專利名稱：基板傳動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
基板傳動(dòng)裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及液晶基板制造技術(shù)，特別涉及一種基板傳動(dòng)裝置。
技術(shù)背景[0002]在基板的制造工序中，需要通過(guò)基板傳動(dòng)裝置，將待加工的基板傳送至各個(gè)功 能區(qū)間進(jìn)行處理，該功能區(qū)間指的是例如對(duì)基板進(jìn)行濕法刻蝕的刻蝕區(qū)間、對(duì)基板進(jìn)行 清洗的清洗區(qū)間等。[0003]圖1為現(xiàn)有技術(shù)基板傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，該基板傳動(dòng)裝置采用 主傳動(dòng)系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以包括主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)11、主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿12、主傳動(dòng)支持軸承模 塊13、主傳動(dòng)桿14、主傳動(dòng)輪15、基板行進(jìn)輔助側(cè)輪裝置16和主傳動(dòng)定位傳感器17。 其中，多個(gè)主傳動(dòng)桿14間隔并列地與主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿12垂直連接，每一主傳動(dòng)桿14上間 隔并列地垂直連接多個(gè)主傳動(dòng)輪15。主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)11通過(guò)主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿12驅(qū)動(dòng)所述 的多個(gè)主傳動(dòng)桿14和主傳動(dòng)輪15組成主傳動(dòng)帶對(duì)基板進(jìn)行傳動(dòng)，基板行進(jìn)輔助側(cè)輪裝置 16用于在基板的傳動(dòng)過(guò)程中對(duì)基板進(jìn)行輔助運(yùn)行，主傳動(dòng)定位傳感器17用于對(duì)基板的傳 動(dòng)到達(dá)位置進(jìn)行感應(yīng)定位。[0004]但是，上述的基板傳動(dòng)裝置存在如下技術(shù)缺陷在基板傳動(dòng)過(guò)程中，經(jīng)常出現(xiàn) 由于磨損以及藥液、水、腔體氣壓差等因素，導(dǎo)致基板在傳動(dòng)過(guò)程中發(fā)生打滑，使得基 板在某一功能區(qū)間長(zhǎng)時(shí)間停滯，良率大幅降低，例如，可能會(huì)引發(fā)濕法刻蝕中的過(guò)刻、 剝離工序中的剝離不良等諸多工藝不良的問(wèn)題，嚴(yán)重時(shí)可能需要扔棄基板，給生產(chǎn)造成 了很大的損失。實(shí)用新型內(nèi)容[0005]本實(shí)用新型的目的是提供一種基板傳動(dòng)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中所存在的基板 傳動(dòng)打滑問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)基板能夠在短時(shí)間內(nèi)自動(dòng)恢復(fù)正常傳動(dòng)。[0006]本實(shí)用新型提供一種基板傳動(dòng)裝置，包括主傳動(dòng)系統(tǒng)，所述主傳動(dòng)系統(tǒng)包括主 傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)、主傳動(dòng)輪、主傳動(dòng)桿、主傳動(dòng)支持軸承模塊和主傳動(dòng)定位傳感器；還包 括輔助傳動(dòng)系統(tǒng)；所述輔助傳動(dòng)系統(tǒng)包括防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)、防滑帶傳動(dòng)桿、防滑帶、 防滑帶突起撥片和防滑帶啟動(dòng)定位傳感器；[0007]數(shù)個(gè)所述防滑帶傳動(dòng)桿，與所述主傳動(dòng)桿平行設(shè)置，兩端分別連接于所述主傳 動(dòng)支持軸承模塊，所述防滑帶傳動(dòng)桿與所述防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接；用于傳送基板的所述 防滑帶，沿所述主傳動(dòng)輪的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)置，且周向套設(shè)于所述數(shù)個(gè)防滑帶傳動(dòng)桿上，所 述防滑帶所在平面低于所述主傳動(dòng)輪的頂部所述平面；所述防滑帶突起撥片，固設(shè)于所 述防滑帶上，所述防滑帶突起撥片的頂部與所述防滑帶所在平面之間的距離大于等于所 述基板的底部與所述防滑帶所在平面之間的距離；防滑帶啟動(dòng)定位傳感器與所述主傳動(dòng) 定位傳感器之間的設(shè)置距離大于所述基板的長(zhǎng)度。