一種濕法刻蝕裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種濕法刻蝕裝置，所述裝置至少包括：腐蝕槽以及至少兩個(gè)過(guò)濾器；所述腐蝕槽與每個(gè)過(guò)濾器通過(guò)第一、第二管道連接；所述第一、第二管道上分別對(duì)應(yīng)設(shè)有第一、第二閥門；所述第一閥門與所述過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第一管道相通的進(jìn)液管；所述第二閥門與所述過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第二管道相通的出液管。本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置通過(guò)增加連接在腐蝕槽上的過(guò)濾器使得濕法清洗過(guò)程與清洗過(guò)濾器的過(guò)程互不影響，清洗過(guò)濾器時(shí)不會(huì)對(duì)腐蝕槽造成侵蝕，延長(zhǎng)腐蝕槽的使用壽命；同時(shí)不用拆卸清洗裝置即可將過(guò)濾器中的雜質(zhì)清除，提高過(guò)濾器清洗效率,從而降低腐蝕槽內(nèi)雜質(zhì)含量。
【專利說(shuō)明】一種濕法刻蝕裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體制程設(shè)備，特別是涉及一種濕法刻蝕裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制程中，濕法刻蝕通常是將帶有二氧化硅以及氮化硅的晶圓置于腐蝕槽中對(duì)晶圓進(jìn)行腐蝕；如圖1所示，圖1表示的是現(xiàn)有技術(shù)中的濕法刻蝕裝置；其中腐蝕槽10中常常承載有磷酸溶液，為了提高氮化硅薄膜對(duì)二氧化硅的刻蝕選擇比，磷酸被廣泛地應(yīng)用于氮化硅薄膜的刻蝕。由于腐蝕過(guò)程中，二氧化硅與磷酸溶液中的水反應(yīng)生成的硅化物會(huì)形成不溶于磷酸的沉淀顆粒，而這些顆粒一方面可以導(dǎo)致浸泡在磷酸溶液中的晶圓16由于粘附硅化物顆粒而產(chǎn)生缺陷；為了使得磷酸溶液中的硅化物顆粒盡量少并且盡可能減小對(duì)晶圓造成的缺陷；與所述腐蝕槽10相通并相互連接的過(guò)濾器11用于在濕法清洗過(guò)程中過(guò)濾磷酸溶液中的硅化物沉淀。
[0003]在濕法刻蝕裝置中，磷酸溶液通過(guò)位于所述腐蝕槽底面的若干進(jìn)液口 101進(jìn)入腐蝕槽中，磷酸溶液充分與晶圓表面接觸腐蝕后，通過(guò)與腐蝕槽10連接的第一管道12進(jìn)去過(guò)濾器11中，然后磷酸溶液中的硅化物被過(guò)濾器過(guò)濾后又經(jīng)過(guò)第二管道13進(jìn)入腐蝕槽中，如此循環(huán)若干次待腐蝕完成后，腐蝕槽中的廢液通過(guò)位于腐蝕槽10底部的若干排液口 102排出。
[0004]而在現(xiàn)有的濕法刻蝕裝置中，由于過(guò)濾器中長(zhǎng)期積累雜質(zhì)可能將過(guò)濾器堵塞；在過(guò)濾進(jìn)行若干次后，技術(shù)人員需要對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行清洗或者更換新的過(guò)濾器，其中一種清洗方法是清將過(guò)濾器拆卸下來(lái)對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行清洗，而該過(guò)程復(fù)雜繁瑣，延長(zhǎng)待機(jī)時(shí)間，使得生產(chǎn)不得不停止且費(fèi)時(shí)費(fèi)力；另一種清洗方式是將濕法刻蝕過(guò)程中的磷酸替換為氫氟酸溶液對(duì)來(lái)溶液過(guò)濾器中的雜質(zhì)，現(xiàn)有的腐蝕槽材料一般是石英，而氫氟酸對(duì)石英會(huì)造成腐蝕，使得腐蝕槽的使用壽命大大減小。
