專利名稱：太陽能電池晶圓盒輸送裝置及其太陽能電池晶圓紋理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)太陽能電池晶圓的盒輸送裝置及利用盒輸送裝置的太陽能電池的晶 圓紋理裝置，特別是關(guān)于可自動地插入或收回已接收晶圓的盒至晶圓紋理裝置，以及可自 晶圓紋理裝置自動地插入或收回已接收晶圓的盒的此盒輸送裝置的太陽能電池的晶圓紋 理裝置，以及太陽能電池晶圓的盒輸送裝置。
背景技術(shù)：
太陽能電池一般利用可將太陽能轉(zhuǎn)換為電能的半導(dǎo)體裝置制造。這類半導(dǎo)體裝置 整個做成一個晶圓，其接著被分割為許多微小片，且每一半導(dǎo)體裝置設(shè)置于每一太陽能電 池內(nèi)。晶圓主要由硅所制成，且取決于硅的結(jié)晶結(jié)構(gòu)而可區(qū)分為單晶、多晶及非晶。為了 減少太陽光線的反射比(reflectance)以增加能量轉(zhuǎn)換速率，一種表面處理制程應(yīng)用于晶 圓。在這類表面處理裝置的一個例子中，能蝕刻晶圓表面以形成紋理(texture)結(jié)構(gòu)的一 種晶圓紋理裝置已被發(fā)展和使用。過去用于太陽能電池晶圓的晶圓紋理裝置利用批次浸洗方法(batch-dip method)，將一個單晶晶圓浸洗(dipping)于一個貯存有紋理溶液的處理槽內(nèi)，以形成一個
紋理結(jié)構(gòu)。為進(jìn)行此程序，一旦晶圓已在其他前程序被處理，則將晶圓收集及接收于盒中，太 陽能電池晶圓的晶圓紋理裝置裝載及運(yùn)送在處理機(jī)中的該盒。這程序由去除晶圓表面污 染物的前處理程序、將晶圓浸洗于處理槽中的紋理程序、以及去除晶圓上紋理溶液的后處 理程序所構(gòu)成。通過這些程序，已完全紋理的晶元系自已卸載的盒分離且送到下一個程序。同時，在紋理程序中用于接收晶圓的盒再度被操作員運(yùn)送至紋理裝置的入口及重 復(fù)使用。在過去用于太陽能電池晶圓的紋理裝置中，將(已接收晶圓)的盒裝載于處理機(jī) 中的程序、自處理機(jī)中卸載此盒以及運(yùn)送此盒系皆由操作員執(zhí)行。因?yàn)檠b載/卸載及送回 此盒的程序過去皆需手工地來完成，因此，作業(yè)并不容易且需要大量的人力。再者，在運(yùn)送 盒的過去程序中，有可能會損壞晶圓或盒。當(dāng)盒損壞，晶圓則無法正常地接收或運(yùn)送。因此， 晶圓在運(yùn)送過程中則可能掉落或損壞，且晶圓在制造過程中有可能有瑕疵。此外，當(dāng)以手工 執(zhí)行盒的裝載/卸載時，紋理裝置的尺寸系無法制做的太大，且當(dāng)作業(yè)未連續(xù)執(zhí)行時，會拉 長制程時間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供太陽能電池晶圓的盒輸送裝置，以及利用盒輸送裝置的太陽能電池的 晶圓紋理裝置，由裝載已接收晶圓的該盒至該紋理裝置、當(dāng)紋理完成時卸載該盒以分離晶 圓、以及接著再次傳送該盒至一裝載位置的一連續(xù)的自動化程序。該盒輸送裝置可減少作 業(yè)的勞累、改善工作情況，以及可預(yù)防在盒運(yùn)送期間發(fā)生晶圓及盒的損害。
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本發(fā)明提出的一種輸送裝置，用以供應(yīng)及收回已接收一太陽能電池晶圓的一盒至 一紋理裝置以及自紋理裝置供應(yīng)及收回此盒。此太陽能電池晶圓的盒輸送裝置包含一裝 填機(jī)，用以移動該盒至一晶圓接收位置，以及移動及供應(yīng)該盒至該紋理裝置；一卸載機(jī)，當(dāng) 晶圓在紋理裝置紋理完成后，移動該盒至一晶圓分離位置，且將晶圓分離的該盒移動至一 盒送回位置；以及一送回機(jī)，用以將該卸載機(jī)供應(yīng)的盒送回至裝填機(jī)。