[0008]如上所述的基板傳動(dòng)裝置，所述防滑帶傳動(dòng)桿上設(shè)置有防滑帶卡槽；所述防滑帶通過(guò)所述防滑帶卡槽與所述防滑帶傳動(dòng)桿連接。[0009]如上所述的基板傳動(dòng)裝置，所述防滑帶突起撥片的頂部與所述防滑帶所在平面 之間的距離大于傳動(dòng)中的所述基板的頂部與所述防滑帶所在平面之間的距離。[0010]如上所述的基板傳動(dòng)裝置，所述防滑帶傳動(dòng)桿包括驅(qū)動(dòng)端傳送桿和非驅(qū)動(dòng)端傳 送桿，所述驅(qū)動(dòng)端傳送桿與所述防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)磁傳動(dòng)模塊連接。[0011]如上所述的基板傳動(dòng)裝置，所述磁傳動(dòng)模塊包括相對(duì)設(shè)置的驅(qū)動(dòng)磁盤和非驅(qū)動(dòng) 磁盤，所述驅(qū)動(dòng)磁盤與所述防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，所述非驅(qū)動(dòng)磁盤連接所述驅(qū)動(dòng)端傳送 桿。[0012]如上所述的基板傳動(dòng)裝置，還包括防滑帶位置傳感器、反射板和防滑帶定位 孔；所述防滑帶定位孔，設(shè)置在所述防滑帶上；所述防滑帶位置傳感器和反射板，分別 設(shè)置于所述防滑帶的上方和下方，且與所述防滑帶定位孔相對(duì)。[0013]如上所述的基板傳動(dòng)裝置，所述防滑帶位置傳感器包括相鄰設(shè)置的減速傳感器 和停止傳感器。[0014]如上所述的基板傳動(dòng)裝置，所述防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)為伺服電機(jī)。[0015]如上所述的基板傳動(dòng)裝置，所述防滑帶的數(shù)量至少為兩條，每一條所述防滑帶 上均設(shè)置有所述防滑帶突起撥片。[0016]如上所述的基板傳動(dòng)裝置，所述防滑帶突起撥片為采用柔性材料制作的防滑帶 突起撥片。[0017]本實(shí)用新型的基板傳動(dòng)裝置，通過(guò)設(shè)置輔助防滑傳動(dòng)系統(tǒng)，解決了基板傳動(dòng)過(guò) 程中的打滑問(wèn)題，可以使得基板能夠在短時(shí)間內(nèi)恢復(fù)正常傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了基板較穩(wěn)定的傳 動(dòng)，提高了基板良率，減少了生產(chǎn)損失。


[0018]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施 例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附 圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的 前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。[0019]圖1為現(xiàn)有技術(shù)基板傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；[0020]圖2為本實(shí)用新型基板傳動(dòng)裝置實(shí)施例的俯視圖；[0021]圖3為本實(shí)用新型基板傳動(dòng)裝置實(shí)施例的側(cè)視圖；[0022]圖4為本實(shí)用新型基板傳動(dòng)裝置實(shí)施例中的防滑帶傳感器控制方式安裝結(jié)構(gòu) 圖；[0023]圖5為本實(shí)用新型基板傳動(dòng)裝置實(shí)施例的工作原理示意圖；[0024]圖6為圖5中的防滑帶啟動(dòng)定位傳感器在感應(yīng)基板時(shí)的應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖；[0025]圖7為圖5中的防滑帶啟動(dòng)定位傳感器在未感應(yīng)基板時(shí)的應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖。