專利名稱：一種鍍膜用玻璃襯底的清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于材料制備方法技術(shù)領(lǐng)域，涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)，是指ー種真空鍍膜用玻璃襯底的清洗方法。
背景技術(shù)：
真空鍍膜膜層質(zhì)量涉及結(jié)構(gòu)、理化及功能等諸多方面。而在玻璃等透明基片上用真空濺射方法大面積沉積的膜層，針孔和結(jié)合力是ー個(gè)令人關(guān)注的問(wèn)題，也是比較普遍存在的膜層質(zhì)量問(wèn)題。在エ業(yè)生產(chǎn)中，鍍膜用玻璃原片一般是由浮法生產(chǎn)的普通平板玻璃，在其生產(chǎn)、搬運(yùn)、貯放的過(guò)程中，總可能會(huì)積聚大氣中的塵埃、碳粒、油脂、微生物及某些雜質(zhì) 離子等污垢物，這些污垢會(huì)影響到鍍膜玻璃的質(zhì)量，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致次品。因此，要消除和減少針孔、提高膜層結(jié)合力，最關(guān)鍵的一歩就是在鍍膜前對(duì)玻璃基片進(jìn)行高質(zhì)量的化學(xué)清洗。目前對(duì)鍍膜玻璃的清洗大多使用在線噴淋清洗，使用的清洗劑大多都含有強(qiáng)酸強(qiáng)堿或低沸點(diǎn)溶劑如氟利昂、三氯こ烷、四氯化碳、異丙醇等。眾所周知，強(qiáng)酸強(qiáng)堿的腐蝕性很強(qiáng)，會(huì)和玻璃中的主要成分硅酸鈉發(fā)生反應(yīng)，從而對(duì)其表面造成損傷，嚴(yán)重影響鍍膜的質(zhì)量；此外，傳統(tǒng)的清洗方法其清洗流程一般為有機(jī)溶劑清洗劑(超聲波)-水基清洗劑(超聲波)-市水漂洗-純水漂洗-IPA (異丙醇)脫水-IPA慢拉干燥，清洗流程較長(zhǎng)，且需要大型清洗設(shè)備和大量的清洗液，耗電耗時(shí)，對(duì)環(huán)境污染嚴(yán)重。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本發(fā)明提供ー種真空鍍膜用玻璃襯底的清洗方法，可有效去除附著在玻璃上的殘留玻璃粉末、油污、灰塵及指印等污染物，確保玻璃表面的清潔度和光潔度，該方法操作簡(jiǎn)單，可有效節(jié)約空間、節(jié)約成本、節(jié)約能源、節(jié)約時(shí)間。所述的清洗方法具體通過(guò)如下步驟實(shí)現(xiàn)第一歩，先將玻璃襯底放入雙氧水中超聲清洗1-3分鐘；所述的雙氧水的質(zhì)量百分比濃度為3 30%，優(yōu)選為10%。第二步，將玻璃襯底放入超純水中超聲5-10分鐘；第三步，將玻璃襯底放入丙酮中超聲5-10分鐘；第四步，將玻璃襯底放入こ醇中超聲5-10分鐘；第五步，用氬氣將玻璃襯底吹干；第六步，用干凈的絲綢擦拭玻璃襯底表面；第七步，將玻璃襯底放在潔凈烘箱中烘烤5-10分鐘；所述的烘烤溫度為400C _120°C，優(yōu)選為 60°C。第八步，將玻璃襯底放入等離子體清洗器清洗3-5分鐘；在清洗干凈的玻璃襯底表面進(jìn)行鍍膜。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于I、本發(fā)明提供的清洗方法使用了丙酮，可溶解玻璃上的油、脂等有機(jī)污染物，使用的こ醇可以有效去除玻璃表面殘留的丙酮。2、本清洗方法中使用了輝光放電等離子體清洗器，輝光等離子清洗是利用低氣壓輝光放電中形成的等離子體中帶電粒子的能量，在其撞擊基片表面時(shí)清除表面的粉塵和污潰，并高度激活基片表面的原子活性，這樣可以提高膜層的結(jié)合力。3、用干凈柔軟的絲綢蘸取少量無(wú)水こ醇擦拭玻璃表面，這樣可進(jìn)ー步清除超聲方法未清洗干凈的污物。4、本清洗方法中未使用強(qiáng)酸強(qiáng) 堿，可以保證玻璃的表面不受破壞。5、本清洗方法操作簡(jiǎn)單，流程較短，不需要大的清洗裝置和大量的清洗液，可有效節(jié)約空間、節(jié)約成本、節(jié)約能源、節(jié)約時(shí)間。


