專利名稱：基板輸送裝置的制作方法
基板輸送裝置
相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用光刻工藝通常用作在平板顯示裝置的基板上形成電路圖案。 光刻工藝包括利用顯影液使基板上已曝光的光刻膠層顯影的濕法顯影 工藝。輸送設(shè)備一般設(shè)置為輥式傳送機(jī)類型的形式，其通過輸送輥 的旋轉(zhuǎn)來輸送基板，并且具有用于液體回收的傾斜輸送區(qū)域以在基板 輸送期間提高顯影液的回收及再循環(huán)效率。
0006]公開的韓國專利10-2007-0093343 (于2007年提交)公開了具
5有用于回收液體的傾斜輸送區(qū)域的基板加工設(shè)備。例如，由于不能響應(yīng)基板的尺寸及工作環(huán)境(顯影速度)來 適當(dāng)?shù)卣{(diào)整傾斜輸送區(qū)域的傾斜角度和連接狀態(tài)，工作兼容性下降。尤其是，當(dāng)傾斜輸送區(qū)域的輸送傾斜角度沒有響應(yīng)基板的尺 寸及工作環(huán)境(顯影速度)而被適當(dāng)?shù)卣{(diào)整時(shí)，在基板傾斜輸送期間 #^難預(yù)期充分的液體回收效果。本發(fā)明的目的在于提供一種基板輸送裝置，其被設(shè)計(jì)為在顯 影工藝中穩(wěn)定地輸送基板，并且具有能夠提高在基板輸送期間工作液 (顯影液)的液體回收效率的傾斜輸送功能。本發(fā)明的示范實(shí)施例提供了一種基板輸送裝置，其包括用 于輸送基板的第 一輸送單元；與第 一輸送單元的一端間隔的第二輸送 單元；第三輸送單元，其設(shè)置在第一輸送單元及第二輸送單元之間， 并且提供能夠在基板輸送期間回收附著在基板上的顯影液的傾斜輸送 區(qū)域；及用于控制第三輸送單元的傾斜輸送角度及連接狀態(tài)的輸送控 制器。圖2為

圖1描述的第三輸送單元的示意圖；圖6為圖3和圖4的輸送控制器的一個(gè)改進(jìn)實(shí)施例的示意圖；
另外，通過適當(dāng)?shù)厣舷逻\(yùn)動(dòng)推臂A,如圖9所示，第一可調(diào)輸 送單元10A可以形成基本水平的可調(diào)輸送區(qū)域L3，第二可調(diào)輸送單元 1 OB可以形成向上傾4斗的可調(diào)輸送區(qū)域L4 。例如，輸送引導(dǎo)構(gòu)件14可以設(shè)置在第三輸送單元10中與第一 輸送單元6對(duì)應(yīng)的第 一可調(diào)輸送單元10A的附近。即，如圖10所示，輸送引導(dǎo)構(gòu)件14安裝為使第一可調(diào)輸送單
15元10A的輸送輥R3中鄰近第 一輸送單元6的一端的多個(gè)輸送輥R3相互 連接。即，如圖11所示，在第二輸送單元8的輸送輥R2中，輸送引 導(dǎo)構(gòu)件14安裝為使第二輸送單元8的輸送輥R2中鄰近第二可調(diào)輸送單 元10B的一端的多個(gè)輸送輥R2相互連接。
0088]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)基板G傳入或傳出第三輸送單元10時(shí)，基 板G不會(huì)置于輸送輥R3及R2之間或者接觸輸送輥R3及R2，而是由輸送 引導(dǎo)構(gòu)件14引導(dǎo)而平穩(wěn)地被輸送。
0089]因此，能夠防止以下現(xiàn)象，損壞(變形)基板G及改變其正 常位置因而基板G以非正常狀態(tài)被輸送。
[0090盡管已經(jīng)結(jié)合在目前看來是最實(shí)用的示范實(shí)施例描述了本
發(fā)明，但應(yīng)理解的是本發(fā)明并不限于所公開的實(shí)施例，相反，本發(fā)明 意圖覆蓋包含于所附的權(quán)利要求的的精神和范圍內(nèi)的不同的改進(jìn)和等 同的布局。
權(quán)利要求
1、一種基板輸送裝置，包括用于輸送基板的第一輸送單元；與所述第一輸送單元的一端間隔開的第二輸送單元；第三輸送單元，其設(shè)置在所述第一輸送單元及所述第二輸送單元之間，并且提供能夠在基板輸送期間回收附著在基板上的顯影液的傾斜輸送；及用于控制所述第三輸送單元的傾斜輸送角度及連接狀態(tài)的輸送控制器。
2、 如權(quán)利要求1所迷'的基板輸譯裝.胃，其中所述第一輸送單元設(shè) 置為具有多個(gè)輸送輥的輥式傳送機(jī)類型的形式，且配置為將所述基板 從在其內(nèi)顯影液被供給至所述基板的箱體單元的第 一 內(nèi)側(cè)輸送至所述 箱體的第二內(nèi)側(cè)。
3、 如權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其中所述第二輸送單元設(shè) 置為具有多個(gè)輸送輥的輥式傳送機(jī)類型的形式，且配置為將所述基板 從在其內(nèi)清潔液被供給至所述基板的箱體單元的第 一 內(nèi)側(cè)輸送至所述 箱體的第二內(nèi)側(cè)。
4、 如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其中所述第 一及第二輸送單元具有各自的輸送區(qū)域，各自的輸送區(qū)域具有相同水 平高度或不同水平高度。
5、 如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其中所述第 二輸送單元具有比所述第一輸送單元的輸送區(qū)域高的輸送區(qū)域。
