專利名稱：：一種機(jī)械手調(diào)度方法、裝置及等離子體處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及機(jī)械傳輸和等離子
技術(shù)領(lǐng)域：
，具體而言，涉及一種機(jī)械手調(diào)度方法、裝置及等離子體處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
：目前，在等離子
技術(shù)領(lǐng)域：
中，為了獲得較高的投入回報，需要等離子體處理設(shè)備具有較高的產(chǎn)率?，F(xiàn)有的等離子體處理設(shè)備通常包括多個晶片盒、一個諸如機(jī)械手的傳輸裝置、多個腔室模塊和一個晶片校準(zhǔn)器。通常，由機(jī)械手將晶片從晶片盒中取出，并根據(jù)工藝需要放到目標(biāo)腔室模塊中，以便在此進(jìn)行后續(xù)操作。實際工藝中，一個諸如晶片等的待處理工件可以訪問不同腔室模塊以完成不同操作，并在這些工藝完畢后，由機(jī)械手將晶片從腔室模塊中取出并放到晶片盒中，這樣，一個晶片的加工/處理工藝過程即完畢。請參閱圖l，現(xiàn)有的一種等離子體處理設(shè)備包括6個腔室模塊(即，腔室模塊1至6，并且每一個腔室模塊均可以作為晶片單次傳輸?shù)哪繕?biāo)腔室模塊)、一個機(jī)械手。該機(jī)械手具有兩個同軸的手臂A和B，并根據(jù)預(yù)先計算出的晶片傳輸路徑序列在各個腔室模塊之間傳輸晶片，以完成工藝過程。在實際應(yīng)用中，當(dāng)兩個手臂A和B同時空閑時，如果要對某個腔室模塊進(jìn)行取片/放片的操作，通常會隨機(jī)地選擇手臂A或者手臂B，而后再確定所選手臂是順時針旋轉(zhuǎn)還是逆時針旋轉(zhuǎn)，以便旋轉(zhuǎn)最小角度而快速到達(dá)目標(biāo)腔室模塊，從而實現(xiàn)快速傳片。事實上，采用上述方法進(jìn)行傳片時，仍然存在著傳片速度有待進(jìn)一步提高的問題，例如，如果在圖1所示等離子體處理設(shè)備所處狀態(tài)下，要對腔室模塊1進(jìn)行傳片操作，并且手臂A和手臂B都處于空閑狀態(tài)，那么系統(tǒng)在隨機(jī)選擇手臂時可能會選擇手臂A，這種情況下，因手臂A距離腔室模塊1相對較遠(yuǎn)，因此其旋轉(zhuǎn)到腔室模塊1的角度比手臂B旋轉(zhuǎn)到腔室模塊1所需的旋轉(zhuǎn)角度大，這樣，手臂A進(jìn)行上述旋轉(zhuǎn)就需要經(jīng)歷較長的時間，從而導(dǎo)致整個工藝過程中機(jī)械手傳片的效率較低，并最終影響整個等離子體處理設(shè)備的工作效率，進(jìn)而影響機(jī)臺產(chǎn)率。
發(fā)明內(nèi)容為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種機(jī)械手調(diào)度方法及機(jī)械手調(diào)度裝置，其能夠科學(xué)地選擇手臂并實現(xiàn)快速傳輸操作。此外，本發(fā)明還提供一種應(yīng)用上述機(jī)械手調(diào)度方法的等離子體處理設(shè)備，以及應(yīng)用上述機(jī)械手調(diào)度裝置的等離子體處理設(shè)備，其同樣能夠科學(xué)地選擇手臂并實現(xiàn)快速傳輸操作。為此，本發(fā)明提供一種機(jī)械手調(diào)度方法，其包括手臂選擇步驟根據(jù)空閑手臂的數(shù)量、手臂當(dāng)前位點CUr_Stn、目標(biāo)位點M—Stn，選擇距離目標(biāo)位點最近的手臂；手臂移動步驟使所選擇的手臂旋轉(zhuǎn)至目標(biāo)位點，以便由該手臂在目標(biāo)位點處執(zhí)行傳輸操作。其中，所述手臂選擇步驟具體包括下述步驟10)判斷空閑的手臂數(shù)量，如果空閑手臂數(shù)等于2，則轉(zhuǎn)到步驟20);如果空閑手臂數(shù)等于l，則直接選擇該空閑的手臂，并結(jié)束手臂選擇步驟；如果無空閑手臂，則返回表示無空閑手臂的信息，并結(jié)束手臂選擇步驟。