[0005]因此，有必要提出一種新的濕法刻蝕裝置來(lái)解決上述問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種濕法刻蝕裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中清洗過(guò)濾器過(guò)程中需要拆卸機(jī)臺(tái)延長(zhǎng)停機(jī)時(shí)間以及直接清洗時(shí)對(duì)腐蝕槽造成腐蝕而減小腐蝕槽使用壽命的問(wèn)題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種濕法刻蝕裝置，所述裝置至少包括:腐蝕槽以及至少兩個(gè)過(guò)濾器；所述腐蝕槽與每個(gè)過(guò)濾器通過(guò)第一、第二管道連接；所述第一、第二管道上分別對(duì)應(yīng)設(shè)有第一、第二閥門；所述第一閥門與所述過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第一管道相通的進(jìn)液管；所述第二閥門與所述過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第二管道相通的出液管。
[0008]作為本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置的一種優(yōu)選方案，所述腐蝕槽為長(zhǎng)方體槽；該腐蝕槽的底部還設(shè)置有分別緊密排列的若干進(jìn)液口和若干排液口。
[0009]作為本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置的一種優(yōu)選方案，所述清洗裝置包括兩個(gè)所述過(guò)濾器:第一、第二過(guò)濾器；所述第一、第二過(guò)濾器分別位于所述腐蝕槽的兩側(cè)。
[0010]作為本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置的一種優(yōu)選方案，與所述第一過(guò)濾器連接的第一、第二管道連接于所述腐蝕槽的一側(cè)；與所述第二過(guò)濾器連接的第一、第二管道連接于所述腐蝕槽的另一側(cè)。
[0011]作為本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置的一種優(yōu)選方案，所述腐蝕槽為長(zhǎng)方體槽；所述清洗裝置中包括四個(gè)過(guò)濾器:第一至第四過(guò)濾器；所述第一、第二過(guò)濾器位于所述腐蝕槽的一側(cè)；所述第三、第四過(guò)濾器位于所述腐蝕槽的另一側(cè)。
[0012]作為本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置的一種優(yōu)選方案，分別與所述第一、第二過(guò)濾器連接的第一、第二管道連接于所述腐蝕槽的一側(cè)；分別與所述第三、第四過(guò)濾器連接的第一、第二管道連接于所述腐蝕槽的另一側(cè)。
[0013]作為本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置的一種優(yōu)選方案，所述進(jìn)液管連接有進(jìn)水泵；所述出液管連接有抽水泵。
[0014]作為本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置的一種優(yōu)選方案，所述腐蝕槽中承載有若干晶圓和磷酸溶液。
[0015]如上所述，本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置，具有以下有益效果:本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置通過(guò)增加連接在腐蝕槽上的過(guò)濾器使得濕法清洗過(guò)程與清洗過(guò)濾器的過(guò)程互不影響，清洗過(guò)濾器時(shí)不會(huì)對(duì)腐蝕槽造成侵蝕，延長(zhǎng)腐蝕槽的使用壽命；同時(shí)不用拆卸清洗裝置即可將過(guò)濾器中的雜質(zhì)清除，提高濕法清洗效率。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的濕法刻蝕裝置示意圖。
[0017]圖2為本實(shí)用新型中的一種濕法刻蝕裝置示意圖。
