基板輸送裝置及基板裝配線的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種將基板容納在輸送托盤進(jìn)行輸送且無需將其移載就可以使基板彼此粘合的基板輸送裝置及基板裝配線。本發(fā)明的基板輸送裝置，在內(nèi)部板(1a)上保持了第一基板(W1)或第二基板(W2)中的任意一方基板的輸送托盤(1)被搬入到基板裝配線的粘合位置(P1)，在粘合位置(P1)上，使其與第一基板(W1)或第二基板(W2)中的另一方基板對置，并且通過來自按壓單元(B)的按壓力使第一基板(W1)和第二基板(W2)粘合，并以將包含該被粘合的第一基板(W1)及第二基板(W2)的基板組(W)保持在內(nèi)部板(1a)上的狀態(tài)，從粘合位置(P1)搬出輸送托盤(1)。
【專利說明】基板輸送裝置及基板裝配線
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種針對在例如觸控面板、3D(三維)顯示器和電子書等中使用的包含液晶面板等的電光面板粘貼具有新的附加功能的基板的附加功能基板粘貼型顯不面板，或例如液晶顯示器(LCD)、有機(jī)EL顯示器(OLED)、等離子體顯示器(PDP)、柔性顯示器等平板顯示器(FPD)，或在例如CMOS傳感器、CXD傳感器等光器件和MEMS器件等中使用的、將電子電路和芯片等密封部件通過護(hù)罩板氣密封裝的技術(shù)等、在制造對置的第一基板和第二基板被粘合了的基板組時使用的基板輸送裝置及利用該基板輸送裝置的基板裝配線。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為這種基板組的制造方法如下進(jìn)行:電光面板(液晶面板)和局部涂上(涂布)紫外線固化性粘結(jié)劑的基板(護(hù)罩玻璃)分別被搬入，在真空氣氛中進(jìn)行真空貼合，其后，使所述電光面板及所述基板真空吸附于臨時UV固化裝置的工作臺和加圧板上，來進(jìn)行第I對準(zhǔn)處理(配置工序)，其后進(jìn)行包含第I臨時固化處理(光照射處理)、第2對準(zhǔn)處理(對位處理)及第2臨時固化處理(光照射處理)的臨時粘結(jié)工序，接著，將該臨時粘結(jié)的所述液晶面板和所述護(hù)罩玻璃適當(dāng)輸送到正式固化裝置來進(jìn)行正式固化處理(正式粘結(jié)工序)，最后，從正式固化裝置搬出被正式粘結(jié)的電光裝置。(例如參考專利文獻(xiàn)I)。
[0003]S卩，記載了在搬入第一基板(電光面板:液晶面板)和第二基板(基板:護(hù)罩玻璃)之后，直到該兩方基板被粘合而成為基板組(電光裝置)而搬出為止，依次進(jìn)行真空貼合、對準(zhǔn)處理、臨時粘結(jié)、正式固化的基板裝配線。
[0004]以往技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:2009-230039號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明要解決的技術(shù)課題
[0008]然而，在這種以往的基板組的制造方法中，基板裝配線上的第一基板及第二基板的輸送都是利用直接接觸各基板來反復(fù)移載的方法進(jìn)行，因此第一基板及第二基板和基板組的輸送接觸面容易因它們的輸送而被劃傷，由此存在成品率差的問題。
[0009]因此，為了解決這種問題，可以考慮將第一基板和第二基板容納在例如托盤和托板等輸送器而使其僅與輸送器接觸的方法。
[0010]但是，在該情況下，當(dāng)基板裝配線中存在貼合機(jī)等按壓單元時，欲使基板彼此貼合，輸送器成為障礙，無法以容納在輸送器的狀態(tài)進(jìn)行基板彼此的貼合，需要僅將基板取出，存在與基板接觸的機(jī)會。尤其，在真空氣氛中進(jìn)行基板彼此的貼合的“真空貼合機(jī)”的情況下，由于是與大氣隔絕的真空室，因此很難避免這種現(xiàn)象。
[0011]如果，能夠以容納在輸送器的狀態(tài)進(jìn)行基板彼此的貼合，則無需在基板裝配線上進(jìn)行最初的向基板裝配線的搬入和最后的從基板裝配線的搬出(取出)，以及除不得不進(jìn)行的基板彼此的對位動作以外，無需僅將基板取出的操作及裝置，在基板裝配線中與基板接觸的機(jī)會極其減少。
[0012]另外，在平板顯示器(FPD)系統(tǒng)中，有時還要求比上述生產(chǎn)線包含更多裝置的生產(chǎn)線，根據(jù)上述方法，不僅可以消除基板的劃傷風(fēng)險，還能夠?qū)崿F(xiàn)作為輸送機(jī)構(gòu)的分度工作臺、輸送機(jī)等同步型驅(qū)動生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)，從而能夠改善生產(chǎn)節(jié)拍等。
[0013]本發(fā)明是以解決這種問題作為課題，其目的在于提供一種將基板容納在輸送托盤進(jìn)行輸送且無需將其移載就能夠使基板彼此粘合的基板輸送裝置及基板裝配線等。
[0014]用于解決技術(shù)課題的手段
[0015]為了實現(xiàn)這種目的，基于本發(fā)明的基板輸送裝置，其使用于配備了將對置的第一基板和第二基板粘合的按壓單元的基板裝配線，所述基板輸送裝置具備:輸送托盤，其設(shè)有裝卸自如地保持所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板或所述第一基板及所述第二基板被粘合了的基板組的內(nèi)部板，所述輸送托盤以在所述內(nèi)部板上保持所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板的狀態(tài)，被搬入到所述基板裝配線的粘合位置，在所述粘合位置上，使其與所述第一基板或所述第二基板中的另一方基板對置，并且通過來自所述按壓單元的按壓力使所述第一基板和所述第二基板粘合，并以將該被粘合的所述第一基板及所述第二基板保持在所述內(nèi)部板上的狀態(tài)，從所述粘合位置被搬出。
