本發(fā)明涉及用于分隔壓力不同的2個空間的密封機構、密封機構的驅動裝置、輸送裝置和制造裝置。

背景技術：
在輸送裝置、半導體制造裝置或機床等制造裝置中，會使用使旋轉臺旋轉、或者使半導體基板、工件或工具旋轉的旋轉機構。作為這樣的旋轉機構，例如在專利文獻1中記載了一種定位裝置(參照圖2)。專利文獻1：日本特開2007－9939號公報

技術實現(xiàn)要素：
記載于專利文獻1的技術，通過在密封槽內(nèi)收納作為接觸式密封件的O形環(huán)，來使真空腔室等處理室內(nèi)與外部環(huán)境隔離，同時使軸旋轉。然而，O形環(huán)雖然可提高密封性，但是由于強制性地使其變形與軸接觸，所以O形環(huán)或軸可能產(chǎn)生變形或磨損。如果選用適合于處理室內(nèi)的O形環(huán)，則密封性有可能不夠，如果選用適合于外部環(huán)境的O形環(huán)，則又可能受到處理室內(nèi)的影響使壽命變短等，所以各種材質(zhì)既有優(yōu)點又有缺陷。因此，期望一種能夠提高密封性并且抑制部件的老化而降低部件更換頻率的旋轉機構。本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種能夠提高密封性的密封機構、密封機構的驅動裝置、輸送裝置和制造裝置。為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明涉及的密封機構，其分隔壓力或氣體不同的2個空間，其包括：外殼；軸，其插入到上述外殼中；以及多個環(huán)狀密封部件，其與上述軸的一部分或固定于上述軸的旋轉部的徑向外側表面接觸，對間隙進行密封，上述多個環(huán)狀密封部件分別含有不同材質(zhì)的材料，并且配置于與上述軸的中心軸平行的軸向上的不同位置。該密封機構中，多個環(huán)狀密封部件能夠分別對應于軸的軸向上的不同位置發(fā)揮適當?shù)拿芊庑?，能夠抑制磨損等劣化的加劇。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選在上述壓力不同的2個空間中靠近高壓側空間設置的環(huán)狀密封部件含有密封性能較高的材質(zhì)的材料，而靠近低壓側空間設置的環(huán)狀密封部件含有耐腐蝕性較高的材質(zhì)的材料。采用這種結構，對于靠近高壓側空間設置的環(huán)狀密封部件而言，真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境的影響被抑制，由氣體等引起的劣化被抑制。對于靠近低壓側空間設置的環(huán)狀密封部件而言，由于高壓側空間的壓力被另一個環(huán)狀密封部件減小，所以只承受很小的壓力。而且，多個環(huán)狀密封部件能夠分別對應于軸的軸向上的不同位置發(fā)揮適當?shù)拿芊庑?，能夠抑制磨損等劣化的加劇。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述多個環(huán)狀密封部件含有硬度不同的材料，靠近上述壓力不同的2個空間中靠近高壓側空間設置的環(huán)狀密封部件含有比靠近低壓側空間設置的環(huán)狀密封部件硬的材料。由此，對于靠近高壓側空間設置的環(huán)狀密封部件而言，真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境的影響被抑制，由氣體等引起的劣化被抑制。對于靠近低壓側空間設置的環(huán)狀密封部件而言，由于高壓側空間的壓力被另一個環(huán)狀密封部件減小，所以只承受很小的壓力。由此，多個環(huán)狀密封部件能夠分別對應于軸的軸向上的不同位置發(fā)揮適當?shù)拿芊庑?，能夠抑制磨損等劣化的加劇。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述環(huán)狀密封部件包括：固定部，其與上述外殼接觸；唇部，其與上述旋轉部的徑向外側表面接觸；以及環(huán)狀連結部，其連結上述固定部和上述唇部。該密封機構能夠提高環(huán)狀密封部件與旋轉部接觸的接觸壓力，所以能夠實現(xiàn)較高的密封性。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選還具有施力部件，其將上述唇部的按壓力施加于旋轉部側，上述施力部件設置在由上述唇部、上述環(huán)狀連結部和上述固定部包圍的空間中。采用這種結構，密封機構能夠提高密封性。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述軸以能夠旋轉的方式被支承。由此，密封機構能夠在壓力或氣體不同的2個空間之間傳遞旋轉運動。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述軸以能夠進行使所述軸與所述外殼的相對位置在軸向上變化這樣的直線運動的方式被支承。由此，密封機構能夠在壓力或氣體不同的2個空間之間傳遞直線運動。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述多個環(huán)狀密封部件中軸向上相鄰的環(huán)狀密封部件之間的距離大于上述軸能夠進行直線運動的軸向上的行程。采用這種結構，能夠在多個環(huán)狀密封部件中對軸向上相鄰的環(huán)狀密封部件使用不同的潤滑劑。其結果，能夠延長環(huán)狀密封部件的壽命。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選具有貯存部，其向上述多個環(huán)狀密封部件中軸向上相鄰的環(huán)狀密封部件的一方供給潤滑劑，從上述貯存部至軸向上相鄰的環(huán)狀密封部件的另一方的距離大于上述軸能夠進行直線運動的軸向上的行程。采用這種結構，能夠在多個環(huán)狀密封部件中對軸向上相鄰的環(huán)狀密封部件使用不同的潤滑劑。其結果，能夠延長環(huán)狀密封部件的壽命。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選具有流路，其與位于上述多個環(huán)狀密封部件中軸向上相鄰的環(huán)狀密封部件之間的空間連接，用于排氣或吸氣。采用這種結構，密封機構能夠縮短起動時間。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選具有壓力變動裝置，上述壓力變動裝置根據(jù)上述流路的壓力或氣體流量，對上述流路進行排氣或吸氣。采用這種結構，密封機構能夠縮短起動時間。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選具有壓力變動裝置，上述壓力變動裝置總是對上述流路進行排氣。采用這種結構，密封機構能夠縮短起動時間。