[0018]圖3為本實(shí)用新型中的另一中濕法刻蝕裝置示意圖。
[0019]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0020]10腐蝕槽
[0021]111第一過(guò)濾器
[0022]112第二過(guò)濾器
[0023]113第三過(guò)濾器
[0024]114第四過(guò)濾器
[0025]12第一管道
[0026]13第二管道
[0027]121第一閥門
[0028]131第二閥門
[0029]14進(jìn)液管
[0030]15出液管
[0031]101進(jìn)液口
[0032]102排液口
[0033]141進(jìn)水泵
[0034]151抽水泵
[0035]16晶圓

【具體實(shí)施方式】
[0036]以下通過(guò)特定的具體實(shí)例說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本發(fā)明還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本發(fā)明的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0037]請(qǐng)參閱圖2至圖3。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中所提供的圖示僅以示意方式說(shuō)明本發(fā)明的基本構(gòu)想，遂圖式中僅顯示與本發(fā)明中有關(guān)的組件而非按照實(shí)際實(shí)施時(shí)的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制，其實(shí)際實(shí)施時(shí)各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復(fù)雜。
[0038]實(shí)施例一
[0039]如圖2所示，本實(shí)用新型提供一種濕法刻蝕裝置，所述濕法刻蝕裝置包括:腐蝕槽10以及分別與所述腐蝕槽10連接的第一過(guò)濾器111和第二過(guò)濾器112 ;所述腐蝕槽在本實(shí)施例中為長(zhǎng)方體槽；所述第一過(guò)濾器和第二過(guò)濾器與所述腐蝕槽的連接方式可以是同時(shí)位于所述腐蝕槽的一側(cè)，也可是分別位于所述腐蝕槽的兩側(cè)；本實(shí)施中所述第一過(guò)濾器111位于所述腐蝕槽10的一側(cè)；所述第二過(guò)濾器112位于所述腐蝕槽10的另一側(cè)；亦即所述兩個(gè)過(guò)濾器分別位于所述腐蝕槽的兩側(cè)。
[0040]本實(shí)施例中，如圖2所示，所述腐蝕槽10的底部還設(shè)置有分別緊密排列的若干進(jìn)液口 101和若干排液口 102。也就是說(shuō)所述若干進(jìn)液口 101緊密排列于所述腐蝕槽底部的某個(gè)區(qū)域；所述若干排液口 102緊密排列于所述腐蝕槽底部的另一處區(qū)域，該排布方式有助于所述腐蝕槽中溶液的進(jìn)出。
[0041]本實(shí)用新型中所述腐蝕槽與每個(gè)過(guò)濾器相互連接，因此，如圖2所示，所述腐蝕槽10與所述第一過(guò)濾器111通過(guò)第一管道12和第二管道13相互連接；同時(shí)該腐蝕槽10與所述第二過(guò)濾器112也通過(guò)第一管道12和第二管道13相互連接。本實(shí)施例中由于所述第一過(guò)濾器和第二過(guò)濾器分別位于所述長(zhǎng)方體的腐蝕槽10的兩側(cè)，為了使得所述第一、第二過(guò)濾器分別與所述腐蝕槽的連接簡(jiǎn)單化，因此，優(yōu)選地，如圖2所示，與所述第一過(guò)濾器111連接的第一管道12和第二管道13連接于所述腐蝕槽的一側(cè)；與所述第二過(guò)濾器112連接的第一管道12和第二管道13連接于所述腐蝕槽的另一側(cè)。