[0026]附圖標(biāo)記說(shuō)明[0027]11-主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)；12-主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿；13-主傳動(dòng)支持軸承模塊；[0028]14-主傳動(dòng)桿；15-主傳動(dòng)輪； 16-基板行進(jìn)輔助側(cè)輪裝[0029]置；[0030]17-主傳動(dòng)定位傳感器；21-防滑帶傳動(dòng)桿；22-輔助支持軸承模塊；[0031]23-防滑帶卡槽； 24-防滑帶突起撥片；25-防滑帶啟動(dòng)定位傳感[0032]器；[0033]26-防滑帶；27-防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)；28-驅(qū)動(dòng)端傳送桿；[0034]29-非驅(qū)動(dòng)端傳送桿；30-驅(qū)動(dòng)磁盤； 31-非驅(qū)動(dòng)磁盤；[0035]32-防滑帶定位孔； 33-防滑帶位置傳感34-減速傳感器；[0036]器；[0037]35-停止傳感器； 36-M型支架； 37-支架臂；[0038]38-反射板；39-擺頭部分； 40-支架部分；[0039]41-基板。
具體實(shí)施方式
[0040]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用 新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯 然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新 型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他 實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。[0041]本實(shí)用新型的主要技術(shù)方案為，在現(xiàn)有技術(shù)的基板傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上，進(jìn) 一步增設(shè)了輔助傳動(dòng)系統(tǒng)，該輔助傳動(dòng)系統(tǒng)可以用于在出現(xiàn)基板傳動(dòng)打滑時(shí)，實(shí)現(xiàn)在短 時(shí)間內(nèi)自動(dòng)恢復(fù)基板的正常傳動(dòng)，將生產(chǎn)損失最小化。[0042]下面通過(guò)附圖和具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。[0043]圖2為本實(shí)用新型基板傳動(dòng)裝置實(shí)施例的俯視圖，圖3為本實(shí)用新型基板傳動(dòng)裝 置實(shí)施例的側(cè)視圖。如圖2和圖3所示，本實(shí)施例的基板傳動(dòng)裝置包括主傳動(dòng)系統(tǒng)和輔 助傳動(dòng)系統(tǒng)。其中，主傳動(dòng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與目前的基板傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)相同，輔助傳動(dòng)系 統(tǒng)是本實(shí)施例在所述的主傳動(dòng)系統(tǒng)的基礎(chǔ)上增設(shè)，主要用于在基板防滑時(shí)對(duì)基板傳動(dòng)起 輔助傳動(dòng)作用。[0044]具體的，主傳動(dòng)系統(tǒng)包括主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)11、主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿12、主傳動(dòng)支持軸 承模塊13、主傳動(dòng)桿14、主傳動(dòng)輪15、基板行進(jìn)輔助側(cè)輪裝置16和主傳動(dòng)定位傳感器 17。其中，主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)11與主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿12連接，主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿12上可以連接有 間隔并列的多個(gè)主傳動(dòng)桿14，該主傳動(dòng)桿14的設(shè)置方向與主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿12垂直，且主傳 動(dòng)桿14可以通過(guò)主傳動(dòng)支持軸承模塊13進(jìn)行支撐。每一主傳動(dòng)桿14上可以分布安裝有 多個(gè)間隔并列的主傳動(dòng)輪15，該主傳動(dòng)輪15的設(shè)置旋轉(zhuǎn)方向與主傳動(dòng)桿14垂直。所述 的多排主傳動(dòng)桿14及其上設(shè)置的多個(gè)主傳動(dòng)輪15構(gòu)成了傳動(dòng)基板的主傳動(dòng)帶。