20)根據(jù)手臂當(dāng)前位點CUr_Stn、目標(biāo)位點M_Stn和位點總數(shù)N，確定哪一個手臂離目標(biāo)位點最近，并選定該手臂。其中，所述步驟20)具體包括計算手臂當(dāng)前位點Cur_Stn與目標(biāo)位點M—Stn的差值，并將該差值的絕對值賦值給變量a，S卩，a=ICur_Stn-M_Stn|;計算手臂當(dāng)前位點Cur_Stn與目標(biāo)位點M—Stn的差值，將該差值與N/2求和后的絕對值賦值給變量b，即，b=|Cur_Stn+N/2_M_Stn|;判斷是否a>N/2，如果是，則將a重新賦值為a=N_a，如果否，則保持a值不變；判斷是否b>N/2，如果是，則將b重新賦值為b=N-b，如果否，則保持b值不變；比較a和b，如果a<b，則確定第一手臂離目標(biāo)位點最近，并選擇該手臂，如果a>b，則確定第二手臂離目標(biāo)位點最近，并選擇該手臂。其中，當(dāng)位點總數(shù)N等于6時，所述步驟20)具體包括這樣的步驟判斷是否|Cur_Stn-M_Stn|<=l，或者|Cur_Stn_M_Stn|=5;如果是，則確定選擇第一手臂；如果否，則確定選擇第二手臂。其中，在所述手臂移動步驟中還包括確定手臂旋轉(zhuǎn)方向的步驟即，根據(jù)目標(biāo)位點M_Stn和所選手臂的當(dāng)前位點Cur—Stn，確定所選手臂的旋轉(zhuǎn)方向，以使該手臂旋轉(zhuǎn)最小角度而到達(dá)目標(biāo)位點。本發(fā)明還提供一種機(jī)械手調(diào)度裝置，其包括手臂選擇單元和手臂移動單元。其中，所述手臂選擇單元用于根據(jù)空閑手臂的數(shù)量、手臂當(dāng)前位點CUr_Stn、目標(biāo)位點M—Stn，選擇距離目標(biāo)位點最近的手臂；所述手臂移動單元用于使所選擇的手臂旋轉(zhuǎn)至目標(biāo)位點，以便由該手臂在目標(biāo)位點處執(zhí)行傳輸操作。其中，所述手臂選擇單元具體包括空閑手臂判斷模塊，其用于判斷空閑的手臂數(shù)量，如果空閑手臂數(shù)等于2，則啟動手臂選定模塊，如果空閑手臂數(shù)等于1，則直接選擇該空閑的手臂；如果無空閑手臂，則返回表示無空閑手臂的信息；手臂選定模塊，其用于根據(jù)手臂當(dāng)前位點Cur_Stn、目標(biāo)位點M_Stn和位點總數(shù)N，確定哪一個手臂離目標(biāo)位點最近，并選定該手臂。其中，所述手臂選定模塊具體包括計算子模塊和比較子模塊。所述計算子模塊用于計算手臂當(dāng)前位點CUr_Stn與目標(biāo)位點M_Stn的差值，并將該差值的絕對值賦值給變量a，即，a=ICur_Stn-M_Stn|;并且還用于計算手臂當(dāng)前位點Cur_Stn與目標(biāo)位點M_Stn的差值，將該差值與N/2求和后的絕對值賦值給變量b，即，b=ICur_Stn+N/2-M_Stn|。所述比較子模塊，其執(zhí)行下述判斷內(nèi)容1)判斷是否a>N/2，如果是，則將a重新賦值為a=N-a;如果否，則保持a值不變；11)判斷是否b>N/2，如果是，則將b重新賦值為b=N_b;如果否，則保持b值不變；III)比較a和b，如果a<b，則確定第一手臂離目標(biāo)位點最近，并選擇該手臂；如果a>b，則確定第二手臂離目標(biāo)位點最近，并選擇該手臂。其中，當(dāng)位點總數(shù)N等于6時，所述手臂選定模塊具體包括計算子模塊和比較子模塊。計算子模塊用于計算手臂當(dāng)前位點CUr_Stn與目標(biāo)位點M_Stn的差值；比較子模塊用于判斷是否ICur_Stn-M_StnI<=l，或者|Cur_Stn_M_Stn|=5;如果判斷結(jié)果之一為"是"，則確定選擇第一手臂；否則，確定選擇第二手臂。