，通過控制電磁鐵21通電狀態(tài)可以控制電磁場(chǎng)的產(chǎn)生和消失，因此，電磁場(chǎng)激發(fā)裝置還可以包括與所述電磁鐵21中線圈的兩端電連接、用于給線圈通電的供電裝置22。在搬送機(jī)械手未工作時(shí)即不需要電磁場(chǎng)時(shí)可以使電磁鐵21斷電以節(jié)省電能、增加能源利用率。
[0034]在上述各實(shí)施例的基礎(chǔ)上，一種具體的實(shí)施例中，如圖2所示，檢測(cè)裝置3可以包括:
[0035]安裝于支撐結(jié)構(gòu)I的支撐面10上、用于與待搬送物體的表面接觸的兩個(gè)電極31 ；
[0036]與兩個(gè)電極31串聯(lián)、用于提供電壓的電壓源33 ;
[0037]與兩個(gè)電極31串聯(lián)、用于檢測(cè)兩個(gè)電極31之間是否產(chǎn)生電流的電流檢測(cè)模塊32。
[0038]如圖2所示，當(dāng)通過上述搬送機(jī)械手進(jìn)行搬運(yùn)基板5時(shí)，基板5位于支撐結(jié)構(gòu)I上、且基板5與支撐結(jié)構(gòu)I的支撐面10相對(duì)設(shè)置的一側(cè)表面可以與檢測(cè)裝置3的兩個(gè)電極31相接觸；由于兩個(gè)電極31之間串聯(lián)有電壓源33和電流檢測(cè)模塊32，所以當(dāng)基板5與支撐結(jié)構(gòu)I的支撐面10相對(duì)設(shè)置的一側(cè)材料可以導(dǎo)電時(shí)，該可以導(dǎo)電的材料層、兩個(gè)電極31、電壓源33以及電流檢測(cè)模塊32之間將形成串聯(lián)閉合回路，此時(shí)，電流檢測(cè)模塊32就可以檢測(cè)到電流；因此，當(dāng)通過自由電子激發(fā)裝置2將基板5的非晶硅薄膜51中激發(fā)出電子從而使非晶硅薄膜51可以導(dǎo)電時(shí)，如果基板5的非晶硅薄膜51 —側(cè)與支撐結(jié)構(gòu)I的支撐面10相對(duì)設(shè)置即與檢測(cè)裝置3的兩個(gè)電極31相接觸時(shí)，非晶硅薄膜51、兩個(gè)電極31、電壓源33以及電流檢測(cè)模塊32之間將形成串聯(lián)閉合回路，電流檢測(cè)模塊32就可以檢測(cè)到電流，而當(dāng)基板5的非晶硅薄膜51 —側(cè)背離支撐結(jié)構(gòu)I的支撐面10時(shí)，電流檢測(cè)模塊23就不會(huì)檢測(cè)到電流。因此，當(dāng)搬送機(jī)械手進(jìn)行搬運(yùn)基板時(shí)，自由電子激發(fā)裝置2與檢測(cè)裝置3都處于工作狀態(tài)，如果檢測(cè)裝置3的電流檢測(cè)模塊32檢測(cè)到電流，則說明基板5的非晶硅薄膜51 —側(cè)與支撐結(jié)構(gòu)I的支撐面10相對(duì)設(shè)置，即將基板放置于準(zhǔn)分子激光退火設(shè)備的基板載臺(tái)上時(shí)，基板的非晶硅薄膜表面將朝向激光載臺(tái)；如果檢測(cè)裝置3的電流檢測(cè)模塊32沒有檢測(cè)到電流，則說明基板5的非晶硅薄膜51 —側(cè)背離支撐結(jié)構(gòu)I的支撐面10設(shè)置，即將基板5放置于準(zhǔn)分子激光退火設(shè)備的基板載臺(tái)上時(shí)，基板5的非晶硅薄膜51表面將背離激光載臺(tái)而朝向準(zhǔn)分子激光器。
[0039]優(yōu)選地，電流檢測(cè)模塊32可以具有報(bào)警功能，當(dāng)電流檢測(cè)模塊32檢測(cè)到電流時(shí)將產(chǎn)生警報(bào)以提醒工作人員基板5放置錯(cuò)誤；在批量進(jìn)行基板5的準(zhǔn)分子激光退火工藝時(shí)，通過報(bào)警裝置可以增加效率、節(jié)約人力?；蛘?，電流檢測(cè)模塊32可以與搬送機(jī)械手的驅(qū)動(dòng)裝置信號(hào)連接，當(dāng)電流檢測(cè)模塊32檢測(cè)到電流時(shí)，搬送機(jī)械手將停止工作。
