一種主傳動裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種主傳動裝置，該裝置至少包括：旋轉氣缸及一端與該旋轉氣缸底部連接并沿該旋轉氣缸底部滑動的第一橫桿；具有滑槽的第二橫桿；所述第一橫桿的另一端通過第二橫桿的滑槽固定于所述第二橫桿；所述第一橫桿沿所述滑槽來回滑動并在水平方向繞所述第二橫桿旋轉；豎軸；所述第二橫桿末端與豎軸頂部連接并繞豎軸在水平方向旋轉；穿過所述第二橫桿與豎軸的連接端將所述豎軸固定于一基板上的螺桿；由水平桿和豎直桿連接構成的框架；所述螺桿頂部連接于所述水平桿；所述豎直桿底部固定于所述基板上。該裝置延長螺桿并外加與螺桿固定的框架，使豎軸在旋轉氣缸作用下受到的剪切力分散到所述螺桿及框架中，增加了豎軸的使用壽命。
【專利說明】一種主傳動裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種半導體制造設備，特別是涉及一種用于晶圓的主傳動裝置?！颈尘凹夹g】
[0002]半導體制程中，一種主傳動裝置是用來將晶圓定位以及傳輸?shù)难b置，該裝置在晶圓的定位過程中防止晶圓偏出。如圖1所示，表示的是現(xiàn)有技術中所述主傳動裝置的結構不意圖，該裝置至少包括:旋轉氣缸10, —端與所述旋轉氣缸10底部相連接的第一橫桿11,所述第一橫桿11可沿所述旋轉氣缸的底部滑動，所述第一橫桿11的另一端與所述第二橫桿12通過所述第二橫桿的滑槽連接，所述第一橫桿可沿所述滑槽來回滑動，同時并可在水平方向繞所述第二橫桿12旋轉；與所述第二橫桿12的末端連接的豎軸13，所述第二橫桿可繞所述豎軸13在水平方向旋轉，穿過所述第二橫桿與所述豎軸13的連接端將所述豎軸固定于一基板14上的螺桿15。
[0003]該裝置的工作原理是:當所述旋轉氣缸10在驅(qū)動力的作用下旋轉時，與所述氣缸底部連接的第一橫桿11由旋轉氣缸10帶動并在水平方向滑動，由于所述第一橫桿的旋動，與所述第一橫桿11連接的第二橫桿12通過所述滑槽在所述第一橫桿11的帶動下也發(fā)生水平方向的旋動，所述第二橫桿的旋動使得與其末端連接的豎軸發(fā)生旋轉，同時，該裝置還包括位于所述豎軸表面的用于卡持傳輸帶的齒輪，在所述基板上還具有另外其他多個豎軸，用于卡持所述傳輸帶，通過傳輸帶將旋轉氣缸旋轉時的外力傳輸?shù)剿銎渌鄠€豎軸，其他多個豎軸就會發(fā)生旋轉，由于所述其他幾個豎軸通過所述基板，并在所述基板的下方通過所述其他多個豎軸連接夾持器，所述夾持器會隨著所述豎軸的旋轉發(fā)生轉動從而達到夾持晶圓的目的。
[0004]在所述豎軸發(fā)生旋轉的是由于受到一個扭力，該扭力的作用是使得所述豎軸發(fā)生旋轉，是一個驅(qū)動力，除此之外，位于所述豎軸內(nèi)部的螺桿也會受到一個較大的切向剪切力，該剪切力是隨著扭力的產(chǎn)生同時產(chǎn)生的,而該剪切力作用于所述豎軸內(nèi)部的螺桿上,所述螺桿經(jīng)常會被扭斷，該剪切力是一個多余的力，但又無法消除。通常情況下，半導體制程中用于晶圓的主傳動裝置較為昂貴，由于所述螺桿經(jīng)常性的扭斷而需要不斷更換，極大地增加了生產(chǎn)需要的費用，造成生產(chǎn)成本上升。因此，有必要提出一種新的用于晶圓的轉動裝置來解決目前存在的如上所述的問題。
實用新型內(nèi)容
[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種主傳動裝置，用于解決現(xiàn)有技術中由于晶圓主傳動裝置中的豎軸經(jīng)常性被扭斷并且需要更換新的豎軸而導致半導體生產(chǎn)成本上升的問題。
