明書中，膜16(或流延膜14)的溶劑含有率(單位：％)為干量基準的值。具體而言，在將區(qū)域a中的溶劑的質量設為ms，將區(qū)域a中的膜16(或流延膜14)的質量設為mf時，任意的區(qū)域a中的膜16(或流延膜14)的溶劑含有率(單位：％)為以{ms/(mf-ms)}×100表示的百分率。

流延裝置20具備形成為環(huán)狀的無接頭的流延支撐體即帶30、和沿周向旋轉的第1輥32及第2輥34。帶30被卷掛到第1輥32和第2輥34的周面上。第1、第2輥32、34中的至少一個為接受來自驅動機構的驅動力的供給而旋轉的驅動輥，本實施方式中，第1輥32和第2輥34這兩者被設為驅動輥。通過該驅動輥沿周向進行旋轉，從而與周面相接的帶30沿長度方向進行移動、并循環(huán)。

在帶30的上方，設置有將膠漿12流出的流延模36。通過使膠漿12從流延模36連續(xù)地流出到移動的帶30上，從而膠漿12在帶30上被流延，由此形成流延膜14。另外，以下將膠漿12開始與帶30接觸的位置稱為流延位置pc。

本實施方式中，將流延模36設置在第1輥32上的帶30的上方，流延位置pc成為第1輥32上。但是，流延模36的位置并不限定于此。例如，也可以在第1輥32與第2輥34之間的帶30的上方設置流延模36。這種情況下，優(yōu)選在通過配置在第1輥32與第2輥34之間的帶30的下方的輥38而被支撐的帶30的上方配置流延模36。

第1輥32和第2輥34分別具備控制周面溫度的溫度控制器(未圖示)。例如，第1輥32通過溫度控制器按照周面溫度成為規(guī)定的范圍的方式被冷卻。通過將第1輥32冷卻，從而帶30在每1周被冷卻。由此，即使連續(xù)移動并通過后述的吸氣干燥單元40和送風干燥單元42被持續(xù)加熱，也可以抑制帶30、特別是兩側部的溫度上升。此外，第2輥34通過溫度控制器按照周面溫度成為規(guī)定的范圍的方式被加熱。通過將第2輥34加熱，從而流延膜14更有效地進行干燥。

另外，第1輥32的周面溫度優(yōu)選設定為3℃以上且30℃以下的范圍，更優(yōu)選設定為5℃以上且25℃以下的范圍，進一步優(yōu)選設定為8℃以上且20℃以下的范圍。此外，第2輥34的周面溫度優(yōu)選設定為20℃以上且50℃以下的范圍，更優(yōu)選設定為25℃以上且45℃以下的范圍，進一步優(yōu)選設定為30℃以上且40℃以下的范圍。

關于從流延模36至帶30的膠漿12、即所謂的流延珠，在帶30的移動方向的上游側，設置有減壓腔室(未圖示)。減壓腔室將流延珠的上游側區(qū)域(圖1中為流延珠的右側的區(qū)域)的氣氛進行抽吸，由此將該區(qū)域減壓。由此，由于流延珠被上游側牽引，所以即使流延膜14向下游側移動，流延位置pc也不會發(fā)生變化而變得恒定(流延位置pc穩(wěn)定)。

帶30上的流延膜14經(jīng)由后述的吸氣干燥單元40和送風干燥單元42，被凝固(凝膠化)至能夠向拉幅機22搬送的程度為止，然后以包含溶劑的狀態(tài)從帶30上剝取，通過該剝取而成為膜16。剝取優(yōu)選在溶劑含有率成為70％以下后進行，更優(yōu)選在10％以上且70％以下的范圍內、進一步優(yōu)選在20％以上且50％以下的范圍內進行。

在剝取時，以剝取輥44將膜16進行支撐，將流延膜14從帶30上被剝離的剝取位置pp保持恒定。剝取輥44也可以是具備驅動機構而沿周向旋轉的驅動輥。另外，剝取在第1輥32上的帶30上進行。若帶30循環(huán)而從剝取位置pp返回至流延位置pc，則在流延位置pc處，新的膠漿12再次被流延。