[0042]本實(shí)用新型的所述濕法刻蝕裝置中還包括:設(shè)置于所述第一管道12上的第一閥門121 ;設(shè)置于所述第二管道13上的第二閥門131 ;同時(shí)，如圖2所示，在所述第一閥門121與所述第一過(guò)濾器111之間的所述第一管道12上設(shè)有進(jìn)液管14，所述進(jìn)液管14與所述第一管道12相通；所述第一管道12和與其連接的過(guò)濾器以及所述腐蝕槽10相通；對(duì)于所述第一過(guò)濾器111來(lái)說(shuō)，所述第一過(guò)濾器111通過(guò)所述第一管道12與所述腐蝕槽10相通；而所述第一閥門121設(shè)置于所述第一管道上，開(kāi)啟所述第一閥門時(shí)，所述第一過(guò)濾器與所述腐蝕槽相通,所述腐蝕槽中的液體與所述第一過(guò)濾器中的液體可以自由進(jìn)出。
[0043]同時(shí)，由于所述第二過(guò)濾器112位于所述腐蝕槽10的另一側(cè)，對(duì)于所述第二過(guò)濾器來(lái)說(shuō)，與所述第一過(guò)濾器相同的是，所述第二過(guò)濾器112通過(guò)所述第一管道12與所述腐蝕槽10相通；而所述第一閥門121設(shè)置于所述第一管道12上，開(kāi)啟所述第一閥門121時(shí)，所述第二過(guò)濾器112與所述腐蝕槽10相通，所述腐蝕槽中的液體與所述第二過(guò)濾器112中的液體可以自由進(jìn)出。
[0044]如圖2所示，本實(shí)施例中，所述第一閥門12與所述第一過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第一管道12相通的進(jìn)液管14 ;所述第二閥門與所述第一過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第二管道13相通的出液管15。同樣，對(duì)于所述第二過(guò)濾器來(lái)說(shuō)，所述第一閥門12與所述第二過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第一管道12相通的進(jìn)液管14 ;所述第二閥門與所述第二過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第二管道13相通的出液管15。所述進(jìn)液管14用于將清洗所述第一或第二過(guò)濾器的液體輸送入所述第一或第二過(guò)濾器中，所述出液管15用于將所述第一或第二過(guò)濾器中的液體排出所述第一或第二過(guò)濾器。通常，所述進(jìn)液管14所述出液管15都設(shè)有閥門方便開(kāi)啟或關(guān)閉。本實(shí)施例中，優(yōu)選地，所述進(jìn)液管連接有進(jìn)水泵141 ;所述出液管連接有抽水泵151。所述進(jìn)水泵141提供用于清洗所述第一或第二過(guò)濾器的液體；所述抽水泵151用于將所述第一或第二過(guò)濾器中的液體抽出。
[0045]本實(shí)施例中所述的濕法刻蝕裝置的工作原理為:
[0046](一 )刻蝕過(guò)程:當(dāng)使用所述濕法刻蝕裝置對(duì)晶圓進(jìn)行刻蝕時(shí)，所述腐蝕槽10中承載有若干晶圓16 ;開(kāi)啟如圖2中左側(cè)的所述第一過(guò)濾器附近的所述進(jìn)液管14上的閥門，并且開(kāi)啟與所述第一過(guò)濾器111連接的第一管道12上的第一閥門121 ;并且同時(shí)開(kāi)啟與該進(jìn)液管14連接的進(jìn)水泵141，所述進(jìn)水泵141將液體注入所述進(jìn)液管14中，通常用于刻蝕所述晶圓上的氮化硅以及二氧化硅的腐蝕液為磷酸，因此，所述進(jìn)水泵141注入所述進(jìn)液管14中的液體為磷酸溶液；磷酸溶液流入所述第一過(guò)濾器中，這時(shí)，所述第二管道13上的第二閥門131處于開(kāi)啟狀態(tài)，與所述第二管道13連接的所述出液管15處于關(guān)閉狀態(tài)，因此，經(jīng)過(guò)所述第一過(guò)濾器的磷酸再經(jīng)過(guò)所述第二管道13流入所述腐蝕槽中，所述腐蝕槽中的磷酸與所述晶圓充分反應(yīng)，所述腐蝕槽中的磷酸再經(jīng)過(guò)所述第一管道12流入所述第一過(guò)濾器，磷酸溶液中水與晶圓上的氮化硅反應(yīng)生成的硅化物沉淀隨著磷酸一起進(jìn)入所述第一過(guò)濾器，不斷循環(huán)進(jìn)入所述第一過(guò)濾器的結(jié)果是絕大部分的硅化物沉淀被所述第一過(guò)濾器過(guò)濾掉，而所述腐蝕槽中磷酸溶液中的硅化物則越來(lái)越少，因此，減小了晶圓粘附雜質(zhì)顆粒的機(jī)會(huì)。待刻蝕一定數(shù)量晶片后，所述廢液從位于所述腐蝕槽底部的排液口 102排出。
