專利名稱：連續(xù)擴(kuò)散處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及連續(xù)擴(kuò)散處理裝置。
背景技術(shù)：
例如在利用晶體硅的太陽(yáng)能電池單元的制造中，進(jìn)行使雜質(zhì)(impurity)擴(kuò)散到硅制的被處理件(晶片)表面上的擴(kuò)散處理。作為進(jìn)行所述擴(kuò)散處理的擴(kuò)散處理裝置，例如有具備對(duì)被處理件進(jìn)行加熱的加熱爐的、所謂的批處理式裝置。加熱爐具有能夠容納放置多個(gè)被處理件的盤(pán)的尺寸。在所述加熱爐中放入被處理件后，把含有雜質(zhì)的氣體提供到該加熱爐內(nèi)，使加熱爐內(nèi)升溫，并使雜質(zhì)向被處理件的內(nèi)部擴(kuò)散。此后，使加熱爐內(nèi)降溫后，把被處理件從加熱爐中取出。在使用所述批處理式加熱爐的情況下，可以提高處理質(zhì)量，但是實(shí)際上在加熱爐內(nèi)進(jìn)行擴(kuò)散處理的時(shí)間的前后，需要被處理件的升降溫所需要的時(shí)間以及到升溫后的被處理件的溫度穩(wěn)定的等待時(shí)間等，實(shí)質(zhì)上是在一個(gè)處理爐中進(jìn)行爐內(nèi)溫度不同的多個(gè)處理。 因此不能對(duì)被處理件進(jìn)行連續(xù)處理，難以提高生產(chǎn)效率。此外，由于每批都要重復(fù)進(jìn)行升降溫，所以能量損耗也大。與此相對(duì)，如專利文獻(xiàn)1所公開(kāi)的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，它包括筒形的加熱爐；輸送器，排列被處理件并在加熱爐內(nèi)輸送被處理件；加熱裝置，對(duì)通過(guò)加熱爐內(nèi)的被處理件進(jìn)行加熱；以及供氣裝置，向加熱爐內(nèi)提供含有雜質(zhì)的氣體。所述輸送器具有陶瓷制的環(huán)形鏈條，該環(huán)形鏈條的去路通過(guò)加熱爐內(nèi)。利用該環(huán)形鏈條轉(zhuǎn)動(dòng)，放置有被處理件的輸送臺(tái)通過(guò)加熱爐內(nèi)，對(duì)所述被處理件連續(xù)地進(jìn)行擴(kuò)散處理。專利文獻(xiàn)1 日本專利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)平9498163號(hào)。按照專利文獻(xiàn)1所述的裝置，可以對(duì)被處理件連續(xù)地進(jìn)行處理，與批處理式相比
可以提高生產(chǎn)效率。但是，由于要在加熱爐內(nèi)設(shè)置輸送器，除了所述鏈條的設(shè)置空間以外，還需要引導(dǎo)該鏈條的軌道，因與被處理件尺寸無(wú)關(guān)的因素使加熱爐變大，并使裝置作為整體大型化。因此增加了加熱所需要消耗的能量。此外，由于所述輸送器具備的所述鏈條在爐內(nèi)運(yùn)行，存在會(huì)成為污染源的問(wèn)題，由此也存在被處理件的處理質(zhì)量降低的問(wèn)題。因此，在所述以往的裝置中，存在能量損耗大、并且不能兼顧處理質(zhì)量和生產(chǎn)效率的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，該連續(xù)擴(kuò)散處理裝置可以降低能量損耗，并且可以兼顧提高生產(chǎn)效率和提高處理質(zhì)量。
本發(fā)明提供一種連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，對(duì)板狀的被處理件進(jìn)行擴(kuò)散處理，所述連續(xù)擴(kuò)散處理裝置包括輸送臺(tái)，裝載并輸送多個(gè)所述被處理件；筒形的加熱爐，從送入所述輸送臺(tái)的送入口到送出所述輸送臺(tái)的送出口呈直線狀延伸，并且在內(nèi)部進(jìn)行擴(kuò)散處理；移動(dòng)裝置，通過(guò)把所述輸送臺(tái)一個(gè)一個(gè)地從所述送入口推入所述加熱爐內(nèi)來(lái)輸送所述輸送臺(tái)， 利用送入的所述輸送臺(tái)把以前送入到所述加熱爐內(nèi)的輸送臺(tái)推向所述送出口一側(cè)，使多個(gè)所述輸送臺(tái)呈列狀地在所述加熱爐內(nèi)移動(dòng)；以及多個(gè)第一隔壁構(gòu)件，設(shè)在所述加熱爐內(nèi)， 并且形成有所述輸送臺(tái)能通過(guò)的開(kāi)口，將從所述送入口到所述送出口之間劃分為多個(gè)處理區(qū)，該多個(gè)處理區(qū)的尺寸被設(shè)定成與所述輸送臺(tái)的沿移動(dòng)方向的長(zhǎng)度尺寸大體相同，所述移動(dòng)裝置通過(guò)把所述輸送臺(tái)一個(gè)一個(gè)地推入所述加熱爐內(nèi)，使呈列狀排列的各輸送臺(tái)以所述處理區(qū)為單位間歇移動(dòng)，所述輸送臺(tái)在輸送方向上的至少一端一側(cè)具備第二隔壁構(gòu)件， 該第二隔壁構(gòu)件在所述輸送臺(tái)在所述處理區(qū)靜止時(shí)封閉所述多個(gè)第一隔壁構(gòu)件的所述開(kāi)口，并把相鄰的處理區(qū)之間隔開(kāi)。