該送回機(jī)可安裝于該盒的移動線的上部。該送回機(jī)可包含一輸送帶。該送回機(jī)可包含一直線模組，用以在該裝填機(jī)及該卸載機(jī)間往復(fù)運(yùn)動，以及一裝 載板，安裝于該直線模組，該盒安裝于該裝載板上。該裝填機(jī)及該卸載機(jī)包含一框架；一輸送機(jī)械臂包含一三軸輸送單元及一二軸 旋轉(zhuǎn)單元，該三軸輸送單元安裝于該框架內(nèi)，用以在三軸方向移動該盒，該二軸旋轉(zhuǎn)單元安 裝于該三軸輸送單元內(nèi)，用以在二軸方向旋轉(zhuǎn)該盒；以及一支架，安裝于該二軸旋轉(zhuǎn)單元， 用以夾持該盒。本發(fā)明還提出一種用于一太陽能電池的晶圓紋理裝置。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的 該用于一太陽能電池的晶圓紋理裝置可包含一裝填機(jī)，用以移動一盒至一晶圓接收位置 且裝載該盒，一晶圓已接收于該盒內(nèi)；一前處理單元，安裝于該裝填機(jī)的后面，用以前處理 接收在該盒內(nèi)的該晶圓；一紋理單元，利用一紋理溶液將該前處理單元內(nèi)前處理的晶圓的 一表面上形成紋理；一后處理單元，用以移除在該紋理單元中附著在該晶圓上的該紋理溶 液；多個輸送部，依序安裝在該前處理單元、該紋理單元以及該后處理單元，用以輸送該裝 填機(jī)所裝載的該盒；一卸載機(jī)，用以移動在該后處理單元中后處理的該盒至一晶圓分離位 置，以及當(dāng)晶圓完成分離時，移動該盒至一盒送回位置；以及一送回機(jī)，用以將該卸載機(jī)供 應(yīng)至一送回位置的盒送回至該裝填機(jī)。此晶圓紋理裝置也可包含一貯存單元在該前處理單元或該后處理單元的一下末 端，該貯存單元用以貯存該盒。此盒可包含一對側(cè)板互相面對設(shè)置，一掛鉤槽形成于每一側(cè)板的一上末端，用以 與該輸送部的一處理機(jī)懸掛；多個下支撐件，以連接該側(cè)板的二下部而安裝，用以支撐該晶 圓的二下角；以及一上支撐件，以連接該側(cè)板的一上部而安裝，用以支撐該晶圓的一上角。該送回機(jī)可依序地安裝于該前處理單元、該紋理單元以及該后處理單元內(nèi)。該送回機(jī)可安裝于該輸送部的上部。該送回機(jī)可包含一輸送帶。該送回機(jī)可包含一直線模組，用以在該裝填機(jī)及該卸載機(jī)間往復(fù)運(yùn)動；以及安 裝于該直線模組的一裝載板，該盒安裝于該裝載板上。該裝填機(jī)及該卸載機(jī)可包含一框 架；一輸送機(jī)械臂，包含一 3軸輸送單元及一 2軸旋轉(zhuǎn)單元，該3軸輸送單元安裝于該框架 內(nèi)，用以在3軸方向移動該盒，該2軸旋轉(zhuǎn)單元安裝于該3軸輸送單元內(nèi)，用以在2軸方向 旋轉(zhuǎn)該盒；以及一支架，安裝于該2軸旋轉(zhuǎn)單元，用以夾持該盒。本發(fā)明具以下有益效果由于已接收晶圓的盒可自動地裝載及卸載，作業(yè)變的更簡單且所需人力更少，且 在晶圓輸送期間會發(fā)生的任何對晶圓的損壞及制造的瑕疵將可避免。再者，由于所使用的 盒自動地輸送及收回，可避免盒的任何損壞或遺失。由于盒的裝載及卸載相繼地且連續(xù)地 執(zhí)行，作業(yè)速度及產(chǎn)率可增加。通過盒的輸送制程的自動化技術(shù)，紋理制程可更簡單操作及控制，且因此勞工成本及生產(chǎn)成本可降低且可改善生產(chǎn)良率及產(chǎn)品可靠度。此外，由于所接 收的晶圓在傾斜位置，當(dāng)晶圓自處理槽移開時，紋理溶液可更容易的掉落，因此減少了殘留 在晶圓上的紋理溶液。