此外，采用這種結構，密封機構能夠提高密封性能。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選在上述多個環(huán)狀密封部件中所有環(huán)狀密封部件的靠近低壓側空間的位置，都分別設置有用于供給潤滑劑的貯存部。采用這種結構，能夠延長環(huán)狀密封部件的壽命。作為本發(fā)明的理想方式，上述密封機構是分隔壓力不同的2個空間的旋轉機構，其包括：上述外殼；上述軸，其插入到上述外殼中；軸承，其設置于上述外殼，以上述軸能夠旋轉的方式支承該軸；旋轉部，其固定于上述軸的一端部、與上述軸一起旋轉，并且徑向外側表面與上述外殼具有規(guī)定大小的間隙地對置；以及上述環(huán)狀密封部件，其與上述旋轉部的徑向外側表面接觸，對上述間隙進行密封。這種旋轉機構能夠通過從旋轉機構中的軸上拆下旋轉部并將其取出，來提高部件更換的操作性。軸在更換旋轉部之后能夠放回旋轉機構中使用，所以能夠延長軸的壽命，降低成本。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述旋轉部的徑向外側表面比上述軸的徑向外側表面硬。采用這種結構，旋轉部為了抑制磨損而使用可提高表面硬度的材料，通過至少對旋轉部的徑向外側表面進行硬化處理，能夠延長旋轉部的壽命。此外，旋轉部和軸是分開的部件，所以能夠獲得軸材料的選擇自由度，能夠限定硬化處理的范圍，所以能夠降低制造成本。而且，旋轉機構能夠減少為了抑制磨損而使用能提高表面硬度的材料的量。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述旋轉部構成為，上述旋轉部的外周的外形比上述軸的外周的外形大，并且具有能夠供上述軸的一端插入到上述旋轉部內(nèi)部的凹部內(nèi)壁。采用這種結構，旋轉部的旋轉中心軸與軸的旋轉中心軸一致，所以不需要進行旋轉中心軸的調(diào)整作業(yè)。因此，旋轉機構在維修時也能夠容易地進行部件更換。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述軸承具有外圈、配置于上述外圈的徑向內(nèi)側的內(nèi)圈和配置在上述外圈與上述內(nèi)圈之間的滾動體，上述旋轉部的一端插入到由上述內(nèi)圈包圍的空間中而與上述內(nèi)圈嵌合。采用這種結構，旋轉部的旋轉中心軸與軸的旋轉中心軸一致，所以不需要進行旋轉中心軸的調(diào)整作業(yè)。因此，旋轉機構在維修時也能夠容易地進行部件更換。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述軸承具有外圈、配置于上述外圈的徑向內(nèi)側的內(nèi)圈和配置在上述外圈與上述內(nèi)圈之間的滾動體，上述旋轉部是固定上述內(nèi)圈的內(nèi)圈按壓部。采用這種結構，通過將旋轉部作為內(nèi)圈按壓部暫時固定于軸，能夠進行軸承的定位，所以操作性良好，在旋轉機構的拆卸作業(yè)或組裝作業(yè)中也容易進行作業(yè)。而且，旋轉機構的部件數(shù)量減少而能夠提供廉價的旋轉機構。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述旋轉部的外周的外形比上述軸大，上述旋轉部的一端的至少一部分與上述內(nèi)圈抵接。采用這種結構，旋轉機構的部件數(shù)量減少而能夠提供廉價的旋轉機構。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述環(huán)狀密封部件包括：固定部，其與上述外殼接觸；唇部，其與上述旋轉部的徑向外側表面接觸；以及環(huán)狀連結部，其連結上述固定部和上述唇部。這種旋轉機構能夠提高環(huán)狀密封部件與旋轉部接觸的接觸壓力，所以能夠實現(xiàn)較高的密封性。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選還具有施力部件，其將上述唇部的按壓力施加于旋轉部側，上述施力部件設置在由上述唇部、上述環(huán)狀連結部和上述固定部包圍的空間中。采用這種結構，旋轉機構能夠提高密封性。作為本發(fā)明的理想方式，優(yōu)選上述環(huán)狀密封部件設置有多個，上述環(huán)狀密封部件分別配置于與上述軸的旋轉中心軸平行的軸向上的不同位置，并且與上述旋轉部的徑向外側表面接觸。采用這種結構，旋轉機構能夠提高密封性。作為本發(fā)明的理想方式，旋轉驅動裝置優(yōu)選包括上述旋轉機構、以及使上述軸旋轉的電動機。采用這種結構，旋轉驅動裝置能夠實現(xiàn)較高的密封性。作為本發(fā)明的理想方式，密封機構的驅動裝置優(yōu)選包括上述密封機構、以及對上述軸施加旋轉運動和直線運動中的至少一種運動的驅動裝置。采用這種結構，密封機構的驅動裝置能夠實現(xiàn)較高的密封性。作為本發(fā)明的理想方式，輸送裝置優(yōu)選包括上述密封機構、以及使被輸送物移動的可動部件，上述可動部件的動作與上述軸的旋轉運動和直線運動中的至少一種運動連動。采用這種結構，輸送裝置能夠實現(xiàn)較高的密封性。作為本發(fā)明的理想方式，制造裝置優(yōu)選具有上述密封機構。采用這種結構，制造裝置能夠實現(xiàn)較高的密封性，提高產(chǎn)品的品質(zhì)。作為本發(fā)明的理想方式，旋轉機構的組裝方法是，拆開旋轉機構，從上述軸上卸下上述旋轉部之后，固定組裝新的旋轉部。利用這種方法，能夠延長軸的壽命，提高部件更換的操作性。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種可提高密封性的密封機構、密封機構的驅動裝置、輸送裝置和制造裝置。附圖說明圖1是示意性地表示具有實施方式1涉及的旋轉機構的制造裝置的截面圖。圖2是示意性地表示實施方式1涉及的旋轉機構的截面圖。圖3是圖2的A－A向視圖。圖4是實施方式1涉及的旋轉機構的間隙的放大圖。圖5是示意性地表示實施方式2涉及的旋轉機構的截面圖。圖6是示意性地表示實施方式3涉及的旋轉機構的截面圖。圖7是示意性地表示實施方式5涉及的密封機構的截面圖。圖8是示意性地表示實施方式6涉及的密封機構的截面圖。圖9是示意性地表示實施方式7涉及的密封機構的截面圖。圖10是示意性地表示實施方式8涉及的密封機構的截面圖。符號說明1旋轉機構(密封機構)1A密封機構2外殼3旋轉部件4、4A、41、42、44、45、46軸承5A、5B環(huán)狀密封部件6密封機構的驅動裝置8電動機8A旋轉驅動裝置8B直線運動驅動裝置21主干部22外殼凸緣部23、23A、23B蓋部23f徑向內(nèi)徑側面24外圈止動部件25、25A密封件固定用間隔件25a間隔件定位部25b密封件固定凹部25c徑向內(nèi)周部25d徑向外周部28、28A密封件固定用間隔件32旋轉部33輸送臺(可動部件)41a、42a外圈41c、42c內(nèi)圈51唇部51a內(nèi)周側前端51d內(nèi)周側基部52固定部54密封凸緣部55間隙56施力部件56c彎曲部91控制裝置100制造裝置E外部空間V內(nèi)部空間具體實施方式下面，參照附圖對用于實施本發(fā)明的方式(以下，稱為實施方式)進行說明。