圖I是未清洗的K9玻璃襯底表面示意圖；圖2是未清洗的石英玻璃襯底表面示意圖；圖3是采用本發(fā)明方法清洗后的K9玻璃襯底示意圖；圖4是采用本本發(fā)明方法清洗后的石英玻璃襯底示意圖；圖5是只采用去離子水清洗的K9玻璃襯底鍍膜后的效果示意圖；圖6是只采用去離子水清洗的石英玻璃襯底鍍膜后的效果示意圖；圖7是采用本發(fā)明清洗方法清洗的K9玻璃襯底鍍膜后的效果示意圖；圖8是采用本發(fā)明清洗方法清洗的石英玻璃襯底鍍膜后的效果示意圖；圖9是本發(fā)明的清洗方法流程圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。本發(fā)明提供一種鍍膜用玻璃襯底的清洗方法，如圖9所示，采用如下步驟第一歩，先將玻璃襯底放入雙氧水中超聲清洗I 3分鐘；所述的雙氧水的質(zhì)量百分比濃度為3 30%，優(yōu)選為10%。第二步，將玻璃襯底放入超純水中超聲5 10分鐘；第三步，將玻璃襯底放入丙酮中超聲5 10分鐘；第四步，將玻璃襯底放入こ醇中超聲5 10分鐘；第五步，用氬氣將玻璃襯底吹干；第六步，用干凈的絲綢擦拭玻璃襯底表面；第七步，將玻璃襯底放在潔凈烘箱中烘烤5 10分鐘；所述的烘烤溫度為400C _120°C，優(yōu)選為 60°C。第八步，將玻璃襯底放入等離子體清洗器清洗3 5分鐘；在清洗干凈的玻璃襯底表面進(jìn)行鍍膜。實(shí)施例I應(yīng)用本發(fā)明提供的清洗方法，對(duì)K9玻璃襯底進(jìn)行清洗，具體步驟如下a.先將K9玻璃襯底放入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10%的雙氧水中超聲清洗I分鐘；b.將K9玻璃襯底放入去超純水中超聲5分鐘；
c.將K9玻璃襯底放入丙酮中超聲5分鐘；d.將K9玻璃襯底放入こ醇中超聲5分鐘；e.用！！氣將K9玻璃襯底吹干；f.用干凈的絲綢沿順時(shí)針?lè)较蜉p輕擦拭K9玻璃襯底表面；g.將K9玻璃襯底放在潔凈烘箱中烘烤5分鐘，烘箱溫度設(shè)定為60°C ；h.將K9玻璃襯底放入等離子體清洗器，用氬氣清洗3分鐘。在清洗干凈的K9玻璃襯底表面鍍上ー層厚度為3微米的鋁膜。實(shí)施例2 應(yīng)用本發(fā)明提供的清洗方法，對(duì)石英玻璃襯底進(jìn)行清洗，具體步驟如下a.先將石英玻璃襯底放入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10%的雙氧水中超聲清洗3分鐘；b.將石英玻璃襯底放入去超純水中超聲10分鐘；c.將石英玻璃襯底放入丙酮中超聲10分鐘；d.將石英玻璃襯底放入こ醇中超聲10分鐘；e.用氬氣將石英玻璃襯底吹干；f.用干凈的絲綢沿順時(shí)針?lè)较蜉p輕擦拭石英玻璃襯底表面；g.將石英玻璃襯底放在潔凈烘箱中烘烤10分鐘，烘箱溫度設(shè)定為60度；h.將石英玻璃襯底放入等離子體清洗器，用氬氣清洗5分鐘；在清洗干凈的石英玻璃襯底表面鍍上ー層厚度為3微米的鋁膜。經(jīng)上述實(shí)施例I和實(shí)施例2的方法清洗的玻璃，其表面的污染物完全被清洗棹，見(jiàn)圖1、2、3及圖4。采用本發(fā)明清洗方法清洗的玻璃，見(jiàn)圖5、6、7及圖8，在其表面鍍膜后膜層變得致密均勻，用薄膜漏光檢測(cè)儀檢測(cè)薄膜表面，沒(méi)有發(fā)現(xiàn)針孔存在；而在只用去離子水清洗過(guò)的玻璃表面鍍膜后，薄膜表面粗糙且有不少凸起的點(diǎn)，用薄膜漏光檢測(cè)儀檢測(cè)薄膜表面，發(fā)現(xiàn)其上有很多大小不同的漏光點(diǎn)。