其中，所述手臂移動單元根據(jù)目標(biāo)位點M_Stn和選定手臂當(dāng)前位點Cur—Stn，確定所選擇的手臂的旋轉(zhuǎn)方向，以使該手臂旋轉(zhuǎn)最小角度而到達(dá)目標(biāo)位點。其中，所述目標(biāo)位點對應(yīng)于目標(biāo)腔室模塊，所述位點總數(shù)對應(yīng)于腔室模塊總數(shù)。此外，本發(fā)明還提供了一種等離子體處理設(shè)備，其采用本發(fā)明提供的上述機(jī)械手調(diào)度方法，以便根據(jù)需要選擇離目標(biāo)腔室最近的手臂執(zhí)行傳輸操作。再有，本發(fā)明還提供了一種等離子體處理設(shè)備，其采用本發(fā)明提供的上述機(jī)械手調(diào)度裝置，以便根據(jù)需要選擇離目標(biāo)腔室最近的手臂執(zhí)行傳輸操作。本發(fā)明具有下述有益效果本發(fā)明提供的機(jī)械手調(diào)度方法及機(jī)械手調(diào)度裝置能夠根據(jù)空閑手臂數(shù)量、手臂當(dāng)前位點和目標(biāo)位點等信息來選擇距離目標(biāo)位點最近的手臂，以便使手臂移動最短的距離而快速地到達(dá)目標(biāo)位點，從而實現(xiàn)機(jī)械手的快速調(diào)度、快速執(zhí)行傳輸操作，進(jìn)而能夠縮短整個工藝所需時間、提高機(jī)臺產(chǎn)率。類似地，由于本發(fā)明提供的等離子體處理設(shè)備具有本發(fā)明提供的上述機(jī)械手調(diào)度方法和/或裝置，因此，該等離子體處理設(shè)備同樣具有這樣的特點即，能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械手的快速調(diào)度、快速執(zhí)行傳輸操作，進(jìn)而能夠縮短整個工藝所需時間、提高機(jī)臺產(chǎn)率。圖1為一種等離子體處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明提供的機(jī)械手調(diào)度方法一個實施例的流程示意圖；以及圖3為本發(fā)明提供的機(jī)械手調(diào)度方法另一個實施例的流程示意圖。具體實施例方式為使本
技術(shù)領(lǐng)域：
的人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的機(jī)械手調(diào)度方法/裝置及采用該方法和/或裝置的等離子體處理設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說明。為了便于說明，首先解釋本發(fā)明中所采用的幾個名詞術(shù)語和所定義的變量。本發(fā)明中所說的位點指的是機(jī)械手欲進(jìn)行傳輸操作時手臂可能處于的位置點?；诖?，手臂當(dāng)前位點指的是手臂當(dāng)前所在位置所對應(yīng)的位點，為了便于后面的計算和說明，設(shè)置變量CUr_Stn來表示手臂當(dāng)前位點；目標(biāo)位點指的是手臂欲移動到的目的地所處位點，同樣為了便于后面的計算和說明，設(shè)置變量M—Stn來表示目標(biāo)位點。事實上，如果給系統(tǒng)中機(jī)械手手臂可能身處的位置點一一設(shè)定位點編號，則手臂當(dāng)前位點Cur—Stn和目標(biāo)位點M_Stn的取值范圍在理論上可以為系統(tǒng)中的任意位點編號。例如，對于前述圖1所示的等離子體處理設(shè)備而言，機(jī)械手手臂可能身處的位置點也就是各個腔室模塊的位置點，也就是該手臂當(dāng)前指向哪個腔室模塊。為了便于說明，按照順時針方向?qū)Ω鱾€腔室模塊進(jìn)行編號，這樣，腔室模塊1至腔室模塊6也就對應(yīng)著位點1至位點6，如下述表1所示。表l:<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>這樣，目標(biāo)位點M_Stn的取值范圍可以是1_6。