按照本發(fā)明，由于通過(guò)利用第一隔壁構(gòu)件來(lái)劃分加熱爐內(nèi)來(lái)設(shè)定不同的處理?xiàng)l件的處理區(qū)，以該處理區(qū)為單位，使裝載在呈列狀排列的各輸送臺(tái)上的被處理件間歇移動(dòng)，所以可以同時(shí)且連續(xù)地在各處理區(qū)中進(jìn)行處理，從而可以提高生產(chǎn)效率。此外，由于輸送臺(tái)至少在輸送方向的一端一側(cè)具備第二隔壁構(gòu)件，該第二隔壁構(gòu)件在輸送臺(tái)在任一個(gè)處理區(qū)靜止時(shí)，封閉第一隔壁構(gòu)件的開(kāi)口，把相鄰的處理區(qū)之間隔開(kāi)， 所以即使在每個(gè)處理區(qū)進(jìn)行不同處理?xiàng)l件的處理，也可以恰當(dāng)?shù)匕迅魈幚韰^(qū)隔開(kāi)。其結(jié)果， 可以保持各處理區(qū)的爐內(nèi)氣氛，可以獲得高質(zhì)量的被處理件。此外，在本發(fā)明中，由于通過(guò)把輸送臺(tái)一個(gè)一個(gè)地從送入口推入加熱爐內(nèi)來(lái)輸送輸送臺(tái)，并使加熱爐內(nèi)的輸送臺(tái)移動(dòng)，所以不需要如所述以往例子那樣使輸送器這樣的機(jī)械上的要素部件在爐內(nèi)運(yùn)行，可以抑制裝置的大型化，并可以抑制加熱所需要的能量消耗， 同時(shí)可以抑制產(chǎn)生成為質(zhì)量降低的原因的污染。如上所述，按照本發(fā)明，可以通過(guò)抑制裝置的大型化，降低能量損耗，并且可以兼顧提高生產(chǎn)效率和提高處理質(zhì)量。此外，優(yōu)選的是所述第二隔壁構(gòu)件設(shè)在所述輸送臺(tái)的兩端，在該情況下，可以更恰當(dāng)?shù)匕迅魈幚韰^(qū)隔開(kāi)，從而可以保持各處理區(qū)的爐內(nèi)氣氛。此外，在所述的情況下，優(yōu)選的是在所述輸送臺(tái)上設(shè)置有間隔件，該間隔件設(shè)置在該輸送臺(tái)自身的第二隔壁構(gòu)件和與該輸送臺(tái)相鄰的另一個(gè)輸送臺(tái)的第二隔壁構(gòu)件之間， 用于設(shè)置規(guī)定間隙，所述連續(xù)擴(kuò)散處理裝置還包括排氣部件，該排氣部件設(shè)置在相鄰的處理區(qū)之間，對(duì)所述規(guī)定間隙內(nèi)進(jìn)行排氣。在該情況下，在相鄰的處理區(qū)之間除了設(shè)置第一隔壁構(gòu)件和第二隔壁構(gòu)件以外， 可以設(shè)置規(guī)定間隙。此外，通過(guò)利用排氣部件對(duì)規(guī)定間隙內(nèi)排氣，可以抑制處理區(qū)的爐內(nèi)氣氛對(duì)相鄰的其它處理區(qū)造成影響。此外，優(yōu)選的是在所述連續(xù)擴(kuò)散處理裝置中，還包括供給部件，該供給部件設(shè)置在相鄰的處理區(qū)之間，向所述規(guī)定間隙提供吹掃用氣體(purge gas)。在該情況下，可以更有效地抑制處理區(qū)的爐內(nèi)氣氛對(duì)相鄰的其它處理區(qū)造成影響。按照本發(fā)明的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，可以降低能量損耗，并且可以兼顧提高生產(chǎn)效率和提高處理質(zhì)量。


圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置的整體圖。圖2是加熱爐的剖視圖。圖3是表示加熱爐底部的局部剖視圖。圖4是第一隔壁構(gòu)件和蓋的立體圖。圖5是把第一處理區(qū)和第二處理區(qū)的邊界部分放大后的局部剖視圖。圖6是沿圖5中的VI-VI線箭頭方向看的剖視圖。圖7是把本發(fā)明其它實(shí)施方式的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置的第一處理區(qū)和第二處理區(qū)的邊界部分放大后的局部剖視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1 加熱爐；2 輸送裝置(移動(dòng)裝置)；7 第一隔壁構(gòu)件；7c 開(kāi)口 ；11 送入部；12 送出部；4 供給管(供給部件)；45f 排氣口(排氣部件)；50 輸送臺(tái)；54 第二隔壁構(gòu)件；55 間隔件(spacer) ；Al 第一處理區(qū)；A2 第二處理區(qū)；A3 第三處理區(qū)；W 被處理件。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置的整體圖。所述連續(xù)擴(kuò)散處理裝置用于對(duì)被處理件進(jìn)行擴(kuò)散處理。例如，所述連續(xù)擴(kuò)散處理裝置用于在利用晶體硅的太陽(yáng)能電池單元的制造中，使由規(guī)定的元素構(gòu)成的雜質(zhì)附著在硅制的晶片(被處理件)表面，并使所述雜質(zhì)向所述晶片的內(nèi)部擴(kuò)散。