[0045]在基板傳動(dòng)中，主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)11可以依次通過(guò)主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)桿12、主傳動(dòng)桿 14，驅(qū)動(dòng)主傳動(dòng)輪15運(yùn)轉(zhuǎn)。承載在主傳動(dòng)輪15上的基板可以在多排主傳動(dòng)桿14上進(jìn)行 傳動(dòng)?；逍羞M(jìn)輔助側(cè)輪裝置16主要用于在基板行進(jìn)的過(guò)程中對(duì)基板施加輔助傳動(dòng)力。 主傳動(dòng)定位傳感器17可以用于感知基板傳動(dòng)所到達(dá)的位置。[0046]本實(shí)施例的基板傳動(dòng)裝置，在上述的主傳動(dòng)系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，增設(shè)了用于在基板 傳動(dòng)防滑時(shí)輔助基板傳動(dòng)的輔助傳動(dòng)系統(tǒng)。其中，在具體設(shè)置時(shí)，可以是在每一功能區(qū)5間的基板傳動(dòng)裝置設(shè)置一輔助傳動(dòng)系統(tǒng)，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)和解決基板的傳動(dòng)打滑問(wèn)題，避 免基板在一功能區(qū)間長(zhǎng)時(shí)間停滯造成良率降低。該輔助傳動(dòng)系統(tǒng)可以包括防滑帶傳動(dòng)桿 21、輔助支持軸承模塊22、防滑帶突起撥片M、防滑帶啟動(dòng)定位傳感器25、防滑帶沈和 防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27。[0047]具體的，數(shù)個(gè)防滑帶傳動(dòng)桿21設(shè)置于基板傳動(dòng)的反應(yīng)腔內(nèi)，其與主傳動(dòng)桿14平 行設(shè)置，兩端分別連接于主傳動(dòng)支持軸承模塊13。本實(shí)施例中，防滑帶傳動(dòng)桿21的數(shù)量 可以為兩根，包括一驅(qū)動(dòng)端傳送桿觀和一非驅(qū)動(dòng)端傳送桿四。驅(qū)動(dòng)端傳送桿觀和防滑 帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27連接，可以由防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27進(jìn)行驅(qū)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)；且驅(qū)動(dòng)端傳送桿觀可以 通過(guò)輔助支持軸承模塊22進(jìn)行支撐。該防滑帶傳動(dòng)桿21設(shè)置在基板傳動(dòng)的某一功能區(qū) 間時(shí)，上述的驅(qū)動(dòng)端傳送桿觀和非驅(qū)動(dòng)端傳送桿四可以分別設(shè)置于該功能區(qū)間的兩端， 以使得防滑帶26可以運(yùn)行于整個(gè)功能區(qū)間，能夠?qū)φ麄€(gè)功能區(qū)間內(nèi)的基板傳動(dòng)打滑均予 以輔助運(yùn)行。[0048]具體的，防滑帶沈安裝在上述的驅(qū)動(dòng)端傳送桿觀和非驅(qū)動(dòng)端傳送桿四之間， 沿主傳動(dòng)輪15的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)置，且周向套設(shè)于驅(qū)動(dòng)端傳送桿觀和非驅(qū)動(dòng)端傳送桿四 上，即該防滑帶26的運(yùn)行方向是垂直于上述的兩根防滑帶傳動(dòng)桿，且可以圍繞上述防滑 帶傳動(dòng)桿進(jìn)行周向旋轉(zhuǎn)。當(dāng)驅(qū)動(dòng)端傳送桿觀轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)端傳送桿觀帶動(dòng)防滑帶沈運(yùn) 動(dòng)，防滑帶26會(huì)進(jìn)而帶動(dòng)非驅(qū)動(dòng)端傳送桿四一起運(yùn)動(dòng)。防滑帶沈所在平面低于主傳動(dòng) 輪15的頂部所在平面，以避免影響基板的正常傳動(dòng)。[0049]在具體實(shí)施中，防滑帶沈與上述的兩根防滑帶傳動(dòng)桿的連接方式可以為，防滑 帶傳動(dòng)桿上設(shè)置有防滑帶卡槽23，防滑帶沈可以通過(guò)與設(shè)置在所述防滑帶卡槽23內(nèi)的卡 齒吻合與防滑帶傳動(dòng)桿連接，以實(shí)現(xiàn)防滑帶26在旋轉(zhuǎn)時(shí)的位置固定。此外，防滑帶沈 的條數(shù)的設(shè)置可以根據(jù)基板的尺寸大小進(jìn)行設(shè)置，通常情況下至少為兩條，本實(shí)施例中 防滑帶沈的數(shù)量設(shè)置為兩條。[0050]具體的，防滑帶突起撥片M設(shè)置在防滑帶沈上，可以隨著防滑帶沈一起轉(zhuǎn) 動(dòng)。