圖1為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例顯示太陽能電池晶圓的盒輸送裝置的裝填機(jī)的透視 圖。圖2為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池晶圓的盒輸送裝置的側(cè)視圖。圖3為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池晶圓的盒輸送裝置的主要部分的放大 透視圖。圖4為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池晶圓的盒輸送裝置的送回機(jī)的透視圖。圖5為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池的晶圓盒輸送裝置的整體側(cè)視圖。圖6為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池的晶圓紋理裝置的側(cè)視圖。圖7為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例說明太陽能電池的晶圓紋理裝置的一輸送部的透視 圖。圖8為根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例說明太陽能電池的晶圓紋理裝置的已接收在盒內(nèi)的晶圓的側(cè)視圖。圖中50 盒52、54 側(cè)板56a、56b 下支撐件56c上支撐件58掛鉤槽60 晶圓100裝填機(jī)120 框架130輸送機(jī)械臂132 第一導(dǎo)件133 第一平板134 第二導(dǎo)件135 第二平板136第三導(dǎo)件136a 馬達(dá)137第三平板138第一旋轉(zhuǎn)塊139輸送臂140第二旋轉(zhuǎn)塊141 支架200卸載機(jī)
300送回機(jī)
310直線模組
312直條塊
314直線導(dǎo)件
320載板
400紋理裝置
410前處理單元
420紋理單元
422處理槽
424清洗單元
430后處理單元
432洗滌單元
436烘干單元
438空氣室
450輸送部
452軌道
454輸送單元
456處理器
458環(huán)
具體實(shí)施例方式由于本發(fā)明可有各種置換及實(shí)施例，特定實(shí)施例將可參照所附的圖式而說明及描 述。然而，這并非用以限制本發(fā)明于這類實(shí)施例中，且應(yīng)解釋為包含本發(fā)明的構(gòu)想及范圍所 含的所有置換、均等及替換。當(dāng)所描述的特定技術(shù)決定去回避本發(fā)明的點(diǎn)，相關(guān)的細(xì)節(jié)描述 在本發(fā)明的所有描述中將會被省略。下面，本發(fā)明的太陽能電池晶圓的盒輸送裝置及利用此盒輸送裝置的太陽能電池 的晶圓紋理裝置將參考附隨的圖式而描述。在參考附隨的圖式描述時，不論何圖式，任何相 同的或相對應(yīng)的元件將給予相同的元件符號，且相關(guān)的描述將不多余地重復(fù)。圖1為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，顯示太陽能電池晶圓的盒輸送裝置的裝填機(jī)的透視 圖，以及圖2為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池晶圓的盒輸送裝置的側(cè)視圖。圖3為根 據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池晶圓的盒輸送裝置的主要部分的放大透視圖。圖4為根據(jù) 本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池晶圓的盒輸送裝置的送回機(jī)的透視圖，以及圖5為根據(jù)本發(fā) 明一實(shí)施例的太陽能電池的晶圓盒輸送裝置的整體側(cè)視圖。如圖1至圖5所繪示，根據(jù)此實(shí)施例的太陽能電池晶圓的盒輸送裝置提供一個 (已接收太陽能電池晶圓)的盒50至一個紋理裝置，且自紋理裝置收回(retrieve)及送回 紋理完成的此盒50。盒輸送裝置包含一個裝填機(jī)100及一個卸載機(jī)200，此二者分別安裝于紋理裝置 的一前部及一后部，且用以送回此盒50的送回機(jī)300設(shè)于裝填機(jī)100及卸載機(jī)200之間且 連接裝填機(jī)100及卸載機(jī)200。
