專利名稱：一種晶圓輸送分配裝置及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶圓輸送分配裝置及其方法，尤其涉及一種通過不同輸送方向的晶圓輸送軌道，來達到晶圓進行輸送時，可自動分配晶圓輸送路徑。
背景技術(shù)：
隨著科技不斷地提升，目前半導體廠、太陽能電池晶圓廠為了提高生產(chǎn)力或保持競爭優(yōu)勢，有很多都已經(jīng)采用自動化方式進行晶圓的制造與搬運，同時可以節(jié)省人力成本以及提高生產(chǎn)效率，因此工廠自動化已經(jīng)是半導體必然的走向了，而為了因應(yīng)工廠自動化， 有許多工廠的輸送系統(tǒng)以及輸送路線的設(shè)計是非常重要的。一般在工廠中的晶圓搬送處理，為載入裝置將晶圓載入輸送帶上，將晶圓通過輸送帶(輸送軌道)運送給承載裝置或作業(yè)平臺，因此輸送帶的穩(wěn)定與否非常重要，當輸送帶發(fā)生蛇行或不平滑移動時，將很容易導致晶圓掉落、迭置、或不均勻沈積；
然而目前的輸送系統(tǒng)大多為單一方向運送的輸送軌道，因此當晶圓輸送路徑需要轉(zhuǎn)換方向，往往僅能單一軌道對單一軌道運送，因此會相當浪費廠房規(guī)劃的空間，而目前的輸送系統(tǒng)也都是采用無人自動化進行搬運，因此在設(shè)計之初整個廠房內(nèi)部的尺寸、高度和晶圓輸送路徑等等都必須事先規(guī)劃好，這些規(guī)劃一旦確定之后就不能夠輕易做變更，因此若是有某一個地方在運送路徑上做了變更，將使得整個晶圓盒的輸送流程產(chǎn)生沖突。因此，若能提供一種自動化晶圓輸送分配裝置及其方法，當多個載入裝置將晶圓載入多個輸送帶上時，可通過晶圓輸送裝置的改良，使晶圓能夠轉(zhuǎn)換輸送至不同輸送帶上， 以期使作業(yè)平臺與載送工具以及晶圓承載裝置之間，可以順利地進行輸送并且可以避免過多的廠房空間浪費。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的即在于提供一種晶圓輸送分配裝置及其方法，是為了使晶圓輸送帶能夠自動調(diào)整，并能配合晶圓輸送路徑，使得晶圓輸送能夠自動調(diào)整方向。本發(fā)明的另一個目的即在于提供一種晶圓輸送分配裝置及其方法，是為了能夠在產(chǎn)線規(guī)劃時，可以使晶圓輸送路徑還有規(guī)劃的彈性，同時能節(jié)省產(chǎn)線空間。為了達到上述兩個目的，本發(fā)明提供了一種晶圓輸送分配裝置及其方法。所述技術(shù)方案如下
一種晶圓輸送分配裝置，其包括兩個橫向輸送軌道、多個縱向輸送軌道所組成，其中該橫向輸送軌道中包含多個軌道交錯結(jié)構(gòu)、一導正裝置、一緩沖容置件和兩組平行設(shè)置在橫向輸送軌道兩側(cè)的輸送帶，而該軌道交錯結(jié)構(gòu)設(shè)置在兩組平行設(shè)置的輸送帶中央，其中該軌道交錯結(jié)構(gòu)的左右兩端為一凹口，并在中央凸口頂端設(shè)置一感測器，用于晶圓通過縱向輸送軌道與橫向輸送軌道交錯區(qū)域的軌道交錯結(jié)構(gòu)時，該多個縱向輸送軌道會自動下降與兩個橫向輸送軌道交錯重迭，并使輸送的晶圓能經(jīng)過橫向輸送軌道輸送，以方便承接設(shè)備。