另外，本發(fā)明不局限于下述實施方式。此外，下述實施方式中的結構要素中包括本領域技術人員容易想到的結構要素、實質(zhì)上相同的結構要素、所謂等同范圍的結構要素。而且，下述實施方式中公開的結構要素能夠適當組合。實施方式1圖1是示意性地表示具有實施方式1涉及的旋轉機構的制造裝置的截面圖。圖2是示意性地表示實施方式1涉及的旋轉機構的截面圖。圖1和圖2示出了用包含旋轉機構1的旋轉中心軸Zr并且與旋轉中心軸Zr平行的平面切開旋轉機構1而得到的截面。另外，在實施方式1中，軸向是與旋轉中心軸Zr平行的方向。圖3是圖2的A－A向視圖。圖4是實施方式1涉及的旋轉機構的間隙的放大圖。旋轉機構1是用于傳遞旋轉的機械部件，例如在真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境等特殊環(huán)境下使用。旋轉機構1應用于半導體制造或機床制造等制造裝置、輸送裝置、驅動裝置中。這里，作為一個示例，對旋轉機構1是用于半導體制造的制造裝置中的具有作為旋轉軸的主軸的旋轉驅動裝置(主軸單元)的情況進行說明，不過旋轉機構1的應用對象不局限于此。如圖1所示，例如用于半導體制造的制造裝置100包括旋轉機構1、殼體10、電動機8、以及用于控制電動機8的控制裝置91。旋轉機構1和電動機8作為密封機構的驅動裝置6，傳遞電動機8的旋轉，使輸送臺(可動部件)33旋轉。制造裝置100，在使殼體10的內(nèi)部空間V成為真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境的基礎上，輸送裝置7將位于內(nèi)部空間V中的被輸送物(例如半導體基板、工件或工具)搭載在輸送臺(可動部件)33上并使其移動。在使被輸送物移動的情況下，如果將電動機8設置在內(nèi)部空間V中，則可能因電動機8的動作而產(chǎn)生異物。因此，制造裝置100將輸送臺33保留在內(nèi)部空間V中，而將電動機8設置在外部空間E。這樣，旋轉機構1是分隔內(nèi)部空間V與外部空間E從而提高密封性、并同時將設置于外部空間E的電動機8的動力傳遞至內(nèi)部空間V的密封機構。電動機8例如是直接驅動馬達、使用帶傳動的驅動裝置、線性馬達、伺服馬達等。控制裝置91包括輸入電路、作為中央運算處理裝置的CPU(CentralProcessingUnit，中央處理單元)、作為存儲裝置的存儲器、以及輸出電路。對應于存儲在存儲器中的程序來控制電動機8，將位于內(nèi)部空間V的被輸送物(例如半導體基板、工件或工具)搭載在輸送臺(可動部件)33上并使其移動，從而制造裝置100能夠制造所要求的制品。輸送裝置7具有使被輸送物移動的輸送臺(可動部件)33，通過輸送臺(可動部件)33的動作與旋轉機構1的軸的旋轉運動連動，使被輸送物移動。旋轉機構1包括外殼2、旋轉部件3和軸承4。外殼2是收納軸承4的部件。在實施方式1中，外殼2具有作為筒狀部件的主干部21和設置于主干部21的一端部的外殼凸緣部22作為外殼主體。而且，外殼2還具有用螺栓27固定于外殼凸緣部22的蓋部23、以及配置在外殼主體的主干部21內(nèi)部的外圈止動部件24和密封件固定用間隔件25。在實施方式1中，主干部21是筒狀(例如圓筒)部件，具有從一端部通向另一端部的貫通孔21d、21c、21b。外殼凸緣部22是均呈板狀的凸緣部件。在實施方式1中，外殼凸緣部22的形狀在俯視時呈圓形，不過其形狀不局限于圓形。外殼凸緣部22具有上述貫通孔21b，該貫通孔21b包含軸31的旋轉中心軸Zr并且在厚度方向上貫穿。以從殼體10的外部覆蓋殼體10的開口部10e的方式安裝外殼凸緣部22，并用螺栓(未圖示)緊固外殼凸緣部22與殼體10的壁面，從而將外殼2固定于殼體10。由此，外殼2能夠從殼體10的外部封閉殼體10的開口部10e。外殼凸緣部22在俯視時與殼體10重合的部分具有環(huán)狀槽，在該環(huán)狀槽中嵌入O形環(huán)(環(huán)狀密封件)11，從而提高外殼凸緣部22與殼體10的密封性。旋轉部件3包括軸31、旋轉部(外周部)32和輸送臺(可動部件)33。軸31是旋轉機構1的輸出軸(主軸)，一端部插入到外殼2中。軸31的另一端部經(jīng)由聯(lián)軸器82與電動機8的輸出軸81連接。輸送臺(可動部件)33經(jīng)由旋轉部32固定于軸31的一端部。輸送臺33和旋轉部32與軸31一起旋轉。輸送臺33，在其與軸31的一端部相反一側的面上載置物體。在實施方式1中，輸送臺33是板狀部件，俯視時呈圓形。輸送臺33突出至旋轉部32的徑向外側，旋轉部32與外殼2的外殼凸緣部22相比在軸向上突出。在實施方式1中，軸承4設置在外殼2的內(nèi)部，以使軸31能夠旋轉的方式支承該軸31。軸承4包括軸承41和軸承42，隔著呈雙重筒狀的軸承間隔件43，沿著旋轉中心軸Zr隔開距離地配置。由此，通過由軸承41和軸承42的多個部位支承軸31，軸承4能夠抑制軸31的振擺旋轉。在實施方式1中，軸31由2個軸承41、42支承于外殼2，不過軸承的數(shù)量不局限于2個。如圖2所示，軸承41、42包括外圈41a、42a、滾動體41b、42b、以及內(nèi)圈41c、42c。內(nèi)圈41c、42c配置于外圈41a、42a的徑向內(nèi)側。這樣，在實施方式1中，軸承41、42都是滾動軸承。滾動體41b、42b配置在外圈41a、42a與內(nèi)圈41c、42c之間。軸承41、42的外圈41a、42a與外殼2的主干部21具有的貫通孔21d的內(nèi)壁接觸。如圖2所示，外圈41a的軸向一端與主干部21所具有的貫通孔21d的內(nèi)壁被刻入而形成的定位部21a接觸。外圈止動部件24的外圈按壓部24a將外圈42a的軸向一端定位固定。因此，定位部21a和外圈止動部件24在軸向上將軸承41、軸承間隔件43和軸承42夾緊固定。采用這樣的結構，將軸承41、42安裝在外殼2中。在實施方式1中，兩個軸承41、42都是球軸承，不過作為滾動軸承的軸承41、42的種類不局限于球軸承。此外，在實施方式1中，軸承41、42都是滾動軸承，不過也可以是滑動軸承。旋轉部32呈具有中空凹部的圓筒狀，其徑向外側表面與外殼2具有規(guī)定大小的間隙55地對置。實施方式1的旋轉部32與軸31為同軸，不過旋轉部32與軸31相比直徑較大而突出。這樣，旋轉部32的徑向外側表面32p與軸31的外周31b相比外形較大，旋轉部32具有能夠供軸31的一端31c插入到旋轉部32內(nèi)部的中空部中的凹部內(nèi)壁32u。