此處，裝填機(jī)100將貯存在盒貯存位置的盒50移動到晶圓接收位置，且當(dāng)晶圓完 全接收于盒50內(nèi)時，提供此盒50至紋理裝置。此晶圓可透過利用吸臂的供應(yīng)裝置而自動 地被接收，且晶圓可在當(dāng)盒50旋轉(zhuǎn)為垂直狀態(tài)時被接收，因此可更容易地接收晶圓。卸載機(jī)200與裝填機(jī)100實(shí)質(zhì)地相同，且與裝填機(jī)100操作順序相反。裝填機(jī)100具有框架120，其與紋理裝置的框架相連接。一個輸送機(jī)械臂130安裝 于這些框架120上，用以輸送此盒50。這輸送機(jī)械臂130可在三個軸移動及在二個軸旋轉(zhuǎn)，且包含一個三軸輸送單元及 一個二軸旋轉(zhuǎn)單元。這三軸輸送單元安裝于框架120上，且在三軸方向上移動此盒50。更特別地，此三 軸輸送單元可在彼此互相垂直的X軸、y軸以及Z軸移動。對此，可對于每一軸提供一個驅(qū) 動器。χ軸驅(qū)動器包含第一導(dǎo)件132固定于框架120的下部，以及第一平板133可移動地 安裝于第一導(dǎo)件132上。一個馬達(dá)可安裝于第一導(dǎo)件132內(nèi)，且第一平板133可透過馬達(dá) 操作而在寬度方向(意即χ軸方向)上移動。y軸驅(qū)動器，安裝于第一平板133的上部，可在y軸方向移動。此y軸驅(qū)動器包含第二導(dǎo)件134安裝于第一平板133的上部。第二導(dǎo)件134為垂 直延伸，且第二平板135 (其在垂直方向上移動)可安裝于第二導(dǎo)件134的一端。一個馬達(dá) 可安裝于第二導(dǎo)件134內(nèi)，且第二平板135可透過馬達(dá)操作而在垂直方向(意即y軸方向) 上移動。ζ軸驅(qū)動器，安裝于第二平板135的上，可在長度方向(意即ζ軸方向)上移動。ζ軸驅(qū)動器安裝于第二平板135的側(cè)面且包含一個第三導(dǎo)件136延伸于框架120 的長度方向。一個馬達(dá)可安裝于第三導(dǎo)件136內(nèi)，且第三平板137可透過馬達(dá)操作而在框 架120的長度方向(意即ζ軸方向)上移動。此二軸旋轉(zhuǎn)單元，其在互相垂直的垂直與水平方向的二軸上旋轉(zhuǎn)盒50，可安裝于 第三平板137上。此二軸旋轉(zhuǎn)單元包含安裝于第三平板137上的第一旋轉(zhuǎn)塊138，以及在第一旋轉(zhuǎn) 塊138上方于水平面上旋轉(zhuǎn)的一個輸送臂139。一第二旋轉(zhuǎn)塊140安裝于輸送臂139末端部，可在垂直面上旋轉(zhuǎn)。一個支架141， 安裝于第二旋轉(zhuǎn)塊140上，用以夾持及放開此盒50。支架141可以彈性體的方式在盒50的寬度方向上安裝。隨著支架141的膨脹或 收縮，支架可夾持或放開盒50的二末端。在此實(shí)施例中，用于旋轉(zhuǎn)這些平板133、135、137的馬達(dá)可分別安裝于導(dǎo)件132、 134,136內(nèi)。如圖三所示，驅(qū)動馬力亦可以由安裝于第三導(dǎo)件136外部的馬達(dá)136a傳送。上文所述的裝填機(jī)100利用此輸送機(jī)械臂130將已接收晶圓的盒50供應(yīng)至紋理 裝置400，且當(dāng)紋理完成時，自卸載機(jī)200移動盒50至晶圓分離位置。