用3M610膠帶剝離法測(cè)試薄膜與玻璃的結(jié)合カ發(fā)現(xiàn)用本清洗方法清洗過(guò)的玻璃表面的薄膜經(jīng)過(guò)十次剝離試驗(yàn)后，沒(méi)有發(fā)現(xiàn)脫膜現(xiàn)象；而只用去離子水清洗過(guò)的玻璃表面的薄膜，只經(jīng)過(guò)一次膠帶剝離試驗(yàn)就出現(xiàn)了脫膜現(xiàn)象。實(shí)施例3采用與實(shí)施例I相同的清洗方法，對(duì)K9玻璃襯底進(jìn)行清洗，只是改變步驟a中雙氧水的濃度為質(zhì)量分?jǐn)?shù)為3%，設(shè)置步驟g中烘箱溫度為40°C。實(shí)施例4采用與實(shí)施例2相同的清洗方法，對(duì)石英玻璃襯底進(jìn)行清洗，只是改變步驟a中雙氧水的濃度為質(zhì)量分?jǐn)?shù)為30%，設(shè)置步驟g中烘箱溫度為120°C。通過(guò)實(shí)施例3和實(shí)施例4清洗的方法后得到的玻璃襯底，在玻璃襯底上進(jìn)行膜層制備，與現(xiàn)有技術(shù)相比，試驗(yàn)表明，膜層與玻璃襯底的結(jié)合力明顯提高。
權(quán)利要求
1.一種鍍膜用玻璃襯底的清洗方法，其特征在于，所述的清洗方法具體通過(guò)如下步驟實(shí)現(xiàn) 第一步，先將玻璃襯底放入雙氧水中超聲清洗I 3分鐘； 第二步，將玻璃襯底放入超純水中超聲5 10分鐘； 第三步，將玻璃襯底放入丙酮中超聲5 10分鐘； 第四步，將玻璃襯底放入乙醇中超聲5 10分鐘； 第五步，用氬氣將玻璃襯底吹干； 第六步，用干凈的絲綢擦拭玻璃襯底表面； 第七步，將玻璃襯底放在潔凈烘箱中烘烤5 10分鐘； 第八步，將玻璃襯底放入等離子體清洗器清洗3 5分鐘；在清洗干凈的玻璃襯底表面進(jìn)行鍍膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鍍膜用玻璃襯底的清洗方法，其特征在于所述的雙氧水的質(zhì)量百分比濃度為3%-30%。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種鍍膜用玻璃襯底的清洗方法，其特征在于所述的雙氧水的質(zhì)量百分比濃度為10%。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鍍膜用玻璃襯底的清洗方法，其特征在于烘箱溫度為40 0C -120。。。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種鍍膜用玻璃襯底的清洗方法，其特征在于烘箱溫度為60。。。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鍍膜用玻璃襯底的清洗方法，其特征在于所述的玻璃襯底為K9玻璃襯底或石英玻璃襯底。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種鍍膜用玻璃襯底的清洗方法，屬于材料制備方法技術(shù)領(lǐng)域。所述的清洗方法通過(guò)雙氧水超聲、超純水超聲、丙酮超聲、乙醇超聲、吹干、擦拭、烘烤和等離子體清洗器清洗，獲得清洗干凈的玻璃襯底，最后可以在玻璃襯底表面進(jìn)行鍍膜。本發(fā)明提供的清洗方法中未使用強(qiáng)酸強(qiáng)堿，可以保證玻璃的表面不受破壞。本清洗方法操作簡(jiǎn)單，流程較短，不需要大的清洗裝置和大量的清洗液，可有效節(jié)約空間、節(jié)約成本、節(jié)約能源、節(jié)約時(shí)間。
文檔編號(hào)B08B3/12GK102649625SQ20121013584
公開(kāi)日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2012年5月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月3日
發(fā)明者張麗, 王三勝 申請(qǐng)人:北京鼎臣超導(dǎo)科技有限公司