這樣，旋轉部32是覆蓋軸31的一端31c的罩結構。通過將軸31的一端31c插入到旋轉部32中，旋轉部32的旋轉中心軸與軸31的旋轉中心軸Zr一致，所以不需要進行旋轉中心軸的調(diào)整作業(yè)。因此，實施方式1的旋轉機構1在維修時也能夠容易地進行部件更換。如圖2所示，旋轉部32具有從作為一端部的輸送臺(可動部件)33側朝向作為另一端部的軸31側在軸向上貫穿的貫通孔32h1和貫通孔32h2。貫通孔32h1與旋轉部32的旋轉中心軸Zr同軸地被開設。貫通孔32h2在旋轉部32的相對于旋轉中心軸Zr點對稱的位置上開設有多個。這里，上述輸送臺(可動部件)33具有從一端部朝向另一端部在軸向上貫穿的貫通孔33h1。貫通孔33h1在輸送臺(可動部件)33的相對于旋轉中心軸Zr點對稱的位置上開設有多個。另一方面，在軸31的一端31c的端面開設有螺紋孔31h1和螺紋孔31h2。螺紋孔31h1與軸31的旋轉中心軸Zr同軸地被開設。螺紋孔31h2在軸31的相對于旋轉中心軸Zr點對稱的位置上開設有多個。在軸31的一端31c插入到旋轉部32內(nèi)部的中空部中的狀態(tài)下，螺栓34貫穿貫通孔32h1與螺紋孔31h1結合，由此將旋轉部32和軸31固定。并且，在用螺栓34將旋轉部32和軸31固定的狀態(tài)下，多個螺栓35貫穿貫通孔33h1和貫通孔32h2與螺紋孔31h2結合，由此將旋轉部32和軸31固定。其中，也可以使貫通孔32h2中的至少1個的內(nèi)部為陰螺紋，將螺栓34與貫通孔32h2結合。如上所述，實施方式1的旋轉部32與軸31是同軸，不過旋轉部32與軸31相比直徑較大而突出。因此，旋轉部32，使其與輸送臺33相反一側的端面32a的至少一部分與內(nèi)圈42c抵接，能夠構成內(nèi)圈按壓部。采用這樣的結構，能夠削減部件數(shù)量，提供廉價的旋轉機構1。內(nèi)圈41c的軸向一端與軸31所具有的作為外周凹部的定位部31a接觸。旋轉部32將內(nèi)圈42c的軸向一端定位固定，所以定位部31a和旋轉部32在軸向上將軸承41、軸承間隔件43和軸承42夾緊固定。采用這樣的結構，將軸承41、42安裝于軸31。另外，螺栓34將旋轉部32和軸31固定，由此旋轉部32能夠向內(nèi)圈42c的軸向施加適當?shù)陌磯毫ΑＴ谛D部32內(nèi)部的中空部的內(nèi)壁32u設置有O形環(huán)(第二環(huán)狀密封部件)36，該O形環(huán)36嵌入于在與軸向平行的平面呈環(huán)狀地凹陷的環(huán)狀槽中。O形環(huán)(第二環(huán)狀密封部件)36能夠抑制經(jīng)由貫通孔32h1泄漏的氣體，提高旋轉機構1的密封性。密封件固定用間隔件25規(guī)定間隙55的大小，并且將環(huán)狀密封部件5A固定。如圖3所示，密封件固定用間隔件25是環(huán)狀部件。如圖4所示，密封件固定用間隔件25包括：使徑向外周側的一部分在軸向上突出的間隔件定位部25a、密封件固定凹部25b、徑向內(nèi)周部25c、徑向外周部25d、與徑向內(nèi)周部25c相比向旋轉部32側突出的環(huán)狀凸部25e、軸向一端25j、以及軸向另一端25g。徑向外周部25d的至少一部分與主干部21的貫通孔21b的內(nèi)壁接觸。密封件固定用間隔件25作為環(huán)狀密封部件5A的導向件發(fā)揮作用，所以能夠使環(huán)狀密封部件5A與旋轉部32接觸的接觸壓力為適當?shù)脑O定值。此外，在外殼凸緣部22以與旋轉中心軸Zr呈同心圓狀的方式形成有環(huán)狀槽22a，徑向外周部25d的至少一部分構成環(huán)狀槽22a的壁面的一部分。蓋部23由螺栓27固定于外殼凸緣部22，則嵌入在環(huán)狀槽22a中的O形環(huán)(第三環(huán)狀密封部件)26可提高密封性，進行密封。此外，蓋部23與密封件固定用間隔件25的軸向一端25j抵接。而且，O形環(huán)(第三環(huán)狀密封部件)26配置于直徑比環(huán)狀密封部件5A大的位置。此外，間隔件定位部25a夾在密封件固定用間隔件28與主干部21的貫通孔21b的內(nèi)壁之間被固定。在內(nèi)部空間V的真空程度較低的情況下就不需要設置環(huán)狀槽22a和O形環(huán)(第三環(huán)狀密封部件)26。如圖3所示，環(huán)狀密封部件5A與旋轉部32、密封件固定用間隔件25、以及固定于外殼凸緣部22的O形環(huán)(第三環(huán)狀密封部件)26、O形環(huán)11一樣，按照以旋轉中心軸Zr為中心構成同心圓的方式配置。環(huán)狀密封部件5B與環(huán)狀密封部件5A是同樣的。而且，如圖2所示，環(huán)狀密封部件5A、5B與軸承4相比配置在壓力不同的2個空間中靠近低壓側的內(nèi)部空間V。采用這樣的結構，環(huán)狀密封部件5A、5B使軸承4所用的潤滑劑等不會向內(nèi)部空間V側飛濺。密封件固定用間隔件28規(guī)定間隙55的大小并且將環(huán)狀密封部件5B固定。與圖3所示的密封件固定用間隔件25一樣，密封件固定用間隔件28是環(huán)狀部件。如圖4所示，密封件固定用間隔件28包括密封件固定凹部28b、徑向內(nèi)周部28c、徑向外周部28d、與徑向內(nèi)周部28c相比向旋轉部32側突出的環(huán)狀凸部28e、軸向一端28j、以及軸向另一端28g。徑向外周部28d的至少一部分與主干部21的貫通孔21c的內(nèi)壁接觸。密封件固定用間隔件28作為環(huán)狀密封部件5B的導向件發(fā)揮作用，所以能夠使環(huán)狀密封部件5B與旋轉部32接觸的接觸壓力為適當?shù)脑O定值。軸向一端28j是與密封件固定用間隔件25的軸向另一端25g相向的端面，軸向另一端28g是與外圈止動部件24相向的端面。密封件固定用間隔件28由密封件固定用間隔件25和外圈止動部件24夾著固定。如圖4所示，環(huán)狀密封部件5A、5B包括：與外殼2的密封件固定用間隔件25、28的徑向內(nèi)周部25c、28c接觸的固定部52、與旋轉部32的徑向外側表面32p接觸的唇部51、連結固定部52和唇部51的環(huán)狀連結部53、以及密封凸緣部54。采用這樣的結構，固定部52、環(huán)狀連結部53和唇部51的截面形狀呈大致U形，由固定部52、環(huán)狀連結部53和唇部51包圍的空間朝向壓力不同的2個空間中的作為高壓側的外部空間E開口。環(huán)狀密封部件5A、5B的材質(zhì)更優(yōu)選為聚乙烯或聚四氟乙烯。聚乙烯或聚四氟乙烯作為環(huán)狀密封部件5A、5B的材質(zhì)，在耐磨損性、耐化學腐蝕性方面優(yōu)異，且適合與旋轉部32之間的潤滑。所接觸的旋轉部32的材質(zhì)優(yōu)選高碳鉻軸承鋼鋼材、馬氏體系不銹鋼、析出硬化系不銹鋼、含有3.4質(zhì)量％以上的Si的析出硬化性不銹鋼的高硅合金中的任一種。