本實(shí)施例中的兩條防滑帶26上，每一條均分別設(shè)置有一防滑帶突起撥片M。該防 滑帶突起撥片M的頂部與防滑帶26所在平面之間的距離即防滑帶突起撥片M的設(shè)置高 度，其大于等于傳動(dòng)中的基板的底部與防滑帶26所在平面之間的距離，以使得該防滑帶 突起撥片M可以接觸到傳動(dòng)中的基板，實(shí)現(xiàn)對(duì)基板施加推動(dòng)力。[0051]本實(shí)施例的防滑帶突起撥片M的高度可以設(shè)置得大于傳動(dòng)中的基板的頂部與防 滑帶沈所在平面之間的距離，以使得其可以在輔助傳動(dòng)系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)，推著基板前進(jìn)使其 恢復(fù)正常傳動(dòng)，且可以保證在脫離基板時(shí)不會(huì)對(duì)基板產(chǎn)生損傷。此外，本實(shí)施例中的防 滑帶突起撥片M可以采用柔性材料例如含氟橡膠或乙丙橡膠制作，進(jìn)一步避免基板受到 損壞。[0052]進(jìn)一步的，防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27和驅(qū)動(dòng)端傳送桿觀之間的驅(qū)動(dòng)連接方式可以采用 磁傳動(dòng)模塊，該磁傳動(dòng)模塊可以包括相對(duì)設(shè)置的驅(qū)動(dòng)磁盤30和非驅(qū)動(dòng)磁盤31。驅(qū)動(dòng)磁盤 30與防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27連接，非驅(qū)動(dòng)磁盤31連接驅(qū)動(dòng)端傳送桿觀。防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27 可以帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)磁盤30轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)磁盤30可以帶動(dòng)非驅(qū)動(dòng)磁盤31轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)端 傳送桿觀及其連接的防滑帶沈轉(zhuǎn)動(dòng)。驅(qū)動(dòng)磁盤30和非驅(qū)動(dòng)磁盤31采用磁力連接傳遞 力量，以及防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27采取扭矩控制，可以有利于方便地控制傳遞到防滑帶突起撥片M的推力，有效避免輔助傳動(dòng)系統(tǒng)導(dǎo)致基板破損情況的發(fā)生。[0053]進(jìn)一步的，由于考慮到防滑帶突起撥片M需要在運(yùn)動(dòng)時(shí)推動(dòng)基板，并在停止運(yùn) 動(dòng)時(shí)避免損壞基板，本實(shí)施例的防滑帶沈需要設(shè)置一起始位置，其每次運(yùn)動(dòng)從起始位置 開(kāi)始，運(yùn)動(dòng)完畢又回到起始位置，該起始位置即指的是防滑帶26停止傳動(dòng)時(shí)防滑帶突起 撥片M不妨礙基板正常傳動(dòng)的位置，例如可以為防滑帶突起撥片M處于水平狀態(tài)的位 置。在具體實(shí)施中，防滑帶26的起始運(yùn)動(dòng)位置的控制可以采用傳感器控制方式，也可以 采用行程控制方式。[0054]例如，若采用傳感器控制方式，可參見(jiàn)圖3所示，實(shí)現(xiàn)防滑帶的傳感器定位方 式的部件可以包括防滑帶位置傳感器、反射板和防滑帶定位孔32。其中，上述三個(gè)部件 的設(shè)置位置關(guān)系可以參見(jiàn)圖4，圖4為本實(shí)用新型基板傳動(dòng)裝置實(shí)施例中的防滑帶傳感器 控制方式安裝結(jié)構(gòu)圖。在防滑帶傳送過(guò)程的功能單元中，可以設(shè)置有M型支架36，防滑 帶沈可以設(shè)置于M型支架36的支架臂37之間。防滑帶沈上設(shè)置防滑帶定位孔32 (見(jiàn) 圖3)，該孔用于透光。在防滑帶沈的上方和下方的兩個(gè)支架臂37上可以分別安裝防滑 帶位置傳感器33和反射板38。防滑帶位置傳感器33可以為一反射性光感傳感器，其發(fā) 射端發(fā)出的光透過(guò)防滑帶定位孔32后，可以經(jīng)設(shè)置在防滑帶定位孔上方的反射板38反 射，再被其接收端接收并檢出。[0055]該防滑帶位置傳感器33的數(shù)量可以設(shè)置為兩個(gè)，例如可以包括相鄰設(shè)置的減速 傳感器34和停止傳感器35 (參見(jiàn)圖幻，其中，減速傳感器34用于向防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27 發(fā)送減速信號(hào)，停止傳感器35用于向防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27發(fā)送停止信號(hào)。