一旦晶圓自卸載機(jī)200分離，卸載機(jī)200的輸送機(jī)械臂130會再次移動此盒50至 送回機(jī)300，其接著送回此盒50到裝填機(jī)100以重新使用。此處，送回機(jī)300用以送回此盒50，且可安裝于紋理裝置400內(nèi)部或外部，只要送 回機(jī)300可連續(xù)地使此盒50循環(huán)。舉例來說，在此實(shí)施例中，送回機(jī)300可安裝于紋理裝置400內(nèi)部，且可隨著(已接收晶圓的)盒50的移動線以多層的方式安裝。在此實(shí)施例中，送回機(jī)300可安裝于盒50的移動線之上。參閱圖4，送回機(jī)300可包含一個直線模組310以及安裝于直線模組310上的一個 載板320，其為送回機(jī)300所提供的盒50所放置。此載板320依據(jù)直線模組310的操作在裝填機(jī)100及卸載機(jī)200之間來回地輸送 此盒50。此直線模組310具有一直條塊312與載板320耦合。此直條塊312可由安裝于裝 填機(jī)100及卸載機(jī)200間的一個直線導(dǎo)件314而來回運(yùn)動。一個馬達(dá)可安裝于直線導(dǎo)件 314內(nèi)以使直條塊312移動。在本發(fā)明中盡管送回機(jī)300利用直線模組310移動此盒50，但本發(fā)明并不限制于 此實(shí)施例，直線模組310也可以以輸送帶取代，且盒50可被輸送帶連續(xù)地輸送。針對此，送回機(jī)300可包含輸送帶以及驅(qū)動輸送帶的馬達(dá)。送回機(jī)300可連續(xù)地 移動盒50，因此輸送帶所供應(yīng)的盒50可移動至裝填機(jī)100的盒供應(yīng)位置。上述的太陽能電池晶圓的盒輸送裝置可與紋理裝置400連接，以移動已接收晶圓 的盒50，且其也可以與利用盒50的其他裝置連接。參閱圖5，安裝已與太陽能電池晶圓的盒輸送裝置連接的太陽能電池的晶圓紋理 裝置400。在太陽能電池的晶圓紋理裝置400中，利用盒輸送裝置的裝填機(jī)自動地供應(yīng)已接 收晶圓的盒50，以及在紋理完成后利用卸載機(jī)200收回此盒50的程序重復(fù)進(jìn)行。盒輸送裝置的裝填機(jī)100安裝在紋理裝置400的前部，且已接收晶圓的盒50被裝 填機(jī)100輸送至前處理單元410。此前處理單元410在晶圓紋理前移除例如外來物質(zhì)的污染物。舉例來說，此前處 理單元410可由物理或化學(xué)處理來移除污染物。在本實(shí)施例中，此前處理單元410可實(shí)施 一個研磨程序，且可包含用于研磨程序的表面平整單元(surface smoothing unit)。前處 理單元410由處理晶圓的切割損害去除(saw damage removal ；SDR)以移除污染物也是可 行的。安裝在前處理單元410后面為一個紋理單元420，其包含貯存有紋理溶液的多個 處理槽422。處理槽422 (參見圖6)為一個批次浸洗型式槽(batch-dip type bath)，其中 盒50相繼地浸洗于處理槽422中以紋理在浸洗盒50內(nèi)的晶圓。在貯存紋理溶液的處理槽422后面，紋理單元420也可包含一個清洗單元424以 中和附著于晶圓上的紋理溶液。安裝于紋理單元420的后面為一個后處理單元430，用以移除附著于已紋理晶圓 上的紋理溶液。后處理單元430可包含執(zhí)行洗滌作業(yè)的一個洗滌單元432，以及將已洗滌的晶圓 烘干的烘干單元436。洗滌單元432噴灑洗滌液至晶圓，且洗滌液可洗去附著于晶圓上的紋理溶液?？?在洗滌液中使用去離子水，且可將去離子水加熱，以增加洗滌效率。烘干單元436用以供應(yīng)熱空氣至內(nèi)部，且晶圓上的水可被熱空氣烘干及移除。烘干單元436也可包含一個空氣室438，以增加烘干效率。