技術(shù)編號：10844794
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。高溫減壓擴散爐，與傳統(tǒng)的高溫常壓擴散爐相比，具有產(chǎn)量高、工藝片均勻性好、晶格缺陷少、化學品和特氣損耗大幅減少、維護周期長等優(yōu)點，現(xiàn)有的都是將石英管口加工成法蘭狀，通過將耐高溫耐腐蝕氟橡膠密封圈安裝到石英門上的燕尾槽后，將裝有密封圈的石英門與石英管的法蘭端面貼緊形成一個密封結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)中用來保護密封圈的局部低溫的隔熱設(shè)計容易使液態(tài)磷源擴散工藝中的石英管口冷凝偏磷酸，影響工藝質(zhì)量。而且這種設(shè)計雖然能保證反應腔處于密封狀態(tài)時密封圈處于使用溫度范圍，在擴散的同時...
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