[0056]在圖3中箭頭所示的傳動(dòng)方向下，右邊所示的減速傳感器34可以給出減速信 號(hào)，當(dāng)電機(jī)帶動(dòng)防滑帶定位孔32到達(dá)其所在位置時(shí)，防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27會(huì)進(jìn)行減速；左 邊所示的停止傳感器35可以給出停止信號(hào)，當(dāng)電機(jī)帶動(dòng)防滑帶定位孔32到達(dá)其所在位置 時(shí)，防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27會(huì)停止運(yùn)行。每次輔助系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)，防滑帶沈都會(huì)運(yùn)行一周， 始終保持起始位置。這樣就實(shí)現(xiàn)了防滑帶突起撥片M的起始位置一致性(每次動(dòng)作完成 后，該撥片都會(huì)停止在圖3所示位置上)，這樣就避免主傳動(dòng)運(yùn)行過(guò)程中，防滑帶突起撥 片對(duì)導(dǎo)致的基板的破損。[0057]例如，若采用行程控制方式，可以省略防滑帶定位孔和防滑帶位置傳感器。對(duì) 于輔助防滑帶的傳動(dòng)，可以采用伺服電機(jī)帶動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。此時(shí)，防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)27即為伺 服電機(jī)，由于伺服電機(jī)能夠精確的控制自己行程位置。那么可以預(yù)先給伺服電機(jī)一個(gè)0 點(diǎn)位置信號(hào)，確定圖3所示位置時(shí)電機(jī)的位置，然后測(cè)量電機(jī)運(yùn)行多長(zhǎng)偏移量A可以再次 達(dá)到當(dāng)前位置。預(yù)設(shè)伺服電機(jī)的行程量，以后每次輔助系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，就在伺服電機(jī)的運(yùn) 動(dòng)量上加上相應(yīng)的偏移量A，電機(jī)運(yùn)行到設(shè)定值就停止。這樣就保證了防滑帶突起撥片 M初始位置的固定性。[0058]所述防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)為普通電機(jī)，通過(guò)設(shè)備控制系統(tǒng)單元提供的啟動(dòng)、減速、 停止信號(hào)實(shí)現(xiàn)工作運(yùn)作，其中減速信號(hào)由減速傳感器提供給設(shè)備控制系統(tǒng)單元，停止信 號(hào)由停止傳感器提供給設(shè)備控制系統(tǒng)單元。[0059]下面對(duì)本實(shí)施例的基板傳動(dòng)裝置的工作過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明?？蓞⒁?jiàn)圖5，圖5為本實(shí) 用新型基板傳動(dòng)裝置實(shí)施例的工作原理示意圖。該圖示出了由3個(gè)傳動(dòng)單元組成的基板 傳動(dòng)系統(tǒng)，每一傳動(dòng)單元可以為一基板傳動(dòng)的功能區(qū)間，且每一傳動(dòng)單元均采用本實(shí)施例所述的基板傳動(dòng)裝置，即分別設(shè)置了一輔助傳動(dòng)系統(tǒng)。[0060]其中，a、C是單元一的進(jìn)、出位置檢測(cè)傳感器，即主傳動(dòng)定位傳感器，b是單 元一的輔助系統(tǒng)檢測(cè)傳感器，即防滑帶啟動(dòng)定位傳感器；d、f是單元二的進(jìn)、出位置檢 測(cè)傳感器，e是單元二的輔助系統(tǒng)檢測(cè)傳感器；g、i是單元三的進(jìn)、出位置檢測(cè)傳感器， h是單元三的輔助系統(tǒng)檢測(cè)傳感器。傳感器位置設(shè)定，a、d、g處于各單元入口處；C、 f、i處于各單元出口處；輔助系統(tǒng)檢測(cè)傳感器b、e、h距各單元入口的距離即與主傳動(dòng) 定位傳感器之間的設(shè)置距離，應(yīng)大于基板在傳動(dòng)方向上的長(zhǎng)度。[0061]其中，上述的防滑帶啟動(dòng)定位傳感器一般采用霍爾傳感器，其結(jié)構(gòu)可以參見(jiàn)圖6 和圖7，圖6為圖5中的防滑帶啟動(dòng)定位傳感器在感應(yīng)基板時(shí)的應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖，圖7為 圖5中的防滑帶啟動(dòng)定位傳感器在未感應(yīng)基板時(shí)的應(yīng)用結(jié)構(gòu)示意圖。該霍爾傳感器可以 由擺頭部分39和支架部分40構(gòu)成，其可以通過(guò)支架部分40固定于每一功能單元的腔體 底部。