專利名稱：一種傳動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種傳動(dòng)裝置，尤其涉及一種控制升P條運(yùn)動(dòng)的傳動(dòng)裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體器件制造工藝的很多制程都是在真空腔室內(nèi)執(zhí)行的，例如晶圓表 面的薄膜生長(zhǎng)、晶圓清洗等。在這些制程中，需要利用傳動(dòng)裝置來(lái)驅(qū)動(dòng)栽有晶 圓的晶舟在真空腔室內(nèi)作升降運(yùn)動(dòng)。
如圖1所示，現(xiàn)有的傳動(dòng)裝置由固定部分和活動(dòng)部分組成。固定部分包括
導(dǎo)桿io'、設(shè)置在導(dǎo)桿io，上端的馬達(dá)ir、位于馬達(dá)ir下方的基準(zhǔn)位置傳感器
12，、以及設(shè)置在導(dǎo)桿IO，下端的橡皮圏13，。活動(dòng)部分包括傳動(dòng)軸14，和絲桿15，， 其在馬達(dá)ll，的驅(qū)動(dòng)下可沿導(dǎo)桿IO，上下運(yùn)動(dòng)，傳動(dòng)軸14，的底部具有一底座16，， 底座16，上還設(shè)有標(biāo)志片17，。傳動(dòng)軸14，的頂端通過(guò)另一導(dǎo)桿與晶舟底盤(pán)(未圖 示)相連接，于工作狀態(tài)下，帶動(dòng)晶舟底盤(pán)相對(duì)導(dǎo)桿IO，作升降運(yùn)動(dòng)。
該傳動(dòng)裝置的馬達(dá)是步進(jìn)馬達(dá)，通過(guò)一步數(shù)編碼器連接至驅(qū)動(dòng)板。步數(shù)編 碼器的作用是傳送轉(zhuǎn)動(dòng)步數(shù)的指令給馬達(dá)和反饋實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)步數(shù)給驅(qū)動(dòng)板，從而 通過(guò)步數(shù)來(lái)控制馬達(dá)的運(yùn)作。
請(qǐng)繼續(xù)參閱圖1,當(dāng)傳動(dòng)裝置運(yùn)作一段時(shí)間后，其初始位置可能會(huì)產(chǎn)生偏移， 為了防止該位置偏移對(duì)晶圓及晶舟產(chǎn)生影響，通常每隔一段時(shí)間要讓傳動(dòng)裝置 進(jìn)行一次基準(zhǔn)位置的自動(dòng)檢測(cè)。該檢測(cè)通過(guò)基準(zhǔn)位置傳感器12，和標(biāo)志片17，實(shí) 現(xiàn)，當(dāng)傳動(dòng)軸14，從上往下運(yùn)動(dòng)時(shí)，標(biāo)志片17，會(huì)先擋住基準(zhǔn)位置傳感器12，再慢 慢移開(kāi)，當(dāng)標(biāo)志片17，完全從傳感器12，前經(jīng)過(guò)時(shí)，傳感器12，認(rèn)為傳動(dòng)軸14，已 回復(fù)到基準(zhǔn)位置，于是向驅(qū)動(dòng)板(未圖示)發(fā)送信號(hào)，由驅(qū)動(dòng)板通過(guò)步數(shù)編碼
器將停止指令傳送給馬達(dá)ir,從而使馬達(dá)ir停止工作，使傳動(dòng)軸i4，停留在該
基準(zhǔn)位置。
然而，有時(shí)基準(zhǔn)位置傳感器12，會(huì)出錯(cuò)，當(dāng)傳動(dòng)軸ir已運(yùn)動(dòng)到基準(zhǔn)位置時(shí)，
傳感器12，卻未向驅(qū)動(dòng)板發(fā)送信號(hào)，使得馬達(dá)ir繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸14，繼續(xù)
向下運(yùn)動(dòng)，直至傳動(dòng)軸14，的底座16，撞到橡皮圏13，引起^^警才停止。當(dāng)?shù)鬃?16，撞到橡皮圏13，到發(fā)出報(bào)警的這段時(shí)間內(nèi)，馬達(dá)ll，的皮帶仍在運(yùn)轉(zhuǎn)，造成馬
達(dá)ir發(fā)熱，容易損壞。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種改進(jìn)的傳動(dòng)裝置，即使在基準(zhǔn)位置傳感器 出錯(cuò)的情況下，也能正常停止馬達(dá)工作，防止馬達(dá)空轉(zhuǎn)損壞。
