技術(shù)編號：6926859
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。基板輸送裝置相關(guān)申請的交叉引用光刻工藝通常用作在平板顯示裝置的基板上形成電路圖案。 光刻工藝包括利用顯影液使基板上已曝光的光刻膠層顯影的濕法顯影 工藝。輸送設(shè)備一般設(shè)置為輥式傳送機類型的形式，其通過輸送輥 的旋轉(zhuǎn)來輸送基板，并且具有用于液體回收的傾斜輸送區(qū)域以在基板 輸送期間提高顯影液的回收及再循環(huán)效率。0006]公開的韓國專利10-2007-0093343 (于2007年提交)公開了具5有用于回收液體的傾斜輸送區(qū)域的基板加工設(shè)備。例如，由于不能響應(yīng)基板的...
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