此空氣室438可包含一 個門，此門具有(已接收晶圓之)盒50可進(jìn)出的開口。此門可包含關(guān)閉此開口的關(guān)閉物。此關(guān)閉物可為滑動式或轉(zhuǎn)動式。此外，烘干單元436在其入口處也可包含滑動開及關(guān)的雙重關(guān)閉物。在烘干單元 436的入口處安裝雙重關(guān)閉物可預(yù)防已加熱的空氣進(jìn)入洗滌單元432或紋理單元420，因此 每一制程的溫度狀況可維持穩(wěn)定。此紋理裝置400包含一個輸送部450以相繼地輸送由裝填機(jī)100所供應(yīng)的盒50。圖6為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的太陽能電池的晶圓紋理裝置400的側(cè)視圖，以及圖 7為根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例，說明太陽能電池的晶圓紋理裝置400的一輸送部的透視圖。參閱圖6及7，輸送部450可安裝于盒50的移動線上，移動線依序連接前處理單元 410、紋理單元420及后處理單元430，或者在前處理單元410、紋理單元420及后處理單元 430每一個內(nèi)皆安排一個輸送部也是可行的。舉例來說，在此實(shí)施例中可有多個輸送部，且每一個輸送部450在前處理單元 410、紋理單元420及后處理單元430各自可為模組型式。因此，在此實(shí)施例中當(dāng)前處理單 元410、紋理單元420及后處理單元430連接時，每一個輸送部450會互相連接，因而形成整 體移動路徑。在輸送部450中，沿移動線配置一個軌道452，以及安裝沿軌道452移動的輸送單 元 454。輸送單元454沿軌道452來回一個預(yù)定距離，且一個可抬升的處理器456，安裝于 輸送單元454的一側(cè)。用以耦合盒50的環(huán)458形成于處理器456的末端部。當(dāng)盒50與處理器456耦合時，此輸送單元454移動一預(yù)定距離，且抬升及降低此 處理器456以將盒50浸洗于貯存有紋理溶液的處理槽。此處理器456可移動多個盒50，舉例來說，二個盒50鉤于處理器456的二側(cè)。輸送部450的結(jié)構(gòu)并不限于此處所描述，利用輸送帶來輸送盒也是可行的。在一個實(shí)施例中，輸送帶可安裝于烘干單元436中，因此，已接收晶圓的盒50可連 續(xù)地以一預(yù)定高度移動。圖8為根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，說明太陽能電池的晶圓紋理裝置400的已接收在 盒內(nèi)的晶圓的側(cè)視圖。參閱圖8，在盒50中，側(cè)板52、54以某距離分開設(shè)置且互相面對。在盒50的側(cè)板 52、54內(nèi)，一個掛鉤槽58形成于相對應(yīng)環(huán)458的位置，用以與處理器456耦接。在一個范例中，此實(shí)施例的掛鉤槽58可形成為掛鉤的形狀。再者，掛鉤槽58及環(huán) 458可配置為多個。舉例來說，可有二個掛鉤槽58及二個環(huán)458，因此盒50與處理器456 的耦合將變的牢固。此外，二個下支撐件56a、56b可安裝在側(cè)板52、54下部的每一面。下支撐件56a、 56b支撐晶圓60的二個下角。因此，接收在盒50內(nèi)的晶圓60會維持一個傾斜位置。再者，一個上支撐件56c可安裝在側(cè)板52、54上部的一側(cè)。此上支撐件56c支撐 晶圓60的一個上角，且當(dāng)晶圓傳送時預(yù)防其掉落。安裝在盒50內(nèi)的下支撐件56a、56b及上支撐件56c支撐晶圓60三個不同的角， 因此晶圓60可以以傾斜位置接收。因此，盒50可牢固地接收晶圓60，且當(dāng)已接收晶圓的盒50在浸洗于處理槽422之后，自處理槽422抬升及移開時，晶圓60上的紋理溶液可快速地流至傾斜晶圓60的角。