在流延位置pc與剝取位置pp之間，設置有吸氣干燥單元40和送風干燥單元42。吸氣干燥單元40被配置在從流延位置pc朝向第2輥34的帶30的上方，通過將包含從流延膜14揮發(fā)(蒸發(fā))的溶劑的溶劑氣體進行抽吸而促進流延膜14的干燥。吸氣干燥單元40優(yōu)選設置在流延膜14的溶劑含有率成為200％以上的區(qū)域的上方，本實施方式中，通過吸氣干燥單元40，使流延膜14干燥至溶劑含有率成為300％為止。即，本實施方式中，在溶劑含有率成為300％以上的區(qū)域的上方配置有吸氣干燥單元40。另外，吸氣干燥單元40的詳細情況利用別的附圖在后面敘述。

送風干燥單元42被設置在吸氣干燥單元40的下游側，從上游側起以沿著帶30的移動方向排列的狀態(tài)依次配置有第1送風部46、排氣部48、第2送風部50。第1送風部46被配置在從第1輥32朝向第2輥34的帶30的移動路徑附近，排氣部48和第2送風部50被配置在從第2輥34朝向第1輥32的帶30的移動路徑附近。

第1送風部46和第2送風部50將干燥后的氣體流出，排氣部48將氣體進行抽吸、排氣。送風干燥單元42具備控制器52，控制器52對第1送風部46和第2送風部50輸送干燥后的氣體(以下，稱為干燥氣體)例如空氣，并獨立地調節(jié)該氣體的溫度、濕度、來自第1送風部46和第2送風部50的流量、排氣部48中的氣體的抽吸力。本實施方式中，來自第1送風部46和第2送風部50的干燥氣體通過控制器52被加熱至大概100℃。通過將這樣加熱后的氣體作為溫風流動到流延膜14上，從而將流延膜14進行加熱，促進干燥。干燥氣體的溫度優(yōu)選為50℃以上且140℃以下的范圍內。

第1送風部46按照流出干燥氣體的流出口46a朝向帶30的移動方向的方式配置，由此，對搬送的流延膜14以順風供給干燥氣體。該干燥氣體成為相對于流延膜14的膜面平行的流體。第2送風部50按照流出干燥氣體的流出口50a朝向與帶30的移動方向相反一側的方式配置，由此，對搬送的流延膜14以逆風供給干燥氣體。該干燥氣體也成為相對于流延膜14的膜面平行的流體。排氣部48按照抽吸氣體的吸氣口48a朝向所通過的流延膜14的方式配置，在第1送風部46與第2送風部50之間抽吸氣體。流出口46a、流出口50a、吸氣口48a為沿帶30的寬度方向(圖1的紙面深度方向)延長的狹縫狀的開口。

另外，本實施方式中，通過控制器52分別獨立地控制第1送風部46和排氣部48和第2送風部50，但并不限于該方式。例如，也可以在第1送風部46和排氣部48和第2送風部50上分別設置控制器(無圖示)，通過各控制器來控制第1送風部46和排氣部48和第2送風部50。

這樣，通過吸氣干燥單元40和送風干燥單元42而干燥的流延膜14通過剝取輥44從帶30上剝取而成為膜16，并被引導至拉幅機22中。也可以在流延裝置20與拉幅機22之間的搬送路徑中配置送風裝置(無圖示)。通過來自該送風裝置的送風，膜16的干燥得到促進。

拉幅機22是一邊將膜16搬送一邊促進干燥的第1膜干燥裝置。本實施方式的拉幅機22還進行拉伸處理，即，通過一邊將膜16的各側部以作為保持部件的夾子22a保持而沿長度方向進行搬送，一邊賦予寬度方向上的張力，從而將膜16沿寬度方向進行拉伸。在拉幅機22中，從上游側起依次形成有預熱區(qū)域、拉伸區(qū)域、及松弛區(qū)域。另外，也可以沒有松弛區(qū)域。