連續(xù)擴(kuò)散處理裝置包括輸送臺(tái)50，放置多個(gè)板狀的被處理件W ；筒形的加熱爐1 ； 輸送裝置2，輸送多個(gè)輸送臺(tái)50 ；以及控制裝置(圖中沒(méi)有表示)，控制輸送裝置2等各部分。加熱爐1的長(zhǎng)邊方向(在圖1中為左右方向)與輸送臺(tái)50被輸送的方向一致，把該方向稱為前后方向。此外，也把與輸送臺(tái)50被輸送的方向垂直的水平方向稱為左右方向。輸送臺(tái)50包括主體部51，以使多個(gè)板狀的被處理件W等間隔垂直立起的狀態(tài)裝載所述多個(gè)板狀的被處理件W ；車(chē)輪部52，安裝在主體部51上，能在加熱爐1的底面上滾動(dòng)；以及板狀的第二隔壁構(gòu)件M，設(shè)在輸送臺(tái)50的前后方向兩端。主體部51以使被處理件W與前后方向垂直的姿態(tài)裝載被處理件W。主體部51是由多個(gè)圓柱形棒構(gòu)件組裝成的長(zhǎng)方體形的框體。此外，構(gòu)成輸送臺(tái)50的主體部51、車(chē)輪部 52和第二隔壁構(gòu)件M以及其它的部件都是用石英玻璃或陶瓷制成的。圖2是加熱爐1的剖視圖。也參照?qǐng)D1，加熱爐1在前后方向上長(zhǎng)，從送入輸送臺(tái) 50的送入口 11到送出輸送臺(tái)50的送出口 12之間呈直線狀延伸。加熱爐1包括圓筒形的爐心管5，由石英玻璃或陶瓷構(gòu)成；以及加熱裝置3，具有對(duì)爐心管5的內(nèi)部進(jìn)行加熱的加熱器30。加熱爐1設(shè)置在連續(xù)擴(kuò)散處理裝置具有的臺(tái)6 (參照?qǐng)D1)上。爐心管5的一端為送入口 11，另一端為送出口 12，多個(gè)輸送臺(tái)50被送入爐心管5 的內(nèi)部。此外，爐心管5從送入口 11到送出口 12形成為一個(gè)整體，可以防止?fàn)t內(nèi)的氣體泄漏。在爐心管5的兩端設(shè)置有閘門(mén)5a，閘門(mén)fe用于分別打開(kāi)或關(guān)閉送入口 11和送出口 12，可以沿上下方向滑動(dòng)。在爐內(nèi)對(duì)被處理件W進(jìn)行處理期間，閘門(mén)fe關(guān)閉并密封送入口 11、 送出口 12，另一方面，在向爐內(nèi)送入輸送臺(tái)50或從爐內(nèi)送出輸送臺(tái)50時(shí)閘門(mén)如打開(kāi)送入口 11、送出口 12。此外，代替閘門(mén)5a，也可以利用由吹掃用氣體形成的氣幕來(lái)隔斷加熱爐1 的內(nèi)外。加熱裝置3包括多個(gè)加熱器30，設(shè)置在加熱爐1的外周，并沿前后方向排列；筒形的絕熱件31，與各加熱器30—起從外周一側(cè)覆蓋加熱爐1。加熱裝置3對(duì)爐心管5內(nèi)進(jìn)行加熱，把裝載在通過(guò)加熱爐1內(nèi)的輸送臺(tái)50上的被處理件加熱。在后面要進(jìn)行說(shuō)明，加熱爐1內(nèi)劃分為三個(gè)處理區(qū)(第一處理區(qū)Al 第三處理區(qū) A3)，在三個(gè)處理區(qū)內(nèi)的第一處理區(qū)Al和第二處理區(qū)A2的外周一側(cè)，分別設(shè)置有加熱器30。 加熱器30例如是筒形的加熱器。絕熱件31被設(shè)置在設(shè)有加熱器30的第一處理區(qū)Al、第二處理區(qū)A2的外周一側(cè)。在圖2中，在加熱爐1 (的爐心管5)內(nèi)，在前后方向上排列設(shè)置有多個(gè)第一隔壁構(gòu)件7。第一隔壁構(gòu)件7從送入口 11到送出口 12之間，把加熱爐1內(nèi)在前后方向上劃分成如上所述的多個(gè)處理區(qū)。各處理區(qū)在前后方向上的長(zhǎng)度尺寸被設(shè)定成與輸送臺(tái)50的沿前后方向(移動(dòng)方向)的長(zhǎng)度尺寸大體相同。在本實(shí)施方式中，利用兩個(gè)第一隔壁構(gòu)件7把加熱爐1內(nèi)劃分成三個(gè)處理區(qū)Al、 A2、A3。因此，在加熱爐1內(nèi)分別與各處理區(qū)Al A3對(duì)應(yīng)以列狀配置輸送臺(tái)50。第一處理區(qū)Al用于進(jìn)行使被處理件W升溫到規(guī)定的預(yù)熱溫度的預(yù)熱處理。在第一處理區(qū)Al中，向爐內(nèi)提供氮?dú)?，用于防止氧化，利用加熱?0把爐內(nèi)溫度保持在固定的所述預(yù)熱溫度(例如約800°C )。第二處理區(qū)A2用于對(duì)被處理件W進(jìn)行擴(kuò)散處理。在第二處理區(qū)A2中，利用設(shè)在其外周一側(cè)的加熱器30，使?fàn)t內(nèi)溫度例如保持在850 900°C。在第二處理區(qū)A2中，向爐內(nèi)提供用于進(jìn)行擴(kuò)散處理的處理氣體(例如POCl3),通過(guò)使雜質(zhì)(P)向被處理件W表面擴(kuò)散，進(jìn)行擴(kuò)散處理。第三處理區(qū)A3用于使完成了擴(kuò)散處理的被處理件W降溫到規(guī)定溫度的降溫處理。 在第三處理區(qū)A3中，向爐內(nèi)提供氮?dú)狻Ｔ诘谌幚韰^(qū)A3的外周不設(shè)置加熱器，利用爐冷使完成了處理的被處理件W降溫。