本實(shí)用新型涉及太陽能電池的制備,尤其涉及一種用于管式PECVD的陶瓷桿及相應(yīng)的石墨舟。
背景技術(shù):
常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡,在所有的可持續(xù)能源中,太陽能無疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。目前,在所有的太陽電池中,晶體硅太陽電池是得到大范圍商業(yè)推廣的太陽能電池之一,這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲(chǔ)量,同時(shí)晶體硅太陽電池相比其他類型的太陽能電池有著優(yōu)異的電學(xué)性能和機(jī)械性能,因此,晶體硅太陽電池在光伏領(lǐng)域占據(jù)著重要的地位。
在晶體硅太陽能電池生產(chǎn)過程中,需要在硅片表面通過PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)設(shè)備制備一層氮化硅減反射膜,石墨舟是其中的重要部件,直接影響到電場的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)等。在管式PECVD中,各石墨舟片通過陶瓷桿連接構(gòu)成石墨舟,而陶瓷桿在使用過程中極易斷裂,斷裂后無法使用,造成生產(chǎn)成本的增加及庫存壓力的增大。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型的目的在于提供一種使用壽命長的用于管式PECVD的陶瓷桿及相應(yīng)的石墨舟。
為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于管式PECVD的陶瓷桿,包括一石墨芯棒,石墨芯棒外設(shè)有一陶瓷套,陶瓷套兩端的外周面上開設(shè)有螺紋;
所述石墨芯棒和陶瓷套之間至少在石墨芯棒的兩端設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)。
為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的另一技術(shù)方案是:一種石墨舟,包括若干石墨舟片,各石墨舟片上開設(shè)有通孔,各石墨舟片通過貫穿在通孔內(nèi)的陶瓷桿固定連接成舟體,相鄰兩片石墨舟片之間的陶瓷桿上套裝有陶瓷管,每個(gè)陶瓷桿的兩端通過石墨螺母固定在最外側(cè)的兩片石墨舟片上;
所述陶瓷桿包括一石墨芯棒,石墨芯棒外設(shè)有一陶瓷套,陶瓷套兩端的外周面上對應(yīng)于所述石墨螺母開設(shè)有螺紋;
所述石墨芯棒和陶瓷套之間至少在石墨芯棒的兩端設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)。
上述方案中,所述定位結(jié)構(gòu)包括卡齒和卡槽。
優(yōu)選地,所述卡齒設(shè)于石墨芯棒的兩端的外周面上,所述卡槽對應(yīng)于卡齒開設(shè)于陶瓷套上,卡齒與卡槽配合以實(shí)現(xiàn)石墨芯棒和陶瓷套之間的定位。
上述方案中,所述石墨芯棒的外表面與陶瓷套的內(nèi)表面貼合。
上述方案中,所述陶瓷套的厚度小于石墨芯棒的直徑。
上述方案中,所述石墨芯棒沿其軸向?yàn)閮啥思?xì)中間粗的結(jié)構(gòu),石墨芯棒與陶瓷套螺紋段對應(yīng)的兩端的直徑小于中間段的直徑。
由于上述技術(shù)方案運(yùn)用,本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
1.本實(shí)用新型在陶瓷套內(nèi)嵌入石墨芯棒,陶瓷套和石墨芯棒為一體結(jié)構(gòu),兩者之間無縫隙,石墨芯棒不易斷裂,即便陶瓷套斷裂,由于卡齒存在,陶瓷套不會(huì)掉落,仍可繼續(xù)使用;
2. 本實(shí)用新型的使用壽命相較于現(xiàn)有的純陶瓷桿大大增加;
3. 本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、使用可靠、適于推廣。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一陶瓷桿結(jié)構(gòu)剖視圖。
圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例二石墨舟片結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例二陶瓷管立體圖。
圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例二石墨舟結(jié)構(gòu)示意圖。
其中:1、石墨芯棒;2、陶瓷套;3、螺紋;4、卡齒;5、石墨舟片;6、陶瓷管;7、石墨螺母;8、通孔。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
實(shí)施例一:
參見圖1所示,一種用于管式PECVD的陶瓷桿,包括一石墨芯棒1,石墨芯棒1外設(shè)有一陶瓷套2,陶瓷套2兩端的外周面上開設(shè)有螺紋3;
所述石墨芯棒1和陶瓷套2之間設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)。
所述定位結(jié)構(gòu)包括卡齒4和卡槽。
所述卡齒4設(shè)于石墨芯棒1的兩端的外周面上,所述卡槽對應(yīng)于卡齒4開設(shè)于陶瓷套2上,卡齒4與卡槽配合以實(shí)現(xiàn)石墨芯棒1和陶瓷套2之間的定位。
所述石墨芯棒1的外表面與陶瓷套2的內(nèi)表面貼合。
所述陶瓷套2的厚度小于石墨芯棒1的直徑。
所述石墨芯棒1沿其軸向?yàn)閮啥思?xì)中間粗的結(jié)構(gòu),石墨芯棒1與陶瓷套2螺紋段對應(yīng)的兩端的直徑小于中間段的直徑。
實(shí)施例二:
參見圖2~圖4所示,各石墨舟片5上開設(shè)有多個(gè)通孔8,各石墨舟片5通過貫穿在通孔8內(nèi)的陶瓷桿固定連接成舟體,相鄰兩片石墨舟片5之間的陶瓷桿上套裝有陶瓷管6,每個(gè)陶瓷桿的兩端通過石墨螺母7固定在最外側(cè)的兩片石墨舟片5上,以此構(gòu)成石墨舟。
所述石墨芯棒1和陶瓷套2之間設(shè)置有定位結(jié)構(gòu)。
所述定位結(jié)構(gòu)包括卡齒4和卡槽。
所述卡齒4設(shè)于石墨芯棒1的兩端的外周面上,所述卡槽對應(yīng)于卡齒4開設(shè)于陶瓷套2上,卡齒4與卡槽配合以實(shí)現(xiàn)石墨芯棒1和陶瓷套2之間的定位。
所述石墨芯棒1的外表面與陶瓷套2的內(nèi)表面貼合。
上述實(shí)施例中,在石墨芯棒1的兩端設(shè)置有定位結(jié)構(gòu),在實(shí)際應(yīng)用中,石墨芯棒1的中段也可以設(shè)置有定位結(jié)構(gòu),而定位結(jié)構(gòu)除了采用卡齒4以外,還可以采用定位銷或粘接定位等方式。
上述實(shí)施例中,卡齒4設(shè)于石墨芯棒1上,卡槽設(shè)于陶瓷套2上,在實(shí)際應(yīng)用中,若將卡齒4設(shè)于陶瓷套2上,卡槽設(shè)于石墨芯棒1上,也可達(dá)到相同效果,只要能夠?qū)崿F(xiàn)陶瓷套2斷裂后,兩端的陶瓷套2仍固定在石墨芯棒1上以阻止陶瓷套2從石墨芯棒1上脫落即可。