[0040]在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，一種優(yōu)選的實(shí)施例中，如圖1和圖2所示，兩個(gè)電極31可以為條形電極，且可以分別沿電磁鐵21所在區(qū)域的兩側(cè)邊緣延伸。在電磁鐵21所在區(qū)域的一定范圍內(nèi)電磁場(chǎng)比較強(qiáng)，非晶硅薄膜51受電磁場(chǎng)激發(fā)而產(chǎn)生的自由電子最多，因此，將兩個(gè)電極31設(shè)置為條形且沿電磁鐵21所在區(qū)域的兩側(cè)邊緣延伸，則當(dāng)兩個(gè)電極31與非晶硅薄膜51相接觸時(shí)，兩個(gè)電極31之間的非晶硅薄膜區(qū)域(即與兩個(gè)電極31間形成閉合電路的非晶硅薄膜區(qū)域)為產(chǎn)生自由電子最多的非晶硅薄膜區(qū)域，所以兩個(gè)電極31之間可以形成較強(qiáng)的電流，從而可以避免由于非晶硅薄膜51中的自由電子太少、形成的電流太小而導(dǎo)致電流檢測(cè)模塊32檢測(cè)不到電流。
[0041]在上述各實(shí)施例的基礎(chǔ)上，一種優(yōu)選的實(shí)施例中，如圖1、圖2和圖3所示，支撐結(jié)構(gòu)I的支撐面10上還可以設(shè)有多個(gè)用于吸附待搬送物體表面的氣墊結(jié)構(gòu)4。氣墊結(jié)構(gòu)4可以通過其上設(shè)有的吸附孔吸附待搬送物體以使待搬送物體在搬送過程中相對(duì)穩(wěn)定，且位于待搬送物體與支撐面10之間的氣墊結(jié)構(gòu)4可以具有緩沖作用以避免待搬送物體搬送過程中受損；如圖2所示，當(dāng)待搬送物體為基板5時(shí)，通過氣墊結(jié)構(gòu)4可以吸附基板5表面，從而可以防止基板5與支撐面10之間產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以避免基板5滑落或損傷。
[0042]在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，一種具體的實(shí)施例中，支撐結(jié)構(gòu)I可以包括兩個(gè)支撐臂，如圖3中所示的支撐臂11和支撐臂12，每個(gè)支撐臂上可以設(shè)有兩個(gè)氣墊結(jié)構(gòu)4 ;當(dāng)然，對(duì)于每個(gè)支撐臂上的氣墊結(jié)構(gòu)4的具體數(shù)量沒有限定，可以根據(jù)基板5的大小等具體情況選擇。上述自由電子激發(fā)裝置2的電磁鐵21和檢測(cè)裝置3的電極31都可以安裝于同一個(gè)支撐臂上。
[0043]本發(fā)明還提供一種激光退火裝置，包括基板載臺(tái)和用于提供照射基板的準(zhǔn)分子激光束的準(zhǔn)分子激光器；該激光退火裝置還包括如上述任一實(shí)施例中提供的搬送機(jī)械手。該激光退火裝置可以有效避免將要進(jìn)行激光退火工藝的基板的襯底表面和非晶硅薄膜表面放置顛倒，從而可以避免由于基板放置錯(cuò)誤而導(dǎo)致的激光退火工藝中對(duì)基板造成的損害或不良；并且該激光退火裝置可以很大度上提高效率，節(jié)省人力，節(jié)約成本。
[0044]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種搬送機(jī)械手，包括支撐結(jié)構(gòu)；其特征在于，還包括: 用于使待搬送物體中的半導(dǎo)體材料中產(chǎn)生自由電子的自由電子激發(fā)裝置； 用于檢測(cè)待搬送物體中與支撐結(jié)構(gòu)的支撐面相對(duì)設(shè)置的表面的材料能否導(dǎo)電的檢測(cè) 目.02.