[0006]為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種主傳動裝置，所述主傳動裝置至少包括:旋轉氣缸以及一端與所述旋轉氣缸底部連接并沿所述旋轉氣缸底部滑動的第一橫桿；具有滑槽的第二橫桿；所述第一橫桿的另一端通過所述第二橫桿的滑槽固定于所述第二橫桿；所述第一橫桿沿所述滑槽來回滑動并在水平方向繞所述第二橫桿旋轉；豎軸；所述第二橫桿的末端與所述豎軸頂部連接并繞所述豎軸在水平方向旋轉；穿過所述第二橫桿與所述豎軸的連接端將所述豎軸固定于一基板上的螺桿；由水平桿和豎直桿連接構成的框架；所述螺桿的頂部連接于所述水平桿；所述豎直桿的底部固定于所述基板上。
[0007]作為本實用新型的主傳動裝置的一種優(yōu)選方案，所述螺桿位于所述第二橫桿上方部分的長度不小于位于所述豎軸內(nèi)部的長度。
[0008]作為本實用新型的主傳動裝置的一種優(yōu)選方案，所述螺桿的直徑不小于所述豎軸
直徑的三分之一。
[0009]作為本實用新型的主傳動裝置的一種優(yōu)選方案，所述螺桿的軸心線與所述豎軸的軸心線重合。
[0010]作為本實用新型的主傳動裝置的一種優(yōu)選方案，與所述螺桿連接的框架為兩個。
[0011]作為本實用新型的主傳動裝置的一種優(yōu)選方案，除與所述螺桿頂部連接的所述框架的水平桿以外，所述另一框架的水平桿與所述螺桿的連接端位于所述豎軸上方與螺桿頂部之間。
[0012]作為本實用新型的主傳動裝置的一種優(yōu)選方案，所述兩個框架的水平投影不在一條直線上。
[0013]作為本實用新型的主傳動裝置的一種優(yōu)選方案，所述豎軸表面具有卡持傳輸帶的齒輪。
[0014]作為本實用新型的主傳動裝置的一種優(yōu)選方案，該裝置還包括固定于所述基板上且具有齒輪的至少兩個傳動豎軸，所述至少兩個傳動豎軸的齒輪中卡有傳輸帶，該傳輸帶與所述豎軸表面齒輪中的傳輸帶首尾連接形成一個閉合傳輸帶。
[0015]作為本實用新型的主傳動裝置的一種優(yōu)選方案，該裝置還包括位于所述基板下方且與所述兩個傳動豎軸的底部分別連接的夾持桿，所述夾持桿用于夾持晶圓。
[0016]如上所述，本實用新型的主傳動裝置，通過將現(xiàn)有技術中所述主傳動裝置的螺桿進行加長，并在所述加長的螺桿頂部連接一個由水平桿和豎直桿構成的框架。具有以下有益效果:當所述豎軸發(fā)生旋轉時，受到的切向的剪切力會分擔在所述加長的螺桿以及所述框架的各個部分，減小了所述螺桿所受剪切力的大小，使得所述螺桿以及豎軸不易被頻繁扭斷，節(jié)約了生產(chǎn)成本，同時提高了工作效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為現(xiàn)有技術中的主傳動裝置示意圖。
[0018]圖2為本實用新型的一種主傳動裝置示意圖。
[0019]圖3為本實用新型的另一種主傳動裝置示意圖。
[0020]元件標號說明
[0021]10、20 旋轉氣缸
[0022]11,21 第一橫桿
[0023]12、22 第二橫桿
[0024]13、23 豎軸
[0025]14、24 基板[0026]15、25 螺桿
[0027]261、263 水平桿
[0028]262、264 豎直桿
[0029]27傳動豎軸
[0030]28夾持桿
[0031]29晶圓
【具體實施方式】