類似地，手臂當(dāng)前位點Cur_Stn的取值范圍可以是l-6，例如，圖1中的手臂A當(dāng)前位點為3，也就是手臂A當(dāng)前指向腔室模塊3;手臂B當(dāng)前位點為6，也就是手臂B當(dāng)前指向腔室模塊6。下面以具有兩個手臂的機(jī)械手為例來說明本發(fā)明提供的機(jī)械手調(diào)度方法。該方法可以包括手臂選擇步驟和手臂移動步驟。其中，在手臂選擇步驟中，根據(jù)空閑手臂的數(shù)量、手臂當(dāng)前位點CUr_Stn、目標(biāo)位點M_Stn和位點總數(shù)N，選擇距離目標(biāo)位點最近的手臂。具體地，判斷空閑的手臂數(shù)量，如果空閑手臂數(shù)等于2，則根據(jù)手臂當(dāng)前位點CUr_Stn、目標(biāo)位點M—Stn，確定哪一個手臂離目標(biāo)位點近，并選定該手臂；如果空閑手臂數(shù)等于l，則直接選擇該空閑的手臂，并結(jié)束手臂選擇步驟；如果無空閑手臂，則返回表示無空閑手臂的信息，并結(jié)束手臂選擇步驟。在手臂移動步驟中，使所選擇的手臂旋轉(zhuǎn)至目標(biāo)位點，以便由該手臂在目標(biāo)位點處執(zhí)行傳輸操作。事實上，手臂移動步驟還包括確定手臂旋轉(zhuǎn)方向的步驟即，根據(jù)目標(biāo)位點M_Stn和選定手臂當(dāng)前位點Cur—Stn，確定所選擇的手臂的旋轉(zhuǎn)方向，以便該手臂旋轉(zhuǎn)最小角度而到達(dá)目標(biāo)位點。下面結(jié)合圖2詳細(xì)說明本發(fā)明提供的機(jī)械手調(diào)度方法。如圖2所示，在步驟110中判斷空閑的手臂數(shù)量是否等于2，如果是，則轉(zhuǎn)入步驟150;如果否，則轉(zhuǎn)入步驟120并繼續(xù)進(jìn)行相應(yīng)判斷。步驟120，判斷空閑的手臂數(shù)量是否等于l，如果是，則轉(zhuǎn)到步驟140;如果否，則轉(zhuǎn)到步驟130。步驟130，當(dāng)空閑手臂數(shù)量不為1時，則說明當(dāng)前沒有空閑手臂，于是返回表示沒有空閑手臂的信息，例如返回空值"NULL"等錯誤信息。步驟140，由于目前只有一個手臂空閑，為了使用空閑手臂進(jìn)行傳輸操作，則返回表示該空閑手臂的信息，例如返回空閑手臂的標(biāo)號，即，手臂A(第一手臂)或手臂B(第二手臂)。步驟150，計算目標(biāo)位點M_Stn與手臂當(dāng)前位點Cur_Stn之差，并將該差值的絕對值賦值給變量a，S卩，a=ICur_Stn-M_Stn|;計算目標(biāo)位點M_Stn與手臂當(dāng)前位點Cur_Stn之差，并將該差值加上N/2后取絕對值，將該絕對值賦值給變量b，即，b=ICur_Stn+N/2-M_Stn|。其中，N表示位點總數(shù)。步驟160，判斷是否a>N/2，如果是，則轉(zhuǎn)到步驟170;如果否，則轉(zhuǎn)到步驟180。步驟170，對a重新賦值，S卩，a=a_N/2。步驟180，保持a值不變。步驟190，判斷是否b>N/2，如果是，則轉(zhuǎn)到步驟200;如果否，則轉(zhuǎn)到步驟210。步驟200，對b重新賦值，S卩，b=b-N/2。步驟210，保持b值不變。步驟220，判斷是否a<b，如果是，則確定手臂A離目標(biāo)位點最近，并轉(zhuǎn)到步驟230;如果否，則確定手臂B離目標(biāo)位點最近，并轉(zhuǎn)到步驟240。步驟230，選擇手臂A。步驟240，選擇手臂B。事實上，在步驟140、步驟230、步驟240之后可以進(jìn)入到手臂移動步驟，以使所選手臂快速移動到目標(biāo)位點。通過上述過程即可實現(xiàn)空閑手臂的判斷并選擇離目標(biāo)位點最近的手臂以進(jìn)行后續(xù)傳輸操作，從而使機(jī)械手能夠快速地移動到目標(biāo)位點以實現(xiàn)快速傳輸操作。