本實(shí)用新型涉及真空腔體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種實(shí)用性強(qiáng)的無磁真空腔體。

背景技術(shù)：

真空腔體是為減少了半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個(gè)數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量幾乎不變。這種結(jié)構(gòu)采用了配備有壓差真空凹槽的預(yù)置空氣軸承的移動(dòng)真空。產(chǎn)品的特點(diǎn)有改善的機(jī)臺(tái)定位的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)響應(yīng)，抽氣時(shí)間、穩(wěn)定時(shí)間縮短等等。傳統(tǒng)的無磁真空腔體的功能比較單一，而且無磁真空腔體沒有設(shè)置有加熱帶，不能將無磁真空腔體內(nèi)的輕體完全抽取出來，同時(shí)不能檢測到無磁真空腔體內(nèi)的具體壓力大小，容易造成腔體損壞的現(xiàn)象。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種實(shí)用性強(qiáng)的無磁真空腔體，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種實(shí)用性強(qiáng)的無磁真空腔體，包括真空腔體外殼和控制器，所述空腔體外殼的頂部安裝有上蓋，所述上蓋的中心處安裝有減壓閥門，且上蓋與真空泵通過抽氣管連接，所述空腔體外殼的外表壁安裝有不銹鋼保護(hù)層，所述不銹鋼保護(hù)層上安裝有加熱帶，所述加熱帶的外表壁安裝有鋁箔隔熱層，所述空腔體外殼的底部安裝有壓力傳感器，且空腔體外殼的下方安裝有真空腔體底座，所述真空腔體底座上安裝有支撐架。

優(yōu)選的，所述控制器安裝在真空泵上。

優(yōu)選的，所述支撐架共設(shè)有四個(gè)，且四個(gè)支撐架分別安裝在真空腔體底座的底部四個(gè)拐角處。

優(yōu)選的，所述空腔體外殼的前表壁安裝有微電腦控制器，所述微電腦控制器的表面安裝有顯示屏幕和操控按鍵，所述顯示屏幕位于操控按鍵的上方。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)科學(xué)合理，使用方便高效；通過真空腔體底座的底部安裝有四個(gè)支撐架，有效的提高了無磁真空腔體的穩(wěn)固性，避免在工作過程中發(fā)生抖動(dòng)現(xiàn)象，影響無磁真空腔體的工作效率；通過真空腔體外殼的外表壁安裝有不銹鋼保護(hù)層，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低、能夠在-270～900℃工作等優(yōu)點(diǎn)；通過該真空腔體上安裝有加熱帶和鋁箔隔熱層，促使材料表面和內(nèi)部的氣體盡快放出，并且加熱帶的外面再用鋁箔包裹，防止熱量散失的同時(shí)也可使腔體均勻受熱；通過真空腔體外殼的底部安裝有壓力傳感器，可以檢測出腔體的內(nèi)部壓力大，并且將該壓力信息反饋到顯示屏幕上，方便使用者觀察。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型一種實(shí)用性強(qiáng)的無磁真空腔體的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一種實(shí)用性強(qiáng)的無磁真空腔體的前視圖。

圖中：1-真空腔體外殼；2-減壓閥門；3-抽氣管；4-控制器；5-真空泵；6-上蓋；7-不銹鋼保護(hù)層；8-加熱帶；9-鋁箔隔熱層；10-壓力傳感器；11-真空腔體底座；12-支撐架；13-微電腦控制器；14-顯示屏幕；15-操控按鍵。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請參閱圖1-2，本實(shí)用新型提供的一種實(shí)施例：一種實(shí)用性強(qiáng)的無磁真空腔體，包括真空腔體外殼1和控制器4，空腔體外殼1的頂部安裝有上蓋6，上蓋6的中心處安裝有減壓閥門2，且上蓋6與真空泵5通過抽氣管3連接，空腔體外殼1的外表壁安裝有不銹鋼保護(hù)層7，不銹鋼保護(hù)層7上安裝有加熱帶8，加熱帶8的外表壁安裝有鋁箔隔熱層9，空腔體外殼1的底部安裝有壓力傳感器10，且空腔體外殼1的下方安裝有真空腔體底座11，真空腔體底座11上安裝有支撐架12，控制器4安裝在真空泵5上，支撐架12共設(shè)有四個(gè)，且四個(gè)支撐架12分別安裝在真空腔體底座11的底部四個(gè)拐角處，空腔體外殼1的前表壁安裝有微電腦控制器13，微電腦控制器13的表面安裝有顯示屏幕14和操控按鍵15，顯示屏幕14位于操控按鍵15的上方。

具體使用方式：本實(shí)用新型工作中，打開微電腦控制器13上的操控按鍵15，真空泵6開始工作，對真空腔體內(nèi)部進(jìn)行抽取，通過加熱帶8和鋁箔隔熱層9的配合使用，促使材料表面和內(nèi)部的氣體盡快放出，鋁箔隔熱層9可以有效的防止熱量散失的同時(shí)也可使腔體內(nèi)均勻受熱，當(dāng)壓力傳感器10檢測出真空腔體的內(nèi)部壓力過小時(shí)，通過減壓閥門2可以進(jìn)行調(diào)節(jié)。

對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。