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密封機(jī)構(gòu)、密封機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)裝置、輸送裝置和制造裝置的制作方法

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密封機(jī)構(gòu)、密封機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)裝置、輸送裝置和制造裝置的制作方法

技術(shù)特征:
1.一種密封機(jī)構(gòu),其分隔壓力或氣體不同的2個(gè)空間,其特征在于,包括:外殼;軸,其插入到所述外殼中;以及多個(gè)環(huán)狀密封部件,其與所述軸的一部分或固定于所述軸的旋轉(zhuǎn)部的徑向外側(cè)表面接觸,對(duì)間隙進(jìn)行密封,所述多個(gè)環(huán)狀密封部件分別含有不同材質(zhì)的材料,并且配置于與所述軸的中心軸平行的軸向上的不同位置,所述密封機(jī)構(gòu),在所述多個(gè)環(huán)狀密封部件中所有環(huán)狀密封部件的靠近低壓側(cè)空間的位置,都分別設(shè)置有用于供給潤(rùn)滑劑的貯存部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于:在所述壓力不同的2個(gè)空間中靠近高壓側(cè)空間設(shè)置的環(huán)狀密封部件含有密封性能較高的材質(zhì)的材料,靠近低壓側(cè)空間設(shè)置的環(huán)狀密封部件含有耐腐蝕性較高的材質(zhì)的材料。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述多個(gè)環(huán)狀密封部件含有硬度不同的材料,在所述壓力不同的2個(gè)空間中靠近高壓側(cè)空間設(shè)置的環(huán)狀密封部件含有比靠近低壓側(cè)空間設(shè)置的環(huán)狀密封部件硬的材料。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述環(huán)狀密封部件包括:固定部,其與所述外殼接觸;唇部,其與所述旋轉(zhuǎn)部的徑向外側(cè)表面接觸;以及環(huán)狀連結(jié)部,其連結(jié)所述固定部和所述唇部。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于,還具有:施力部件,其將所述唇部的按壓力施加于旋轉(zhuǎn)部側(cè),所述施力部件設(shè)置在由所述唇部、所述環(huán)狀連結(jié)部和所述固定部包圍的空間中。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述軸以能夠旋轉(zhuǎn)的方式被支承。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述軸以能夠進(jìn)行使所述軸與所述外殼的相對(duì)位置在軸向上變化這樣的直線運(yùn)動(dòng)的方式被支承。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述多個(gè)環(huán)狀密封部件中軸向上相鄰的環(huán)狀密封部件之間的距離大于所述軸能夠進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的軸向上的行程。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于:所述貯存部向軸向上相鄰的環(huán)狀密封部件的一方供給潤(rùn)滑劑,從所述貯存部至軸向上相鄰的環(huán)狀密封部件的另一方的距離大于所述軸能夠進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)的軸向上的行程。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于,具有:流路,其與位于所述多個(gè)環(huán)狀密封部件中軸向上相鄰的環(huán)狀密封部件之間的空間連接,用于排氣或吸氣。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于,具有:壓力變動(dòng)裝置,所述壓力變動(dòng)裝置根據(jù)所述流路的壓力或氣體流量,對(duì)所述流路進(jìn)行排氣或吸氣。12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的密封機(jī)構(gòu),其特征在于,具有:壓力變動(dòng)裝置,所述壓力變動(dòng)裝置總是對(duì)所述流路進(jìn)行排氣。13.一種密封機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)裝置,其特征在于,包括:權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的密封機(jī)構(gòu);以及驅(qū)動(dòng)裝置,其對(duì)所述軸施加旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和直線運(yùn)動(dòng)中的至少一種運(yùn)動(dòng)。14.一種輸送裝置,其特征在于,包括:權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的密封機(jī)構(gòu);以及使被輸送物移動(dòng)的可動(dòng)部件,所述可動(dòng)部件的動(dòng)作與所述軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和直線運(yùn)動(dòng)中的至少一種運(yùn)動(dòng)連動(dòng)。15.一種制造裝置,其特征在于,包括:具有權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的密封機(jī)構(gòu)。
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