此外，在需要使被處理件W比爐冷更緩慢的降溫的情況下， 也可以在第三處理區(qū)A3的外周一側(cè)配置加熱器，用于使?fàn)t內(nèi)溫度保持在一定的低溫。在各處理區(qū)Al A3中進(jìn)行的各處理(預(yù)熱處理、擴(kuò)散處理和降溫處理)以對(duì)被處理件W進(jìn)行的處理工序的順序沿輸送方向布置。連續(xù)擴(kuò)散處理裝置還包括給排氣裝置4，該給排氣裝置4向加熱爐1內(nèi)提供所述的處理氣體及氮?dú)猓⑶遗懦鏊黾訜釥t1內(nèi)的氣體。給排氣裝置4包括供氣裝置41，向加熱爐1內(nèi)提供氣體；以及排氣裝置42，把加熱爐1內(nèi)的氣體排出到該加熱爐1的外部。在圖2中，供氣裝置41包括流量調(diào)節(jié)器43，對(duì)從圖中沒(méi)有表示的氣體源提供的規(guī)定的氣體的流量進(jìn)行調(diào)節(jié)；以及多個(gè)供給管44，與所述流量調(diào)節(jié)器43連接，向加熱爐1 內(nèi)延伸。在本實(shí)施方式中，流量調(diào)節(jié)器43分別設(shè)置在送入口 11 一側(cè)和送出口 12—側(cè)。供給管44配置成從流量調(diào)節(jié)器43向加熱爐1內(nèi)的內(nèi)周上側(cè)延伸并且在加熱爐1內(nèi)的內(nèi)周上側(cè)沿前后方向延伸。
在各供給管44上設(shè)置有多個(gè)噴出口(孔)，該多個(gè)噴出口用于噴出從氣體源提供的氣體。各供給管44分別與各處理區(qū)Al A3對(duì)應(yīng)配置，并在各自對(duì)應(yīng)的處理區(qū)范圍的位置形成有噴出口。從氣體源向各供給管44提供分別與各處理區(qū)Al A3對(duì)應(yīng)設(shè)定的氣體。 因此，供氣裝置41可以向在前后方向上存在的多個(gè)處理區(qū)中的每一個(gè)提供不同的氣體。此外，流量調(diào)節(jié)器43可以按照各處理區(qū)的每一個(gè)調(diào)節(jié)向各處理區(qū)Al A3提供的氣體的流量。因此，如上所述，可以把氮?dú)庹{(diào)節(jié)到規(guī)定的流量后提供給第一處理區(qū)Al、第三處理區(qū)A3，并且可以把用于進(jìn)行擴(kuò)散處理的處理氣體調(diào)節(jié)到規(guī)定的流量后提供給第二處理區(qū) A2。排氣裝置42包括流量調(diào)節(jié)器47，與用于排出爐內(nèi)氣體的圖中沒(méi)有表示的排出器 (泵)連接，用于調(diào)節(jié)排出流量；以及排出管48，與流量調(diào)節(jié)器47連接，并向加熱爐1內(nèi)延伸。在本實(shí)施方式中，流量調(diào)節(jié)器47分別設(shè)在送入口 11 一側(cè)和送出口 12—側(cè)。排出管48 設(shè)置成從流量調(diào)節(jié)器47向加熱爐1的內(nèi)周底部延伸并且在加熱爐1的內(nèi)周底部沿前后方向延伸。圖3是表示加熱爐1的底部的局部剖視圖。在各排出管48上分別設(shè)置有多個(gè)吸引口(孔)48a，該多個(gè)吸引口 48a用于吸引爐內(nèi)氣體。各排出管48分別與各處理區(qū)Al A3對(duì)應(yīng)配置，在各自對(duì)應(yīng)的處理區(qū)范圍的位置形成有吸引口。因此可以按照每個(gè)處理區(qū)單獨(dú)地把氣體排出到爐外。在加熱爐1的底部設(shè)置有排氣結(jié)構(gòu)部45，該排氣結(jié)構(gòu)部45用于容納排氣管48。排氣結(jié)構(gòu)部45具有前后方向長(zhǎng)的左右的側(cè)壁45b以及前后方向長(zhǎng)的上壁45a，由容納多個(gè)排出管48的箱體構(gòu)成。在上壁4 上形成有多個(gè)貫通孔45c。排氣結(jié)構(gòu)部45的內(nèi)部按照各處理區(qū)被隔開(kāi)，各處理區(qū)的氣體通過(guò)對(duì)應(yīng)的貫通孔45c和所述吸引口 48a，排出到加熱爐1 的外部。此外，排氣結(jié)構(gòu)部45除了具有把加熱爐內(nèi)1的氣體排出到外部的功能以外，還具有引導(dǎo)輸送臺(tái)50的功能。如圖2所示，排氣結(jié)構(gòu)部45在加熱爐1內(nèi)沿前后方向呈直線地連續(xù)配置。此外， 所述排氣結(jié)構(gòu)部45也向加熱爐1外(參照?qǐng)D1)的送入口 11的外部和送出口 12的外部延伸。這樣，排氣結(jié)構(gòu)部45沿輸送臺(tái)50的輸送方向呈直線地配置，可以把由輸送裝置2輸送的多個(gè)輸送臺(tái)50沿前后方向從送入口 11導(dǎo)向送出口 12。下面對(duì)所述引導(dǎo)功能進(jìn)行具體說(shuō)明。如圖3所示，排氣結(jié)構(gòu)部45除了左右的側(cè)壁 45b、上壁4 以外，還具有在前后方向上長(zhǎng)的底板45d。在底板45d的左右兩側(cè)形成有行走面45e，該行走面4 從側(cè)壁45b向左右兩側(cè)延伸并且在前后方向上連續(xù)。