拉幅機22具備1對軌道(無圖示)及鏈條(無圖示)。軌道被設置在膜16的搬送路徑的兩側，1對軌道以規(guī)定的間隔配置成分離的狀態(tài)。該軌道間隔在預熱區(qū)域中恒定，在拉伸區(qū)域中隨著朝向下游而逐漸變寬，在松弛區(qū)域中恒定。另外，松弛區(qū)域的軌道間隔也可以隨著朝向下游而逐漸變窄。

鏈條被架設在原動鏈輪(無圖示)及從動鏈輪(無圖示)上，沿著軌道而移動自如地安裝。多個夾子22a以規(guī)定的間隔安裝于鏈條上。通過原動鏈輪的旋轉，夾子22a沿著軌道而循環(huán)移動。夾子22a在拉幅機22的入口附近，開始進行對被引導來的膜16的保持，朝向出口移動，在出口附近解除保持。解除保持后的夾子22a再次移動至入口附近，重新保持被引導來的膜16。

此外，拉幅機22具備送風機22b。送風機22b被設置在膜16的搬送路徑的上方。送風機22b具有將干燥氣體(例如干燥后的空氣)送出的狹縫(無圖示)，干燥氣體由送風部(無圖示)供給。送風部將調整為規(guī)定的溫度和/或濕度的干燥風送至送風機22b中。送風機22b以狹縫與膜16的搬送路徑相對的狀態(tài)配置。各狹縫為沿膜16的寬度方向伸長的形狀，在搬送方向上彼此空出規(guī)定的間隔而形成。另外，也可以將具有同樣的結構的送風機設置在膜16的搬送路徑的下方，也可以設置在膜16的搬送路徑的上方和下方這兩者上。

輥干燥裝置24為用于使膜16進一步干燥的第2干燥裝置。輥干燥裝置24的內部的氣氛的溫度和/或濕度等通過空調機(無圖示)而調節(jié)。在輥干燥裝置24中，膜16被卷掛在許多的輥24a上而被搬送。

切條機26是用于將膜16的兩側部切除而制成目標寬度的設備。在該切除中，將膜16的包含由夾子22a產生的保持痕的兩側部切除。卷取裝置28將膜16卷到卷芯上而制成卷狀。

以下，對吸氣干燥單元40，參照圖2和圖3更詳細地進行說明。如圖2中所示的那樣，吸氣干燥單元40具備一對曲徑密封墊片60、62和干燥箱64，它們被配置在流延位置pc的下游側。一對曲徑密封墊片60、62被配置在流延膜14的長度方向(搬送方向)上游側和下游側。干燥箱64被配置在夾在曲徑密封墊片60與曲徑密封墊片62之間的位置，將流延膜14從上方覆蓋。

曲徑密封墊片60、62沿流延膜14的寬度方向延長，具備以相對于帶30垂直的立起姿態(tài)配置的多個密封板66，這些多個密封板66是沿著流延膜14的長度方向(搬送方向)排列的密封板。通過這些曲徑密封墊片60、62，可以防止外界空氣從流延膜14的長度方向(搬送方向)上游側及下游側流入至干燥箱64內。

如圖3中所示的那樣，干燥箱64由在流延膜14的寬度方向上相對的一對遮風板68、70、和以將遮風板68、70的上端部連接的狀態(tài)設置的蓋板(蓋部件)72構成。遮風板68、70沿著流延膜14的側緣在流延膜14的長度方向(搬送方向)上延長(延伸的方式)地形成，以相對于帶30垂直的立起姿態(tài)配置。通過該遮風板68、70，帶30的上方的空間被分隔成流延膜14所流延的內側區(qū)域74和流延膜14的外側的外側區(qū)域76(參照圖3)。此外，通過蓋板72，內側區(qū)域74的上端部被閉端。這樣，通過干燥箱64，流延膜14的上方的空間(內側區(qū)域74)被覆蓋。