[0016]并且，為了實現(xiàn)這種目的，基于本發(fā)明的基板裝配線，其配備了將對置的第一基板和第二基板粘合的按壓單元，所述基板裝配線具備:輸送托盤，其設(shè)有裝卸自如地保持所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板或所述第一基板及所述第二基板被粘合了的基板組的內(nèi)部板；及所述按壓單元，設(shè)置于所述輸送托盤的輸送中途，所述按壓單元具有:空間部，所述輸送托盤被搬入到所述空間部；及按壓部件，將所述第一基板及所述第二基板這兩方基板沿相互接近的方向推動，或者將所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板朝向另一方基板推動，所述輸送托盤以在所述內(nèi)部板上保持所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板的狀態(tài)，被搬入到所述空間部，在所述空間部中，使其與所述第一基板或所述第二基板中的另一方基板對置，并且通過所述按壓部件的作動使所述第一基板和所述第二基板粘合，并以將該被粘合的所述第一基板及所述第二基板保持在所述內(nèi)部板上的狀態(tài)，從所述空間部被搬出。
[0017]發(fā)明效果
[0018]基于具有前述特征的本發(fā)明的基板輸送裝置，在內(nèi)部板上保持了第一基板或第二基板中的任意一方基板的輸送托盤被搬入到基板裝配線的粘合位置，在粘合位置上，使其與第一基板或第二基板中的另一方基板對置，并且通過來自按壓單元的按壓力使第一基板和第二基板粘合，并以將包含該被粘合的第一基板及第二基板的基板組保持在內(nèi)部板上的狀態(tài)，從粘合位置搬出輸送托盤，因此能夠?qū)⒒迦菁{在輸送托盤進(jìn)行輸送且無需移載就能夠使基板彼此粘合。
[0019]其結(jié)果，與為了輸送基板而需要與基板直接接觸來反復(fù)移載的以往的基板輸送裝置相比，能夠避免基板的劃傷風(fēng)險，不會因劃傷產(chǎn)生不合格品，因此可以實現(xiàn)成品率的提聞。
[0020]并且，基于具有前述特征的本發(fā)明的基板裝配線，在內(nèi)部板上保持了第一基板或第二基板中的任意一方基板的輸送托盤被搬入到按壓單元的空間部，在空間部中，使其與第一基板或第二基板中的另一方基板對置，并且通過按壓部件的作動使第一基板和第二基板粘合，并以將包含該被粘合的第一基板及第二基板的基板組保持在內(nèi)部板上的狀態(tài)，從空間部搬出輸送托盤，因此能夠?qū)⒒迦菁{在輸送托盤進(jìn)行輸送且無需移載就能夠使基板彼此粘合。
[0021]其結(jié)果，與為了輸送基板而需要與基板直接接觸來反復(fù)移載的以往的基板輸送裝置相比，能夠避免基板的劃傷風(fēng)險，不會因劃傷產(chǎn)生不合格品，因此可以實現(xiàn)成品率的提聞。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0022]圖1是表示本發(fā)明的實施方式所涉及的基板輸送裝置及基板裝配線的整體結(jié)構(gòu)的說明圖(縱截面主視圖)，(a)表示第I基板及第2基板的搬入時，(b)表示第I基板及第2基板的粘合前，(c)表示第I基板及第2基板的粘合時，(d)表示第I基板及第2基板的粘合后，(e)表示第I基板及第2基板的搬出時，(f)表示搬入前的等待狀態(tài)。
[0023]圖2是第二輸送托盤的說明圖，(a)是放大仰視圖，(b)是表示第I基板及第2基板的粘合時的放大縱截面主視圖，(c)是表示第二基板W2的剝離時的放大縱截面主視圖。
[0024]圖3是表示大氣調(diào)整的例子的說明圖(縱截面主視圖)，(a)表示調(diào)整前，(b)表示調(diào)整時。
[0025]圖4是表示本發(fā)明的另一實施方式所涉及的基板輸送裝置及基板裝配線的整體結(jié)構(gòu)的說明圖(縱截面主視圖)，(a)表示第I基板及第2基板的搬入時，(b)表示第I基板及第2基板的粘合前，(c)表示第I基板及第2基板的粘合時，(d)表示第I基板及第2基板的粘合后，(e)表示第I基板及第2基板的搬出時。
[0026]圖5是表示大氣調(diào)整的例子的說明圖，(a)是縱截面主視圖，(b)是俯視圖。
[0027]圖6是表示本發(fā)明的另一實施方式所涉及的基板輸送裝置及基板裝配線的整體結(jié)構(gòu)的說明圖(橫截面俯視圖)。
[0028]圖7是粘合位置上的縱截面主視圖。
[0029]圖8是表示本發(fā)明的另一實施方式所涉及的基板輸送裝置及基板裝配線的整體結(jié)構(gòu)的說明圖，(a)表示俯視圖，(b)表示縱截面主視圖。
【具體實施方式】
[0030]以下，根據(jù)附圖對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0031]如圖1?圖7所示，本發(fā)明的實施方式所涉及的基板輸送裝置A使用于配備了將對置的第一基板Wl和第二基板W2沿Z方向粘合的按壓單元B的基板裝配線。
[0032]基板輸送裝置A具備輸送托盤I作為主要構(gòu)成要件，該輸送托盤I設(shè)有裝卸自如地保持第一基板Wl或第二基板W2中的任意一方基板或第一基板Wl及第二基板W2沿Z方向被粘合了的基板組W的內(nèi)部板la。
[0033]構(gòu)成基板組W的第一基板Wl和第二基板W2包含:在例如觸控面板、3D顯示器及電子書等中使用的液晶面板等電光面板、針對其粘貼的護(hù)罩玻璃等基板；在例如液晶顯不器(IXD)、有機(jī)EL顯示器(OLED)、等離子體顯示器(I3DP)、柔性顯示器等平板顯示器(FPD)中使用的、玻璃制基板或PES (Poly-Ether-Sulphone)等塑料薄膜和合成樹脂制基板；及在例如CMOS傳感器、CCD傳感器等光器件和MEMS器件等中使用的、面接安裝了電子電路和芯片的晶圓和護(hù)罩玻璃等護(hù)罩板等，將這些作為上基板和下基板對置而進(jìn)行貼合。
[0034]作為第一基板Wl和第二基板W2，也能夠使用在其制作階段將排列設(shè)置多個液晶面板和護(hù)罩玻璃等的分離前的一張基板。
[0035]另外，優(yōu)選第一基板Wl和第二基板W2被形成為矩形等，并在其周緣部設(shè)置用于與后述的基板2進(jìn)行對位的對準(zhǔn)標(biāo)志(未圖示)。
[0036]在第一基板(下基板)Wl與第二基板(上基板)W2之間，在它們的對置面中的一方或兩方對置面上涂布粘結(jié)劑W3。
[0037]作為粘結(jié)劑W3，優(yōu)選將液態(tài)的紫外線固化型粘結(jié)劑、兩液混合固化型粘結(jié)劑、混入了間隙材的液態(tài)粘結(jié)劑等通過點(diǎn)膠機(jī)等并利用滴定涂裝法涂布為規(guī)定的圖案形狀。根據(jù)需要，也能夠在被粘結(jié)劑W3包圍的空間內(nèi)填充液晶等封裝材。
[0038]輸送托盤I具有與第一基板Wl和第二基板W2大致相等的大小或比其大的平板狀的內(nèi)部板la、及被形成為比內(nèi)部板Ia大的大致平板狀且以包圍內(nèi)部板Ia的方式容納的托盤主體lb。在內(nèi)部板Ia上設(shè)有用于裝卸自如地保持第一基板Wl、第二基板W2和基板組W的保持機(jī)構(gòu)。