輸送臺(tái)50的左右的車(chē)輪部52在所述行走面4 上滾動(dòng)，輸送臺(tái)50處于跨越左右的側(cè)壁4 和上壁4 的狀態(tài)。此外，輸送臺(tái)50具有與側(cè)壁4 滑動(dòng)接觸的導(dǎo)向部件53，利用該導(dǎo)向部件53沿排氣結(jié)構(gòu)部45直線地引導(dǎo)輸送臺(tái)50。如上所述，可以把具有排出氣體功能的排氣結(jié)構(gòu)部45兼做為沿前后方向引導(dǎo)輸送臺(tái)50的導(dǎo)向件使用。返回到圖1，輸送裝置2具有把輸送臺(tái)50 —個(gè)一個(gè)地從送入口 11順序送入到加熱爐1的爐心管5內(nèi)，并且使送入的輸送臺(tái)50在加熱爐1內(nèi)移動(dòng)，再?gòu)乃统隹?12把輸送臺(tái) 50順序送出的功能。輸送裝置2包括推動(dòng)器22，把輸送臺(tái)50 —個(gè)一個(gè)地從送入口 11推入爐心管5 內(nèi)；以及驅(qū)動(dòng)裝置23，使所述推動(dòng)器22在前后方向上往復(fù)移動(dòng)。推動(dòng)器22和驅(qū)動(dòng)裝置23 配置在臺(tái)6上，它們?cè)O(shè)置在加熱爐1的送入口 11的外側(cè)。推動(dòng)器22通過(guò)把配置在送入口 11后方的輸送臺(tái)50推入到輸送臺(tái)50的后端位于送入口 11的邊緣部位，一個(gè)一個(gè)地把輸送臺(tái)50送入爐心管5內(nèi)。如果推動(dòng)器22通過(guò)推入一個(gè)輸送臺(tái)50把輸送臺(tái)50送入爐心管5內(nèi)，則利用送入后的輸送臺(tái)50把以前送入爐心管5內(nèi)的輸送臺(tái)50推向送出口 12—側(cè)。通過(guò)反復(fù)這樣做， 可以使多個(gè)輸送臺(tái)50排成列狀在爐心管5內(nèi)移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)裝置23利用所述控制裝置的控制，利用推動(dòng)器22把輸送臺(tái)50 —個(gè)一個(gè)地推入加熱爐1內(nèi)。驅(qū)動(dòng)裝置23被控制成推入一個(gè)輸送臺(tái)50后，隔開(kāi)規(guī)定時(shí)間間隔后，推入下一個(gè)輸送臺(tái)50。因此，輸送臺(tái)50利用推動(dòng)器22僅移動(dòng)自身長(zhǎng)度的尺寸，其后在經(jīng)過(guò)所述規(guī)定時(shí)間之前的期間靜止。其中，如上所述，由于加熱爐1內(nèi)各處理區(qū)Al A3在前后方向上的長(zhǎng)度尺寸被設(shè)定成與輸送臺(tái)50的沿前后方向的長(zhǎng)度尺寸大體相同，所以被送入后的輸送臺(tái)50由于利用推動(dòng)器22僅移動(dòng)自身長(zhǎng)度的尺寸，所以移動(dòng)大體與第一處理區(qū)Al的長(zhǎng)度相當(dāng)?shù)木嚯x后停止，在經(jīng)過(guò)所述規(guī)定時(shí)間之前的期間，在第一處理區(qū)Al內(nèi)靜止。在經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間后，通過(guò)把下一個(gè)輸送臺(tái)50送入爐心管5內(nèi)，在第一處理區(qū)Al中靜止的輸送臺(tái)50移動(dòng)到第二處理區(qū) A2后停止，在經(jīng)過(guò)所述規(guī)定時(shí)間之前的期間，在第二處理區(qū)A2內(nèi)靜止。通過(guò)反復(fù)這樣做，排成列狀的各輸送臺(tái)50在各處理區(qū)Al A3中分別按照順序在規(guī)定時(shí)間的期間靜止，然后被從送出口 12送出。這樣，輸送裝置2通過(guò)把輸送臺(tái)50 —個(gè)一個(gè)地推入加熱爐1內(nèi)，使輸送臺(tái)50以各處理區(qū)Al A3為單位間歇移動(dòng)。所述規(guī)定時(shí)間被設(shè)定成與在各處理區(qū)Al A3中的處理時(shí)間相當(dāng)。由此，裝載在排成列狀的各輸送臺(tái)50上的被處理件W，在各處理區(qū)Al A3中分別靜止規(guī)定時(shí)間的期間， 各處理區(qū)Al A3的各自的處理同時(shí)進(jìn)行。此后，被處理件W利用輸送裝置2移動(dòng)到鄰接的下一個(gè)處理區(qū)，在該鄰接的處理區(qū)中進(jìn)行下一個(gè)處理。所述控制裝置包括具有處理裝置(CPU)和存儲(chǔ)裝置的計(jì)算機(jī)，通過(guò)所述處理裝置執(zhí)行存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中的計(jì)算機(jī)程序，對(duì)輸送裝置2 (驅(qū)動(dòng)裝置2 、加熱裝置3 (加熱器 30)等各裝置進(jìn)行控制。例如，加熱裝置3具有檢測(cè)第一處理區(qū)Al、第二處理區(qū)A2各自的爐內(nèi)溫度的溫度傳感器，控制裝置根據(jù)所述溫度傳感器的檢測(cè)結(jié)果，控制各加熱器30，獨(dú)立地調(diào)節(jié)各處理區(qū)的爐內(nèi)溫度。