下面結(jié)合圖3對圖1所示等離子體處理設(shè)備中的機(jī)械手調(diào)度方法進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖3所示，在步驟310中判斷空閑的手臂數(shù)量是否等于2，如果是，則轉(zhuǎn)入步驟350;如果否，則轉(zhuǎn)入步驟320并繼續(xù)進(jìn)行相應(yīng)判斷。步驟320，判斷空閑的手臂數(shù)量是否等于1，如果是，則轉(zhuǎn)到步驟340;如果否，則轉(zhuǎn)到步驟330。步驟330，當(dāng)空閑手臂數(shù)量不為1時，則說明當(dāng)前沒有空閑手臂，于是返回表示沒有空閑手臂的信息，例如返回空值"NULL"等錯誤信息。步驟340，由于目前只有一個手臂空閑，為了使用空閑手臂進(jìn)行傳輸操作，則返回表示該空閑手臂的信息，例如返回空閑手臂的標(biāo)號，即，手臂A(第一手臂)或手臂B(第二手臂)。步驟350，計算目標(biāo)位點M_Stn與手臂A當(dāng)前位點Cur_Stn之差，并判斷該差值的絕對值是否小于等于l，即，判斷是否|CUr_Stn-M_Stn|<=1;或者判斷該差值的絕對值是否等于5，S卩，判斷是否|CUr_Stn-M_Stn|=5。只要這兩個判斷之一的結(jié)果為"是"，則確定手臂A離目標(biāo)位點最近，并轉(zhuǎn)到步驟360;否則，確定手臂B離目標(biāo)位點最近，并轉(zhuǎn)到步驟370。事實上，判斷是否ICur_Stn-M_StnI=5是考慮到{M_Stn=6，Cur_Stn=1}和{MStn=1，cur_Stn=6}這樣的情況。步驟360，選擇手臂A。步驟370，選擇手臂B。步驟380，使所選定的手臂移動到目標(biāo)位點(即，移動到目標(biāo)腔室模塊位置處)，此時，手臂當(dāng)前位點Cur_Stn同目標(biāo)位點M_Stn—致，S卩，Cur_Stn=M_Stn。舉例說明，對于圖1所示等離子體處理設(shè)備，當(dāng)目標(biāo)位點M_Stn=1(即，對應(yīng)于腔室模塊1)，手臂A當(dāng)前位點CUr_Stn=3時，根據(jù)圖2所示方法，判斷出手臂A和B均空閑，并且通過計算得到|CUr_Stn-M_Stn|二2，于是確定手臂B為距離目標(biāo)位點最近的手臂，并且選擇該手臂B，而不是像
背景技術(shù)：
中所述的那樣隨機(jī)選擇手臂。這樣，選定手臂B就可以實現(xiàn)快速移動手臂并快速執(zhí)行傳輸操作的目的。其實，從圖l可以明顯地看出手臂B距離目標(biāo)位點最近，這也就充分驗證了上述機(jī)械手調(diào)度方法的正確性和科學(xué)性。類似地，當(dāng)目標(biāo)位點M_Stn=1，手臂A當(dāng)前位點Cur_Stn=6時，根據(jù)圖2所示方法，判斷出手臂A和B均空閑，并且通過得到|CUr_Stn-M_Stn|二5，于是確定手臂A為距離目標(biāo)位點最近的手臂，并且選擇該手臂A，從而可以實現(xiàn)快速移動手臂并快速執(zhí)行傳輸操作。這種選擇的正確性從圖1中也可以明顯地看出來。此外，本發(fā)明還提供一種機(jī)械手調(diào)度裝置。下面以具有兩個手臂的機(jī)械手為例來對該裝置進(jìn)行說明。本發(fā)明提供的機(jī)械手調(diào)度裝置包括手臂選擇單元和手臂移動單元。其中，所述手臂選擇單元用于根據(jù)空閑手臂的數(shù)量、手臂當(dāng)前位點CUr_Stn、目標(biāo)位點M—Stn，確定選擇哪一個手臂進(jìn)行傳輸操作。具體地，該手臂選擇單元可包括空閑手臂判斷模塊和手臂選定模塊。就空閑手臂判斷模塊而言，其用于判斷空閑的手臂數(shù)量，如果空閑手臂數(shù)等于2，則啟動手臂選定模塊；如果空閑手臂數(shù)等于1，則直接選定該空閑的手臂；如果無空閑手臂，則返回?zé)o空閑手臂的信息。手臂選定模塊用于根據(jù)手臂當(dāng)前位點Cur—Stn、目標(biāo)位點M—Stn，確定哪一個手臂離目標(biāo)位點近，并選定該手臂。