[0032]以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領域技術人員可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點與功效。本實用新型還可以通過另外不同的【具體實施方式】加以實施或應用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應用，在沒有背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。
[0033]請參閱圖2至圖3。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實用新型的基本構想，遂圖式中僅顯示與本實用新型中有關的組件而非按照實際實施時的組件數(shù)目、形狀及尺寸繪制 ，其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其組件布局型態(tài)也可能更為復雜。
[0034]如圖2所示，本實用新型提供一種主傳動裝置，該裝置至少包括:旋轉氣缸20，一端與所述旋轉氣缸20的底部相連接的第一橫桿21，所述第一橫桿21可沿所述旋轉氣缸20的底部滑動，所述第一橫桿21的另一端連接有第二橫桿22，所述第一橫桿與所述第二橫桿22的連接是通過位于所述第二橫桿表面的滑槽將所述第一橫桿21的另一端固定于所述第二橫桿22，所述第一橫桿21可沿所述滑槽來回滑動并可在水平方向繞所述第二橫桿22旋轉；圖2中，所述第二橫桿表面黑色區(qū)域表示所述滑槽；當所述旋轉氣缸20在外力的驅(qū)動作用下發(fā)生旋轉時，與所述旋轉氣缸底部相連接的所述第一橫桿的一端由所述旋轉氣缸帶動沿所述旋轉氣缸底面發(fā)生滑動，由于所述第一橫桿21的另一端通過所述第二橫桿22表面的滑槽連接于所述第二橫桿22，因此，所述第一橫桿在發(fā)生滑動時，帶動所述第二橫桿22發(fā)生旋轉，所述第二橫桿22僅在水平方向發(fā)生旋轉。
[0035]所述第二橫桿22的末端與一豎軸23的頂部相互連接，穿過所述第二橫桿22與所述豎軸連接端的螺桿25將所述豎軸23固定于一基板24上，由于所述第二橫桿22的末端與所述豎軸23相互連接，所述螺桿25穿過所述第二橫桿22與所述豎軸的連接端并將所述豎軸固定在所述基板24上，因此所述第二橫桿22可繞所述豎軸在水平方向旋轉；當所述第二橫桿22在所述第一橫桿21的帶動下發(fā)生旋轉時，所述第二橫桿22以所述豎軸為圓心，在水平方向發(fā)生旋轉。
[0036]由于所述螺桿25穿過所述第二橫桿與所述豎軸的連接端，所述螺桿25的頂部位于離所述第二橫桿末端一定距離的上方位置，本實用新型還包括一框架，所述框架由一水平桿261和一豎直桿262連接構成。所述螺桿的頂部與所述水平桿261相互連接，所述豎直桿262的底部固定于所述基板24上。
[0037]通過所述第一橫桿21旋轉的帶動，所述第二橫桿22繞所述豎軸23發(fā)生旋轉，由于所述第二橫桿22的旋轉，所述豎軸23會受到一個扭力，該扭力使得所述豎軸繞位于其內(nèi)部的所述螺桿25發(fā)生轉動，而所述螺桿25在所述豎軸發(fā)生旋轉的同時會受到一個切向的剪切力，在頻繁的操作過程中，所述剪切力會使得所述螺桿25發(fā)生斷裂，為了增加所述螺桿25的使用壽命,作為本實用新型的一種優(yōu)選方案,所述螺桿位于所述第二橫桿上方部分的長度不小于位于所述豎軸內(nèi)部的長度。如圖1所示，所述第二橫桿上方部分與所述水平橫桿相連接的所述螺桿的長度大于或等于該螺桿在所述豎軸23內(nèi)部的長度，之所以將此作為本實用新型的一種有優(yōu)選方案，是因為所述剪切力主要是集中在所述豎軸內(nèi)部的螺桿部分，位于所述第二橫桿上方部分的所述螺桿的長度越長，其分擔的剪切力也越多；在剪切力一定的情況下，位于所述豎軸內(nèi)部的螺桿部分受到的剪切力也就越小，因此增加了所述螺桿的使用壽命。