此外，控制裝置控制輸送裝置2，使得輸送臺(tái)50在各處理區(qū)Al A3中的靜止時(shí)間與處理時(shí)間一致。此外，給排氣裝置4具有檢測(cè)各處理區(qū)Al A3各自的爐內(nèi)壓力的壓力傳感器，控制裝置根據(jù)該壓力傳感器的檢測(cè)結(jié)果，控制流量調(diào)節(jié)器43、47，可以調(diào)節(jié)向爐內(nèi)提供的氣體的流量及從爐內(nèi)排出的氣體的流量的一方或雙方。由此，可以對(duì)各處理區(qū)按照每一個(gè)把各處理區(qū)調(diào)節(jié)成適合在各處理區(qū)中的處理的爐內(nèi)氣氛。這樣，控制裝置可以按照每個(gè)處理區(qū)控制加熱爐1中的各處理區(qū)Al A3的處理溫度、氣氛(氣體流量)及處理時(shí)間等處理?xiàng)l件。圖4是第一隔壁構(gòu)件7和蓋(cover) 13的立體圖。第一隔壁構(gòu)件7具有板狀的壁部7a以及左右的腳部7b，該腳部7b固定在所述壁部7a的下部并使該壁部7a立起。在壁部7a上形成有容許放置有被處理件W的輸送臺(tái)50通過(guò)的開(kāi)口 7c。此外，在壁部7a上形成有多個(gè)貫通孔7d,除了可以穿過(guò)供給管44以外，還可以穿過(guò)溫度傳感器的電纜(容納管)、 壓力傳感器的電纜(容納管)以及用于對(duì)各處理區(qū)的氣體取樣的管等。由于供氣裝置41的供給管44配置在加熱爐1的上部，排氣裝置42的排出管48 配置在加熱爐1的下部，所以氣體在加熱爐1內(nèi)從上部向下部邊蔓延邊流動(dòng)。因此，在用于進(jìn)行擴(kuò)散處理的第二處理區(qū)A2中，設(shè)置有蓋13，該蓋13從上側(cè)和左右兩側(cè)覆蓋輸送臺(tái)50的通道(圖2和圖4)。在圖4中，蓋13設(shè)置在前后方向相鄰的第一隔壁構(gòu)件7之間。在蓋13的上部和左右兩側(cè)部形成有多個(gè)貫通孔15，從供給管44噴出的處理氣體經(jīng)過(guò)該貫通孔15從排出管 48排出。通過(guò)把所述蓋13設(shè)在第二處理區(qū)A2，經(jīng)過(guò)貫通孔15的處理氣體被整流，可以防止氣流紊亂，可以使放置在輸送臺(tái)50上的被處理件W周?chē)臍怏w濃度(氣氛)均勻。因此， 可以使擴(kuò)散處理后的多個(gè)被處理件W的質(zhì)量更均勻。下面對(duì)加熱爐1內(nèi)相鄰的處理區(qū)之間的邊界部分進(jìn)行說(shuō)明。圖5是把第一處理區(qū) Al和第二處理區(qū)A2的邊界部分放大后的局部剖視圖，圖6是沿圖5中的VI-VI線箭頭方向看的剖視圖。圖5表示各輸送臺(tái)50利用輸送裝置2移動(dòng)后，在各處理區(qū)Al A3中靜止的狀態(tài)。如上所述，在輸送臺(tái)50的前后方向兩端設(shè)置有板狀的第二隔壁構(gòu)件54。如圖6所示，第二隔壁構(gòu)件M在從前后方向的正面看時(shí)的形狀為與第一隔壁構(gòu)件7的開(kāi)口 7c之間稍留有間隙，并且是沿著所述開(kāi)口 7c的形狀。因此，第二隔壁構(gòu)件M能夠以可以通過(guò)開(kāi)口 7c的方式封閉開(kāi)口 7c。S卩，在輸送臺(tái)50在各處理區(qū)Al A3中靜止時(shí)，第二隔壁構(gòu)件M 可以封閉第一隔壁構(gòu)件7的開(kāi)口 7c，從而可以把鄰接的處理區(qū)之間隔開(kāi)。由此，即使在每個(gè)處理區(qū)進(jìn)行不同處理?xiàng)l件的處理，也可以恰當(dāng)?shù)匕迅魈幚韰^(qū)分隔開(kāi)。其結(jié)果，可以保持各處理區(qū)的爐內(nèi)氣氛，可以得到高質(zhì)量的被處理件。輸送臺(tái)50的第二隔壁構(gòu)件M例如只要設(shè)置在輸送臺(tái)50的前后方向(輸送方向) 的任一端的一側(cè)，就可以封閉第一隔壁構(gòu)件7的開(kāi)口 7c并隔開(kāi)處理區(qū)，但如本實(shí)施方式所述，如果在輸送臺(tái)50的前后兩端側(cè)設(shè)置第二隔壁構(gòu)件M，則如后面敘述的那樣，可以在相鄰的第二隔壁構(gòu)件M之間設(shè)置間隙，可以更恰當(dāng)?shù)匕迅魈幚韰^(qū)隔開(kāi)。在輸送臺(tái)50前方一側(cè)設(shè)置的第二隔壁構(gòu)件討上，設(shè)置有向前方伸出的間隔件55。該間隔件55抵接在排在前方的輸送臺(tái)50的第二隔壁構(gòu)件M上。因此，在利用推動(dòng)器22把新的輸送臺(tái)50從送入口 11推入加熱爐1內(nèi)時(shí)，加熱爐1內(nèi)的各輸送臺(tái)50成列移動(dòng)。通過(guò)使間隔件55夾在相鄰的輸送臺(tái)50各自的第二隔壁構(gòu)件M之間，在所述兩個(gè)第二隔壁構(gòu)件M之間設(shè)置規(guī)定間隔的間隙56。由此，除了兩個(gè)第二隔壁構(gòu)件M介于相鄰的處理區(qū)之間以外，間隙56也介于相鄰的處理區(qū)之間，所以可以更恰當(dāng)?shù)匕迅魈幚韰^(qū)隔開(kāi)。