技術(shù)編號:11990250
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及太陽能電池的制備,尤其涉及一種用于管式PECVD的陶瓷桿及相應(yīng)的石墨舟。背景技術(shù)常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡,在所有的可持續(xù)能源中,太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。目前,在所有的太陽電池中,晶體硅太陽電池是得到大范圍商業(yè)推廣的太陽能電池之一,這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲量,同時(shí)晶體硅太陽電池相比其他類型的太陽能電池有著優(yōu)異的電學(xué)性能和機(jī)械性能,因此,晶體硅太陽電池在光伏領(lǐng)域占據(jù)著重要的地位。在晶體硅太陽能電池生產(chǎn)過程中,需要在硅片表面通過PECVD(Pl...
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