[0039]另外，輸送托盤I通過后述的控制部受到作動控制，以在內(nèi)部板Ia上保持第一基板Wl或第二基板W2中的任意一方基板的狀態(tài)，搬入到所述基板裝配線的粘合位置Pl，在粘合位置Pl上，使其與第一基板Wl或第二基板W2中的另一方基板對置，并且通過來自按壓單元B的按壓力使第一基板Wl和第二基板W2沿Z方向相互粘合，并以將包含該被粘合的第一基板Wl及第二基板W2的基板組W保持在內(nèi)部板Ia上的狀態(tài)，從粘合位置Pl搬出。
[0040]即，第一基板Wl或第二基板W2中的任意一方基板相對于輸送托盤I的內(nèi)部板Ia被保持為裝卸自如。第一基板Wl或第二基板W2中的另一方基板相對于第二輸送托盤2或在粘合位置Pl上具備的按壓單元B被保持為裝卸自如，該第二輸送托盤2與作為輸送托盤I的第一輸送托盤獨(dú)立地具備，且設(shè)有第一內(nèi)部板作為內(nèi)部板la。
[0041]第二輸送托盤2與輸送托盤(第一輸送托盤)I同樣地具有和與第一基板Wl和第二基板W2大致相等或大于其的內(nèi)部板(第一內(nèi)部板)la相同的平板狀的第二內(nèi)部板2a、及被形成為比第二內(nèi)部板2a大的大致平板狀且以包圍第二內(nèi)部板2a的方式容納的第二托盤主體2b。在第二內(nèi)部板2a上設(shè)有用于裝卸自如地保持第一基板Wl和第二基板W2的保持機(jī)構(gòu)。
[0042]作為第二輸送托盤2的具體例，如圖1所示，被設(shè)置為能夠與輸送托盤I 一同移動，并且通過將輸送托盤I和第二輸送托盤2搬入到粘合位置Pl并將其沿Z方向相互重疊，由此使容納并保持在這些輸送托盤上的第一基板Wl和第二基板W2對置。
[0043]并且，作為第二輸送托盤2的其他例子，如圖4所示，也能夠相對于按壓單元B被支承為裝卸自如，并且通過與所搬入的輸送托盤I沿Z方向相互重疊，由此使容納并保持在這些輸送托盤中的第一基板Wl和第二基板W2對置。
[0044]另外，根據(jù)需要，優(yōu)選在輸送托盤I的托盤主體Ib和第二輸送托盤2的第二托盤主體2b上朝向內(nèi)部板Ia和第二內(nèi)部板2a開設(shè)用于傳遞來自按壓單元B的按壓力的開口部 lc、2c。
[0045]作為被設(shè)置于內(nèi)部板Ia和第二內(nèi)部板2a等的所述保持機(jī)構(gòu)，可以使用例如粘附卡盤與吸引卡盤的組合、僅使用粘附卡盤以及使用粘附卡盤與靜電卡盤的組合等。
[0046]作為所述保持機(jī)構(gòu)的具體例，優(yōu)選由兩個部件構(gòu)成板件(內(nèi)部板Ia和第二內(nèi)部板2a)，并且構(gòu)成為在各部件上配設(shè)不同種類的卡盤，或僅在一方部件上配設(shè)卡盤來保持基板(第一基板Wl和第二基板W2)，并且以使兩個部件的表面形成高低差的方式移動，由此使基板從卡盤解除保持(脫離)。
[0047]在圖2(a)?(C)所示的第二輸送托盤2的例子中，第二內(nèi)部板2a由外側(cè)的框狀部件2al和內(nèi)側(cè)的板狀部件2a2構(gòu)成，并且在外側(cè)的框狀部件2al上以與第二基板W2的外周部位對置的方式配設(shè)作為所述保持機(jī)構(gòu)的一部分的多個粘附卡盤(粘附墊)2d。在內(nèi)側(cè)的板狀部件2a2上以與第二基板W2的中央部位對置的方式配設(shè)作為所述保持機(jī)構(gòu)的另一部分的多個吸附卡盤(真空吸附孔)2e。
[0048]作為由所述保持機(jī)構(gòu)保持基板的保持方法，如圖2(b)所示，在大氣中，將作為第二內(nèi)部板2a的板狀部件2a2的表面與框狀部件2al的表面配置為同一水平面狀，或者配置為比框狀部件2al的表面稍微呈凹狀。在該狀態(tài)下通過開始從吸附卡盤2e的真空吸引來將第二基板W2真空吸附于第二內(nèi)部板2a的板狀部件2a2。隨之，第二基板W2的外周部位與粘附卡盤2d接觸，從而即使在真空中也被粘附保持。
[0049]作為解除由所述保持機(jī)構(gòu)保持的基板的保持解除方法，如圖2(c)所示，通過從被粘合于第一基板Wl的第二基板W2僅使第二內(nèi)部板2a的框狀部件2al沿Z方向遠(yuǎn)離移動，由此即使在真空中也能夠使第二基板W2從框狀部件2al的粘附卡盤2d脫離。在大氣開放狀態(tài)的情況下，停止從吸附卡盤2e的真空吸引，并且根據(jù)需要噴出壓縮空氣等氣體，由此也能夠從粘附卡盤2d按壓剝離第二基板W2。
[0050]并且，作為其他例子雖未圖示，但也能夠設(shè)置與粘附卡盤(粘附墊)2d和吸附卡盤(真空吸附孔)2e不同結(jié)構(gòu)的保持機(jī)構(gòu)。
[0051]此外，圖2(a)中以實線表示的第二內(nèi)部板2a的板狀部件2a2對應(yīng)最小尺寸的第二基板W2，當(dāng)?shù)诙錡2為圖2中以雙點(diǎn)劃線表示的最大尺寸時，雖未圖示，但使用對應(yīng)最大尺寸的第二基板W2的較大的板狀部件2a2。
[0052]另外，雖未圖示，但作為所述保持機(jī)構(gòu)，輸送托盤I也與第二輸送托盤2同樣地設(shè)有粘附卡盤和吸附卡盤。
[0053]內(nèi)部板Ia或第二內(nèi)部板2a中的任意一方內(nèi)部板優(yōu)選相對于輸送托盤I和第二輸送托盤2將其支承為沿第一基板Wl和第二基板W2相互接近的Z方向移動自如。
[0054]并且，作為其他例子，也能夠?qū)?nèi)部板Ia及第二內(nèi)部板2a這兩方內(nèi)部板相對于輸送托盤I及第二輸送托盤2分別支承為沿Z方向移動自如。
[0055]在這些支承結(jié)構(gòu)中，內(nèi)部板Ia及第二內(nèi)部板2a沿Z方向接近移動，由此能夠使第一基板Wl和第二基板W2沿Z方向相互粘合。
[0056]當(dāng)將第二內(nèi)部板2a相對于具有下表面開口的第二托盤主體2b的第二輸送托盤2支承為沿Z方向移動自如時，優(yōu)選設(shè)置支承機(jī)構(gòu)2f以免第二內(nèi)部板2a因自重而墜落。
[0057]作為所述支承結(jié)構(gòu)的具體例，在圖2(a)?(C)所示的第二輸送托盤2的例子中，使向框狀部件2al的內(nèi)側(cè)突出的粘附卡盤2d的安裝部件與板狀部件2a2的外周部凹凸嵌合，由此相對于第二托盤主體2b的內(nèi)表面，不僅將第二內(nèi)部板2a的框狀部件2al，根據(jù)需要還將板狀部件2a2支承為沿Z方向往復(fù)移動自如。[0058]在第二輸送托盤2的第二托盤主體2b與第二內(nèi)部板2a的框狀部件2al之間，以相對于第二托盤主體2b沿Z方向往復(fù)移動自如地貫穿的方式分別設(shè)有作為支承機(jī)構(gòu)2f的多個支承桿2f 1，通過沿著支承桿2f I夾裝例如彈簧等彈性體2f2來沿Z方向彈性吊持框狀部件2al。