采用這樣的結構，能夠抑制環(huán)狀密封部件5A、5B的磨損，在實施方式1中旋轉機構1能夠提高密封性。所接觸的旋轉部32的材質(zhì)，使用能夠提高表面硬度的材料，并進行硬化處理以使得旋轉部32的徑向外側表面32p的洛氏硬度為50HRC以上。硬化處理通過對旋轉部32的徑向外側表面32p涂覆類鉆碳(DLC：DiamondLikeCarbon)來進行?；蛘?，硬化處理通過對旋轉部32的徑向外側表面32p鍍硬鉻來進行。由此，能夠延長旋轉部32的壽命。例如，在軸31的洛氏硬度為50HRC左右的情況下，能夠使旋轉部32的徑向外側表面32p的洛氏硬度大于50HRC，所以旋轉部32的徑向外側表面32p能夠比軸31的徑向外側表面硬。旋轉機構1通過軸31采用其他材料，能夠減少為了抑制磨損而使用能可提高表面硬度的材料的量。而且，旋轉部32的徑向外側表面32p也能夠比軸31的徑向外側表面硬。由于旋轉部32和軸31是分開的部件，所以能夠獲得軸31材料的選擇自由度，且能夠限定硬化處理的范圍，因此旋轉機構1能夠降低制造成本。環(huán)狀密封部件5A、5B不局限于2個，也可以是3個以上。多個環(huán)狀密封部件5A、5B能夠提高旋轉機構1的密封性。通過使環(huán)狀密封部件5A、5B各自的材質(zhì)不相同，所以能夠兼顧耐腐蝕性和耐久性。例如，在內(nèi)部空間V中，受到真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境的影響，環(huán)狀密封部件的材質(zhì)可能更容易劣化。然而，環(huán)狀密封部件5A、5B分別配置在軸31的軸向上的不同位置，并與旋轉部32的徑向外側表面32p接觸。因此，旋轉機構1中，位于壓力不同的2個空間中的高壓側(外部空間E側)的環(huán)狀密封部件5B使用密封性能較高的材質(zhì)例如聚乙烯等，位于低壓側(內(nèi)部空間V側)的環(huán)狀密封部件5A使用耐腐蝕性較高的材料例如聚四氟乙烯等。由此，對于密封性能較高的環(huán)狀密封部件5B而言，內(nèi)部空間V的真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境的影響被抑制，由氣體等引起的劣化被抑制。對于環(huán)狀密封部件5A而言，由于高壓側(外部空間E側)的壓力被環(huán)狀密封部件5B減小，所以只承受很小的壓力。而且，環(huán)狀密封部件5A、5B能夠分別對應于軸31的軸向上的不同位置發(fā)揮適當?shù)拿芊庑?，能夠抑制磨損等劣化的加劇。如圖4所示，蓋部23由螺栓27固定于外殼凸緣部22，則密封件固定用間隔件25和蓋部23將插入到密封件固定凹部25b中的密封凸緣部54夾緊固定。由此，實施方式1的旋轉機構1中，由于環(huán)狀密封部件5A具有密封凸緣部54，所以能夠抑制環(huán)狀密封部件5A因旋轉部32的旋轉而一起旋轉的可能性。蓋部23由螺栓27固定于外殼凸緣部22，則密封件固定用間隔件25按壓密封件固定用間隔件28。密封件固定用間隔件25和密封件固定用間隔件28將插入到密封件固定凹部28b中的密封凸緣部54夾緊固定。由此，實施方式1的旋轉機構1中，由于環(huán)狀密封部件5B具有密封凸緣部54，所以能夠抑制環(huán)狀密封部件5B因旋轉部32的旋轉而一起旋轉的可能性。蓋部23能夠通過適當設定徑向內(nèi)徑側面23f與徑向外側表面32p之間的間隙s1的距離Δd1來調(diào)整真空度。距離Δd1例如優(yōu)選0.001mm以上0.5mm以下。同樣，環(huán)狀凸部25e能夠通過適當設定徑向內(nèi)徑側面25f與徑向外側表面32p之間的間隙s2的距離Δd2來調(diào)整真空度。距離Δd2例如優(yōu)選0.001mm以上0.5mm以下。此外，環(huán)狀凸部28e能夠通過適當設定徑向內(nèi)徑側面28f與徑向外側表面32p之間的間隙s3的距離Δd3來調(diào)整真空度。距離Δd3例如優(yōu)選0.001mm以上0.5mm以下。如果減小距離Δd1、距離Δd2和距離Δd3，則能夠易于在間隙55中保留潤滑油等潤滑劑。如圖4所示，在由固定部52、環(huán)狀連結部53和唇部51包圍的空間內(nèi)部配置有施力部件56，能夠將唇部51的按壓力向旋轉部32側施加。施力部件56例如是不銹鋼等，是將呈平板狀的板狀部56a和板狀部56b在彎曲部56c彎折而成的、截面觀察時呈V形的彈性體。施力部件56以使板狀部56a和板狀部56b的前端彼此擴展張開的方式進行施力。環(huán)狀密封部件5A、5B中，除了由于唇部51的彈性變形產(chǎn)生的壓力以外，還受到施力部件56所施加的壓力而唇部51與旋轉部32的徑向外側表面32p接觸。因此，旋轉機構1能夠提高唇部51與旋轉部32的徑向外側表面32p接觸的接觸壓力。而且，由固定部52、環(huán)狀連結部53和唇部51包圍的空間朝向壓力不同的2個空間中的作為高壓側的外部空間E開口，所以壓力不同的2個空間的壓力差能夠提高唇部51與旋轉部32的徑向外側表面32p接觸的接觸壓力。由此，即使提高內(nèi)部空間V的真空度，旋轉機構1也能夠維持較高的密封性。此外，不僅唇部51的內(nèi)周側前端51a與徑向外側表面32p接觸，而且唇部51的靠近環(huán)狀連結部53的內(nèi)周側基部51d的至少一部分也與徑向外側表面32p接觸。其結果是，唇部51的內(nèi)周側以面與徑向外側表面32p接觸，所以能夠維持密封性。即使唇部51或軸31發(fā)生磨損或變形，施力部件56也發(fā)揮保持接觸壓力的作用。因此，旋轉機構1能夠降低作為提高密封性的部件的環(huán)狀密封部件5A、5B或軸31的更換頻率。如上所述，旋轉機構1能夠分隔壓力不同的2個空間即內(nèi)部空間V和外部空間E。旋轉機構1包括：外殼2；插入到外殼2中的軸31；設置于外殼2并且以軸31能夠旋轉的方式支承該軸31的軸承4；作為分開設置的部件被固定于軸31的一端部、與軸31一起旋轉，并且其徑向外側表面32p與外殼2的密封件固定用間隔件25具有規(guī)定大小的間隙55地對置的旋轉部32；以及環(huán)狀密封部件5A、5B。環(huán)狀密封部件5A、5B將間隙55密封。采用這樣的結構，旋轉機構1可以從旋轉機構1中的軸31上拆下旋轉部32并將其取出，這樣能夠提高部件更換的操作性。軸31在更換旋轉部之后能夠放回旋轉機構1中使用，所以能夠延長軸31的壽命，降低成本。而且，旋轉機構1的組裝方法是，拆開旋轉機構1，從軸31上卸下磨損的旋轉部32之后，固定組裝新的旋轉部32。因此，不需要每次都更換軸31。此外，環(huán)狀密封部件5A、5B分別含有不同的材質(zhì)，配置在與軸31的旋轉中心軸Zr平行的軸向上的不同位置。