當(dāng)基板41在主傳動(dòng)輪15的傳動(dòng)下經(jīng)過(guò)該霍爾傳感器時(shí)，其感應(yīng)到基板41，則擺 頭部分39將進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，與支架部分40成一定夾角。當(dāng)基板41未傳動(dòng)經(jīng)過(guò)該霍爾傳感器 時(shí)，其未感應(yīng)到基板41，則擺頭部分39不會(huì)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，其將與支架部分40—同保持垂 直，其間沒(méi)有夾角。[0062]具體的，當(dāng)基板從單元一入口開(kāi)始向單元二搬送過(guò)程中，在輔助系統(tǒng)檢測(cè)傳感 器b和e之間設(shè)定有一時(shí)間界限。當(dāng)基板到達(dá)輔助系統(tǒng)檢測(cè)傳感器b開(kāi)始計(jì)時(shí)，基板在b 與e之間的傳動(dòng)過(guò)程中，傳動(dòng)時(shí)間超過(guò)設(shè)定時(shí)間傳感器e還沒(méi)被點(diǎn)亮，單元一的輔助傳動(dòng) 系統(tǒng)從初始位置開(kāi)始工作，基板在防滑帶突起撥片和主傳動(dòng)的作用下恢復(fù)正常行進(jìn)。輔 助傳動(dòng)系統(tǒng)在防滑帶行進(jìn)一周后，可以在傳感器控制或者定時(shí)控制的定位作用下再次回 到初始位置停止，等待下一次的運(yùn)行。[0063]當(dāng)基板從單元二入口開(kāi)始向單元三搬送過(guò)程中，在輔助系統(tǒng)檢測(cè)傳感器e和h之 間設(shè)定有一時(shí)間界限，當(dāng)基板到達(dá)傳感器e開(kāi)始計(jì)時(shí)，基板在e與h之間的傳動(dòng)過(guò)程中， 傳動(dòng)時(shí)間超過(guò)設(shè)定時(shí)間傳感器h還沒(méi)被點(diǎn)亮，單元二的輔助傳動(dòng)系統(tǒng)從初始位置開(kāi)始工 作，基板在撥片和主傳動(dòng)的作用下恢復(fù)正常行進(jìn)。輔助傳動(dòng)系統(tǒng)在防滑帶行進(jìn)一周后， 可以在傳感器控制或者定時(shí)控制的定位作用下再次回到初始位置停止，等待下一次的運(yùn) 行。[0064]其中，輔助傳動(dòng)系統(tǒng)在運(yùn)行時(shí)，防滑帶突起撥片的運(yùn)行速度可以根據(jù)實(shí)際需要 設(shè)定，例如可以略高于或等于或小于主傳送輪傳送基板的線性速度。[0065]本實(shí)施例的基板傳動(dòng)裝置，通過(guò)設(shè)置輔助傳動(dòng)系統(tǒng)，解決了基板傳動(dòng)過(guò)程中的 打滑問(wèn)題，可以使得基板能夠在短時(shí)間內(nèi)恢復(fù)正常傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了基板較穩(wěn)定的傳動(dòng)，提 高了基板良率，減少了生產(chǎn)損失。[0066]最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限 制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng) 理解其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特 征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各 實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1.一種基板傳動(dòng)裝置，包括主傳動(dòng)系統(tǒng)，所述主傳動(dòng)系統(tǒng)包括主傳動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)、主 傳動(dòng)輪、主傳動(dòng)桿、主傳動(dòng)支持軸承模塊和主傳動(dòng)定位傳感器；其特征在于，還包括輔 助傳動(dòng)系統(tǒng)；所述輔助傳動(dòng)系統(tǒng)包括防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)、防滑帶傳動(dòng)桿、防滑帶、防滑 帶突起撥片和防滑帶啟動(dòng)定位傳感器；數(shù)個(gè)所述防滑帶傳動(dòng)桿，與所述主傳動(dòng)桿平行設(shè)置，兩端分別連接于所述主傳動(dòng)支 持軸承模塊，所述防滑帶傳動(dòng)桿與所述防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接；用于傳送基板的所述防滑帶，沿所述主傳動(dòng)輪的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)置，且周向套設(shè)于所述 