[0038]為了進一步增加所述螺桿的使用壽命，作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述螺桿的直徑不小于所述豎軸直徑的三分之一。在所述豎軸能正常被所述螺桿固定的情況下，同時所述豎軸旋轉時所受剪切力一定的情況下，所述螺桿的直徑越大，所述螺桿各個部分受到的剪切力越小，因此所述螺桿更不容易被扭斷。另一種優(yōu)選的方案是:所述螺桿在所述第二橫桿上方的部分越長的情況下，所述螺桿的直徑小于所述豎軸直徑的三分之一也可以增加所述螺桿25的使用壽命。
[0039]為了使得所述螺桿各個部分受到的剪切力均勻，作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述螺桿的軸心線與所述豎軸的軸心線重合。這樣，所述豎軸在繞所述螺桿旋轉的過程中，所述螺桿各部分的受力均勻，不至于使得某一部分受力過大而導致被扭斷裂。
[0040]作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，與所述螺桿連接的框架為兩個。除與所述螺桿頂部連接的所述框架的水平桿以外，所述另一框架的水平桿與所述螺桿的連接端位于所述豎軸上方與螺桿頂部之間。如圖3所示，所述水平桿261與所述豎直桿262構成其中一個框架；所述水平桿263與所述豎直桿264構成所述另一個框架；該兩個框架的豎直桿的底端部分都固定于所述基板上。所述兩個框架的水平桿都連接于所述螺桿，當所述兩個框架分別位于所述螺桿的兩側時，即所述兩個框架的水平投影位于一條直線上，則所述兩個框架的水平桿的高度可以相同，亦即所述兩個水平桿與所述螺桿的連接端位于同一高度。作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述兩個水平桿與所述螺桿的連接端不在同一高度，即所述其中一個框架的水平桿263部分與所述螺桿的連接端位于所述豎軸上方與所述螺桿頂部之間。而所述另一個框架的所述水平桿261部分與所述螺桿的連接端在所述螺桿的頂部。該優(yōu)選方案的好處為了使得位于所述第二橫桿22上方的所述螺桿25的部分有更多的部件來對其進行剪切力的分擔，避免該位于所述第二橫桿上方的所述螺桿部分過長而在所述剪切力的作用下發(fā)生斷裂的可能。
[0041]本實用新型中所述兩個框架的水平投影可以是位于同一直線上，也可以互成一定夾角。作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述兩個框架的水平投影互成夾角，所述夾角的大小不等于180度，即所述兩個框架的水平投影不在同一條直線上，該優(yōu)選方案的好處是可以使得該裝置的所述螺桿更穩(wěn)定地被所述兩個框架固定。優(yōu)選地，如圖3所示，所述夾角α大于O度小于90度。
[0042]本實用新型的主傳動裝置是用于晶圓的夾持。因此本實用新型的主傳動裝置中的所述豎軸23表面具有卡持傳輸帶的齒輪。所述基板24上還固定有至少兩個傳動豎軸27，所述至少兩個傳動豎軸的齒輪中卡有傳輸帶，該傳輸帶與所述豎軸表面齒輪中的傳輸帶首尾連接形成一個閉合傳輸帶。所述至少兩個傳動豎軸27的作用是與所述豎軸23 —起將所述傳輸帶卡持于各自表面的齒輪中構成一個聯(lián)動的傳輸系統(tǒng)。當所述豎軸23在所述第二橫桿22的旋轉帶動下發(fā)生扭轉時，卡持于所述豎軸23以及所述至少兩個傳動豎軸表面齒輪中的傳輸帶會連帶所述傳動至少兩個豎軸一起發(fā)生轉動。
