一種濕刻蝕裝置的制造方法
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示屏技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種濕刻蝕裝置。
【【背景技術(shù)】】
[0002]在液晶顯示器的制作工藝?yán)?，濕刻蝕工藝是其中比較重要的一種刻蝕工藝。在濕刻蝕設(shè)備自動運行的狀態(tài)下，需要對化學(xué)槽的刻蝕藥液的液位進行實時監(jiān)測，以便根據(jù)需要對刻蝕藥液進行排放或者補給。目前，在濕刻蝕工藝領(lǐng)域，對于刻蝕藥液的液位進行監(jiān)測的方法是，通過多組磁感應(yīng)浮標(biāo)式感應(yīng)器完成對刻蝕藥液的液位的監(jiān)測，其中每組磁感應(yīng)浮標(biāo)式感應(yīng)器對應(yīng)一組液位指標(biāo)。一般情況下，重要的液位指標(biāo)有六組，從上到下依次為液位過高警報液位(HH)，藥液自動供給停止的高液位(H)，小量補給停止的液位(MH)，小量補給開始的液位(ML)，低液位報警液位(L)，藥液箱排空標(biāo)示液位(LL)。這樣，六組液位指標(biāo)就需要六組磁感應(yīng)浮標(biāo)式感應(yīng)器。不僅如此，在現(xiàn)實應(yīng)用中，刻蝕藥液屬于黏度比較高的液體，磁感應(yīng)浮標(biāo)式感應(yīng)器在粘稠度比較高的藥液中容易被粘住，導(dǎo)致檢測結(jié)果不精確，或者發(fā)出錯誤的液位信號。
【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種濕刻蝕裝置，該裝置不受刻蝕藥液粘黏性的影響準(zhǔn)確地監(jiān)測出刻蝕藥液的液位。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]一種濕刻蝕裝置，包括:
[0006]一化學(xué)槽，用于盛放藥液，所述藥液用于對半導(dǎo)體器件進行刻蝕；
[0007]—電阻式壓力傳感器，安裝于所述化學(xué)槽的底部，用于測定所述藥液的壓強，并將所述壓強轉(zhuǎn)化成電壓信號發(fā)送到芯片進行數(shù)據(jù)量化處理；
[0008]—芯片，用于接收所述電壓信號并對其進行數(shù)據(jù)量化處理，同時將所述數(shù)據(jù)量化處理的結(jié)果發(fā)送到單片機進行分析處理；
[0009]—單片機，用于接收所述數(shù)據(jù)量化處理的結(jié)果，并對其進行數(shù)據(jù)處理，同時對所述化學(xué)槽的藥液的液位進行判定，并確定顯示器要顯示的所述液位的最高值；
[0010]顯示器，用于對所述液位的最高值進行顯示；
[0011]其中，所述芯片通過電線與所述電阻式壓力傳感器連接，所述芯片與所述單片機通過電線連接，所述單片機與所述顯示器通過電線連接，所述電阻式壓力傳感器、芯片與單片機均與電源連接。
[0012]優(yōu)選地，所述電阻式壓力傳感器安裝于所述化學(xué)槽底部的側(cè)邊。
[0013]優(yōu)選地，所述電阻式壓力傳感器的個數(shù)為兩個。
[0014]優(yōu)選地，所述電阻式壓力傳感器表面設(shè)有保護膜層。
[0015]優(yōu)選地，所述保護膜層由耐腐蝕材料制成。
[0016]優(yōu)選地，所述電阻式壓力傳感器的外部設(shè)有保護箱，所述保護箱底部的側(cè)面設(shè)有小孔。
[0017]優(yōu)選地，所述保護箱的制作材料為聚氯乙烯。
[0018]優(yōu)選地，所述保護箱固定在所述化學(xué)槽的底部。
[0019]優(yōu)選地，所述芯片與所述電阻式壓力傳感器的連接電線設(shè)有保護管，且所述連接電線浸入所述藥液部分由所述保護管密封起來。
[0020]優(yōu)選地，所述保護管由耐腐蝕材料制成。
[0021]本發(fā)明的有益效果:
[0022]本發(fā)明的一種濕刻蝕裝置，通過安裝在化學(xué)槽底部的電阻式壓力傳感器完成藥液的壓力數(shù)據(jù)采集，再通過藥液壓力的變化間接測定藥液的液位變化，只需要一個電阻式壓力傳感器即可完成多組藥液液位的測定，并且電阻式壓力傳感器的測定效果不受藥液粘黏性的影響。
【【附圖說明】】
[0023]圖1為本發(fā)明的一種濕刻蝕裝置的組成框架示意圖；
[0024]圖2為本發(fā)明的一種濕刻蝕裝置的工作流程示意圖；
【【具體實施方式】】
[0025]以下各實施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實施的特定實施例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「側(cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號表示。
[0026]實施例1
[0027]如圖1所示，為本發(fā)明的一種濕刻蝕裝置的組成框架示意圖。如圖2所示，本發(fā)明的一種濕刻蝕裝置的工作流程示意圖。從圖1中可以看出，本發(fā)明的一種濕刻蝕裝置，包括一化學(xué)槽1、一電阻式壓力傳感器3、一芯片7、一單片機8和一顯不器9，其中，所述芯片7通過電線與所述電阻式壓力傳感器3連接，所述芯片7與所述單片機8通過電線連接，所述單片機8與所述顯示器9通過電線連接，所述電阻式壓力傳感器3、芯片7與單片機8均與電源連接。
[0028]下面，對本發(fā)明的一種濕刻蝕裝置的各部分進行介紹:
[0029]本發(fā)明的化學(xué)槽I用于盛放藥液2，所述藥液2用于對半導(dǎo)體器件進行刻蝕。化學(xué)槽I的橫截面形狀可以是方形或者圓形，本實施例優(yōu)選為方形，因為方形擺放比較方便，而且有利于后面的電阻式壓力傳感器3的保護箱4的移動。
[0030]本發(fā)明的電阻式壓力傳感器3安裝于所述化學(xué)槽I的底部，優(yōu)選地，所述電阻式壓力傳感器3安裝于所述化學(xué)槽I底部的側(cè)邊，用于測定所述藥液2的壓強，并將所述壓強轉(zhuǎn)化成電壓信號發(fā)送到芯片7進行數(shù)據(jù)量化處理。在本實施例中，為了防止藥液2流動(主要是補充藥液2時藥液2的翻動)對電阻式壓力傳感器3造成損傷及錯誤感應(yīng)，以致使電阻式壓力傳感器3的測定結(jié)果不準(zhǔn)確，專門給電阻式壓力傳感器3設(shè)置有聚氯乙烯保護箱4，并且所述電阻式壓力傳感器3表面還設(shè)有保護膜層(圖中未標(biāo)示)來避免其受到所述藥液2的侵蝕，所述保護膜層由耐腐蝕材料制成。另外，為了使在所述聚氯乙烯保護箱4內(nèi)的電阻式壓力傳感器3與外面的化學(xué)槽I的藥液2保持連通，本發(fā)明在所述聚氯乙烯保護箱4底部的側(cè)面設(shè)有小孔5，這樣不管化學(xué)槽I的藥液