[0047](二)過(guò)濾器清洗過(guò)程:在進(jìn)行上述刻蝕的過(guò)程中，位于所述腐蝕槽另一側(cè)的所述第二過(guò)濾器122可以是處于工作狀態(tài)，也可以為停止工作的狀態(tài)。所述工作狀態(tài)指的是所述第二過(guò)濾器的清洗過(guò)程。本實(shí)用新型的所述每個(gè)過(guò)濾器既可以進(jìn)行如上所述的刻蝕過(guò)程，也可以單獨(dú)進(jìn)行自身的清洗過(guò)程，當(dāng)其中一個(gè)所述過(guò)濾器進(jìn)行刻蝕過(guò)程的時(shí)候，其他過(guò)濾器關(guān)閉刻蝕過(guò)程，但是其他過(guò)濾器可同時(shí)進(jìn)行自身的清洗過(guò)程，也就是說(shuō)，例如使用所述第一過(guò)濾器進(jìn)行上述刻蝕過(guò)程時(shí)，所述第二過(guò)濾器關(guān)閉使用或進(jìn)行自身清洗；當(dāng)進(jìn)行下次的刻蝕過(guò)程時(shí)，可以使用已經(jīng)清洗好的第二過(guò)濾器進(jìn)行刻蝕過(guò)程，同時(shí)所述第一過(guò)濾器進(jìn)行自身清洗過(guò)程。本實(shí)施例的所述第一和第二過(guò)濾器交替進(jìn)行刻蝕過(guò)程，在所述刻蝕過(guò)程中，未進(jìn)行刻蝕過(guò)程的所述過(guò)濾器可進(jìn)行自身清洗過(guò)程。
[0048]所述自身清洗過(guò)程如下:例如所述第二過(guò)濾器進(jìn)行自身清洗，通常所述清洗液為氫氟酸，氫氟酸用于清除堵塞在所述過(guò)濾器中的硅化物；而氫氟酸對(duì)石英材質(zhì)的腐蝕槽會(huì)形成腐蝕。因此，首先關(guān)閉與所述第二過(guò)濾器連接的第一管道12上的第一閥門121以及與所述第二過(guò)濾器連接的第二管道13上的第二閥門131，避免清洗液進(jìn)入所述腐蝕槽中。接著，如圖2所示，開(kāi)啟位于所述腐蝕槽右側(cè)的所述第二過(guò)濾器112附近的所述進(jìn)液管14和出液管15上的閥門，同時(shí)啟動(dòng)與該進(jìn)液管14連接的進(jìn)水泵141，使的清洗液(氫氟酸)沿所述進(jìn)液管14經(jīng)過(guò)與其連接的第一管道12進(jìn)入所述第二過(guò)濾器112中，所述過(guò)濾器112中的氫氟酸充分溶解硅化物后，廢液經(jīng)過(guò)與所述第二過(guò)濾器連接的第二管道13以及與所述第二管道13連接的出液管15后排出。優(yōu)選地，當(dāng)清洗接近結(jié)束時(shí)，開(kāi)啟與該出液管15連接的出水泵151，使得所述第二過(guò)濾器中的液體被完全抽干，避免遺留氫氟酸使得下次刻蝕時(shí)氫氟酸進(jìn)入所述腐蝕槽。、
[0049]實(shí)施例二
[0050]如圖3所示，本實(shí)用新型提供一種濕法刻蝕裝置，所述濕法刻蝕裝置包括:腐蝕槽10以及分別與所述腐蝕槽10連接的第一過(guò)濾器111、第二過(guò)濾器112、第三過(guò)濾器113、第四過(guò)濾器114 ;本實(shí)施中，如圖3所示，所述第一過(guò)濾器111、第二過(guò)濾器112同時(shí)位于所述腐蝕槽10的一側(cè)；所述第三過(guò)濾器113、第四過(guò)濾器114同時(shí)位于所述腐蝕槽10的另一側(cè)。
[0051]本實(shí)施例中，如圖3所示，所述腐蝕槽10的底部還設(shè)置有分別緊密排列的若干進(jìn)液口 101和若干排液口 102。也就是說(shuō)所述若干進(jìn)液口 101緊密排列于所述腐蝕槽底部的某個(gè)區(qū)域；所述若干排液口 102緊密排列于所述腐蝕槽底部的另一處區(qū)域，該排布方式有助于所述腐蝕槽中溶液的進(jìn)出。