[0059]另外，在第二輸送托盤2的第二托盤主體2b與第二內(nèi)部板2a的板狀部件2a2之間分別設(shè)有作為支承機(jī)構(gòu)2f的多個支承管2f3。根據(jù)需要，支承管2f3也能夠與支承桿2Π同樣地相對于第二托盤主體2b沿Z方向往復(fù)移動自如地貫穿，并且雖未圖示但也能夠夾裝彈性體2f2。另外，支承管2f3還是實現(xiàn)從吸附卡盤2e的真空吸引并且用于供給壓縮空氣等氣體的通氣管，貫穿第二托盤主體2b的所述通氣管的連接口 2f4能夠通過未圖示的以往周知的連結(jié)結(jié)構(gòu)而與例如壓縮機(jī)等吸引源和壓縮空氣供給源(未圖示)連通。
[0060]并且，雖未圖示，但內(nèi)部板Ia也通過與第二內(nèi)部板2a同樣的支承結(jié)構(gòu)支承為沿Z方向移動自如。
[0061]另一方面，當(dāng)將第一基板Wl或第二基板W2中的另一方基板相對于在粘合位置Pl上具備的按壓單元B保持為裝卸自如時，例如如圖4所示，在按壓單元B上一體設(shè)有托盤部件2’，并且在托盤部件2’的內(nèi)表面設(shè)有裝卸自如地保持第一基板Wl或第二基板W2中的另一方基板的平臺板2a’。
[0062]平臺板2a’在粘合位置Pl上以第一基板Wl和第二基板W2對置的方式與輸送托盤I的內(nèi)部板Ia沿Z方向相互接近配置，并且在該接近狀態(tài)下，通過來自按壓單元B的按壓力使第一基板Wl和第二基板W2粘合。
[0063]S卩，設(shè)有平臺板2a’的托盤部件2’通過后述的控制部受到作動控制，從而與被搬入到粘合位置Pi的輸送托盤I沿Z方向相互重疊，并且在該重疊狀態(tài)下，通過來自按壓單元B的按壓力使第一基板Wl和第二基板W2粘合。
[0064]此外，圖4所示的例子的托盤部件2’被支承為朝向粘合位置Pl反轉(zhuǎn)自如。
[0065]而且，使用本發(fā)明的實施方式所涉及的基板輸送裝置A的基板裝配線中配備了將對置的第一基板Wl和第二基板W2粘合的按壓單元B，并且具備輸送托盤I及按壓單元B作為主要構(gòu)成要件，該輸送托盤I設(shè)有裝卸自如地保持第一基板Wl或第二基板W2中的任意一方基板或第一基板Wl及第二基板W2沿Z方向被粘合了的基板組W的內(nèi)部板la，該按壓單元B設(shè)置于輸送托盤I的輸送中途。
[0066]按壓單元B包含在粘合位置Pl上配設(shè)的貼合機(jī)等，并且具有輸送托盤I及第二輸送托盤2被搬入或只有輸送托盤I被搬入的空間部BS、及將第一基板Wl及第二基板W2這兩方基板沿相互接近的方向推動，或者將第一基板Wl或第二基板W2中的任意一方基板朝向另一方基板推動的按壓部件B1、B2。
[0067]如圖1所示，空間部BS被形成為大于沿Z方向相互被重疊的輸送托盤I及第二輸托盤2的Z方向長度(高度尺寸)，或者如圖4所示，被形成為大于輸送托盤I程度的Z方向長度(高度尺寸)。
[0068]另外，優(yōu)選設(shè)為與所搬入的輸送托盤I和第二輸送托盤2的Z方向長度(高度尺寸)對應(yīng)地沿Z方向發(fā)生變化的結(jié)構(gòu)。
[0069]作為空間部BS的具體例，優(yōu)選沿Z方向整體或局部分割按壓單元B，將至少任意一方按壓單元相對于另一方按壓單元支承為沿Z方向升降自如，或者將兩方按壓單元支承為沿Z方向升降自如，并且通過利用后述的控制部受到作動控制的升降用驅(qū)動部(未圖示)使其升降移動。
[0070]在圖1所示的例子中，按壓單元B被構(gòu)成為沿Z方向整體被分割為兩個部分并能夠分離，其上部BU相對于下部BT被支承為沿Z方向升降自如，并且通過所述升降用驅(qū)動部僅使上部BU升降。
[0071]按壓部件B1、B2為經(jīng)由內(nèi)部板Ia按壓第一基板Wl或者經(jīng)由第二內(nèi)部板2a按壓第二基板W2的推進(jìn)器，將被搬入到空間部BI的輸送托盤I的內(nèi)部板Ia及第二輸送托盤2的第二內(nèi)部板2a這兩方內(nèi)部板沿相互接近的Z方向推動，或者將內(nèi)部板Ia或第二內(nèi)部板2a中的任意一方內(nèi)部板朝向另一方內(nèi)部板推動。
[0072]在圖1所示的例子中，按壓部件B1、B2相對于按壓單元B的下部BT和上部BU被配設(shè)為分別沿Z方向往復(fù)移動自如，并且通過利用后述的控制部受到作動控制的按壓用驅(qū)動部(未圖不)，利用按壓部件B1、B2推動內(nèi)部板Ia及第二內(nèi)部板2a這兩方內(nèi)部板。
[0073]在圖4所示的例子中，按壓部件BI僅在相當(dāng)于按壓單元B的下部BT的主體BT’上被配設(shè)為沿Z方向往復(fù)移動自如，并且通過利用后述的控制部受到作動控制的按壓用驅(qū)動部，利用按壓部件BI將內(nèi)部板Ia朝向平臺板2a’推動。
[0074]并且，在圖l(a)所示的例子中，將按壓部件B1、B2插穿于在輸送托盤I和第二輸送托盤2上沿Z方向貫穿開設(shè)的開口部lc、2c，并利用其前端面沿Z方向向內(nèi)部板Ia和第二內(nèi)部板2a推動。圖4所示的例子也同樣地沿Z方向推動。
[0075]另外，在輸送托盤I及第二輸送托盤2這兩方輸送托盤或僅在輸送托盤I設(shè)置使其移動的托盤用驅(qū)動部(未圖示)。
[0076]該托盤用驅(qū)動部與控制部(未圖示)電連通，通過該控制部，僅使輸送托盤I或使輸送托盤I及第二輸送托盤2在預(yù)先設(shè)定的時刻沿著移動路徑移動。
[0077]另外，所述控制部不僅與所述托盤用驅(qū)動部電連通，而且還與使所述保持機(jī)構(gòu)和按壓單元B的上部BU等升降的所述升降用驅(qū)動部、按壓部件B1、B2的所述按壓用驅(qū)動部等電連通，并且被構(gòu)成為分別在預(yù)先設(shè)定的時刻對這些進(jìn)行作動控制。
[0078]根據(jù)圖1所示的例子，對通過預(yù)先設(shè)定在所述控制部中的程序進(jìn)行的作動例進(jìn)行說明。
[0079]首先，在圖1(a)所示的之前的等待狀態(tài)下，按壓單元B通過所述升降用驅(qū)動部，使下部BT和上部BU以兩者分離的方式升降而使空間部BS開口。
