一種真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置制造方法
【專利摘要】一種真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置，包括旋轉(zhuǎn)軸和石墨旋轉(zhuǎn)軸，所述石墨旋轉(zhuǎn)軸的一端與所述旋轉(zhuǎn)軸連接，另一端設(shè)置在真空爐的加熱室內(nèi)，并且所述加熱室內(nèi)設(shè)有與石墨旋轉(zhuǎn)軸連接的旋轉(zhuǎn)放樣臺，所述旋轉(zhuǎn)軸和石墨旋轉(zhuǎn)軸的中部設(shè)有相互連通的氣體通道，所述旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有與所述氣體通道連通的進氣口，所述石墨旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)面在加熱室內(nèi)的部分上開設(shè)有多個與氣體通道連通的出氣體通道，所述旋轉(zhuǎn)軸通過動力裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。本實用新型提高了工件與氣體接觸的機會，彌補了靜態(tài)擺放工件和單點定向布氣形成的死區(qū)這一缺點，使真空爐內(nèi)氣體更均勻。
【專利說明】一種真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)真空電爐【技術(shù)領(lǐng)域】(如真空熱處理爐、化學(xué)氣相沉積爐等)工件擺放在料臺上，工藝氣體進氣多采用單點進氣或多點分布進氣方式，工件擺放和進氣均為靜態(tài)方式，這樣處理具有結(jié)構(gòu)簡單，制作方便的特點，但是缺點是氣體和工件接觸不均勻，易出現(xiàn)氣體流動死角，在講究氣體流場分布的材料處理工藝(如氣相沉積工藝)中易造成產(chǎn)品處理不均勻。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種結(jié)構(gòu)簡單、在保證高溫和真空的前提下實現(xiàn)料臺旋轉(zhuǎn)和氣體均勻分布，使工件與氣體充分接觸，避免了出現(xiàn)接觸死角，處理效果更加均勻的真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案是:
[0005]一種真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置，包括旋轉(zhuǎn)軸和石墨旋轉(zhuǎn)軸，所述石墨旋轉(zhuǎn)軸的一端與所述旋轉(zhuǎn)軸連接，另一端設(shè)置在真空爐的加熱室內(nèi)，并且所述加熱室內(nèi)設(shè)有與石墨旋轉(zhuǎn)軸連接的旋轉(zhuǎn)放樣臺，所述旋轉(zhuǎn)軸和石墨旋轉(zhuǎn)軸的中部設(shè)有相互連通的氣體通道，所述旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有與所述氣體通道連通的進氣口，所述石墨旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)面在加熱室內(nèi)的部分上開設(shè)有多個與氣體通道連通的出氣孔，所述旋轉(zhuǎn)軸通過動力裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。
[0006]所述旋轉(zhuǎn)軸的外圓在進氣口的位置設(shè)有與進氣口連通的氣槽，所述旋轉(zhuǎn)軸通過軸承安裝在軸套內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)軸在氣槽的上下兩側(cè)通過旋轉(zhuǎn)機械密封裝置密封并且所述旋轉(zhuǎn)機械密封裝置外安裝有水冷套進行水冷降溫。
[0007]所述旋轉(zhuǎn)軸上安裝有驅(qū)動鏈輪，所述驅(qū)動鏈輪通過傳動裝置于電機的輸出端連接。
[0008]由于采用上述方案，本裝置在旋轉(zhuǎn)軸的中心設(shè)置了氣體通道，一端連接外部氣源，另一端與真空爐的加熱室連通，旋轉(zhuǎn)軸在爐體內(nèi)采用石墨旋轉(zhuǎn)軸，石墨旋轉(zhuǎn)軸在爐體內(nèi)部分的側(cè)面上開有數(shù)個出氣孔，氣體通過該通道后在末端以散射的形式進入真空爐的加熱室內(nèi)，由于氣體也呈現(xiàn)出360度全范圍的噴射，從而實現(xiàn)了全角度進氣的均勻布氣效果。
[0009]綜上所述，本專利在保證真空條件的前提下通過對料臺和進氣的旋轉(zhuǎn)處理，使真空爐內(nèi)氣體更均勻，提高了工件與氣體接觸的機會，彌補了靜態(tài)擺放工件和單點定向布氣形成的死區(qū)這一缺點。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型安裝在真空爐上的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是圖1A處的放大圖。[0012]附圖1至2中，I——旋轉(zhuǎn)放料臺，2——加熱室，3——爐體，4——石墨旋轉(zhuǎn)軸，5——旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，6——排氣口，51——旋轉(zhuǎn)軸，52——驅(qū)動鏈輪，53——旋轉(zhuǎn)機械密封裝置，54——水冷套，55——進氣口。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖，進一步詳細說明本專利的【具體實施方式】。
