技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基本處理裝置和基板處理方法。課題在于提高基板處理裝置的生產(chǎn)率。在本發(fā)明中，在基于收容于承載件(C)的基板(晶圓W)的收容狀態(tài)利用第一基板輸送部(29)和第二基板輸送部(30)來(lái)與所述承載件(C)之間輸送所述基板(晶圓W)的基板處理裝置(1)和基板輸送方法中，根據(jù)所述基板(晶圓W)的收容狀態(tài)對(duì)以下的情況進(jìn)行選擇：同時(shí)驅(qū)動(dòng)所述第一基板輸送部(29)和所述第二基板輸送部(30)來(lái)同時(shí)利用所述第一基板輸送部和所述第二基板輸送部從所述承載件(C)搬出所述基板(晶圓W)的情況；以及僅驅(qū)動(dòng)所述第二基板輸送部(30)來(lái)僅利用所述第二基板輸送部從所述承載件(C)搬出所述基板(晶圓W)的情況。

技術(shù)研發(fā)人員：綾部剛;詫間康司
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201610685054
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.18
技術(shù)公布日：2017.03.08