[0080]另外，在轉(zhuǎn)移位置PO上，從基板供給源(未圖示)通過輸送機(jī)械手等供給機(jī)構(gòu)(未圖示)將第一基板Wl轉(zhuǎn)移到輸送托盤I的內(nèi)部板la，通過所述保持機(jī)構(gòu)將第一基板Wl保持在內(nèi)部板Ia的規(guī)定位置，并且將第二基板W2轉(zhuǎn)移到第二輸送托盤2的第二內(nèi)部板2a，通過所述保持機(jī)構(gòu)將第二基板W2保持在第二內(nèi)部板2a的規(guī)定位置。
[0081]以該保持狀態(tài)，通過所述托盤用驅(qū)動部使輸送托盤I及第二輸送托盤2從轉(zhuǎn)移位置PO朝向粘合位置Pl移動，從而朝向按壓單元B的空間部BS搬入。
[0082]如圖1 (b)所示，搬入后通過所述升降用驅(qū)動部使按壓單元B的下部BT和上部BU以兩者接近的方式升降，在空間部BS中，使所搬入的輸送托盤I和第二輸送托盤2在下部BT與上部BU之間沿Z方向重疊，同時支承為沿Z方向夾持而無法移動，從而使保持在內(nèi)部板Ia上的第一基板Wl和保持在第二內(nèi)部板2a上的第二基板W2沿Z方向?qū)χ?。[0083]緊接著，如圖1(c)所示，通過所述按壓用驅(qū)動部使按壓部件B1、B2這兩方或任意一方按壓部件移動，而將內(nèi)部板Ia及第二內(nèi)部板2a這兩方內(nèi)部板沿相互接近的Z方向按壓，或者將內(nèi)部板Ia或第二內(nèi)部板2a中的任意一方內(nèi)部板朝向另一方內(nèi)部板按壓,從而第一基板Wl和第二基板W2夾著粘結(jié)劑W3沿Z方向被粘合。
[0084]在圖1(c)及圖2(b)所示的例子的情況下，相對于第二輸送托盤2，經(jīng)由夾裝了彈簧等彈性體2f2的支承機(jī)構(gòu)2f沿Z方向彈性吊持的第二內(nèi)部板2a通過按壓部件B2沿Z方向被按壓，同時，利用按壓部件BI按壓內(nèi)部板la，由此以內(nèi)部板Ia不與輸送托盤I的內(nèi)表面接觸的方式，第一基板Wl及第二基板W2在空中被粘合于內(nèi)部板Ia與第二內(nèi)部板2a之間，以使在該粘合時免受來自輸送托盤I的負(fù)荷。
[0085]并且，此時，使壓縮空氣等氣體沿Z方向從第二內(nèi)部板2a的吸附卡盤(真空吸附孔)2e朝向第二基板W2噴出，由此也能夠使第二基板W2強(qiáng)制墜落，以使第二基板W2的墜落力即墜落的加速度因氣體的圧力朝向第一基板Wl強(qiáng)制起作用。即，能夠控制為使第二基板W2瞬間壓接于第一基板Wl上的粘結(jié)劑W3，并以利用所述保持機(jī)構(gòu)保持的狀態(tài)使第二基板W2姿勢無變化地向第一基板Wl上移動并壓接于第一基板Wl之上。
[0086]圖1(d)所示，在粘合后，從內(nèi)部板Ia或第二內(nèi)部板2a中的任意一方內(nèi)部板解除第一基板Wl或第二基板W2的保持，其后，通過所述按壓用驅(qū)動部使按壓部件B1、B2中的任意一方或兩方按壓部件向相反方向移動，從而將粘合的第一基板Wl及第二基板W2保持在內(nèi)部板Ia或第二內(nèi)部板2a中的另一方內(nèi)部板上。
[0087]在圖2(c)所示的例子的情況下，使按壓部件B2向相反方向移動之后，從第二內(nèi)部板2a的框狀部件2al解除第二基板W2的粘附保持，并將粘合的第一基板Wl及第二基板W2保持在內(nèi)部板Ia上。
[0088]另外，隨著粘合，第一基板Wl和第二基板W2利用粘結(jié)劑W3相互被貼合而成為基板組W。
[0089]其后，如圖1(e)所示，通過所述升降用驅(qū)動部使按壓單元B的上部BU相對于下部BT以分離的方式升降，并通過所述托盤用驅(qū)動部，將輸送托盤I和第二輸送托盤2以將利用粘結(jié)劑W3被貼合的基板組W保持在任意一方輸送托盤上的狀態(tài)，從按壓單元B的空間部BS (粘合位置Pl)朝向轉(zhuǎn)移位置PO被搬出。
[0090]在圖示例子的情況下，以將基板組W保持在內(nèi)部板Ia之上的狀態(tài)搬出輸送托盤1，幾乎與此同時，搬出具有空狀態(tài)的第二內(nèi)部板2a的第二輸送托盤2。
[0091]在搬出這些輸送托盤之后，如圖1(f)所示，成為等待狀態(tài)，其后恢復(fù)到圖1(a)所示的狀態(tài)，重復(fù)進(jìn)行作動。
[0092]根據(jù)這種本發(fā)明的實施方式所涉及的基板輸送裝置A及利用該基板輸送裝置A的基板裝配線，至少將第一基板Wl或第二基板W2中的一方基板容納在輸送托盤I進(jìn)行輸送且無需將其移載就能夠使基板彼此Wl、W2粘合。
[0093]因此，能夠盡量避免直接把持第一基板W1、第二基板W2及基板組W來進(jìn)行移載，因此能夠避免劃傷風(fēng)險，并且能夠防止最終貼合的產(chǎn)品的位置偏離。
[0094]另外，由于容納在輸送托盤I上，因此能夠節(jié)省伴隨以往移載方式的、包含定位、基板的細(xì)膩把持、載置的時間損失，還能夠消除移載裝置的配置等相關(guān)的麻煩。
[0095]尤其，在圖1所示的例子的情況下，能夠利用內(nèi)部板Ia及第二內(nèi)部板2a保持第一基板Wl和第二基板W2，同時僅將第二基板W2轉(zhuǎn)移到兩方內(nèi)部板la、2a之間就能夠使其與第一基板Wl粘合。
[0096]由此，容易管理第一基板Wl及第二基板W2的粘合位置。
[0097]另外，當(dāng)通過內(nèi)部板Ia及第二內(nèi)部板2a的接近移動而使第一基板Wl和第二基板W2粘合時，能夠進(jìn)一步提高第一基板Wl及第二基板W2的粘合精度。
[0098]并且，在圖4所示的例子的情況下，能夠利用內(nèi)部板Ia及平臺板2a’保持第一基板Wl和第二基板W2，同時僅將第二基板W2轉(zhuǎn)移到兩個板la、2a’之間就能夠使其與第一基板Wl粘合。
[0099]由此，容易管理第一基板Wl及第二基板W2的粘合位置。
[0100]另外，當(dāng)通過內(nèi)部板Ia及平臺板2a’的接近移動而使第一基板Wl和第二基板W2粘合時，能夠進(jìn)一步提高第一基板Wl及第二基板W2的粘合精度。
[0101]接著，根據(jù)附圖對本發(fā)明的各實施例進(jìn)行說明。
[0102]實施例1
[0103]該實施例1,如圖1(a)?(f)所不,在輸送托盤(第一輸送托盤)I及第二輸送托盤2的對置面中的任意一方或兩方對置面上設(shè)有將輸送托盤I與第二輸送托盤2之間密閉的密封部件3，在粘合位置Pl (按壓單元B的空間部BS)上，將輸送托盤I和第二輸送托盤2以密封部件3被夾在兩者之間的方式重疊，并且在重疊狀態(tài)下，在輸送托盤I及第二輸送托盤2的內(nèi)部形成真空空間S。
[0104]在圖1 (a)?(f)所示的例子中，僅在輸送托盤I上的與第二輸送托盤2的對置面配設(shè)包含例如O型環(huán)等的環(huán)狀的密封部件3，通過使輸送托盤I和第二輸送托盤2沿Z方向相互重疊來將兩者之間密閉。