此外，設(shè)定輸送臺(tái)50和間隔件55在前后方向上的長(zhǎng)度尺寸，使得在加熱爐1內(nèi)的各輸送臺(tái)50靜止時(shí)，間隙56與第一隔壁構(gòu)件7的位置大體一致。此外，如圖6所示，在排氣結(jié)構(gòu)部45的上壁4 上，在與第二隔壁構(gòu)件M的位置對(duì)應(yīng)的位置上，形成有用于對(duì)間隙56內(nèi)排氣的排氣口 45f (排氣部件)。所述排氣口 45f也與用于排出各處理區(qū)Al A3中的氣體而設(shè)置的貫通孔45c相同，通過(guò)排出管48，禾Ij用所述排出器吸引間隙56內(nèi)的氣體，并向加熱爐1的外部排出。此外，可以利用流量調(diào)節(jié)器47與各處理區(qū)Al A3獨(dú)立地調(diào)節(jié)排氣的流量。排氣口 45f比貫通孔45c大，以比流經(jīng)貫通孔45c的更大的流量吸引氣體。此夕卜， 通過(guò)控制裝置把排氣口 45f中的排氣流量控制成比各處理區(qū)Al A3的排氣流量大。因此， 排氣口 45f可以排出比其它貫通孔45c更多的氣體。因此，在有可能從相鄰的兩個(gè)處理區(qū)流入不同氣體的間隙56中，相對(duì)于各處理區(qū)的壓力成為負(fù)壓，從而可以抑制處理區(qū)的爐內(nèi)氣體泄漏到相鄰的其它處理區(qū)內(nèi)。其結(jié)果，可以抑制處理區(qū)中的爐內(nèi)氣氛對(duì)相鄰的其它處理區(qū)造成影響。按照所述結(jié)構(gòu)的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，由于以通過(guò)用第一隔壁構(gòu)件7對(duì)加熱爐1內(nèi)進(jìn)行劃分而設(shè)定為不同的處理?xiàng)l件的處理區(qū)為單位，使裝在排成列的各輸送臺(tái)50上的被處理件W間歇移動(dòng)，所以可以在各處理區(qū)Al A3中同時(shí)并且連續(xù)地進(jìn)行處理，可以提高生
產(chǎn)效率。此外，由于輸送臺(tái)50具有第二隔壁構(gòu)件54，當(dāng)輸送臺(tái)50在任一個(gè)處理區(qū)中靜止時(shí)，該第二隔壁構(gòu)件M封閉第一隔壁構(gòu)件7的開(kāi)口 7c，從而把相鄰的處理區(qū)之間隔開(kāi)，所以即使在每個(gè)處理區(qū)中進(jìn)行不同處理?xiàng)l件的處理，也可以恰當(dāng)?shù)匕迅魈幚韰^(qū)隔離開(kāi)，從而可以得到高質(zhì)量的被處理件。此外，在本發(fā)明中，由于通過(guò)把輸送臺(tái)50—個(gè)一個(gè)地從送入口 11推入加熱爐1 內(nèi)，使送入的加熱爐1內(nèi)的輸送臺(tái)50移動(dòng)，所以無(wú)需如上所述的以往例子那樣使輸送器這樣的機(jī)械上的要素部件在爐內(nèi)運(yùn)行，可以抑制裝置的大型化，并可以抑制加熱所需要的能量消耗，同時(shí)可以抑制產(chǎn)生成為質(zhì)量降低的原因的污染。此外，在以往的批處理式擴(kuò)散處理裝置中，在擴(kuò)散處理前后必須升溫和降溫，能量損耗大，而按照本實(shí)施方式的擴(kuò)散處理裝置，由于可以按照每個(gè)處理區(qū)將爐內(nèi)溫度保持為一定的溫度，所以可以有助于進(jìn)一步節(jié)省能量。如上所述，按照本實(shí)施方式的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，通過(guò)抑制裝置的大型化可以降低能量損耗，并且可以兼顧提高生產(chǎn)效率和提高處理質(zhì)量。圖7是把本發(fā)明其它實(shí)施方式的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置的、第一處理區(qū)Al和第二處理區(qū)A2的邊界部分放大后的局部剖視圖。所述實(shí)施方式與本實(shí)施方式的不同點(diǎn)是本實(shí)施方式在相鄰的處理區(qū)之間分別設(shè)置有兩個(gè)第一隔壁構(gòu)件7 ；以及通過(guò)供給管向間隙56提供吹掃用氣體。在加熱爐1內(nèi)的各輸送臺(tái)50靜止時(shí)，兩個(gè)第一隔壁構(gòu)件7設(shè)置在與因相鄰而形成間隙56的兩個(gè)第二隔壁構(gòu)件M的位置大體一致的位置。即，兩個(gè)第一隔壁構(gòu)件7設(shè)置在與對(duì)應(yīng)的第二隔壁構(gòu)件M在前后方向上大體一致的位置上，與第二隔壁構(gòu)件M —起形成間隙56。此外，如圖7所示，在本實(shí)施方式中，把配置在爐心管5內(nèi)周上側(cè)的多個(gè)供給管44 中的任一個(gè)設(shè)為用于向間隙56提供吹掃用氣體的供給管44a(供給部件)。從供給管44a以規(guī)定的流量提供作為吹掃用氣體的氮?dú)?。利用排氣?45f將提供的吹掃用氣體排到爐外，所述排氣口 45f用于對(duì)設(shè)在爐心管5內(nèi)周下側(cè)的間隙56內(nèi)排氣。由此，在間隙56內(nèi)形成氣幕，可以更有效地抑制處理區(qū)中的爐內(nèi)氣體泄漏到相鄰的其它處理區(qū)內(nèi)。本發(fā)明的擴(kuò)散處理裝置不限于圖中所示的方式，在本發(fā)明的范圍內(nèi)也可以是其它方式。對(duì)把加熱爐1的斷面作為圓形的方式進(jìn)行了說(shuō)明，但加熱爐1的斷面除了圓形以外也可以是矩形。此外如圖7所示，在加熱爐1的斷面是圓形的情況下，在矩形的被處理件W 與加熱爐1的內(nèi)周面之間的死空間(dead space)中，可以配置引導(dǎo)車(chē)輪部52和輸送臺(tái)50 的排氣結(jié)構(gòu)部45，可以有效地利用加熱爐1內(nèi)的空間。
