1.一種升降旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，包括驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置上連接有橫移裝置，所述橫移裝置上裝有升降裝置，所述升降裝置上連接有旋轉(zhuǎn)裝置；
所述旋轉(zhuǎn)裝置包括帶動中軸轉(zhuǎn)動的擺臂，所述中軸上同步安裝有硅片吸附裝置；所述擺臂的端部與旋轉(zhuǎn)控制裝置滑動和/或滾動連接，用于使所述擺臂轉(zhuǎn)動。
2.如權(quán)利要求1所述的升降旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述升降裝置采用伺服控制或采用機(jī)械從動件控制。
3.如權(quán)利要求2所述的升降旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述升降裝置采用機(jī)械從動件控制，所述升降裝置包括安裝在所述橫移裝置上的導(dǎo)柱，所述導(dǎo)柱上滑動安裝有升降安裝板，所述升降安裝板一側(cè)固定安裝有升降滾輪，所述升降滾輪與升降導(dǎo)軌配合，所述升降導(dǎo)軌的前后具有高度差。
4.如權(quán)利要求3所述的升降旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述升降導(dǎo)軌可單獨(dú)升降或采用隨動升降的方式。
5.如權(quán)利要求4所述的升降旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括轉(zhuǎn)軸座，所述轉(zhuǎn)軸座上安裝有所述中軸，所述中軸上安裝有所述擺臂，所述擺臂端部安裝有旋轉(zhuǎn)導(dǎo)輪，所述旋轉(zhuǎn)導(dǎo)輪與所述旋轉(zhuǎn)控制裝置滾動連接，所述中軸上套裝有彈簧，所述彈簧一端連接在擺臂上，所述彈簧的另一端連接在所述轉(zhuǎn)軸座上。
6.如權(quán)利要求5所述的升降旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)控制裝置采用旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向板，所述旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向板上設(shè)有旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向面，所述旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向面包括第一導(dǎo)向面與第二導(dǎo)向面，所述第一導(dǎo)向面與所述第二導(dǎo)向面之間通過平滑的曲面連接。
7.如權(quán)利要求6所述的升降旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述升降導(dǎo)軌采用隨動升降的方式，所述升降導(dǎo)軌安裝在隨動升降滑動裝置上，所述隨動升降滑動裝置上安裝有限位滑動裝置，所述限位滑動裝置上可滑動的安裝有支撐輪，所述支撐輪用于支撐所述升降導(dǎo)軌，所述升降導(dǎo)軌與所述支撐輪接觸的面有高度差，所述升降安裝板上安裝有推桿。
8.如權(quán)利要求7所述的升降旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述支撐輪包括第一支撐輪與第二支撐輪，所述第一支撐輪與所述第二支撐輪分別設(shè)置在所述升降導(dǎo)軌下側(cè)的前部和后部，所述升降導(dǎo)軌下側(cè)的前部與后部分別設(shè)有帶高度差的導(dǎo)向面，所述第一支撐輪與所述第二支撐輪采用連接板固定連接。
9.如權(quán)利要求8所述的升降旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置包括電機(jī)帶動的絲杠。
10.如權(quán)利要求9所述的升降旋轉(zhuǎn)裝置，其特征在于，所述橫移裝置采用橫移滑塊滑軌副，所述絲杠上連接有橫移滑塊，所述橫移滑塊上安裝有橫移滑板，所述導(dǎo)柱安裝在所述橫移滑板上。