技術(shù)編號：6946488
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，尤其涉及一種通過不同輸送方向的晶圓輸送軌道，來達到晶圓進行輸送時，可自動分配晶圓輸送路徑。背景技術(shù)隨著科技不斷地提升，目前半導體廠、太陽能電池晶圓廠為了提高生產(chǎn)力或保持競爭優(yōu)勢，有很多都已經(jīng)采用自動化方式進行晶圓的制造與搬運，同時可以節(jié)省人力成本以及提高生產(chǎn)效率，因此工廠自動化已經(jīng)是半導體必然的走向了，而為了因應(yīng)工廠自動化， 有許多工廠的輸送系統(tǒng)以及輸送路線的設(shè)計是非常重要的。一般在工廠中的晶圓搬送處理，為載入裝置將晶圓載入輸送帶上，將晶圓通過...
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