[0105]作為其他例子雖未圖示，但也能夠在第二輸送托盤2上的與輸送托盤I的對置面配設(shè)密封部件3，或者在輸送托盤I與第二輸送托盤2的對置面分別配設(shè)密封部件3，作為密封部件3，也能夠使用圖示例以外結(jié)構(gòu)的密封部件。
[0106]另外，在圖1(a)?(f)所示的例子中，在按壓單元B中的下部BT及上部BU的對置面也分別設(shè)有將輸送托盤I與第二輸送托盤2之間密閉的包含例如O型環(huán)等的環(huán)狀的密封部件4。如圖1(b)所示，在按壓單元B的下部BT與上部BU之間，將相互被重疊的輸送托盤I和第二輸送托盤2沿Z方向夾持而支承為無法移動，由此這些輸送托盤之間被密封部件4密閉，并且在按壓單元B的內(nèi)部與輸送托盤I及第二輸送托盤2的內(nèi)部形成相互連通的腔室BV。
[0107]腔室BV的一部分與例如壓縮機(jī)等吸引源(未圖示)連通，如圖1(b)所示，通過所述控制部對該吸引源進(jìn)行作動控制來進(jìn)行吸引(真空抽取)，由此輸送托盤I和第二輸送托盤2的周圍被減壓為真空氣氛。與其相反，如圖1(d)所示，通過所述控制部向腔室BV內(nèi)供給空氣等氣體，由此輸送托盤I和第二輸送托盤2的周圍被大氣開放。
[0108]根據(jù)這種本發(fā)明的實施例1所涉及的基板輸送裝置A及基板裝配線，在粘合位置Pl (按壓單元B的空間部BS)上，輸送托盤I和第二輸送托盤2夾住密封部件3而重疊，在被形成于其內(nèi)部的真空空間S內(nèi)，第一基板Wl和第二基板W2通過來自按壓單元B的按壓力而被粘合。
[0109]由此，具有能夠在真空氣氛中進(jìn)行第一基板Wl及第二基板W2的粘合的優(yōu)點(diǎn)。[0110]而且，實施例1為本發(fā)明所涉及的基板裝配線的一例，作為基于此的基板組W的制造方法，不僅至少包含用于將第一基板Wl和第二基板W2相互接合的粘合工序，根據(jù)情況，還能夠包含在第一基板Wl與第二基板W2之間用于使液態(tài)的粘結(jié)劑W3自然伸展的平整工序、將液態(tài)的粘結(jié)劑W3固化的固化工序等。
[0111]作為粘合工序的具體例，如圖1(b)?(C)所示，優(yōu)選在腔室BV內(nèi)的真空氣氛中，將第一基板Wl和第二基板W2的對置面彼此以液態(tài)的粘結(jié)劑W3被夾在其間的方式沿Z方向接合而臨時貼合。
[0112]作為所述平整工序的具體例，如圖1(c)?(d)所示，優(yōu)選在通過所述按壓用驅(qū)動部使按壓部件B1、B2中的任意一方或兩方按壓部件向相反方向移動而僅利用內(nèi)部板Ia或第二內(nèi)部板2a中的另一方內(nèi)部板保持夾住液態(tài)的粘結(jié)劑W3相互被重疊的第一基板Wl及第二基板W2為止的規(guī)定時間內(nèi)，使液態(tài)的粘結(jié)劑W3沿著在所述粘合工序中被粘合(接合)的第一基板Wl和第二基板W2的對置面在規(guī)定時間內(nèi)自然伸展而遍及兩方對置面的大致整體，并且使液態(tài)的粘結(jié)劑W3的層厚在兩方對置面整體上沿Z方向大致均勻。
[0113]作為所述固化工序的具體例，在適當(dāng)時刻，在所述平整工序之后使配置于第一基板Wl與第二基板W2的對置面之間的液態(tài)的粘結(jié)劑W3通過固化單元(未圖示)而使其一部分或全部固化。
[0114]作為所述固化單元的具體例，優(yōu)選使用為了提高粘結(jié)劑W3的聚合度(固化度)而照射光能的固化單元。當(dāng)使用紫外線固化型粘結(jié)劑等作為液態(tài)的粘結(jié)劑W3時，成為照射紫外線的例如UV照射器，并朝向沿著第一基板Wl與第二基板W2的對置面之間伸展的粘結(jié)劑W3的一部分或全部照射紫外線。當(dāng)輸送托盤I由不透明材料構(gòu)成時，從粘合位置Pl (按壓單元B的空間部BS)搬出并在另一生產(chǎn)線上進(jìn)行所述固化工序。
[0115]根據(jù)這種實施例1的基板裝配線及基板組W的制造方法，在所述粘合工序中，液態(tài)的粘結(jié)劑W3沿著第一基板Wl與第二基板W2的對置面被強(qiáng)制伸展而液態(tài)的粘結(jié)劑W3遍及對置面的大部分。在其后的所述平整工序中，在按壓部件B1、B2中的任意一方或兩方按壓部件向相反方向移動而將夾住粘結(jié)劑W3相互被重疊的第一基板Wl及第二基板W2保持在內(nèi)部板Ia或第二內(nèi)部板2a中的另一方內(nèi)部板上為止的規(guī)定時間內(nèi)，液態(tài)的粘結(jié)劑W3在第一基板Wl與第二基板W2之間被自然伸展。
[0116]由此，液態(tài)的粘結(jié)劑W3中的局部真空等消失，從而液態(tài)的粘結(jié)劑W3成為大致靜止穩(wěn)定的狀態(tài)，液態(tài)的粘結(jié)劑W3的層厚在第一基板Wl及第二基板W2的對置面整體上變得與沿Z方向涂布的粘結(jié)劑W3的體積相稱的大致均勻。由此，第一基板Wl與第二基板W2的對置面成為平行，從而成為不再需要調(diào)整間隙的狀態(tài)。
[0117]因此，具有能夠?qū)⒌谝换錡l和第二基板W2以完全無氣泡狀態(tài)且均勻的間隙貼合的優(yōu)點(diǎn)。
[0118]實施例2
[0119]該實施例2，如圖3(a)、(b)所示，將所述平整工序后的第一基板Wl和第二基板W2從粘合位置Pl (按壓單元B的空間部BS)朝向組裝了大氣調(diào)整單元C的調(diào)整位置P2搬出，通過大氣調(diào)整單元C在大氣中將第一基板Wl和第二基板W2沿XY Θ方向?qū)ξ?無氣泡大氣調(diào)整)，這種結(jié)構(gòu)與圖1(a)?(f)及圖2所示的實施例1不同，除此以外的結(jié)構(gòu)與圖1 (a)?(f)及圖2所示的實施例1相同。[0120]S卩，作為基板組W的制造方法，包含用于在所述平整工序之后將第一基板Wl和第二基板W2沿XY Θ方向?qū)ξ坏拇髿庹{(diào)整工序。
[0121]大氣調(diào)整單元C被配設(shè)于調(diào)整位置P2，并且具有:一對保持卡盤Cl、C2，在大氣中分別裝卸自如地保持第一基板Wl和第二基板W2 ;水平驅(qū)動部C3，在大氣中使保持卡盤Cl、C2中的任意一方保持卡盤相對于另一方保持卡盤沿XY Θ方向移動而將第一基板Wl和第二基板W2對位；及位置檢測部C4，用于檢測被配置于第一基板Wl及第二基板W2的周緣部的對準(zhǔn)標(biāo)志等。