就手臂選定模塊而言，其具體包括計算子模塊和比較子模塊。計算子模塊用于計算手臂當(dāng)前位點CUr_Stn與目標(biāo)位點M_Stn的差值，并將該差值的絕對值賦值給變量a，即，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>;并且還用于計算手臂當(dāng)前位點Cur_Stn與目標(biāo)位點M_Stn的差值，將該差值與N/2求和后的絕對值賦值給變量b，即<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>，其中的N表示位點總數(shù)。比較子模塊，其執(zhí)行這樣的判斷內(nèi)容I)判斷是否a>N/2，如果是，則對a重新賦值為a=N_a;如果否，則保持a值不變；II)判斷是否b>N/2，如果是，則對b重新賦值為b=N-b;如果否，則保持b值不變。III)比較a和b，如果a〈b，則確定選擇手臂A;如果a〉b，則確定選擇手臂B。所述手臂移動單元用于使所選定的手臂旋轉(zhuǎn)至目標(biāo)位點，以便由該手臂在目標(biāo)位點執(zhí)行傳輸操作。事實上，該手臂移動單元可根據(jù)目標(biāo)位點MStn和選定手臂當(dāng)前位點Cur—Stn，確定所選擇的手臂的旋轉(zhuǎn)方向，以便該手臂旋轉(zhuǎn)最小角度而到達(dá)目標(biāo)位點。下面以應(yīng)用于圖1所示等離子體處理設(shè)備中的機(jī)械手調(diào)度裝置為例對本發(fā)明進(jìn)行說明。在該設(shè)備中，位點總數(shù)N為6。該機(jī)械手調(diào)度裝置工作過程中，在空閑手臂判斷模塊判斷出空閑手臂數(shù)量為2后，手臂選定模塊可以執(zhí)行這樣的操作由計算子模塊計算Cur—Stn-M_Stn;由比較子模塊判斷是否|Cur_Stn_M_Stn|<=l，或者|Cur_Stn_M_Stn|=5;如果這兩個判斷之一的結(jié)果為"是"，則選擇手臂A;否則，選擇手臂B。其具體過程類似于前面結(jié)合圖3所作的描述，在此不再贅述。另外，本發(fā)明還提供一種等離子體處理設(shè)備，其采用了如前所述本發(fā)明所提供的機(jī)械手調(diào)度方法，以根據(jù)具體情況選擇離目標(biāo)腔室最近的手臂進(jìn)行傳輸操作。再有，本發(fā)明還提供一種等離子體處理設(shè)備，其采用了如前所述本發(fā)明所提供的機(jī)械手調(diào)度裝置，以根據(jù)具體情況選擇離目標(biāo)腔室最近的手臂進(jìn)行傳輸操作。需要指出的是，盡管前述實施例中應(yīng)用于等離子體處理設(shè)備中的機(jī)械手為例對本發(fā)明提供的機(jī)械手調(diào)度方法/裝置，以及應(yīng)用該方法和/或裝置的等離子體處理設(shè)備進(jìn)行了詳細(xì)描述，但是本發(fā)明并不局限于此，而是在實際應(yīng)用中，凡是設(shè)置了具有至少兩個手臂的機(jī)械手的設(shè)備/系統(tǒng)，就均可以采用本發(fā)明所提供的機(jī)械手調(diào)度方法/裝置，以科學(xué)地選擇手臂、快速移動手臂，從而實現(xiàn)快速的傳輸操作?？梢岳斫獾氖?，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。權(quán)利要求一種機(jī)械手調(diào)度方法，其特征在于，包括下述步驟手臂選擇步驟根據(jù)空閑手臂的數(shù)量、手臂當(dāng)前位點Cur_Stn、目標(biāo)位點M_Stn，選擇距離目標(biāo)位點最近的手臂；手臂移動步驟使所選擇的手臂旋轉(zhuǎn)至目標(biāo)位點，以便由該手臂在目標(biāo)位點處執(zhí)行傳輸操作。