由 于下支撐件56a、56b與晶圓60為點(diǎn)接觸或線接觸，與晶圓的接觸面積可為最小。因?yàn)樯鲜鼋Y(jié)構(gòu)，通過在傾斜位置接收晶圓60，紋理溶液可易于流下，且因此殘留在 晶圓60上的紋理溶液可為最少。在后處理單元430中已完成洗滌和烘干的晶圓隨著輸送部450運(yùn)送此盒50而提 供至卸載機(jī)200。卸載機(jī)200與裝填機(jī)100實(shí)質(zhì)相同，且在晶圓與盒50分離后，供應(yīng)此盒50至送回 機(jī)300，因此盒50可送回至裝填機(jī)100。為此，卸載機(jī)200安裝于后處理單元430的后部。一旦盒50自后處理單元430的 烘干單元436出來，卸載機(jī)200的一個支架會夾持此盒50。接著，此二軸旋轉(zhuǎn)單元及三軸輸 送單元會操作以將盒50放置于晶圓分離位置。此處，可通過操作員或通過具有吸臂的分離 裝置將晶圓分離。接著，晶圓分離的盒50通過卸載機(jī)200移動至盒送回位置，且接著通過送回機(jī)300 送回至盒供應(yīng)位置，以供應(yīng)回裝填機(jī)100。上述制程可重復(fù)進(jìn)行。至此，已描述本發(fā)明一些實(shí)施例。然而，本發(fā)明所屬領(lǐng)域中任何熟悉此項(xiàng)技術(shù)的應(yīng) 了解，在不悖離本申請所揭露于申請專利范圍中的本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)想及范圍下，本發(fā)明可 有許多置換及修改。但是，上述的具體實(shí)施方式
只是示例性的，是為了更好的使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠 理解本專利，不能理解為是對本專利包括范圍的限制；只要是根據(jù)本專利所揭示精神的所 作的任何等同變更或修飾，均落入本專利包括的范圍。
權(quán)利要求
1. 一種輸送裝置，用以供應(yīng)及收回一盒至一紋理裝置以及自該紋理裝置供應(yīng)及收回該 盒，一太陽能電池晶圓已接收于該盒內(nèi)，其特征在于該裝置包含一裝填機(jī)，用以移動所述盒至一晶圓接收位置，以及移動及供應(yīng)所述盒至所述紋理裝置；一卸載機(jī)，當(dāng)所述晶圓在所述紋理裝置紋理完成后，移動所述盒至一晶圓分離位置，且 將晶圓分離的所述盒移動至一盒送回位置；以及一送回機(jī)，用以將所述卸載機(jī)供應(yīng)的所述盒送回至所述裝填機(jī)。
2.如請求項(xiàng)1所述的輸送裝置，其特征在于所述送回機(jī)安裝于所述盒的一移動線的 一上部。
3.如請求項(xiàng)2所述的輸送裝置，其特征在于所述送回機(jī)包含一輸送帶。
4.如請求項(xiàng)2所述的輸送裝置，其特征在于所述送回機(jī)包含 一直線模組，用以在所述裝填機(jī)及卸載機(jī)間往復(fù)運(yùn)動；以及 一裝載板，安裝于所述直線模組，所述盒安裝于該裝載板上。
5.如請求項(xiàng)1至4項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的輸送裝置，其特征在于所述裝填機(jī)及卸載機(jī)包含一框架；一輸送機(jī)械臂，包含一三軸輸送單元及一二軸旋轉(zhuǎn)單元，該三軸輸送單元安裝于所述 框架內(nèi)，用以在三軸方向移動所述盒，該二軸旋轉(zhuǎn)單元安裝于該三軸輸送單元內(nèi)，用以在二 軸方向旋轉(zhuǎn)所述盒；以及一支架，安裝于所述二軸旋轉(zhuǎn)單元，用以夾持所述盒。
