技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種升降旋轉(zhuǎn)裝置，包括驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置上連接有橫移裝置，所述橫移裝置上裝有升降裝置，所述升降裝置上連接有旋轉(zhuǎn)裝置；所述旋轉(zhuǎn)裝置包括帶動(dòng)中軸轉(zhuǎn)動(dòng)的擺臂，所述中軸上同步安裝有硅片吸附裝置；所述擺臂的端部與旋轉(zhuǎn)控制裝置滑動(dòng)和/或滾動(dòng)連接，用于使所述擺臂轉(zhuǎn)動(dòng)。該升降旋轉(zhuǎn)裝置，通過帶動(dòng)擺臂的動(dòng)作，實(shí)現(xiàn)了中軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)了中軸上端硅片吸附裝置上硅片的轉(zhuǎn)動(dòng)，通過中軸上同步安裝的硅片吸附裝置，實(shí)現(xiàn)了硅片的運(yùn)載與轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)為了更好的實(shí)現(xiàn)硅片旋轉(zhuǎn)功能，避免干涉，將旋轉(zhuǎn)裝置安裝在升降裝置上，為了帶動(dòng)硅片的輸送，而將升降裝置安裝在橫移裝置上，從而完成了在輸送過程中實(shí)現(xiàn)使硅片旋轉(zhuǎn)的功能。

技術(shù)研發(fā)人員：李文;韋孟銻;丁治祥;劉偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇奧特維自動(dòng)化科技有限公司
文檔號(hào)碼：201611047884
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.25
技術(shù)公布日：2017.02.22