這些環(huán)狀密封部件5A、5B將間隙55密封。采用這樣的結構，對于靠近高壓側空間設置的環(huán)狀密封部件5B而言，內(nèi)部空間V的真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境的影響被抑制，因此由氣體等引起的劣化得到抑制。對于靠近低壓側空間設置的環(huán)狀密封部件5A而言，由于高壓側(外部空間E側)的壓力被環(huán)狀密封部件5B減小，所以只承受很小的壓力。而且，環(huán)狀密封部件5A、5B能夠分別對應于軸31的軸向上的不同位置發(fā)揮適當?shù)拿芊庑裕軌蛞种颇p等劣化的加劇。實施方式1涉及的環(huán)狀密封部件5A、5B可以是截面為圓形的所謂O形環(huán)，如上述那樣優(yōu)選具有：與外殼2的密封件固定用間隔件25接觸的固定部52；與旋轉部32的徑向外側表面32p接觸的唇部51；以及連結固定部52與唇部51的環(huán)狀連結部53。施力部件56將唇部51的按壓力施加于旋轉部32側。由于能夠提高環(huán)狀密封部件5A、5B與旋轉部32接觸的接觸壓力，所以旋轉機構1能夠實現(xiàn)較高的密封性。由此，旋轉機構1還能夠降低壓力不同的2個空間中的一方的壓力，以形成較高的真空。而且，即使唇部51因磨損而產(chǎn)生尺寸變化，也由于施力部件56按壓唇部51而能夠抑制密封性降低。因此，旋轉機構1能夠提高密封性。而且，旋轉機構1能夠降低可提高密封性的部件的更換頻率。由唇部51、環(huán)狀連結部53和固定部52包圍的空間向壓力不同的2個空間即內(nèi)部空間V和外部空間E中的、高壓側的外部空間E開口。采用這樣的結構，由環(huán)狀密封部件5A、5B的唇部51自身的彈性變形產(chǎn)生的壓力與由施力部件56施加的壓力協(xié)同作用，因而能夠提高環(huán)狀密封部件5A、5B與旋轉部32接觸的接觸壓力。施力部件56優(yōu)選設置于由固定部52、環(huán)狀連結部53和唇部51包圍的空間中。采用這樣的結構，能夠容易地使唇部51與旋轉部32面接觸。實施方式2圖5是示意性地表示實施方式2涉及的旋轉機構的截面圖。對與上述的實施方式1相同的結構要素標注相同的符號，并省略說明。實施方式2涉及的旋轉機構1不具有能夠供軸31的一端31c插入到旋轉部32內(nèi)部的中空部中的凹部內(nèi)壁32u，其是實心結構體。位于旋轉部32的一端32t的凸部32T在俯視時呈圓形，直徑比旋轉部32的徑向外側表面32p小，插入到由內(nèi)圈42c的內(nèi)周側包圍的空間中，與內(nèi)圈42c嵌合。旋轉部32的一端32t與軸31的一端31c抵接。凸部32T具有嵌入于在與軸向平行的平面呈環(huán)狀地凹陷的環(huán)狀槽中的O形環(huán)(第二環(huán)狀密封部件)37。O形環(huán)(第二環(huán)狀密封部件)37能夠抑制經(jīng)由貫通孔32h1泄漏的氣體，從而提高旋轉機構1的密封性。另外，也可以在軸31的一端31c設置環(huán)狀槽，將O形環(huán)(第二環(huán)狀密封部件)37設置于軸31側。實施方式2涉及的旋轉機構1，使旋轉部32的旋轉中心軸與軸31的旋轉中心軸一致，所以不需要進行旋轉中心軸Zr的調(diào)整作業(yè)。因此，實施方式2的旋轉機構1在維修時也能夠容易地進行部件更換。如圖5所示，施力部件56例如是不銹鋼等，是將呈平板狀的板狀部56a和板狀部56b在彎曲部56c彎折而成的、截面觀察時呈U形的彈性體。彎曲部56c以使其具有規(guī)定曲率的方式彎折而成。而且，施力部件56以使板狀部56a和板狀部56b的前端彼此擴展張開的方式進行施力。實施方式3圖6是示意性地表示實施方式3涉及的旋轉機構的截面圖。對與上述的實施方式1或實施方式2相同的結構要素標注相同的符號，并省略說明。實施方式3涉及的旋轉機構1不具有能夠供軸31的一端31c插入到旋轉部32內(nèi)部的中空部中的凹部內(nèi)壁32u，其與軸31是一體的，是軸31的一端的一部分。實施方式4實施方式4涉及的旋轉機構1是與實施方式1至實施方式3的旋轉機構相同的機構，不過環(huán)狀密封部件5A、5B的材質(zhì)不同。對與上述的實施方式1、實施方式2或實施方式3相同的結構要素標注相同的符號，并省略說明。例如，在內(nèi)部空間V中，受到真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境的影響，環(huán)狀密封部件的材質(zhì)可能更容易劣化。然而，環(huán)狀密封部件5A、5B分別配置在軸31的軸向上的不同位置，并與旋轉部32的徑向外側表面32p接觸。因此，旋轉機構1中，位于壓力不同的2個空間中的高壓側(外部空間E側)的環(huán)狀密封部件5B使用密封性能較高的低硬度材質(zhì)例如聚乙烯等，位于低壓側(內(nèi)部空間V側)的環(huán)狀密封部件5A使用耐久性較高的高硬度材料例如聚四氟乙烯等。這樣，在壓力不同的2個空間中靠近高壓側空間(外部空間E)設置的環(huán)狀密封部件5B使用比靠近低壓側空間(內(nèi)部空間V)設置的環(huán)狀密封部件5A硬的材料。由此，對于靠近高壓側空間(外部空間E)設置的環(huán)狀密封部件5B而言，內(nèi)部空間V的真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境的影響被抑制，由氣體等引起的劣化被抑制。對于靠近低壓側空間(內(nèi)部空間V)設置的環(huán)狀密封部件5A而言，由于高壓側(外部空間E側)的壓力被環(huán)狀密封部件5B減小，所以只承受很小的壓力。由此，環(huán)狀密封部件5A、5B能夠分別對應于軸31的軸向上的不同位置發(fā)揮適當?shù)拿芊庑裕軌蛞种颇p等劣化的加劇。實施方式5圖7是示意性地表示實施方式5涉及的密封機構的截面圖。實施方式5涉及的密封機構1A與實施方式1至實施方式4的旋轉機構1一樣，能夠分隔壓力不同的2個空間，而不同之處在于，軸31除了旋轉以外，還能夠在軸31的軸向上進行直線運動。環(huán)狀密封部件5A、5B的材質(zhì)不同。對與上述的實施方式1至實施方式4相同的結構要素標注相同的符號，并省略說明。實施方式5涉及的密封機構1A包括外殼2和旋轉部件3。外殼2不同于上述的實施方式1涉及的旋轉機構1，不收納軸承4，而是軸31貫穿其中。這樣，實施方式5涉及的密封機構1A不像上述的旋轉機構1那樣，軸31在軸向上的位置被軸承4等限制。在實施方式5中，外殼2具有密封件固定用間隔件28A、密封件固定用間隔件25A、蓋部23A作為外殼主體，密封件固定用間隔件28A、密封件固定用間隔件25A、蓋部23A在軸向上層疊。實施方式5涉及的蓋部23A由螺栓等固定部件27A固定于密封件固定用間隔件25A。