[0043]該裝置還包括位于所述基板下方且與所述兩個傳動豎軸的底部分別連接的夾持桿28，所述夾持桿用于夾持晶圓。當所述至少兩個傳動豎軸27通過所述傳輸帶在所述傳動豎軸23的帶動下發(fā)生旋轉時，與所述其中兩個傳動豎軸底部連接的夾持桿28也會發(fā)生轉動，從而實現(xiàn)夾持晶圓的目的。
[0044]綜上所述，本實用新型通過將現(xiàn)有技術中所述主傳動裝置的螺桿進行加長，并在所述加長的螺桿頂部連接一個由水平桿和豎直桿構成的框架。當所述豎軸發(fā)生旋轉時，受到的切向的剪切力會分擔在所述加長的螺桿以及所述框架的各個部分，減小了所述螺桿所受剪切力的大小，使得所述螺桿以及豎軸不易被頻繁扭斷，在節(jié)約生產(chǎn)成本的同時提高了工作效率。所以，本實用新型有效克服了現(xiàn)有技術中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
[0045]上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1.一種主傳動裝置，其特征在于，所述主傳動裝置至少包括: 旋轉氣缸以及一端與所述旋轉氣缸底部連接并沿所述旋轉氣缸底部滑動的第一橫桿； 具有滑槽的第二橫桿；所述第一橫桿的另一端通過所述第二橫桿的滑槽固定于所述第二橫桿；所述第一橫桿沿所述滑槽來回滑動并在水平方向繞所述第二橫桿旋轉； 豎軸；所述第二橫桿的末端與所述豎軸頂部連接并繞所述豎軸在水平方向旋轉；穿過所述第二橫桿與所述豎軸的連接端將所述豎軸固定于一基板上的螺桿； 由水平桿和豎直桿連接構成的框架；所述螺桿的頂部連接于所述水平桿；所述豎直桿的底部固定于所述基板上。
2.根據(jù)權利要求1所述的主傳動裝置，其特征在于:所述螺桿位于所述第二橫桿上方部分的長度不小于位于所述豎軸內(nèi)部的長度。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的主傳動裝置，其特征在于:所述螺桿的直徑不小于所述豎軸直徑的三分之一。
4.根據(jù)權利要求1所述的主傳動裝置，其特征在于:所述螺桿的軸心線與所述豎軸的軸心線重合。
5.根據(jù)權利要求1所述的主傳動裝置，其特征在于:與所述螺桿連接的框架為兩個。
6.根據(jù)權利要求5所述的主傳動裝置，其特征在于:除與所述螺桿頂部連接的所述框架的水平桿以外，所述另一框架的水平桿與所述螺桿的連接端位于所述豎軸上方與螺桿頂部之間。
7.根據(jù)權利要求6所述的主傳動裝置，其特征在于:所述兩個框架的水平投影不在一條直線上。
8.根據(jù)權利要求1所述的主傳動裝置，其特征在于:所述豎軸表面具有卡持傳輸帶的齒輪。
9.根據(jù)權利要求8所述的主傳動裝置，其特征在于:該裝置還包括固定于所述基板上且具有齒輪的至少兩個傳動豎軸，所述至少兩個傳動豎軸的齒輪中卡有傳輸帶，該傳輸帶與所述豎軸表面齒輪中的傳輸帶首尾連接形成一個閉合傳輸帶。
10.根據(jù)權利要求9所述的主傳動裝置，其特征在于:該裝置還包括位于所述基板下方且與所述兩個傳動豎軸的底部分別連接的夾持桿，所述夾持桿用于夾持晶圓。
【文檔編號】H01L21/677GK203787404SQ201420171059
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2014年4月9日 優(yōu)先權日:2014年4月9日
【發(fā)明者】蔡茂 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司