[0014]參照圖1至2，真空爐包括爐體3、加熱室2、真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置5和排氣口 6，真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置5包括旋轉(zhuǎn)軸51和石墨旋轉(zhuǎn)軸4，所述石墨旋轉(zhuǎn)軸4的一端與所述旋轉(zhuǎn)軸51連接，另一端設(shè)置在真空爐爐體3的加熱室6內(nèi)，并且所述加熱室6內(nèi)設(shè)有與石墨旋轉(zhuǎn)軸4連接的旋轉(zhuǎn)放樣臺1，所述旋轉(zhuǎn)軸51和石墨旋轉(zhuǎn)軸4的中部設(shè)有相互連通的氣體通道，所述旋轉(zhuǎn)軸51上設(shè)有與所述氣體通道連通的進氣口 55，所述石墨旋轉(zhuǎn)軸4的側(cè)面在加熱室2內(nèi)的部分上開設(shè)有多個與氣體通道連通的出氣孔7，所述旋轉(zhuǎn)軸51的外圓在進氣口的位置設(shè)有與進氣口 55連通的氣槽，所述旋轉(zhuǎn)軸51通過軸承安裝在軸套內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)軸51在氣槽的上下兩側(cè)通過旋轉(zhuǎn)機械密封裝置53密封，并且旋轉(zhuǎn)機械密封裝置53外通過水冷套54進行水冷保護，使得從進氣口 55中進入的氣體只能進入到氣體通道中。
[0015]旋轉(zhuǎn)放樣臺I選用耐高溫性能的石墨材料，旋轉(zhuǎn)軸51為金屬主動軸芯，真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置5的水冷套54采用法蘭連接形式與真空容器的安裝座連接，旋轉(zhuǎn)軸51與石墨旋轉(zhuǎn)軸4的連接采用螺紋連接方式或者銷釘連接方式。金屬主動芯軸安裝在一個的旋轉(zhuǎn)機械密封裝置53內(nèi)，該旋轉(zhuǎn)機械密封裝置53采取水冷保護，保護真空室內(nèi)高溫易損壞密封件以及金屬結(jié)構(gòu)件，同時旋轉(zhuǎn)機械密封裝置53對主動軸實現(xiàn)徑向密封，這樣就實現(xiàn)了旋轉(zhuǎn)運動下整套裝置的動態(tài)密封。
[0016]在旋轉(zhuǎn)軸51的中心設(shè)置了氣體通道，一端連接外部氣源，另一端通過石墨旋轉(zhuǎn)軸4與爐體3內(nèi)直通，石墨旋轉(zhuǎn)軸4的末端側(cè)面開有數(shù)個出氣孔7，氣體通過該通道后在末端以散射的形式進入真空腔內(nèi)。在主動軸旋轉(zhuǎn)的同時氣體也呈現(xiàn)出360度全范圍的噴射，從而實現(xiàn)了全角度進氣的均勻布氣效果。
【權(quán)利要求】
1.一種真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)軸和石墨旋轉(zhuǎn)軸，所述石墨旋轉(zhuǎn)軸的一端與所述旋轉(zhuǎn)軸連接，另一端設(shè)置在真空爐的加熱室內(nèi)，并且所述加熱室內(nèi)設(shè)有與石墨旋轉(zhuǎn)軸連接的旋轉(zhuǎn)放樣臺，所述旋轉(zhuǎn)軸和石墨旋轉(zhuǎn)軸的中部設(shè)有相互連通的氣體通道，所述旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有與所述氣體通道連通的進氣口，所述石墨旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)面在加熱室內(nèi)的部分上開設(shè)有多個與氣體通道連通的出氣體通道，所述旋轉(zhuǎn)軸通過動力裝置驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸的外圓在進氣口的位置設(shè)有與進氣口連通的氣槽，所述旋轉(zhuǎn)軸通過軸承安裝在軸套內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)軸在氣槽的上下兩側(cè)通過旋轉(zhuǎn)機械密封裝置密封并且所述旋轉(zhuǎn)機械密封裝置外安裝有水冷套進行水冷降溫。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空爐旋轉(zhuǎn)進氣裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸上安裝有驅(qū)動鏈輪，所述驅(qū)動鏈輪通過傳動裝置于電機的輸出端連接。
【文檔編號】F27D7/02GK203443361SQ201320467549
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月1日
【發(fā)明者】曹瑤瓊, 周文中, 王勝利, 羅賽 申請人:湖南科源真空裝備有限公司