而該縱向輸送軌道和橫向輸送軌道的輸送晶圓方向前端處，會各自設(shè)置一緩沖容置件，用于暫時容置晶圓之用，因此當輸送的晶圓停止在輸送帶上時，而另一片晶圓又開始向前輸送，輸送帶會將帶動原晶圓至緩沖容置件內(nèi)；另外該橫向輸送軌道兩側(cè)會跨設(shè)一導正裝置，用于晶圓輸送間導引晶圓歸回正確位置角度，以降低晶圓的損壞風險。進一步地，在所述兩個橫向輸送軌道的軌道交錯區(qū)域間上各自可設(shè)置多個軌道交錯結(jié)構(gòu)，而該軌道交錯結(jié)構(gòu)的數(shù)量由縱向輸送軌道的數(shù)量而定。進一步地，所述縱向輸送軌道上包含有一開口、一緩沖容置件和兩組平行設(shè)置在縱向輸送軌道上的輸送帶，其中該開口大小必須大于軌道交錯結(jié)構(gòu)的中央凸口，以利于縱向輸送軌道能與橫向輸送軌道交錯重迭。一種晶圓輸送分配方法，包括
1)輸入晶圓經(jīng)過縱向輸送軌道輸送；
2)當縱向輸送軌道自動下降與橫向輸送軌道交錯重迭時，同時橫向輸送軌道將晶圓送往不同的方向；
3)當橫向輸送軌道開始輸送晶圓時，該縱向輸送軌道自動上升，與橫向輸送軌道脫離連結(jié)，并繼續(xù)輸送晶圓。該晶圓到達縱向輸送軌道與橫向輸送軌道交錯區(qū)域時，該縱向輸送軌道停止向前輸送晶圓，并會自動下降與橫向輸送軌道交錯重迭。該晶圓離開縱向輸送軌道與橫向輸送軌道交錯區(qū)域時，該縱向輸送軌道會自動上升，與橫向輸送軌道脫離連結(jié)，同時縱向輸送軌道啟動，繼續(xù)向前輸送晶圓。本發(fā)明提供的晶圓輸送分配裝置及其方法，可使晶圓輸送帶能夠自動調(diào)整上升與下降，并能配合晶圓輸送路徑，使得晶圓輸送能夠自動調(diào)整方向，以配合承載裝置或不同作業(yè)平臺使用，另外，還有利于進行廠房規(guī)劃時，配合整個廠房內(nèi)部的尺寸、高度，使晶圓輸送路徑還有規(guī)劃的彈性，同時能節(jié)省廠房空間。


圖IA是本發(fā)明實施例1提供的晶圓輸送分配裝置的立體架構(gòu)圖IB是本發(fā)明實施例1提供的晶圓輸送分配裝置的縱向輸送軌道上升示意圖； 圖IC是本發(fā)明實施例1提供的晶圓輸送分配裝置的縱向輸送軌道下降示意圖； 圖2A是本發(fā)明實施例1提供的第一種晶圓輸送分配方法的實施例圖； 圖2B是本發(fā)明實施例1提供的第二種晶圓輸送分配方法的實施例圖； 圖2C是本發(fā)明實施例1提供的第三種晶圓輸送分配方法的實施例圖； 圖2D是本發(fā)明實施例1提供的第四種晶圓輸送分配方法的實施例圖； 圖3是本發(fā)明實施例1提供的晶圓輸送分配裝置的導正裝置實施示意圖； 圖4是本發(fā)明實施例1提供的晶圓輸送分配裝置的縱向輸送軌道的緩沖容置示意圖； 圖5為本發(fā)明實施例1提供的晶圓輸送分配裝置的橫向輸送軌道的緩沖容置示意圖。主要元件符號說明1縱向輸送軌道，11 開口，12 緩沖容置件，13 輸送帶，
2橫向輸送軌道，21 軌道交錯結(jié)構(gòu)，211 中央凸口，212 凹口， 22 導正裝置，221 夾具，23 緩沖容置件，24 輸送帶，3 感測器， 4 晶圓，41-44 :晶圓，5 :晶圓。
具體實施方式
為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實施方式作進一步地詳細描述。
實施例1
如圖1A、圖IB和圖IC所示為本發(fā)明實施例提供的晶圓輸送分配裝置及其方法的立體結(jié)構(gòu)圖、縱向輸送軌道上升示意圖和縱向輸送軌道下降示意圖，根據(jù)圖IA可知，該晶圓輸送分配裝置主要包括
多個縱向輸送軌道1，與橫向輸送軌道2交錯設(shè)置，而該橫向輸送軌道2與縱向輸送軌道1之間具有高度差，另外該縱向輸送軌道1上包含有一開口 11、一緩沖容置件12和兩組平行設(shè)置在縱向輸送軌道1兩側(cè)的輸送帶13，其開口 11大小必須大于軌道交錯結(jié)構(gòu)21的中央凸口 211，以利于該多個縱向輸送軌道1能與兩個橫向輸送軌道2交錯重迭；