權(quán)利要求
1.一種連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，其特征在于，對(duì)板狀的被處理件進(jìn)行擴(kuò)散處理，所述連續(xù)擴(kuò)散處理裝置包括輸送臺(tái)，裝載并輸送多個(gè)所述被處理件；筒形的加熱爐，從送入所述輸送臺(tái)的送入口到送出所述輸送臺(tái)的送出口呈直線狀延伸，并且在內(nèi)部進(jìn)行擴(kuò)散處理；移動(dòng)裝置，通過(guò)把所述輸送臺(tái)一個(gè)一個(gè)地從所述送入口推入所述加熱爐內(nèi)來(lái)輸送所述輸送臺(tái)，利用送入的所述輸送臺(tái)把以前送入到所述加熱爐內(nèi)的輸送臺(tái)推向所述送出口一側(cè)，使多個(gè)所述輸送臺(tái)呈列狀地在所述加熱爐內(nèi)移動(dòng)；以及多個(gè)第一隔壁構(gòu)件，設(shè)在所述加熱爐內(nèi)，并且形成有所述輸送臺(tái)能通過(guò)的開(kāi)口，將從所述送入口到所述送出口之間劃分為多個(gè)處理區(qū)，該多個(gè)處理區(qū)的尺寸被設(shè)定成與所述輸送臺(tái)的沿移動(dòng)方向的長(zhǎng)度尺寸大體相同，所述移動(dòng)裝置通過(guò)把所述輸送臺(tái)一個(gè)一個(gè)地推入所述加熱爐內(nèi)，使呈列狀排列的各輸送臺(tái)以所述處理區(qū)為單位間歇移動(dòng)，所述輸送臺(tái)在輸送方向上的至少一端一側(cè)具備第二隔壁構(gòu)件，該第二隔壁構(gòu)件在所述輸送臺(tái)在所述處理區(qū)靜止時(shí)封閉所述多個(gè)第一隔壁構(gòu)件的所述開(kāi)口，并把相鄰的處理區(qū)之間隔開(kāi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，其特征在于，所述第二隔壁構(gòu)件設(shè)在所述輸送臺(tái)的兩端。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，其特征在于，在所述輸送臺(tái)上設(shè)置有間隔件，該間隔件設(shè)置在該輸送臺(tái)自身的第二隔壁構(gòu)件和與該輸送臺(tái)相鄰的另一個(gè)輸送臺(tái)的第二隔壁構(gòu)件之間，用于設(shè)置規(guī)定間隙，所述連續(xù)擴(kuò)散處理裝置還包括排氣部件，該排氣部件設(shè)置在相鄰的處理區(qū)之間，對(duì)所述規(guī)定間隙內(nèi)進(jìn)行排氣。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，其特征在于還包括供給部件，該供給部件設(shè)置在相鄰的處理區(qū)之間，向所述規(guī)定間隙提供吹掃用氣體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種連續(xù)擴(kuò)散處理裝置，能降低能量損耗，并能兼顧提高生產(chǎn)效率和提高處理質(zhì)量。本發(fā)明的連續(xù)擴(kuò)散處理裝置包括輸送臺(tái)(50)，輸送板狀的被處理件；筒形的加熱爐(1)，呈直線狀延伸；輸送裝置(2)，通過(guò)把輸送臺(tái)(50)一個(gè)一個(gè)地推入加熱爐(1)內(nèi)來(lái)輸送輸送臺(tái)，使以前送入到加熱爐(1)內(nèi)的輸送臺(tái)(50)呈列狀地在加熱爐(1)內(nèi)移動(dòng)；多個(gè)第一隔壁構(gòu)件(7)，將從加熱爐(1)內(nèi)的送入口(11)到送出口(12)之間劃分為多個(gè)處理區(qū)。輸送裝置(2)使輸送臺(tái)(50)以處理區(qū)為單位間歇移動(dòng)。輸送臺(tái)(50)具備第二隔壁構(gòu)件(54)，它封閉第一隔壁構(gòu)件(7)的開(kāi)口(7c)，并把相鄰的處理區(qū)之間隔開(kāi)。
文檔編號(hào)C30B31/10GK102337594SQ20111002208
公開(kāi)日2012年2月1日 申請(qǐng)日期2011年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月20日
發(fā)明者服部昌, 森川清彥 申請(qǐng)人:光洋熱系統(tǒng)株式會(huì)社