一種自動高溫擴散裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種自動高溫擴散裝置，包括預熱倉，所述氣缸通過連接桿連接有貫穿預熱倉和爐管的固定架，且所述固定架的上部和下部內腔分別設有進氣管和排氣管，該自動高溫擴散裝置通過氣缸連接的連接桿帶動固定架，以實現預熱倉和爐管可以同時實現溫度擴散，以便于達到設備的需求，固定架上下部內腔設有的進氣管和排氣管可以隨著固定架移動，進氣管和排氣管右側設有的進氣孔和排氣孔也可以同時進行工作，且排氣孔還可以排出預熱倉內腔的雜質，有利于提高設備的正常運行率，同時也有利于降低偏磷酸對人體的危害，使得氣體可以通過排氣管上的排氣孔快速排放，本裝置優(yōu)勢明顯，值得以后推廣使用。
【專利說明】
一種自動高溫擴散裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及高溫擴散技術領域，具體為一種自動高溫擴散裝置。
【背景技術】
[0002]高溫減壓擴散爐，與傳統的高溫常壓擴散爐相比，具有產量高、工藝片均勻性好、晶格缺陷少、化學品和特氣損耗大幅減少、維護周期長等優(yōu)點，現有的都是將石英管口加工成法蘭狀，通過將耐高溫耐腐蝕氟橡膠密封圈安裝到石英門上的燕尾槽后，將裝有密封圈的石英門與石英管的法蘭端面貼緊形成一個密封結構，這種結構中用來保護密封圈的局部低溫的隔熱設計容易使液態(tài)磷源擴散工藝中的石英管口冷凝偏磷酸，影響工藝質量。而且這種設計雖然能保證反應腔處于密封狀態(tài)時密封圈處于使用溫度范圍，在擴散的同時會造成資源的浪費，不能加以利用，且不能實現自動化，為此，我們提出自動高溫擴散裝置。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種自動高溫擴散裝置，以解決上述【背景技術】中提出的問題。
[0004]為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案:一種自動高溫擴散裝置，包括預熱倉，所述預熱倉的內腔設有爐管，所述爐管的內腔中部安裝有加熱倉，所述加熱倉的內腔上端安裝有石英舟，所述石英舟的上端安裝有硅片，所述預熱倉的外側安裝有氣缸，所述氣缸通過連接桿連接有貫穿預熱倉和爐管的固定架，所述固定架呈C字型，且所述固定架的上部和下部內腔分別設有進氣管和排氣管，所述進氣管的右側設有進氣孔，所述進氣孔位于硅片的正上方，所述排氣管的右側設有排氣孔，所述預熱倉的內腔底端一側設有出氣口。
[0005]優(yōu)選的，所述出氣口的外側設有風罩，風罩的表面設有濾網。
[0006]優(yōu)選的，所述固定架與預熱倉和爐管的結合處均設有密封圈。
[0007]與現有技術相比，本實用新型的有益效果是:該自動高溫擴散裝置通過氣缸連接的連接桿帶動固定架，以實現預熱倉和爐管可以同時實現溫度擴散，以便于達到設備的需求，固定架上下部內腔設有的進氣管和排氣管可以隨著固定架移動，進氣管和排氣管右側設有的進氣孔和排氣孔也可以同時進行工作，且排氣孔還可以排出預熱倉內腔的雜質，有利于提高設備的正常運行率，同時也有利于降低偏磷酸對人體的危害，使得氣體可以通過排氣管上的排氣孔快速排放，本裝置優(yōu)勢明顯，值得以后推廣使用。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型結構不意圖。
[0009]圖中:I氣缸、2進氣管、3連接桿、4排氣管、5固定架、6排氣孔、7進氣孔、8硅片、9石英舟、10加熱倉、11預熱倉、12爐管、13出氣口。
【具體實施方式】
[0010]下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0011 ]請參閱圖1，本實用新型提供一種技術方案:一種自動高溫擴散裝置，包括預熱倉11，所述預熱倉11的內腔設有爐管12，所述爐管12的內腔中部安裝有加熱倉10，所述加熱倉10的內腔上端安裝有石英舟9，所述石英舟9的上端安裝有硅片8，所述預熱倉11的外側安裝有氣缸I，所述氣缸I通過連接桿3連接有貫穿預熱倉11和爐管12的固定架5，所述固定架5呈C字型，且所述固定架5的上部和下部內腔分別設有進氣管2和排氣管4，所述進氣管2的右側設有進氣孔7，所述進氣孔7位于硅片8的正上方，所述排氣管4的右側設有排氣孔6，所述預熱倉11的內腔底端一側設有出氣口 13。
[0012]進一步的，所述出氣口13的外側設有風罩，風罩的表面設有濾網，可以更有效率的對內腔的雜物進行處理，并且方便日后的打掃與清理，提供了便捷。
[0013]進一步的，所述固定架5與預熱倉11和爐管12的結合處均設有密封圈，避免在工作的時候造成溫度的消散，還為了保證設備的密封性，使得整個裝置更加具有完整性，且性能效果更加完美。
[0014]該自動高溫擴散裝置通過氣缸I連接的連接桿3帶動固定架5，以實現預熱倉11和爐管12可以同時實現溫度擴散，以便于達到設備的需求，固定架5上下部內腔設有的進氣管2和排氣管4可以隨著固定架5移動，進氣管2和排氣管4右側設有的進氣孔7和排氣孔6也可以同時進行工作，且排氣孔6還可以排出預熱倉11內腔的雜質，有利于提高設備的正常運行率，同時也有利于降低偏磷酸對人體的危害，使得氣體可以通過排氣管4上的排氣孔6快速排放，本裝置優(yōu)勢明顯，值得以后推廣使用。
[0015]盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例，對于本領域的普通技術人員而言，可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。
【主權項】
1.一種自動高溫擴散裝置，包括預熱倉(11)，其特征在于:所述預熱倉(11)的內腔設有爐管(12)，所述爐管(12)的內腔中部安裝有加熱倉(10)，所述加熱倉(10)的內腔上端安裝有石英舟(9)，所述石英舟(9)的上端安裝有硅片(8)，所述預熱倉(11)的外側安裝有氣缸(I)，所述氣缸(I)通過連接桿(3)連接有貫穿預熱倉(11)和爐管(12)的固定架(5)，所述固定架(5)呈C字型，且所述固定架(5)的上部和下部內腔分別設有進氣管(2)和排氣管(4)，所述進氣管(2)的右側設有進氣孔(7)，所述進氣孔(7)位于硅片(8)的正上方，所述排氣管(4)的右側設有排氣孔(6)，所述預熱倉(11)的內腔底端一側設有出氣口( 13)。2.根據權利要求1所述的一種自動高溫擴散裝置，其特征在于:所述出氣口(13)的外側設有風罩，風罩的表面設有濾網。3.根據權利要求1所述的一種自動高溫擴散裝置，其特征在于:所述固定架(5)與預熱倉(11)和爐管(12)的結合處均設有密封圈。
【文檔編號】C30B31/16GK205529149SQ201620330824
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年4月19日
【發(fā)明人】蔡倫
【申請人】溫州巨亮光伏科技有限公司