實施方式5涉及的蓋部23A與實施方式1涉及的外殼凸緣部22一樣，用螺栓等固定部件27B將其俯視時與殼體10重合的部分與殼體10固定。在實施方式5涉及的蓋部23A在俯視時與殼體10重合的部分具有環(huán)狀槽，在該環(huán)狀槽中嵌入O形環(huán)(環(huán)狀密封)11，從而提高蓋部23A與殼體10的密封性。蓋部23A由螺栓等固定部件27A固定于密封件固定用間隔件25A，則嵌入在環(huán)狀槽中的O形環(huán)(第三環(huán)狀密封部件)26A可提高密封性，進行密封。此外，蓋部23A與密封件固定用間隔件25A的軸向一端抵接。而且，O形環(huán)(第三環(huán)狀密封部件)26A配置在直徑比環(huán)狀密封部件5A大的位置。實施方式5涉及的密封件固定用間隔件28A用螺栓等固定部件27C將俯視時其與密封件固定用間隔件25A重合的部分固定。實施方式5涉及的密封件固定用間隔件28A在其俯視時與密封件固定用間隔件25A重合的部分具有環(huán)狀槽，在該環(huán)狀槽中嵌入O形環(huán)(第三環(huán)狀密封部件)26B，從而提高密封件固定用間隔件25A與密封件固定用間隔件28A的密封性。用螺栓等固定部件27C將密封件固定用間隔件28A固定于密封件固定用間隔件25A，則嵌入在環(huán)狀槽中的O形環(huán)26B可提高密封性，進行密封。此外，密封件固定用間隔件28A與密封件固定用間隔件25A的軸向另一端抵接。而且，O形環(huán)26B配置在直徑比環(huán)狀密封部件5B大的位置。實施方式5涉及的密封機構的驅動裝置6具有旋轉驅動裝置8A和直線運動驅動裝置8B。旋轉驅動裝置8A和直線運動驅動裝置8B由直線運動引導機構89連結。旋轉部件3具有軸31和輸送臺(可動部件)33。軸31是密封機構1A的輸出軸(主軸)，一端部插入到外殼2中。軸31的另一端部經(jīng)由聯(lián)軸器82與旋轉驅動裝置8A的馬達部83的輸出軸81連接。輸送臺(可動部件)33固定于軸31的一端部。旋轉驅動裝置8A在馬達外殼80內(nèi)設置有馬達部83、以及用于檢測輸出軸81的旋轉的檢測器84。馬達部83在馬達外殼80內(nèi)設置有馬達定子83a和馬達轉子83b。馬達部83被由軸承44、45、46組合而成的軸承4A支承，使得馬達轉子83b相對于馬達外殼80以旋轉中心軸Zr為中心自由旋轉。馬達外殼80呈以旋轉中心軸Zr為中心的中空圓筒的筒狀，在內(nèi)周側固定有馬達定子83a以及軸承44、45、46的外圈。此外，軸承44、45、46的內(nèi)圈固定于輸出軸81的外周。由于軸31的另一端部經(jīng)由聯(lián)軸器82與旋轉驅動裝置8A的馬達部83的輸出軸81連接，所以軸承4A也能夠以使軸31旋轉自由的方式支承該軸31。馬達定子83a隔著具有絕緣性的絕緣體卷繞有勵磁線圈。馬達定子83a是利用粘合、嵌合突起、鉚接等方式將電磁鋼板、冷軋鋼板等薄板層疊而制造的圓筒狀筒體。勵磁線圈是線狀的電線，基于控制裝置91的控制接受電力供給，能夠激勵馬達定子83a使其產(chǎn)生旋轉磁場。馬達定子83a就是馬達部83的通常所說的定子。馬達轉子83b在以旋轉中心軸Zr為中心的鐵芯材的外周側固定有磁體。馬達轉子83b中，磁體沿著馬達轉子83b的徑向外側的外周表面貼附，在圓周方向上設置有多個。磁體是永久磁鐵，S極和N極在馬達轉子83b的圓周方向上交替且等間隔地配置。這樣的馬達轉子83b被稱為PM(PermanentMagnet，永磁)式轉子。馬達轉子83b與勵磁線圈在馬達定子鐵芯的齒部激勵的旋轉磁場對應地旋轉。檢測器84例如是旋轉變壓器裝置，位于軸向(與旋轉中心平行的方向)上的馬達部83的端部。檢測器84具有旋轉變壓器定子84a和旋轉變壓器轉子84b。旋轉變壓器轉子84b固定于馬達轉子83b的一端。旋轉變壓器定子84a固定于馬達外殼80。檢測器84能夠根據(jù)與馬達轉子83b的旋轉連動的旋轉變壓器轉子84b的旋轉，從旋轉變壓器定子84a輸出檢測信號。來自旋轉變壓器定子84a的檢測信號輸入至控制裝置91，控制裝置91能夠檢測出輸出軸81的旋轉。檢測器84例如不局限于旋轉變壓器裝置，也可以是其他的磁傳感器或旋轉檢測傳感器。直線運動驅動裝置8B具有驅動馬達90、螺紋軸85、連結部86、支承部件87、定位部88、以及直線運動引導機構89。驅動馬達90是與電動機8同樣的電動機。直線運動驅動裝置8B只要是提供與軸31的軸向平行的直線運動的移動自由度的直線運動驅動裝置即可，不局限于上述結構。驅動馬達90與殼體10的相對基準位置由支承部件87固定。螺紋軸85和連結部86是滾珠螺桿機構，將由驅動馬達90傳遞來的螺紋軸85的旋轉轉換成直線運動，使連結部86在與螺紋軸85延伸的方向(螺紋軸85的軸向)平行的MZ方向上移動。連結部86與定位部88連結，定位部88的位置與對應于連結部86的直線運動按照直線運動引導機構89的引導而決定的位置連動。定位部88是能在其上表面設置旋轉驅動裝置8A的工作臺。因此，直線運動驅動裝置8B能夠沿著軸31的軸向，連同旋轉驅動裝置8A一起使軸31在直線上移動(直線運動)。實施方式5涉及的控制裝置91對旋轉驅動裝置8A的馬達部83和直線運動驅動裝置8B的驅動馬達90進行控制，對軸31提供旋轉運動和直線運動中的至少一種運動。因此，實施方式5涉及的控制裝置91能夠以對輸送臺(可動部件)33提供旋轉運動和直線運動中的至少一種運動的方式，來對旋轉驅動裝置8A的馬達部83和直線運動驅動裝置8B的驅動馬達90進行控制。而且，輸送裝置7具有使被輸送物移動的輸送臺(可動部件)33，通過輸送臺(可動部件)33的動作與使輸送臺(可動部件)33進行旋轉運動和直線運動中的至少一種運動連動，由此能夠使被輸送物移動。對實施方式5涉及的環(huán)狀密封部件5A、5B而言，例如在內(nèi)部空間V中，受到真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境的影響，環(huán)狀密封部件的材質(zhì)也可能更容易劣化。然而，環(huán)狀密封部件5A、5B分別配置在軸31的軸向上的不同位置，并與軸31的徑向外側表面接觸。因此，密封機構1A中，位于壓力不同的2個空間中的高壓側(外部空間E側)的環(huán)狀密封部件5B使用密封性能較高的材質(zhì)例如聚乙烯等，位于低壓側(內(nèi)部空間V側)的環(huán)狀密封部件5A使用耐腐蝕性較高的材料例如聚四氟乙烯等。由此，對于密封性能較高的環(huán)狀密封部件5B而言，內(nèi)部空間V的真空環(huán)境、減壓環(huán)境、處理氣體填充環(huán)境的影響被抑制，由氣體等引起的劣化被抑制。對于環(huán)狀密封部件5A而言，由于高壓側(外部空間E側)的壓力被環(huán)狀密封部件5B減小，所以只承受很小的壓力。而且，環(huán)狀密封部件5A、5B能夠分別對應于軸31的軸向上的不同位置發(fā)揮適當?shù)拿芊庑?