此外，在吸氣干燥單元40中，設置有溶劑氣體抽吸機構80(參照圖2)。溶劑氣體抽吸機構80具備紅外線加熱器(紅外線照射機)82、吸氣管道84、吸氣風扇86、吸氣控制器88和冷凝器90。紅外線加熱器82例如在干燥箱64的蓋板72的內側部分以矩陣狀配置，通過朝向流延膜14照射紅外線，將流延膜14進行加熱，從而促進流延膜14的干燥。

吸氣管道84以貫通蓋板72的狀態(tài)形成，設置在一端部的吸氣口84a配置在內側區(qū)域74內，另一端部與冷凝器90連接。本實施方式中，將吸氣口84a形成為沿流延膜14的寬度方向延長的狹縫狀，配置在干燥箱64的蓋板72中的流延膜14的長度方向(搬送方向)中央部。另外，由于吸氣口84a的配置位置和形狀能夠自由地設定，所以例如也可以將沿流延膜14的搬送方向延長的狹縫狀的開口設置在蓋板72中的流延膜14的寬度方向中央部。

吸氣風扇86配置在吸氣管道84的內部，基于吸氣控制器88的控制而旋轉。通過該旋轉，內側區(qū)域74的氣氛(即包含從流延膜14揮發(fā)(蒸發(fā))的溶劑的溶劑氣體)從吸氣口84a被抽吸，介由吸氣管道84送向冷凝器90。吸氣控制器88通過控制對吸氣風扇86供給的驅動力(電力等)，來控制溶劑氣體的抽吸力(每單位時間的抽吸量)。冷凝器90例如通過將溶劑氣體冷卻，從而將溶劑氣體中的溶劑液化。液化后的溶劑被回收，作為膠漿12再利用、或送向后述的溶劑氣體生成裝置102，用于溶劑氣體的生成。

這樣，通過從內側區(qū)域74抽吸溶劑氣體，能夠高效地促進流延膜14的干燥。另一方面，當僅抽吸溶劑氣體時，與內部區(qū)域74相比溶劑氣體的濃度較低的(例如溶劑氣體的濃度大致為0％)外界空氣(新鮮風)從外側區(qū)域76流入通過抽吸而被減壓的內側區(qū)域74中。在本實施方式的情況下，僅抽吸溶劑氣體時，新鮮風從遮風板68、70與帶30之間的間隙、即流延膜14的兩側部流入內側區(qū)域74中。

于是，存在以下問題：在像這樣流入內側區(qū)域74中的新鮮風的影響下，內側區(qū)域74內的溶劑氣體的濃度產生不均，流延膜14的各位置處的干燥的進行程度不同，在流延膜14和/或膜16中產生厚度不均。在本實施方式的情況下，當僅抽吸溶劑氣體時，起因于在新鮮風所流入的流延膜14的兩側部與新鮮風沒有流入的中央部的溶劑氣體的濃度不同，從而在流延膜14(膜16)中產生厚度不均。

為了防止由這樣的新鮮風的影響而引起的厚度不均，在吸氣干燥單元40中設置有溶劑氣體供給機構100。溶劑氣體供給機構100具備溶劑氣體生成裝置102、溶劑氣體供給管道104、送氣風扇106和供給氣體控制器(供給氣體濃度控制機構)108。

溶劑氣體生成裝置102例如通過將溶劑噴霧、或者通過將溶劑加熱而使其揮發(fā)(蒸發(fā))等，生成包含溶劑的溶劑氣體。另外，溶劑氣體生成裝置102中使用的溶劑可以為與膠漿12的溶劑同一組成的溶劑，也可以為組成與膠漿12的溶劑不同的溶劑。此外，也可以將通過上述的冷凝器90回收的溶劑在溶劑氣體生成裝置102中使用。