[0052]本實(shí)用新型中所述腐蝕槽與每個(gè)過(guò)濾器相互連接，因此，如圖3所示，所述腐蝕槽10與所述第一過(guò)濾器111通過(guò)第一管道12和第二管道13相互連接；同時(shí)該腐蝕槽10與所述第二過(guò)濾器112也通過(guò)第一管道12和第二管道13相互連接。所述第二和第四過(guò)濾器與所述腐蝕槽的連接亦如此。本實(shí)施例中由于所述第一過(guò)濾器和第二過(guò)濾器分別位于所述長(zhǎng)方體的腐蝕槽10的同一側(cè)，為了使得所述第一、第二過(guò)濾器分別與所述腐蝕槽的連接簡(jiǎn)單化，因此，優(yōu)選地，如圖3所示，分別與所述第一、第二過(guò)濾器連接的第一、第二管道連接于所述腐蝕槽的一側(cè)；分別與所述第三、第四過(guò)濾器連接的第一、第二管道連接于所述腐蝕槽的另一側(cè)。
[0053]本實(shí)用新型的所述濕法刻蝕裝置中還包括:設(shè)置于所述第一管道12上的第一閥門121 ;設(shè)置于所述第二管道13上的第二閥門131 ;同時(shí)，如圖3所示，在所述第一閥門121與所述第一過(guò)濾器111之間的所述第一管道12上設(shè)有進(jìn)液管14，所述進(jìn)液管14與所述第一管道12相通；所述第一管道12和與其連接的過(guò)濾器以及所述腐蝕槽10相通；對(duì)于所述第一過(guò)濾器111來(lái)說(shuō)，所述第一過(guò)濾器111通過(guò)所述第一管道12與所述腐蝕槽10相通；而所述第一閥門121設(shè)置于所述第一管道上，開(kāi)啟所述第一閥門時(shí)，所述第一過(guò)濾器與所述腐蝕槽相通,所述腐蝕槽中的液體與所述第一過(guò)濾器中的液體可以自由進(jìn)出。
[0054]同時(shí)，對(duì)于所述第二至第四過(guò)濾器來(lái)說(shuō)，與所述第一過(guò)濾器相同的是，所述第二至第四過(guò)濾器通過(guò)所述第一管道12與所述腐蝕槽10相通；而所述第一閥門121設(shè)置于所述第一管道12上，開(kāi)啟所述第一閥門121時(shí)，所述第二過(guò)濾器112與所述腐蝕槽10相通，所述腐蝕槽中的液體與所述第二過(guò)濾器112中的液體可以自由進(jìn)出。
[0055]如圖3所示，本實(shí)施例中，所述第一閥門12與所述第一過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第一管道12相通的進(jìn)液管14 ;所述第二閥門與所述第一過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第二管道13相通的出液管15。同樣，對(duì)于所述第二至第四過(guò)濾器來(lái)說(shuō)，所述第一閥門12與所述第二至第四過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第一管道12相通的進(jìn)液管14 ;所述第二閥門與所述第二至第四過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第二管道13相通的出液管15。所述進(jìn)液管14用于將清洗所述過(guò)濾器的液體輸送入所述過(guò)濾器中，所述出液管15用于將所述過(guò)濾器中的液體排出所述過(guò)濾器。通常，所述進(jìn)液管14所述出液管15都設(shè)有閥門方便開(kāi)啟或關(guān)閉。本實(shí)施例中，優(yōu)選地，所述進(jìn)液管連接有進(jìn)水泵141 ;所述出液管連接有抽水泵151。所述進(jìn)水泵141提供用于清洗所述過(guò)濾器的液體；所述抽水泵151用于將所述過(guò)濾器中的液體抽出。
[0056]本實(shí)施例中所述的濕法刻蝕裝置的工作原理為:
[0057](一 )刻蝕過(guò)程:當(dāng)使用所述濕法刻蝕裝置對(duì)晶圓進(jìn)行刻蝕時(shí)，所述腐蝕槽10中承載有若干晶圓16 ;開(kāi)啟如圖3中左側(cè)的所述第一過(guò)濾器附近的所述進(jìn)液管14上的閥門，并且開(kāi)啟與所述第一過(guò)濾器111連接的第一管道12上的第一閥門121 ;并且同時(shí)開(kāi)啟與該進(jìn)液管14連接的進(jìn)水泵141，所述進(jìn)水泵141將液體注入所述進(jìn)液管14中，通常用于刻蝕所述晶圓上的氮化硅以及二氧化硅的腐蝕液為磷酸，因此，所述進(jìn)水泵141注入所述進(jìn)液管14中的液體為磷酸溶液；磷酸溶液流入所述第一過(guò)濾器中，這時(shí)，所述第二管道13上的第二閥門131處于開(kāi)啟狀態(tài)，與所述第二管道13連接的所述出液管15處于關(guān)閉狀態(tài)，因此，經(jīng)過(guò)所述第一過(guò)濾器的磷酸再經(jīng)過(guò)所述第二管道13流入所述腐蝕槽中，所述腐蝕槽中的磷酸與所述晶圓充分反應(yīng)，所述腐蝕槽中的磷酸再經(jīng)過(guò)所述第一管道12流入所述第一過(guò)濾器，磷酸溶液中水與晶圓上的氮化硅反應(yīng)生成的硅化物沉淀隨著磷酸一起進(jìn)入所述第一過(guò)濾器，不斷循環(huán)進(jìn)入所述第一過(guò)濾器的結(jié)果是絕大部分的硅化物沉淀被所述第一過(guò)濾器過(guò)濾掉，而所述腐蝕槽中磷酸溶液中的硅化物則越來(lái)越少，因此，減小了晶圓粘附雜質(zhì)顆粒的機(jī)會(huì)。待刻蝕完成后，所述廢液從位于所述腐蝕槽底部的排液口 102排出。
[0058](二)過(guò)濾器清洗過(guò)程:在進(jìn)行上述刻蝕的過(guò)程中，所述第二至第四過(guò)濾器可以是處于工作狀態(tài)，也可以為停止工作的狀態(tài)。所述工作狀態(tài)指的是所述第二至第四過(guò)濾器的清洗過(guò)程。本實(shí)用新型的所述每個(gè)過(guò)濾器既可以進(jìn)行如上所述的刻蝕過(guò)程，也可以單獨(dú)進(jìn)行自身的清洗過(guò)程，當(dāng)其中一個(gè)所述過(guò)濾器進(jìn)行刻蝕過(guò)程的時(shí)候，其他過(guò)濾器關(guān)閉刻蝕過(guò)程，但是其他過(guò)濾器可同時(shí)進(jìn)行自身的清洗過(guò)程，也就是說(shuō)，例如使用所述第一過(guò)濾器進(jìn)行上述刻蝕過(guò)程時(shí)，所述第二至第四過(guò)濾器關(guān)閉使用或進(jìn)行自身清洗；當(dāng)進(jìn)行下次的刻蝕過(guò)程時(shí)，可以使用已經(jīng)清洗好的第二至第四過(guò)濾器中的一個(gè)進(jìn)行刻蝕過(guò)程，同時(shí)所述其他過(guò)濾器進(jìn)行自身清洗過(guò)程。本實(shí)施例的所述四個(gè)過(guò)濾器交替進(jìn)行刻蝕過(guò)程，在所述刻蝕過(guò)程中，未進(jìn)行刻蝕過(guò)程的其他過(guò)濾器可進(jìn)行自身清洗過(guò)程。
[0059]所述自身清洗過(guò)程如下:例如所述第二過(guò)濾器進(jìn)行自身清洗，通常所述清洗液為氫氟酸，氫氟酸用于清除堵塞在所述過(guò)濾器中的硅化物；而氫氟酸對(duì)石英材質(zhì)的腐蝕槽會(huì)形成腐蝕。因此，首先關(guān)閉與所述第二過(guò)濾器連接的第一管道12上的第一閥門121以及與所述第二過(guò)濾器連接的第二管道13上的第二閥門131，避免清洗液進(jìn)入所述腐蝕槽中。接著，如圖2所示，開(kāi)啟位于所述腐蝕槽右側(cè)的所述第二過(guò)濾器112附近的所述進(jìn)液管14和出液管15上的閥門，同時(shí)啟動(dòng)與該進(jìn)液管14連接的進(jìn)水泵141，使的清洗液(氫氟酸)沿所述進(jìn)液管14經(jīng)過(guò)與其連接的第一管道12進(jìn)入所述第二過(guò)濾器112中，所述過(guò)濾器112中的氫氟酸充分溶解硅化物后，廢液經(jīng)過(guò)與所述第二過(guò)濾器連接的第二管道13以及與所述第二管道13連接的出液管15后排出。優(yōu)選地，當(dāng)清洗接近結(jié)束時(shí)，開(kāi)啟與該出液管15連接的出水泵151，使得所述第二過(guò)濾器中的液體被完全抽干，避免遺留氫氟酸使得下次刻蝕時(shí)氫氟酸進(jìn)入所述腐蝕槽。