為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型提供一種傳動(dòng)裝置，它包括導(dǎo)桿，設(shè) 置在導(dǎo)桿上端的馬達(dá)，位于馬達(dá)下方且固定至導(dǎo)桿的基準(zhǔn)位置傳感器，以及在 馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)下可沿導(dǎo)桿上下運(yùn)動(dòng)的絲桿和傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸的底部具有一底 座，底座上設(shè)有一標(biāo)志片；所述馬達(dá)通過(guò)一編碼器連接至一驅(qū)動(dòng)板，由編碼器 實(shí)現(xiàn)馬達(dá)與驅(qū)動(dòng)板之間的指令傳送；所述導(dǎo)桿下端還設(shè)有一串連在編碼器電源 線上的開(kāi)關(guān)，其頂部具有一觸點(diǎn)，當(dāng)傳動(dòng)軸的底座下降到開(kāi)關(guān)位置時(shí)，底座將 觸點(diǎn)壓下。在上述的傳動(dòng)裝置中，所述馬達(dá)是步進(jìn)馬達(dá)，所述的編碼器是步數(shù)編碼器。 在上述的傳動(dòng)裝置中，所述開(kāi)關(guān)是常閉開(kāi)關(guān)，當(dāng)觸點(diǎn)壓下時(shí)，開(kāi)關(guān)斷開(kāi)， 編碼器停止工作。
本實(shí)用新型的傳動(dòng)裝置通過(guò)在導(dǎo)桿下端設(shè)置一串連在編碼器電源線上的開(kāi) 關(guān)，使得當(dāng)傳動(dòng)軸經(jīng)過(guò)基準(zhǔn)位置還繼續(xù)下降時(shí)，傳動(dòng)軸的底座會(huì)觸壓到開(kāi)關(guān)的 觸頭而切斷編碼器的電源，使馬達(dá)得不到驅(qū)動(dòng)板的指令也反饋不了指令，從而 驅(qū)動(dòng)板就會(huì)報(bào)警并切斷馬達(dá)電源，使馬達(dá)正常停止工作，防止馬達(dá)空轉(zhuǎn)發(fā)熱， 有效延長(zhǎng)了馬達(dá)的使用壽命。


本實(shí)用新型的傳動(dòng)裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。
圖1為現(xiàn)有的傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖2為本實(shí)用新型的傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的傳動(dòng)裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。如圖2所示，本實(shí)用新型的傳動(dòng)裝置包括導(dǎo)桿IO，設(shè)置在導(dǎo)桿10上端的 馬達(dá)ll，位于馬達(dá)11下方且固定至導(dǎo)桿10的基準(zhǔn)位置傳感器12，以及在馬達(dá) 11的驅(qū)動(dòng)下可沿導(dǎo)桿10上下運(yùn)動(dòng)的絲桿15和傳動(dòng)軸14,其中，傳動(dòng)軸14的 底部具有一底座16，底座16上還設(shè)有一標(biāo)志片17。該馬達(dá)11是步進(jìn)馬達(dá)，通過(guò)一步數(shù)編碼器連接至一驅(qū)動(dòng)板(未圖示)，由 步數(shù)編碼器將轉(zhuǎn)動(dòng)步數(shù)的指令傳送給馬達(dá)11,并將實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)步數(shù)反饋給驅(qū)動(dòng)板。 在馬達(dá)11的驅(qū)動(dòng)下，傳動(dòng)軸14帶動(dòng)晶舟底盤(pán)作升降運(yùn)動(dòng)。當(dāng)進(jìn)行基準(zhǔn)位置自 檢時(shí)，由基準(zhǔn)位置傳感器12檢測(cè)傳動(dòng)軸14底座16上的標(biāo)志片17是否完全經(jīng) 過(guò)傳感器12來(lái)判斷該基準(zhǔn)位置，并通過(guò)發(fā)送信號(hào)給驅(qū)動(dòng)板來(lái)控制馬達(dá)11使傳 動(dòng)軸14連同晶舟底座停留在基準(zhǔn)位置。然而，當(dāng)基準(zhǔn)位置傳感器12出錯(cuò)時(shí)， 則無(wú)法停止馬達(dá)11運(yùn)作，使得傳動(dòng)軸14帶動(dòng)晶舟繼續(xù)下降。