溶劑氣體供給管道104的一端與溶劑氣體生成裝置102連接，另一端與一對供給箱110、112連接。供給箱110、112在流延膜14的長度方向(搬送方向)上延長(延長的方式)地形成，配置在遮風板68、70的外側。在供給箱110的下表面的遮風板68側，形成有沿流延膜14的長度方向(搬送方向)延長的狹縫狀的供給口110a。同樣地，在供給箱112的下表面的遮風板70側，形成有沿流延膜14的長度方向(搬送方向)延長的狹縫狀的供給口112a。在溶劑氣體供給管道104的內部，設置有送氣風扇106，通過溶劑氣體生成裝置102生成的溶劑氣體通過送氣風扇106被送至供給箱110、112，從供給口110a、112a朝向下方的帶30垂直地供給。

另外，供給口110a、112a也可以制成由多個微細的孔的集合構成的多孔質狀的開口。此外，以從供給口110a、112a向下方垂直地供給溶劑氣體的例子進行了說明，但也可以制成從供給口110a、112a朝向內側(內側區(qū)域74)和/或外側(外側區(qū)域76)供給溶劑氣體的構成。

通過像這樣供給溶劑氣體，從而所供給的溶劑氣體作為覆蓋遮風板68、70與帶30之間的間隙的空氣幕發(fā)揮功能，能夠防止新鮮風向內側區(qū)域74流入。此外，通過溶劑氣體抽吸機構80而內側區(qū)域74的溶劑氣體被抽吸，即使通過該抽吸而使得內側區(qū)域74被減壓，從遮風板68、70與帶30之間的間隙流入至內側區(qū)域74的也不是新鮮風，而是從供給口110a、112a供給的溶劑氣體。由此，能夠防止上述的厚度不均。

供給氣體控制器108是為了控制從供給口110a、112a供給的溶劑氣體的量和濃度、更可靠地防止厚度不均而設置的。在供給氣體控制器108上，連接有上述的送氣風扇106，供給氣體控制器108通過控制對送氣風扇106供給的驅動力(電力等)，來控制溶劑氣體的供給量(每單位時間的供給量)。另外，溶劑氣體的供給量優(yōu)選為溶劑氣體抽吸機構80所抽吸的溶劑氣體的抽吸量以上。

此外，在供給氣體控制器108上，除了上述的溶劑氣體生成裝置102以外，還連接有傳感器114。傳感器114配置在內側區(qū)域74內，檢測內側區(qū)域74內的溶劑濃度、即通過溶劑氣體抽吸機構80而抽吸的溶劑氣體的濃度。本實施方式中，在干燥箱64的上游側端部且流延膜14的寬度方向中央部，在距離帶30為約2cm的位置(帶30的約2cm上方)配置有傳感器114。另外，傳感器114的配置位置并不限定于此，只要是內側區(qū)域74內，則可以自由地設定，但優(yōu)選盡量配置在上游側。此外，優(yōu)選配置在流延膜14的寬度方向中央部。

供給氣體控制器108基于利用傳感器114檢測的溶劑氣體濃度、以及通過送氣風扇106供給的溶劑氣體的供給量，控制溶劑氣體生成裝置102(控制溶劑的噴霧量和/或加熱溫度(揮發(fā)(蒸發(fā))量)等)，并控制從供給口110a、112a供給的溶劑氣體的濃度。

另外，從供給口110a、112a供給的溶劑氣體的濃度越稀，防止厚度不均的效果越降低。因此，在將溶劑氣體抽吸機構80所抽吸的溶劑氣體(以下，有時稱為抽吸氣體)的濃度設為“a”，將從供給口110a、112a供給的溶劑氣體(以下，有時稱為供給氣體)的濃度設為“b”時，優(yōu)選滿足“a/5≤b”，即，將供給氣體的濃度b設定為抽吸氣體的濃度a的1/5以上。另外，上述的濃度a和濃度b均為體積濃度。