[0060]本實(shí)用新型的所述濕法刻蝕裝置中除上述兩個(gè)實(shí)施例中包含兩個(gè)或四個(gè)所述過(guò)濾器之外，還可根據(jù)具體過(guò)濾器的使用頻率以及所述過(guò)濾器的性能調(diào)整所述濕法刻蝕裝置中過(guò)濾器的個(gè)數(shù)。
[0061]綜上所述，本實(shí)用新型的濕法刻蝕裝置通過(guò)增加連接在腐蝕槽上的過(guò)濾器使得濕法清洗過(guò)程與清洗過(guò)濾器的過(guò)程互不影響，清洗過(guò)濾器時(shí)不會(huì)對(duì)腐蝕槽造成侵蝕，延長(zhǎng)腐蝕槽的使用壽命；同時(shí)不用拆卸清洗裝置即可將過(guò)濾器中的雜質(zhì)清除，提高濕法清洗效率。所以，本實(shí)用新型有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
[0062]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種濕法刻蝕裝置，其特征在于，所述裝置至少包括: 腐蝕槽以及至少兩個(gè)過(guò)濾器；所述腐蝕槽與每個(gè)過(guò)濾器通過(guò)第一、第二管道連接； 所述第一、第二管道上分別對(duì)應(yīng)設(shè)有第一、第二閥門； 所述第一閥門與所述過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第一管道相通的進(jìn)液管；所述第二閥門與所述過(guò)濾器之間設(shè)有與所述第二管道相通的出液管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕法刻蝕裝置，其特征在于:所述腐蝕槽為長(zhǎng)方體槽；該腐蝕槽的底部還設(shè)置有分別緊密排列的若干進(jìn)液口和若干排液口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濕法刻蝕裝置，其特征在于:所述清洗裝置包括兩個(gè)所述過(guò)濾器:第一、第二過(guò)濾器；所述第一、第二過(guò)濾器分別位于所述腐蝕槽的兩側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的濕法刻蝕裝置，其特征在于:與所述第一過(guò)濾器連接的第一、第二管道連接于所述腐蝕槽的一側(cè)；與所述第二過(guò)濾器連接的第一、第二管道連接于所述腐蝕槽的另一側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濕法刻蝕裝置，其特征在于:所述腐蝕槽為長(zhǎng)方體槽；所述清洗裝置中包括四個(gè)過(guò)濾器:第一至第四過(guò)濾器；所述第一、第二過(guò)濾器位于所述腐蝕槽的一側(cè)；所述第三、第四過(guò)濾器位于所述腐蝕槽的另一側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的濕法刻蝕裝置，其特征在于:分別與所述第一、第二過(guò)濾器連接的第一、第二管道連接于所述腐蝕槽的一側(cè)；分別與所述第三、第四過(guò)濾器連接的第一、第二管道連接于所述腐蝕槽的另一側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或6所述的濕法刻蝕裝置，其特征在于:所述進(jìn)液管連接有進(jìn)水泵；所述出液管連接有抽水泵。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕法刻蝕裝置，其特征在于:所述腐蝕槽中承載有若干晶圓和磷酸溶液。
【文檔編號(hào)】C30B33/10GK204138821SQ201420593668
【公開(kāi)日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年10月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月14日
【發(fā)明者】胡春周 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司