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電阻式隨機存取存儲器的制作方法

文檔序號:12725637閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,包括:

下部電極,設(shè)置于基底上;

上部電極,設(shè)置于所述下部電極上;

可變電阻層,設(shè)置于所述下部電極與所述上部電極之間;

氧交換層,設(shè)置于所述可變電阻層與所述上部電極之間,其中所述氧交換層、所述可變電阻層及所述下部電極的側(cè)壁連續(xù)地連接;以及

側(cè)壁保護層,為氧供應(yīng)層,至少設(shè)置于所述氧交換層的側(cè)壁。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,所述氧供應(yīng)層還設(shè)置于所述下部電極、所述可變電阻層以及所述上部電極的側(cè)壁。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,還包括富氧層,設(shè)置于所述氧交換層與所述上部電極之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,還包括阻擋層,設(shè)置于所述氧交換層與所述可變電阻層之間,其中所述阻擋層的側(cè)壁連續(xù)地連接所述氧交換層及所述可變電阻層的側(cè)壁。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,所述下部電極、所述可變電阻層,以及所述氧交換層均呈上窄下寬。

6.電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,包括:

下部電極,設(shè)置于基底上;

上部電極,設(shè)置于所述下部電極上;

可變電阻層,設(shè)置于所述下部電極與所述上部電極之間,其中所述可變電阻層、所述下部電極及所述上部電極的側(cè)壁連續(xù)地連接;以及

側(cè)壁保護層,為蓋層,設(shè)置于所述下部電極、所述可變電阻層以及所述上部電極的側(cè)壁。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,所述蓋層的材料包括金屬氧化物。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,所述蓋層的材料還摻雜有氮。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,所述蓋層包括:

第一蓋層,設(shè)置于所述下部電極、所述可變電阻層以及所述上部電極的側(cè)壁;以及

第二蓋層,設(shè)置于所述第一蓋層上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,所述第一蓋層的材料包括金屬氧化物。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,所述第二蓋層的材料包括氮化物或金屬鈦酸鹽類。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,還包括頂蓋層,設(shè)置于所述下部電極與所述基底之間。

13.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電阻式隨機存取存儲器,其特征在于,所述下部電極與所述可變電阻層均呈上窄下寬。

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