6、 如權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其中所述第三輸送單元包 括第 一及第二可調(diào)輸送單元，所述第 一及第二可調(diào)輸送單元的每一個(gè) 都設(shè)置為具有多個(gè)輸送輥的輥式傳送機(jī)類型的形式并且具有在所述第 一及第二輸送單元之間鉸合的 一端。
7、 如權(quán)利要求6所述的基板輸送裝置，其中所述第一及第二可調(diào) 輸送單元配置為，在繞各自的鉸合點(diǎn)樞轉(zhuǎn)時(shí)分別提供向上傾斜或向上 和向下傾斜的可調(diào)輸送區(qū)域。
8、 如權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其中所述輸送控制器包括 產(chǎn)生動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)源；及推臂，其支撐所述第三輸送單元的下部以便在受到驅(qū)動(dòng)源的作用 而上下運(yùn)動(dòng)時(shí)能夠推動(dòng)所述第三輸送單元的下部。
9、 如權(quán)利要求8所述的基板輸送裝置，其中所述驅(qū)動(dòng)源選自由電 動(dòng)機(jī)、氣缸及步進(jìn)電動(dòng)機(jī)組成的集合。
10、 如權(quán)利要求8所述的基板輸送裝置，其中所述推臂配置為， 當(dāng)驅(qū)動(dòng)源被驅(qū)動(dòng)時(shí)通過經(jīng)由凸輪運(yùn)動(dòng)、連桿運(yùn)動(dòng)或螺桿聯(lián)結(jié)而接收的 動(dòng)力而上下運(yùn)動(dòng)。
11、 如權(quán)利要求8至10中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其中所述 推臂包括與所述第三輸送單元對(duì)應(yīng)的兩個(gè)支撐端和與驅(qū)動(dòng)源對(duì)應(yīng)的連 接端，并且推臂的配置使得當(dāng)驅(qū)動(dòng)源被驅(qū)動(dòng)時(shí)，通過在向前及向后運(yùn)動(dòng)的凸 輪的傾斜凸輪表面上的連接端的凸輪運(yùn)動(dòng)，所述的兩個(gè)支撐端單獨(dú)地 或共同地上下運(yùn)動(dòng)。
12、 如權(quán)利要求8至10中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其中所述 推臂包括與所述第三輸送單元對(duì)應(yīng)的兩個(gè)支撐端和與驅(qū)動(dòng)源對(duì)應(yīng)的連 接端；并且推臂配置為，當(dāng)驅(qū)動(dòng)源被驅(qū)動(dòng)時(shí)，通過以預(yù)設(shè)角度樞轉(zhuǎn)的鏈條經(jīng) 由連接端的連桿運(yùn)動(dòng)而能夠單獨(dú)地或共同地上下運(yùn)動(dòng)。
13、 如權(quán)利要求8至10中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其中所述 推臂包括與所述第三輸送單元對(duì)應(yīng)的兩個(gè)支撐端和與驅(qū)動(dòng)源對(duì)應(yīng)的連 才妄端，以及螺桿的一端被連接以能夠繞驅(qū)動(dòng)源的軸旋轉(zhuǎn)且穿過一側(cè)，并且所 述兩個(gè)支撐端配置為能夠通過螺桿聯(lián)結(jié)及螺桿的正向/反向旋轉(zhuǎn)而單獨(dú) 地和共同;也上下運(yùn)動(dòng)。
14、 如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的基板輸送裝置，其中所述 輸送控制器設(shè)計(jì)為，在通過推動(dòng)操作而樞轉(zhuǎn)第三輸送單元時(shí)控制所述 第三輸送單元的傾斜角度及連接狀態(tài)。
15、 如權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，進(jìn)一步包括用于引導(dǎo)基 板的輸送的輸送引導(dǎo)構(gòu)件，其中所述輸送引導(dǎo)構(gòu)件為橡膠帶或橡膠環(huán) 這兩者中的一個(gè)，并且安裝為使由所述第一、第二及第三輸送單元所 限定的整個(gè)輸送區(qū)域中的一些區(qū)域相互連接。
全文摘要
本發(fā)明公開一種基板輸送裝置，其設(shè)計(jì)為提供提高在基板輸送期間工作液(顯影液)的液體回收效率的傾斜輸送功能。所述基板輸送裝置包括用于輸送基板的第一輸送單元、與所述第一輸送單元的一端間隔的第二輸送單元、設(shè)置在所述第一輸送單元及所述第二輸送單元之間并且提供能夠在基板輸送期間回收附著在基板上的顯影液的傾斜輸送的第三輸送單元，及用于控制所述第三輸送單元的傾斜輸送角度及連接狀態(tài)的輸送控制器。
文檔編號(hào)H01L21/677GK101498902SQ20091000526
公開日2009年8月5日 申請(qǐng)日期2009年1月21日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月28日
發(fā)明者丁春錫, 樸鎬胤, 李升垣, 李碩周 申請(qǐng)人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會(huì)社