[0122]一對保持卡盤C1、C2由例如金屬和陶瓷等剛體被形成為不發(fā)生翹曲(撓曲)變形的厚度的平板狀，在其相互對置的保持面設(shè)有裝卸自如地保持第一基板Wl或第二基板W2的保持機(jī)構(gòu)。
[0123]在圖3 (a)、(b)所示的例子中，大氣調(diào)整單元C與按壓單元B同樣地被構(gòu)成為沿Z方向整體被分割為兩個部分并能夠分離，其上部CU相對于下部CT被支承為沿Z方向升降自如，并且通過與所述升降用驅(qū)動部相同結(jié)構(gòu)的驅(qū)動部僅使上部CU升降。在大氣調(diào)整單元C的下部CT和上部⑶分別沿Z方向往復(fù)移動自如地配設(shè)了按壓部件C5、C6。
[0124]作為第一基板Wl的保持卡盤Cl，利用輸送托盤I的內(nèi)部板la，使用設(shè)置于內(nèi)部板Ia上的所述保持機(jī)構(gòu)裝卸自如地保持第一基板Wl。
[0125]作為第二基板W2的保持卡盤C2，設(shè)有包含例如真空吸附孔等的保持機(jī)構(gòu)，該保持機(jī)構(gòu)用于將第二基板W2裝卸自如地保持在被設(shè)置于大氣調(diào)整單元C的上部⑶的按壓部件C6的表面。此時的按壓部件C6利用與所述升降用驅(qū)動部相同結(jié)構(gòu)的驅(qū)動部不僅沿Z方向移動，而且還通過水平驅(qū)動部C3被支承為沿XY Θ方向移動自如。與所述托盤用驅(qū)動部和所述保持機(jī)構(gòu)等同樣地，水平驅(qū)動部C3也通過所述控制部在預(yù)先設(shè)定的時刻進(jìn)行作動控制。
[0126]另外，在大氣調(diào)整單元C的上部⑶設(shè)有多個攝像機(jī)作為位置檢測部C4。
[0127]所述大氣調(diào)整工序，在圖1 (C)?(d)所示的所述平整工序后，通過大氣調(diào)整單元C使第一基板Wl或第二基板W2中的任意一個基板相對于另一個基板在大氣中沿XY Θ方向相互滑動移動而進(jìn)行對位。
[0128]S卩，在圖1 (e)所示的搬出工序中，如圖3 (a)所示，通過所述托盤用驅(qū)動部，將保持了所述平整工序后的第一基板Wl和第二基板W2的輸送托盤I朝向組裝了大氣調(diào)整單元C的調(diào)整位置P2搬出，如圖3(b)所示，進(jìn)行所述大氣調(diào)整工序。在所述大氣調(diào)整工序結(jié)束之后，根據(jù)需要進(jìn)行粘結(jié)劑W3的所述固化工序，也能夠使在大氣調(diào)整工序中被對位的第一基板Wl和第二基板W2的對置面之間配置的粘結(jié)劑W3的一部分或全部固化。
[0129]根據(jù)這種本發(fā)明的實施例2所涉及的基板裝配線及基板組W的制造方法，在所述大氣調(diào)整工序中，通過大氣調(diào)整單元C使所述平整工序后的第一基板Wl及第二基板W2中的任意一個基板相對于另一個基板沿XY Θ方向相互移動而被對位。
[0130]由此，使置于大致均勻?qū)雍竦恼辰Y(jié)劑W3上的第一基板Wl或第二基板W2中的任意一個基板沿著粘結(jié)劑W3的界面順暢地滑動即可，由于不進(jìn)行加圧，因此液態(tài)的粘結(jié)劑W3不會變形流動，空氣不會卷進(jìn)。
[0131]尤其，即使第二基板W2如例如觸控面板的護(hù)罩玻璃那樣，花樣和記號等圖案被印刷于粘結(jié)面而在印刷部與非印刷部之間產(chǎn)生微小的凹凸，粘結(jié)劑W3也會以無氣泡狀態(tài)滲進(jìn)微小的凹凸中而使固體與液體的界面融合，因此作為粘結(jié)劑W3本身的流體動作順暢地移動。
[0132]因此，具有能夠使第一基板Wl和第二基板W2以完全無氣泡狀態(tài)對位的優(yōu)點(diǎn)。
[0133]實施例3
[0134]該實施例3，如圖4(a)?(e)所示，第二輸送托盤2被支承為朝向粘合位置Pl反轉(zhuǎn)自如，在第二輸送托盤2與第二內(nèi)部板2a之間設(shè)置支承部件2g，以在第二輸送托盤2反轉(zhuǎn)時吊持第二內(nèi)部板2a，在粘合位置Pl上，以第一基板Wl和第二基板W2對置的方式與輸送托盤(第一輸送托盤)I相互重疊，并且在該重疊狀態(tài)下，通過來自按壓單元B的按壓力使第一基板Wl和第二基板W2粘合，這種結(jié)構(gòu)與圖1(a)?(f)及圖2所示的實施例1不同，除此以外的結(jié)構(gòu)與圖1(a)?(f)及圖2所示的實施例1相同。
[0135]第二輸送托盤2相對于按壓單元B被支承為裝卸自如，并且通過反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)D被支承為反轉(zhuǎn)自如。
[0136]在粘合位置Pl上配設(shè)的按壓單元B和第二輸送托盤2的輸送路徑(未圖示)上設(shè)有反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)D，在反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)D的前端形成了裝卸自如地支承第二輸送托盤2的安裝部(未圖示)。另外，在反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)D上設(shè)有利用所述控制部受到作動控制的反轉(zhuǎn)用驅(qū)動部(未圖示)，其使第二輸送托盤2朝向粘合位置Pl反轉(zhuǎn)移動。
[0137]按壓單元B具有空間部BS，其中，通過反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)D使第二輸送托盤2反轉(zhuǎn)移動而使其以與輸送托盤I相互重疊的方式被搬入到該空間部BS中。
[0138]在圖4(a)?(e)所示的例子中，在圖1(a)?(f)所示的實施例1中在相當(dāng)于按壓單元B的下部BT的主體BT’與第二輸送托盤2的輸送路徑上設(shè)有反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)D，通過所述反轉(zhuǎn)用驅(qū)動部以使第二輸送托盤2相對于按壓單元B的主體BT’升降移動，同時在輸送托盤I的上方位置反轉(zhuǎn)后停止的方式進(jìn)行控制。
[0139]另外，在第二輸送托盤2與第二內(nèi)部板2a之間固定了作為支承部件2g的連結(jié)板。
[0140]此外，對在這種本發(fā)明的實施例3所涉及的基板裝配線上通過預(yù)先設(shè)定在所述控制部中的程序進(jìn)行的作動例進(jìn)行說明。