為了防止由于基準(zhǔn)位置傳感器12故障而造成的問(wèn)題，本實(shí)用新型在導(dǎo)桿10 下端設(shè)置了一個(gè)串聯(lián)在編碼器電源線上的開(kāi)關(guān)18(圖中省略了電路連線)，其頂 部還具有一觸點(diǎn)19。于本實(shí)施例中，采用常閉開(kāi)關(guān)18，當(dāng)觸點(diǎn)19未被壓下時(shí)， 編碼器電源導(dǎo)通，正常工作。當(dāng)傳動(dòng)軸14的底座16因故障而下降到開(kāi)關(guān)18位 置時(shí)，底座16會(huì)將觸點(diǎn)19壓下，從而斷開(kāi)編碼器的電源，使馬達(dá)ll得不到驅(qū) 動(dòng)板的指令也反饋不了指令，從而驅(qū)動(dòng)板就會(huì)報(bào)警并切斷馬達(dá)電源，使馬達(dá)11 正常停止工作。采用本實(shí)用新型的傳動(dòng)裝置能夠有效防止馬達(dá)空轉(zhuǎn)發(fā)熱，延長(zhǎng)了馬達(dá)的使 用壽命。
權(quán)利要求1.一種傳動(dòng)裝置，包括導(dǎo)桿，設(shè)置在導(dǎo)桿上端的馬達(dá)，位于馬達(dá)下方且固定至導(dǎo)桿的基準(zhǔn)位置傳感器，以及在馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)下可沿導(dǎo)桿上下運(yùn)動(dòng)的絲桿和傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸的底部具有一底座，底座上設(shè)有一標(biāo)志片；所述馬達(dá)通過(guò)一編碼器連接至一驅(qū)動(dòng)板，由編碼器實(shí)現(xiàn)馬達(dá)與驅(qū)動(dòng)板之間的指令傳送；其特征在于所述導(dǎo)桿下端還設(shè)有一串連在編碼器電源線上的開(kāi)關(guān)，其頂部具有一觸點(diǎn)，當(dāng)傳動(dòng)軸的底座下降到開(kāi)關(guān)位置時(shí)，底座將觸點(diǎn)壓下。
2. 如權(quán)利要求1所述的傳動(dòng)裝置，其特征在于所述馬達(dá)是步進(jìn)馬達(dá)， 所述的編碼器是步數(shù)編碼器。
3. 如權(quán)利要求1所述的傳動(dòng)裝置，其特征在于所述開(kāi)關(guān)是常閉開(kāi)關(guān)， 當(dāng)觸點(diǎn)壓下時(shí)，開(kāi)關(guān)斷開(kāi)，編碼器停止工作。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種傳動(dòng)裝置?，F(xiàn)有的傳動(dòng)裝置，在基準(zhǔn)位置自檢中可能因傳感器故障使得傳動(dòng)軸不斷下降，目前的解決方案是在導(dǎo)桿底部設(shè)置橡皮圈，以卡住傳動(dòng)軸及其底座，然而在該過(guò)程中會(huì)造成馬達(dá)空轉(zhuǎn)發(fā)熱，容易損壞馬達(dá)。本實(shí)用新型的傳動(dòng)裝置在導(dǎo)桿下端設(shè)置一串連在編碼器電源線上的開(kāi)關(guān)，當(dāng)傳動(dòng)軸的底座下降到開(kāi)關(guān)位置時(shí)，底座將開(kāi)關(guān)的觸點(diǎn)壓下，從而斷開(kāi)編碼器的電源。由于馬達(dá)與驅(qū)動(dòng)板間的指令傳送是通過(guò)編碼器實(shí)現(xiàn)的，因此當(dāng)編碼器停止工作時(shí)，馬達(dá)得不到驅(qū)動(dòng)板的指令也反饋不了指令，從而驅(qū)動(dòng)板就會(huì)報(bào)警并切斷馬達(dá)電源，使馬達(dá)正常停止工作，防止馬達(dá)空轉(zhuǎn)發(fā)熱，有效延長(zhǎng)了馬達(dá)的使用壽命。
文檔編號(hào)F16H25/20GK201050586SQ20072006982
公開(kāi)日2008年4月23日 申請(qǐng)日期2007年5月15日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月15日
發(fā)明者丁永國(guó), 磊 徐, 海 曾, 冬 陳 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司