1.一種用于管式PECVD的陶瓷桿，其特征在于：包括一石墨芯棒，石墨芯棒外設(shè)有一陶瓷套，陶瓷套兩端的外周面上開設(shè)有螺紋；
所述石墨芯棒和陶瓷套之間至少在石墨芯棒的兩端設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD的陶瓷桿，其特征在于：所述定位結(jié)構(gòu)包括卡齒和卡槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于管式PECVD的陶瓷桿，其特征在于：所述卡齒設(shè)于石墨芯棒的兩端的外周面上，所述卡槽對(duì)應(yīng)于卡齒開設(shè)于陶瓷套上，卡齒與卡槽配合以實(shí)現(xiàn)石墨芯棒和陶瓷套之間的定位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD的陶瓷桿，其特征在于：所述石墨芯棒的外表面與陶瓷套的內(nèi)表面貼合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD的陶瓷桿，其特征在于：所述陶瓷套的厚度小于石墨芯棒的直徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD的陶瓷桿，其特征在于：所述石墨芯棒沿其軸向?yàn)閮啥思?xì)中間粗的結(jié)構(gòu)，石墨芯棒與陶瓷套螺紋段對(duì)應(yīng)的兩端的直徑小于中間段的直徑。
7.一種石墨舟，包括若干石墨舟片，各石墨舟片上開設(shè)有通孔，各石墨舟片通過貫穿在通孔內(nèi)的陶瓷桿固定連接成舟體，相鄰兩片石墨舟片之間的陶瓷桿上套裝有陶瓷管，每個(gè)陶瓷桿的兩端通過石墨螺母固定在最外側(cè)的兩片石墨舟片上；其特征在于：
所述陶瓷桿包括一石墨芯棒，石墨芯棒外設(shè)有一陶瓷套，陶瓷套兩端的外周面上對(duì)應(yīng)于所述石墨螺母開設(shè)有螺紋；
所述石墨芯棒和陶瓷套之間至少在石墨芯棒的兩端設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的石墨舟，其特征在于：所述定位結(jié)構(gòu)包括卡齒和卡槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的石墨舟，其特征在于：所述卡齒設(shè)于石墨芯棒的兩端的外周面上，所述卡槽對(duì)應(yīng)于卡齒開設(shè)于陶瓷套上，卡齒與卡槽配合以實(shí)現(xiàn)石墨芯棒和陶瓷套之間的定位。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的石墨舟，其特征在于：所述石墨芯棒的外表面與陶瓷套的內(nèi)表面貼合。