此外，從供給口110a、112a供給的溶劑氣體的濃度越濃，流延膜14的干燥越難以促進。因此，優(yōu)選滿足“b≤a”，即，將供給氣體的濃度b設定為抽吸氣體的濃度a以下。

如以上那樣，在溶液制膜裝置10中，經(jīng)由以下步驟來制造膜16：通過將膠漿12從流延模36流延到帶30上，形成流延膜14的步驟(流延膜形成步驟)；通過使流延膜14經(jīng)由吸氣干燥單元40和送風干燥單元42而一邊干燥一邊搬送(移送)至剝取位置pp的步驟(移送步驟)；在剝取位置pp處將流延膜14從帶30上剝取的步驟(剝取步驟)。

并且，在移送步驟中，一邊從被干燥箱64覆蓋的內側區(qū)域74抽吸溶劑氣體而促進流延膜14的干燥，一邊對干燥箱64(遮風板68、70)與帶30的間隙供給溶劑氣體來阻止新鮮風流入內側區(qū)域74中。這樣操作來防止厚度不均的發(fā)生。

另外，在上述實施方式中，以獨立設置溶劑氣體抽吸機構80和溶劑氣體供給機構100、且獨立地進行溶劑氣體的抽吸和供給的構成為例進行了說明，但也可以制成將溶劑氣體抽吸機構80和溶劑氣體供給機構100中的至少一部分連結、并連動地進行溶劑氣體的抽吸和供給的構成。

具體而言，也可以制成以下構成：將吸氣管道84(參照圖2)和溶劑氣體供給管道104(參照圖3)連接，此外，使吸氣管道84分支，將分支的管道中的至少1個與溶劑氣體供給管道104連接，從溶劑氣體供給管道104供給吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體。這種情況下，優(yōu)選設置調整吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體的濃度的濃度調整機構。濃度調整機構在減小溶劑氣體的濃度的情況下，例如，將溶劑氣體冷卻而將溶劑的一部分液化，此外，使溶劑濃度比吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體低的氣體(例如新鮮風)與吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體合流。此外，濃度調整機構在增大溶劑氣體的濃度的情況下，例如，通過將溶劑噴霧或加熱而生成濃度比吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體高的溶劑氣體，與吸氣管道84中所抽吸的溶劑氣體合流。

這樣，由于通過將溶劑氣體抽吸機構80和溶劑氣體供給機構100中的至少一部分連結，例如能夠使吸氣風扇86(參照圖2)和/或送氣風扇106(參照圖3)一體化(廢除其中一個)、或者將冷凝器90和/或溶劑氣體生成裝置102作為上述的濃度調整機構而一體化，所以能夠實現(xiàn)溶液制膜裝置的小型化和/或成本降低。

此外，在上述實施方式中，作為膠漿12的聚合物，使用了三醋酸纖維素(tac)，但也可以使用其他的纖維素?；飦泶鎡ac。纖維素酰化物的?；梢詢H為1種，或者也可以具有2種以上的?；?。在?；鶠?種以上時，優(yōu)選其中一個為乙?；?。優(yōu)選將纖維素的羥基被羧酸酯化的比例、即?；娜〈葷M足下述式(i)～(iii)的全部。另外，在以下的式(i)～(iii)中，a及b表示?；娜〈?，a為乙酰基的取代度，此外b為碳原子數(shù)為3～22的?；娜〈取?/p>

(i)2.0≤a+b≤3.0

(ii)1.0≤a≤3.0

(iii)0≤b≤2.0

?；娜〈萢+b更優(yōu)選為2.20以上且2.90以下，特別優(yōu)選為2.40以上且2.88以下。此外，碳原子數(shù)為3～22的?；娜〈萣更優(yōu)選為0.30以上，特別優(yōu)選為0.5以上。