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手調(diào)度方法，其特征在于，所述手臂選擇步驟具體包括下述步驟10)判斷空閑的手臂數(shù)量，如果空閑手臂數(shù)等于2，則轉(zhuǎn)到步驟20);如果空閑手臂數(shù)等于l，則直接選擇該空閑的手臂，并結(jié)束手臂選擇步驟；如果無空閑手臂，則返回表示無空閑手臂的信息，并結(jié)束手臂選擇步驟；20)根據(jù)手臂當(dāng)前位點Cur_Stn、目標(biāo)位點M—Stn和位點總數(shù)N，確定哪一個手臂離目標(biāo)位點最近，并選定該手臂。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手調(diào)度方法，其特征在于，所述步驟20)具體包括計算手臂當(dāng)前位點CUr_Stn與目標(biāo)位點M_Stn的差值，并將該差值的絕對值賦值給變量a，艮卩，a=ICur_Stn_M_Stn|;計算手臂當(dāng)前位點Cur_Stn與目標(biāo)位點M_Stn的差值，將該差值與N/2求和后的絕對值賦值給變量b，S卩，b=ICur_Stn+N/2-M_Stn|;判斷是否a>N/2，如果是，則將a重新賦值為a=N_a;如果否，則保持a值不變；判斷是否b>N/2，如果是，則將b重新賦值為b=N-b;如果否，則保持b值不變；比較a和b，如果a<b，則確定第一手臂離目標(biāo)位點最近，并選擇該手臂；如果a>b，則確定第二手臂離目標(biāo)位點最近，并選擇該手臂。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手調(diào)度方法，其特征在于，當(dāng)位點總數(shù)N等于6時，所述步驟20)具體包括下述步驟判斷是否ICur_Stn-M_StnI<=l，或者|Cur_Stn_M_Stn|=5;如果滿足上述條件之一，則確定選擇第一手臂；如果上述兩個條件都不滿足，則確定選擇第二手臂。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手調(diào)度方法，其特征在于，在所述手臂移動步驟中還包括確定手臂旋轉(zhuǎn)方向的步驟即，根據(jù)目標(biāo)位點M_Stn和所選手臂的當(dāng)前位點Cur—Stn，確定所選手臂的旋轉(zhuǎn)方向，以使該手臂旋轉(zhuǎn)最小角度而到達(dá)目標(biāo)位點。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手調(diào)度方法，其特征在于，所述目標(biāo)位點對應(yīng)于目標(biāo)腔室模塊，所述位點總數(shù)對應(yīng)于腔室模塊總數(shù)。7.—種機(jī)械手調(diào)度裝置，其特征在于，包括手臂選擇單元和手臂移動單元，其中所述手臂選擇單元用于根據(jù)空閑手臂的數(shù)量、手臂當(dāng)前位點Cur—Stn、目標(biāo)位點M—Stn，選擇距離目標(biāo)位點最近的手臂；所述手臂移動單元用于使所選擇的手臂旋轉(zhuǎn)至目標(biāo)位點，以便由該手臂在目標(biāo)位點處執(zhí)行傳輸操作。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的機(jī)械手調(diào)度裝置，其特征在于，所述手臂選擇單元具體包括空閑手臂判斷模塊，其用于判斷空閑的手臂數(shù)量，如果空閑手臂數(shù)等于2，則啟動手臂選定模塊；如果空閑手臂數(shù)等于l，則直接選擇該空閑的手臂；如果無空閑手臂，則返回表示無空閑手臂的信息；手臂選定模塊，其用于根據(jù)手臂當(dāng)前位點CUr_Stn、目標(biāo)位點M—Stn和位點總數(shù)N，確定哪一個手臂離目標(biāo)位點最近，并選定該手臂。