兩個橫向輸送軌道2，與縱向輸送軌道1交錯設(shè)置，其中該橫向輸送軌道2中包含有多個軌道交錯結(jié)構(gòu)21、一導正裝置22、一緩沖容置件23和一組平行設(shè)置在橫向輸送軌道2兩側(cè)的輸送帶24，而該軌道交錯結(jié)構(gòu)21設(shè)置在該組輸送帶24中央，其中該軌道交錯結(jié)構(gòu)21 的左右兩端為一凹口 212，并在中央凸口 211頂端設(shè)置一感測器3，而該感測器3為一用于測定物體的出現(xiàn)、離開和運動的感測器，因此當晶圓經(jīng)過縱向輸送軌道1通過該軌道交錯結(jié)構(gòu)21區(qū)域時，該感測器3自動觸發(fā)調(diào)整(上升或下降)縱向輸送軌道1的高度，使多個縱向輸送軌道1自動下降與兩個橫向輸送軌道2交錯重迭，并使輸送的晶圓再經(jīng)過橫向輸送軌道2輸送，以方便承接設(shè)備；
另外該導正裝置22跨設(shè)在橫向輸送軌道2兩側(cè)，其中該導正裝置22包含有兩組平行配置的夾具221，該夾具221內(nèi)緣可沿晶圓4輸送方向，接觸并夾制導正晶圓4，使該晶圓4 歸回正確位置角度(請參見圖3)；
值得一提的是，該縱向輸送軌道1和橫向輸送軌道2的輸送晶圓方向前端處，會各自設(shè)置一緩沖容置件12，23，用于暫時容置晶圓之用，因此當輸送的晶圓4停止在輸送帶上時， 而次一片晶圓5又開始向前輸送，輸送帶會將帶動該晶圓4至緩沖容置件12，23內(nèi)(請參見圖4和圖5)。 如圖2A至圖2D所示為本發(fā)明實施例提供的晶圓輸送分配裝置及其方法的實施例圖，由圖中可知，該晶圓輸送分配裝置及其方法的其中一實施運作方式為
1.輸入晶圓41，42，43，44經(jīng)過縱向輸送軌道1輸送(請參考圖2A)；
2.當晶圓41，42，43，44到達縱向輸送軌道1與橫向輸送軌道2交錯區(qū)域(軌道交錯結(jié)構(gòu))時(請參考圖2B)，該縱向輸送軌道1停止向前輸送晶圓41，42，43，44，并會自動下降與橫向輸送軌道2交錯重迭，同時橫向輸送軌道2啟動，將晶圓41，42和晶圓43，44送往不同的方向(請參見圖2C);
3.當晶圓41，42，43，44完全離開縱向輸送軌道1與橫向輸送軌道2交錯區(qū)域時，該縱向輸送軌道1會自動上升，與橫向輸送軌道2脫離連結(jié)，同時縱向輸送軌道1啟動，繼續(xù)向前輸送晶圓41，42，43，44 (請參見圖2D)。值得一提的是，當晶圓41，42，43，44到達縱向輸送軌道1與橫向輸送軌道2交錯區(qū)域時，該晶圓41，42，43，44會將軌道交錯結(jié)構(gòu)所設(shè)置的感測器觸發(fā)，因此驅(qū)動縱向輸送軌道1自動下降，而當晶圓41，42，43，44完成離開軌道交錯區(qū)域時，感測器將再次被觸發(fā)， 因此驅(qū)動縱向輸送軌道1自動上升。本發(fā)明實施例提供的晶圓輸送分配裝置及其方法，與其他現(xiàn)有技術(shù)相互比較時， 具備下列優(yōu)點
1.本發(fā)明實施例提供的晶圓輸送分配裝置及其方法，可使晶圓輸送帶能夠自動調(diào)整上升與下降，并能配合晶圓輸送路徑，使得晶圓輸送能夠自動調(diào)整方向，以配合承載裝置或不同作業(yè)平臺使用。2.本發(fā)明實施例提供的晶圓輸送分配裝置及其方法，有利于進行廠房規(guī)劃時，配合整個廠房內(nèi)部的尺寸、高度，使晶圓輸送路徑還有規(guī)劃的彈性，同時能節(jié)省廠房空間。