此外，膠漿12的聚合物并不限于纖維素?；?。例如，也可以是丙烯酸樹脂、環(huán)狀烯烴樹脂(例如jsr(株)制的arton(注冊商標))等。

以下，對本發(fā)明的實施例、及用于與實施例比較的比較例進行說明。

在全部的實施例及比較例中，將成為膜16的固體成分溶解到作為溶劑的第1成分的二氯甲烷92質量份與作為溶劑的第2成分的甲醇8質量份的混合物中，制作固體成分為19.0質量％的膠漿12。固體成分為以下的tac和第1增塑劑和第2增塑劑。第1增塑劑為磷酸三苯酯，第2增塑劑為聯(lián)苯基二苯基磷酸酯。制作的膠漿12在靜置脫泡后，通過送液泵經(jīng)由過濾器而除去異物，將異物除去后的膠漿12供于流延。

tac100質量份

第1增塑劑7質量份

第2增塑劑5質量份

使用該膠漿12，制造厚度為40μm的膜16。在膜16的制造中，使用溶液制膜裝置10(參照圖1)，帶30的移動速度設定為50m/分鐘。

并且，在實施例中，使溶劑氣體供給機構100(參照圖3)工作而制造膜16。即，在實施例中，以即使通過利用溶劑氣體抽吸機構80(參照圖2)的抽吸而干燥箱64內被減壓、新鮮風也不會從遮風板68、70與帶30的間隙流入干燥箱64內的構成來制造膜16。

另一方面，在比較例中，使溶劑氣體供給機構100停止來制造膜16。即，在比較例中，以在通過利用溶劑氣體抽吸機構80的抽吸而干燥箱64內被減壓的情況下、新鮮風從遮風板68、70與帶30的間隙流入至干燥箱64內的構成來制造膜16。

各實施例及各比較例是變更抽吸氣體濃度a(為抽吸氣體中的溶劑氣體的濃度，由傳感器114測定的濃度)、供給氣體濃度b(供給氣體中的溶劑氣體的濃度)、膜上風速(為膜上的氣體的風速，基于抽吸氣體的抽吸量而發(fā)生變化)來進行膜16的制造的例子。各實施例及各比較例各自的抽吸氣體濃度a、供給氣體濃度b、氣體濃度比率(a/b)、膜上風速如表1、表2中所示的那樣。

[表1]

[表2]

評價了以表1、表2中所示的各條件制造的各實施例及各比較例的膜16的厚度不均。評價結果同樣示于表1、表2中。評價設為“a”、“b”、“c”的3個等級。評價a為最高的評價，評價c為最低的評價。評價以以往的構成、即使溶劑氣體供給機構100停止而制造膜16的比較例1-4作為基準而設為評價c，與以往相比厚度不均得到改善的情況設為評價b，改善更加推進而得到基本沒有厚度不均的平滑的膜16的情況設為評價a。

具體而言，通過從膜的背面?zhèn)日丈涔?，并以目視觀察透射光的濃淡差來進行評價。另外，濃淡差是作為微小的差異而被確認(觀察)的，如上述那樣，以比較例1-4中見到的濃淡差作為基準而設為評價c。此外，在與比較例1-4相比濃淡差變小的情況下，設為評價b。進而，在通過目視沒有見到濃淡差的情況下，作為沒有厚度不均的膜而設為評價a。

如表1、表2中所示的那樣，能夠確認使溶劑氣體供給機構100工作的各實施例與沒有使溶劑氣體供給機構100工作的比較例相比，能夠防止厚度不均。此外，由實施例1a～1d、2a～2e、3a～3e、4a、4b與除它們以外的實施例的比較，能夠確認通過滿足“a/5≤b”、即將供給氣體的濃度b設定為抽吸氣體的濃度a的1/5以上，更加能夠防止厚度不均。

另外，將制造的膜16的厚度由上述的40μm變更為25μm，進行同樣的驗證。該情況下結果也與上述的40μm的情況同樣(參照表1、表2)。由此，能夠確認即使是膜16的厚度為25μm的情況下，本發(fā)明也是有效的。