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的機(jī)械手調(diào)度裝置，其特征在于，所述手臂選定模塊具體包括下述子模塊計算子模塊，其用于計算手臂當(dāng)前位點CUr_Stn與目標(biāo)位點M_Stn的差值，并將該差值的絕對值賦值給變量a，S卩，a=ICur_Stn-M_Stn|;并且還用于計算手臂當(dāng)前位點Cur_Stn與目標(biāo)位點M_Stn的差值，將該差值與N/2求和后的絕對值賦值給變量b，S卩，b=ICur_Stn+N/2-M_StnI;比較子模塊，其執(zhí)行下述判斷內(nèi)容I)判斷是否a>N/2，如果是，則將a重新賦值為a=N_a;如果否，則保持a值不變；II)判斷是否b>N/2，如果是，則將b重新賦值為b=N-b;如果否，則保持b值不變。III)比較a和b，如果a<b，則確定第一手臂離目標(biāo)位點最近，并選擇該手臂；如果a>b，則確定第二手臂離目標(biāo)位點最近，并選擇該手臂。10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的機(jī)械手調(diào)度裝置，其特征在于，當(dāng)位點總數(shù)N等于6時，所述手臂選定模塊具體包括下述子模塊計算子模塊，其用于計算手臂當(dāng)前位點CUr_Stn與目標(biāo)位點M_Stn的差值；比較子模塊，其用于判斷是否ICur_Stn-M_StnI<=l，或者|Cur_Stn_M_Stn|=5;如果判斷結(jié)果之一為"是"，則確定選擇第一手臂；否則，確定選擇第二手臂。11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的機(jī)械手調(diào)度裝置，其特征在于，所述手臂移動單元根據(jù)目標(biāo)位點M_Stn和選定手臂當(dāng)前位點Cur—Stn，確定所選擇的手臂的旋轉(zhuǎn)方向，以使該手臂旋轉(zhuǎn)最小角度而到達(dá)目標(biāo)位點。12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的機(jī)械手調(diào)度裝置，其特征在于，所述目標(biāo)位點對應(yīng)于目標(biāo)腔室模塊，所述位點總數(shù)對應(yīng)于腔室模塊總數(shù)。13.—種等離子體處理設(shè)備，其特征在于，采用了如權(quán)利要求1-6中任意一項所述的機(jī)械手調(diào)度方法，以便根據(jù)需要選擇離目標(biāo)腔室最近的手臂執(zhí)行傳輸操作。14.一種等離子體處理設(shè)備，其特征在于，采用了如權(quán)利要求7-12中任意一項所述的機(jī)械手調(diào)度裝置，以便根據(jù)需要選擇離目標(biāo)腔室最近的手臂執(zhí)行傳輸操作。全文摘要本發(fā)明公開了一種機(jī)械手調(diào)度方法，包括下述步驟根據(jù)空閑手臂的數(shù)量、手臂當(dāng)前位點Cur_Stn、目標(biāo)位點M_Stn，選擇距離目標(biāo)位點最近的手臂；使所選擇的手臂旋轉(zhuǎn)至目標(biāo)位點，以便由該手臂在目標(biāo)位點處執(zhí)行傳輸操作。此外，本發(fā)明還公開一種機(jī)械手調(diào)度裝置，以及應(yīng)用上述機(jī)械手調(diào)度方法和/或裝置的等離子體處理設(shè)備。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)機(jī)械手的快速調(diào)度、快速執(zhí)行傳輸操作，進(jìn)而能夠縮短整個工藝所需時間、提高機(jī)臺產(chǎn)率。文檔編號B25J9/16GK101740441SQ20081022552公開日2010年6月16日申請日期2008年11月4日優(yōu)先權(quán)日2008年11月4日發(fā)明者馬寶林申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司