，能夠抑制磨損等劣化的加劇。環(huán)狀密封部件5A、5B不局限于2個，也可以是3個以上。多個環(huán)狀密封部件5A、5B能夠提高密封機構1A的密封性。環(huán)狀密封部件5A、5B各自的材質(zhì)不同，因此能夠兼顧耐腐蝕性和耐久性。旋轉運動和直線運動的應力施加于實施方式5涉及的環(huán)狀密封部件5A、5B。因此，環(huán)狀密封部件5A、5B的強度優(yōu)選具有大于0.1Gpa的彈性模量。實施方式6圖8是示意性地表示實施方式6涉及的密封機構的截面圖。對與上述的實施方式1至實施方式5相同的結構要素標注相同的符號，并省略說明。實施方式6涉及的環(huán)狀密封部件5A、5B在軸向上分開距離L1地被配置。實施方式6涉及的密封機構1A中，多個環(huán)狀密封部件中至少1組相鄰的環(huán)狀密封部件5A、5B分別是不同的材質(zhì)。不同材質(zhì)的環(huán)狀密封部件5A、5B可能適合不同潤滑劑。如果軸31如上述那樣在軸向上進行直線運動，則在不同材質(zhì)的環(huán)狀密封部件5A、5B分別使用不同潤滑劑的情況下，附著有彼此的潤滑劑的軸31的外周表面可能會與環(huán)狀密封部件5A、5B雙方接觸。實施方式6涉及的密封機構1A優(yōu)選距離L1是為軸31的直線運動中所允許的最大長度的行程以上。由此，不同材質(zhì)的環(huán)狀密封部件5A、5B能夠分別使用不同的潤滑劑。其結果，能夠抑制不同潤滑劑的混合，不同的潤滑劑能夠分別維持較長的潤滑效果。環(huán)狀密封部件5A與環(huán)狀密封部件5B之間的空間的壓力(以下稱為密封間壓力)為殼體10的內(nèi)部空間V與外部空間E的中間的壓力?；蛘?，在環(huán)狀密封部件5A使耐腐蝕性能優(yōu)先而密封性能低于環(huán)狀密封部件5B的情況下，密封間壓力為接近殼體10的內(nèi)部空間V的壓力例如低真空等。密封間壓力相對于殼體10的內(nèi)部空間V側的狀態(tài)變化進行一階滯后系統(tǒng)的變化。因此，上述的實施方式5涉及的密封機構1A要求確保密封間壓力達到穩(wěn)定所需的時間作為起動時間。而實施方式6涉及的密封機構1A，在外殼2設置有與環(huán)狀密封部件5A和環(huán)狀密封部件5B之間的空間連接的作為排氣管路或吸氣管路的流路25H。環(huán)狀密封部件5A與環(huán)狀密封部件5B之間的空間的氣體Air通過流路25H排出或吸入，由此密封間壓力成為恒定。其結果，實施方式6涉及的密封機構1A能夠縮短起動時間。實施方式6涉及的密封機構1A還可以設置有：作為壓力變動裝置92的泵、以及測量流路25H內(nèi)的壓力或氣體流量的測量器93?？刂蒲b置91可以根據(jù)測量出的流路25H內(nèi)的壓力或氣體流量，控制壓力變動裝置92的氣體Air的排出量或流入量來進行壓力控制，以使密封間壓力恒定。由此，實施方式6涉及的密封機構1A能夠縮短起動時間。實施方式6涉及的密封機構1A記錄由控制裝置91測量出的流路25H內(nèi)的壓力或氣體流量的經(jīng)時變化，在超過規(guī)定閾值的情況下，能夠警告環(huán)狀密封部件5A或環(huán)狀密封部件5B已劣化。其結果，能夠在對殼體10的內(nèi)部空間V產(chǎn)生較大影響之前確認環(huán)狀密封部件5A或環(huán)狀密封部件5B的更換時期。實施方式7圖9是示意性地表示實施方式7涉及的密封機構的截面圖。對與上述的實施方式1至實施方式6相同的結構要素標注相同的符號，并省略說明。實施方式7涉及的密封機構1A具有密封件固定用間隔件28A、密封件固定用間隔件25A、蓋部23B作為外殼2主體，密封件固定用間隔件28A、密封件固定用間隔件25A、蓋部23B在軸向上層疊。蓋部23B在與環(huán)狀密封部件5A相比靠近內(nèi)部空間V的位置配置有圓環(huán)狀槽gr1，并且在槽gr1的空間內(nèi)積存有用于環(huán)狀密封部件5A的潤滑劑。由此，對于環(huán)狀密封部件5A，隨時都從槽gr1向其供給潤滑劑。從蓋部23B的內(nèi)部空間V側的面至槽gr1的距離L2優(yōu)選為軸31的直線運動中所允許的最大長度的行程以上。由此，實施方式7涉及的密封機構1A在例如內(nèi)部空間V為高真空環(huán)境的情況下，能夠降低由于從槽gr1中附著于軸31表面的潤滑劑而產(chǎn)生的真空度下降(劣化)的可能性。這里，為了形成距離L2，實施方式7涉及的密封機構1A具有圓筒部，其中，蓋部23B的殼體10內(nèi)部空間V側端部的軸31側呈圓筒狀，并且在圓筒部的外周側具有高低差。用于形成距離L2的結構不局限于該高低差，不過通過使用蓋部23B，實施方式7涉及的密封機構1A能夠小型化。實施方式7涉及的密封機構1A中，密封件固定用間隔件25A在與環(huán)狀密封部件5B相比靠近內(nèi)部空間V的位置配置有圓環(huán)狀槽gr2，并且在槽gr2的空間內(nèi)積存有用于環(huán)狀密封部件5B的潤滑劑。由此，對環(huán)狀密封部件5B，隨時都從槽gr2向其供給潤滑劑。從環(huán)狀密封部件5A至槽gr2的距離L3優(yōu)選是為軸31的直線運動中所允許的最大長度的行程以上。由此，即使在不同材質(zhì)的環(huán)狀密封部件5A、5B分別使用不同潤滑劑的情況下，也能夠抑制不同潤滑劑的混合，不同的潤滑劑分別能夠維持較長的潤滑效果。實施方式7涉及的密封機構1A具有槽gr1、gr2作為潤滑劑的貯存部。槽gr1、gr2也可以不是槽而是孔，只要是能夠貯存潤滑劑的貯存部即可，形狀任意。實施方式7涉及的密封機構1A中，作為壓力變動裝置92的泵總是在流路25H內(nèi)持續(xù)排氣。實施方式7涉及的密封機構1A通過進行排氣，不僅能夠縮短起動時間，而且能夠獲得較高的密封性能。實施方式8圖10是示意性地表示實施方式8涉及的密封機構的截面圖。對與上述的實施方式1至實施方式7相同的結構要素標注相同的符號，并省略說明。實施方式8涉及的密封機構1A中，旋轉部件3具有軸31A和外周部31B。外周部31B與實施方式1的旋轉部32一樣，呈具有中空凹部的圓筒狀，徑向外側表面與外殼2具有規(guī)定大小的間隙地對置。實施方式8的外周部31B與軸31A是同軸的，外周部31B與軸31A相比直徑較大而突出。環(huán)狀密封部件5A、5B與外周部31B的外周的一部分接觸。通過從旋轉部件3中的軸31A上拆下外周部31B并將其取出，能夠提高部件更換的操作性。軸31A在更換了外周部31B之后能夠放回密封機構1A中使用，所以能夠延長軸31A的壽命，降低成本。以上，對實施方式1至實施方式8進行了說明，不過不局限于上述內(nèi)容。此外，在不脫離實施方式1至實施方式8的要旨的范圍內(nèi)，能夠進行結構要素的各種省略、置換和變更中的至少一種。