數(shù)個(gè)防滑帶傳動(dòng)桿上，所述防滑帶所在平面低于所述主傳動(dòng)輪的頂部所在平面；所述防滑帶突起撥片，固設(shè)于所述防滑帶上，所述防滑帶突起撥片的頂部與所述防 滑帶所在平面之間的距離大于或等于基板的底部與所述防滑帶所在平面之間的距離；所述防滑帶啟動(dòng)定位傳感器與所述主傳動(dòng)定位傳感器之間的設(shè)置距離大于所述基板 的長(zhǎng)度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述防滑帶傳動(dòng)桿上設(shè)置有防 滑帶卡槽；所述防滑帶通過(guò)所述防滑帶卡槽與所述防滑帶傳動(dòng)桿連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述防滑帶突起撥片的頂部與 所述防滑帶所在平面之間的距離大于傳動(dòng)中的所述基板的頂部與所述防滑帶所在平面之 間的距離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述防滑帶傳動(dòng)桿包括驅(qū)動(dòng)端 傳送桿和非驅(qū)動(dòng)端傳送桿，所述驅(qū)動(dòng)端傳送桿與所述防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)磁傳動(dòng)模塊連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述磁傳動(dòng)模塊包括相對(duì)設(shè)置 的驅(qū)動(dòng)磁盤和非驅(qū)動(dòng)磁盤，所述驅(qū)動(dòng)磁盤與所述防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接，所述非驅(qū)動(dòng)磁盤 連接所述驅(qū)動(dòng)端傳送桿。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳動(dòng)裝置，其特征在于，還包括防滑帶位置傳感 器、反射板和防滑帶定位孔；所述防滑帶定位孔，設(shè)置在所述防滑帶上；所述防滑帶位置傳感器和反射板分別設(shè)置于所述防滑帶的上方和下方，且與所述防 滑帶定位孔相對(duì)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述防滑帶位置傳感器包括相 鄰設(shè)置的減速傳感器和停止傳感器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)為伺服電機(jī)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述防滑帶的數(shù)量至少為兩 條，每一條所述防滑帶上均設(shè)置有所述防滑帶突起撥片。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述防滑帶突起撥片為采用 柔性材料制作的防滑帶突起撥片。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種基板傳動(dòng)裝置，包括主傳動(dòng)系統(tǒng)，還包括輔助傳動(dòng)系統(tǒng)；所述輔助傳動(dòng)系統(tǒng)包括防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)、防滑帶傳動(dòng)桿、防滑帶、防滑帶突起撥片和防滑帶啟動(dòng)定位傳感器；數(shù)個(gè)防滑帶傳動(dòng)桿與所述主傳動(dòng)桿平行設(shè)置，兩端分別連接于主傳動(dòng)支持軸承模塊，防滑帶傳動(dòng)桿與防滑帶驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接；防滑帶沿主傳動(dòng)輪的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)置，且周向套設(shè)于數(shù)個(gè)防滑帶傳動(dòng)桿上；防滑帶突起撥片固設(shè)于防滑帶上，其頂部與防滑帶所在平面之間的距離大于等于基板的底部與防滑帶所在平面之間的距離；防滑帶啟動(dòng)定位傳感器與主傳動(dòng)定位傳感器之間的設(shè)置距離大于基板的長(zhǎng)度。本實(shí)用新型可以使得基板能夠在短時(shí)間內(nèi)恢復(fù)正常傳動(dòng)，提高了基板良率，減少了生產(chǎn)損失。
文檔編號(hào)H01L21/677GK201812805SQ201020533319
公開(kāi)日2011年4月27日 申請(qǐng)日期2010年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月16日
發(fā)明者吳健 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司