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬送機(jī)械手，其特征在于，所述自由電子激發(fā)裝置為熱激發(fā)裝置、光激發(fā)裝置或者電磁場(chǎng)激發(fā)裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的搬送機(jī)械手，其特征在于，所述電磁場(chǎng)激發(fā)裝置包括嵌設(shè)在所述支撐結(jié)構(gòu)內(nèi)的電磁鐵。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的搬送機(jī)械手，其特征在于，所述電磁場(chǎng)激發(fā)裝置還包括與所述電磁鐵中線圈的兩端電連接、用于給線圈通電的供電裝置。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬送機(jī)械手，其特征在于，所述檢測(cè)裝置包括: 安裝于所述支撐結(jié)構(gòu)的支撐面上、用于與待搬送物體的表面相接觸的兩個(gè)電極； 與所述兩個(gè)電極串聯(lián)、用于提供電壓的電壓源； 與所述兩個(gè)電極串聯(lián)、用于檢測(cè)兩個(gè)電極之間是否產(chǎn)生電流的電流檢測(cè)模塊。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的搬送機(jī)械手，其特征在于，所述兩個(gè)電極為條形電極，且分別沿電磁鐵所在區(qū)域的兩側(cè)邊緣延伸。7.根據(jù)權(quán)利要求1?6任一項(xiàng)所述的搬送機(jī)械手，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)的支撐面上設(shè)有多個(gè)用于吸附所述待搬送物體表面的氣墊結(jié)構(gòu)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的搬送機(jī)械手，其特征在于，所述支撐結(jié)構(gòu)包括兩個(gè)支撐臂，每個(gè)所述支撐臂上設(shè)有兩個(gè)氣墊結(jié)構(gòu)，所述自由電子激發(fā)裝置和檢測(cè)裝置安裝于同一個(gè)支撐臂上。9.一種激光退火裝置，包括基板載臺(tái)和用于提供準(zhǔn)分子激光束的準(zhǔn)分子激光器；其特征在于，還包括如權(quán)利要求1?8任一項(xiàng)所述的搬送機(jī)械手。
【專利摘要】本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種搬送機(jī)械手和激光退火裝置，其中，該搬送機(jī)械手包括支撐結(jié)構(gòu)；還包括：用于使待搬送物體中的半導(dǎo)體材料中產(chǎn)生自由電子的自由電子激發(fā)裝置；用于檢測(cè)待搬送物體中與支撐結(jié)構(gòu)的支撐面相對(duì)設(shè)置的表面材料能否導(dǎo)電的檢測(cè)裝置。上述搬送機(jī)械手在激光退火工藝中用于搬運(yùn)基板時(shí)，可以檢測(cè)出將基板放置于準(zhǔn)分子激光退火設(shè)備中時(shí)是否為基板的非晶硅薄膜一側(cè)朝向準(zhǔn)分子激光器，即基板放置是否正確。因此，該搬送機(jī)械手用于激光退火工藝時(shí)，可以有效避免由于基板放置錯(cuò)誤而導(dǎo)致的激光退火工藝中對(duì)基板造成的損害或不良；并且該激光退火裝置可以很大度上提高效率，節(jié)省人力，節(jié)約成本。
【IPC分類】H01L21/268, H01L21/677
【公開號(hào)】CN105097626
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510395184
【發(fā)明人】王學(xué)勇, 任慶榮, 王路, 陳艷
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2015年7月7日