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種晶圓輸送分配裝置，其特征在于，包含多個縱向輸送軌道，與橫向輸送軌道交錯設(shè)置，而該縱向輸送軌道上包含有一開口和一組設(shè)置在縱向輸送軌道兩側(cè)的輸送帶；兩個橫向輸送軌道，與縱向輸送軌道交錯設(shè)置，其中該橫向輸送軌道中包含有多個軌道交錯結(jié)構(gòu)和一組設(shè)置在橫向輸送軌道兩側(cè)的輸送帶，而該橫向輸送軌道與縱向輸送軌道交錯重迭，使晶圓輸送調(diào)整方向，以方便承接設(shè)備。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓輸送分配裝置，其特征在于，在該橫向輸送軌道上的軌道交錯區(qū)域間設(shè)置多個軌道交錯結(jié)構(gòu)，而該軌道交錯結(jié)構(gòu)的數(shù)量由縱向輸送軌道的數(shù)量而定。
3.如權(quán)利要求2所述的晶圓輸送分配裝置，其特征在于，該軌道交錯結(jié)構(gòu)設(shè)置在橫向輸送軌道的兩組輸送帶中央，而該軌道交錯結(jié)構(gòu)的左右兩端為一凹口，并在中央凸口頂端設(shè)置一感測器。
4.如權(quán)利要求3所述的晶圓輸送分配裝置，其特征在于，該感測器為一用于測定物體的出現(xiàn)、離開和運動的感測器，并觸發(fā)縱向輸送軌道自動調(diào)整高度。
5.如權(quán)利要求3所述的晶圓輸送分配裝置，其特征在于，該開口大小大于軌道交錯結(jié)構(gòu)的中央凸口，用于該多個縱向輸送軌道與兩個橫向輸送軌道交錯重迭。
6.如權(quán)利要求1所述的晶圓輸送分配裝置，其特征在于，該縱向輸送軌道和橫向輸送軌道的輸送晶圓方向前端處，會各自設(shè)置一緩沖容置件，用于暫時容置晶圓之用。
7.如權(quán)利要求1所述的晶圓輸送分配裝置，其特征在于，該橫向輸送軌道兩側(cè)跨設(shè)一導正裝置，而該導正裝置包含兩組平行配置的夾具，用于接觸并夾制導正晶圓。
8.一種晶圓輸送分配方法，其特征在于，包括輸入晶圓經(jīng)過縱向輸送軌道輸送；當縱向輸送軌道自動下降與橫向輸送軌道交錯重迭時，同時橫向輸送軌道將晶圓送往不同的方向；當橫向輸送軌道開始輸送晶圓時，該縱向輸送軌道自動上升，與橫向輸送軌道脫離連結(jié)，并繼續(xù)輸送晶圓。
9.如權(quán)利要求8所述的晶圓輸送分配方法，其特征在于，該晶圓到達縱向輸送軌道與橫向輸送軌道交錯區(qū)域時，該縱向輸送軌道停止向前輸送晶圓，并會自動下降與橫向輸送軌道交錯重迭。
10.如權(quán)利要求8所述的晶圓輸送分配方法，其特征在于，該晶圓離開縱向輸送軌道與橫向輸送軌道交錯區(qū)域時，該縱向輸送軌道會自動上升，與橫向輸送軌道脫離連結(jié)，同時縱向輸送軌道啟動，繼續(xù)向前輸送晶圓。
全文摘要
一種晶圓輸送分配裝置及其方法，該裝置包含二個橫向輸送軌道、多個縱向輸送軌道所組成，其中該橫向輸送軌道主要包含有多個軌道交錯結(jié)構(gòu)，而該軌道交錯結(jié)構(gòu)的左右兩端為一凹口，并在中央凸口頂端設(shè)置一感測器，用于晶圓到達縱向輸送軌道與橫向輸送軌道交錯區(qū)域時，該縱向輸送軌道會自動下降與橫向輸送軌道交錯重迭，并使該輸送的晶圓再經(jīng)過橫向輸送軌道輸送，以方便承接設(shè)備。
文檔編號H01L21/677GK102280397SQ201010196949
公開日2011年12月14日 申請日期2010年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月10日
發(fā)明者張世宏 申請人:致茂電子(蘇州)有限公司