技術總結
一種用于管式PECVD的陶瓷桿，包括一石墨芯棒，石墨芯棒外設有一陶瓷套，陶瓷套兩端的外周面上開設有螺紋；所述石墨芯棒和陶瓷套之間至少在石墨芯棒的兩端設置有定位結構。一種石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片上開設有通孔，各石墨舟片通過貫穿在通孔內(nèi)的陶瓷桿固定連接成舟體，相鄰兩片石墨舟片之間的陶瓷桿上套裝有陶瓷管，每個陶瓷桿的兩端通過石墨螺母固定在最外側的兩片石墨舟片上；所述陶瓷桿包括一石墨芯棒，石墨芯棒外設有一陶瓷套，陶瓷套兩端的外周面上對應于所述石墨螺母開設有螺紋；所述石墨芯棒和陶瓷套之間至少在石墨芯棒的兩端設置有定位結構。本實用新型結構簡單、使用可靠、使用壽命長。

技術研發(fā)人員：張標;黨繼東;俞亞東
受保護的技術使用者：鹽城阿特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司
文檔號碼：201620438056
技術研發(fā)日：2016.05.13
技術公布日：2016.12.07