6.一種晶圓紋理裝置，用于一太陽能電池，其特征在于包含一裝填機(jī)，用以移動一盒至一晶圓接收位置且裝載所述盒，一晶圓已接收于所述盒內(nèi)；一前處理單元，安裝于所述裝填機(jī)的后面，用以前處理接收在所述盒內(nèi)的所述晶圓； 一紋理單元，利用一紋理溶液將所述前處理單元內(nèi)前處理的所述晶圓的一表面上形成紋理；一后處理單元，用以移除在所述紋理單元中附著在所述晶圓上的所述紋理溶液； 多個輸送部，依序安裝在所述前處理單元、紋理單元以及后處理單元，用以輸送所述裝 填機(jī)所裝載的所述盒；一卸載機(jī)，用以移動在所述后處理單元中后處理的所述盒至一晶圓分離位置，以及當(dāng) 晶圓完成分離時，移動所述盒至一盒送回位置；以及一送回機(jī)，用以將所述卸載機(jī)供應(yīng)至一送回位置的所述盒送回至所述裝填機(jī)。
7.如請求項(xiàng)6所述的晶圓紋理裝置，其特征在于更包含一貯存單元在所述前處理單 元或后處理單元的一下末端，該貯存單元用以貯存所述盒。
8.如請求項(xiàng)6所述的晶圓紋理裝置，其特征在于所述盒包含一對側(cè)板，互相面對設(shè)置，一掛鉤槽形成于每一該側(cè)板的一上末端，用以與所述輸送部 的一處理機(jī)懸掛；多個下支撐件，以連接所述側(cè)板的二下部而安裝，用以支撐所述晶圓的二下角；以及一上支撐件，以連接所述側(cè)板的一上部而安裝，用以支撐所述晶圓的一上角。
9.如請求項(xiàng)6所述的晶圓紋理裝置，其特征在于所述送回機(jī)依序地安裝于所述前處 理單元、紋理單元以及后處理單元內(nèi)。
10.如請求項(xiàng)6所述的晶圓紋理裝置，其特征在于所述送回機(jī)安裝于所述輸送部的一 上部。
11.如請求項(xiàng)10所述的晶圓紋理裝置，其特征在于所述送回機(jī)包含一輸送帶。
12.如請求項(xiàng)10所述的晶圓紋理裝置，其特征在于所述送回機(jī)包含 一直線模組，用以在所述裝填機(jī)及卸載機(jī)間往復(fù)運(yùn)動；以及一裝載板，安裝于所述直線模組，所述盒安裝于所述裝載板上。
13.如請求項(xiàng)6至12項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的晶圓紋理裝置，其特征在于所述裝填機(jī)及卸 載機(jī)包含一框架；一輸送機(jī)械臂，包含一三軸輸送單元及一二軸旋轉(zhuǎn)單元，該三軸輸送單元安裝于所述 框架內(nèi)，用以在三軸方向移動所述盒，該二軸旋轉(zhuǎn)單元安裝于該三軸輸送單元內(nèi)，用以在二 軸方向旋轉(zhuǎn)所述盒；以及一支架，安裝于所述二軸旋轉(zhuǎn)單元，用以夾持所述盒。
全文摘要
本發(fā)明公開一種用于太陽能電池晶圓的盒輸送裝置及利用此盒輸送裝置的太陽能電池的晶圓紋理裝置。依據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，用以供應(yīng)及收回已接收太陽能電池晶圓的盒至一紋理裝置以及自紋理裝置供應(yīng)及收回此盒的此輸送裝置可包含一裝填機(jī)，用以移動該盒至一晶圓接收位置，以及移動及供應(yīng)該盒至該紋理裝置；一卸載機(jī)，當(dāng)晶圓在紋理裝置紋理完成后，移動該盒至一晶圓分離位置，且將晶圓分離的盒移動至一盒送回位置；以及一送回機(jī)，用以將卸載機(jī)供應(yīng)的盒送回至裝填機(jī)。利用根據(jù)本發(fā)明的太陽能電池的盒輸送裝置，作業(yè)變的更簡單且所需人力更少，且在輸送期間可預(yù)防晶圓的損壞及制程缺陷發(fā)生。
文檔編號H01L21/677GK102005499SQ20101025831
公開日2011年4月6日 申請日期2010年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月28日
發(fā)明者丁春錫, 樸智彬, 樸勝一, 許閏成 申請人:Snt能源技術(shù)有限公司