[0141]首先，在圖4(a)所示的之前的等待狀態(tài)下，按壓單元B通過所述反轉(zhuǎn)用驅(qū)動部使反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)D的安裝部從按壓單元B的主體BT’遠(yuǎn)離而朝上開口。在該等待狀態(tài)下，在轉(zhuǎn)移位置PO上，在第二內(nèi)部板2a上保持了所轉(zhuǎn)移的第二基板W2的第二輸送托盤2沿著輸送路徑被輸送，并被支承于反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)D的安裝部。
[0142]并且，在轉(zhuǎn)移位置PO上，在內(nèi)部板Ia上保持了所轉(zhuǎn)移的第一基板Wl的輸送托盤I朝向粘合位置Pl移動，并朝向按壓單元B的空間部BS搬入。
[0143]其后，如圖4(b)所示，第二輸送托盤2通過所述反轉(zhuǎn)用驅(qū)動部而相對于按壓單元B的主體BT’被反轉(zhuǎn)移動，并以與輸送托盤I重疊的方式朝向按壓單元B的空間部BS被搬入。
[0144]在搬入后，在按壓單元B的主體BT’與第二輸送托盤2之間，輸送托盤I以相互重疊的方式沿Z方向夾持而支承為無法移動，這些輸送托盤之間被密封部件3、4密閉而在按壓單元B的內(nèi)部與輸送托盤I及第二輸送托盤2的內(nèi)部之形成相互連通的腔室BV。
[0145]其后，如圖4(c)所示，從腔室BV吸引(真空抽取)而使輸送托盤I和第二輸送托盤2的周圍成為真空氣氛。在該真空氣氛中，按壓部件BI通過所述按壓用驅(qū)動部移動而使內(nèi)部板Ia朝向第二內(nèi)部板2a按壓，從而第一基板Wl和第二基板W2夾住粘結(jié)劑W3沿Z方向被粘合。(所述粘合工序)
[0146]在粘合后，如圖4(c)?圖4(d)所示，通過所述按壓用驅(qū)動部使按壓部件BI向相反方向移動而在內(nèi)部板Ia之上保持夾住液態(tài)的粘結(jié)劑W3相互被重疊的第一基板Wl及第二基板W2，同時向腔室BV內(nèi)供給空氣等氣體而被大氣開放。在目前為止的規(guī)定時間內(nèi)，使液態(tài)的粘結(jié)劑W3沿著在所述粘合工序中被粘合的第一基板Wl和第二基板W2的對置面在規(guī)定時間內(nèi)自然伸展而遍及兩個對置面的大致整體，并且使液態(tài)的粘結(jié)劑W3的層厚在兩個對置面的整體上沿Z方向大致均勻。(所述平整工序)
[0147]在所述平整工序之后，根據(jù)需要在另一生產(chǎn)線等上進(jìn)行粘結(jié)劑W3的所述固化工序，或者保持原狀態(tài)，在該狀態(tài)下，如圖4 (e)所示，第二輸送托盤2通過所述反轉(zhuǎn)用驅(qū)動部向相反方向被反轉(zhuǎn)，并以將包含通過粘結(jié)劑W3被粘合的第一基板Wl及第二基板W2的基板組W保持在輸送托盤I上的狀態(tài)，通過所述托盤用驅(qū)動部從粘合位置Pl向轉(zhuǎn)移位置PO被搬出。
[0148]根據(jù)這種本發(fā)明的實施例3所涉及的基板裝配線及基板組W的制造方法，利用內(nèi)部板Ia及能夠反轉(zhuǎn)的第二內(nèi)部板2a保持第一基板Wl和第二基板W2，同時僅將第二基板W2轉(zhuǎn)移到兩個內(nèi)部板之間就能夠使其與第一基板Wl粘合。
[0149]由此，具有能夠進(jìn)一步提高第一基板Wl及第二基板W2的粘合精度的優(yōu)點(diǎn)。
[0150]實施例4
[0151]該實施例4，如圖5(a)、(b)所示，在所述平整工序后，在按壓單元B與組裝了大氣調(diào)整單元C的調(diào)整位置P2之間，以保持夾住粘結(jié)劑W3相互被重疊的第一基板Wl及第二基板W2的狀態(tài),往復(fù)輸送輸送托盤I或同時輸送，由此在大氣中將所述平整工序后的第一基板Wl和第二基板W2沿XY Θ方向?qū)ξ唬@種結(jié)構(gòu)與圖4(a)?(e)所示的實施例3不同，除此以外的結(jié)構(gòu)與圖4(a)?(e)所示的實施例3相同。
[0152]S卩，作為基板組W的制造方法，包含用于在所述平整工序之后將第一基板Wl和第二基板W2沿XY Θ方向?qū)ξ坏拇髿庹{(diào)整工序。
[0153]詳細(xì)而言，在往復(fù)輸送的情況下，在粘合位置Pl上配設(shè)的按壓單元B的空間部BS與組裝了在調(diào)整位置P2上被配設(shè)的大氣調(diào)整單元C的調(diào)整位置P2中的任意一個位置上配置一個輸送托盤1，在所述平整工序與所述大氣調(diào)整工序之間將其交替輸送。
[0154]在同時輸送的情況下，在按壓單元B的空間部BS和調(diào)整位置P2這兩個位置分別配置一對輸送托盤1，在所述平整工序與所述大氣調(diào)整工序之間，在粘合位置Pi和調(diào)整位置P2之間分別以不相互接觸的方式同時輸送一對輸送托盤I。
[0155]在圖5(a)、(b)所示的例子中，在粘合位置Pl與調(diào)整位置P2之間沿著環(huán)狀的輸送路徑F分別往復(fù)輸送一個輸送托盤I。
[0156]作為其他例子雖未圖示，但也能夠在粘合位置Pl與調(diào)整位置P2之間沿著直線狀的輸送路徑往復(fù)輸送一個輸送托盤I。
[0157]根據(jù)這種本發(fā)明的實施例4所涉及的基板裝配線及基板組W的制造方法，具有可以同時進(jìn)行第一基板Wl和第二基板W2的真空貼合和大氣調(diào)整，從而實現(xiàn)制造高速化的優(yōu)點(diǎn)。
[0158]實施例5
[0159]該實施例5，如圖6及圖7所示，將基板組W的制造工序分散配置于多個位置進(jìn)行，在這些各位置上配置多組輸送托盤(第一輸送托盤)I和第二輸送托盤2并分別同時輸送(同步型輸送)，這種結(jié)構(gòu)與圖1(a)?(f)及圖2所示的實施例1不同，除此以外的結(jié)構(gòu)與圖1 (a)?(f)及圖2所示的實施例1相同。
[0160]詳細(xì)而言，示出分度型基板裝配線的情況，即除了實施例1中敘述的粘合位置Pl以外，沿著圓環(huán)狀的輸送路徑F每隔規(guī)定間隔還分別配設(shè)轉(zhuǎn)移位置PO、調(diào)整位置P2及用于涂布粘結(jié)劑W3的涂布位置P3等，并且在各位置上配置多組輸送托盤I及第二輸送托盤2，通過例如分度工作臺等輸送機(jī)構(gòu)H)分別同時輸送。
[0161]優(yōu)選在轉(zhuǎn)移位置PO上，將第一基板Wl轉(zhuǎn)移到輸送托盤I的內(nèi)部板la，并且將第二基板W2轉(zhuǎn)移到第二輸送托盤2的第二內(nèi)部板2a，不僅如此，還回收被保持在輸送托盤I上的完成貼合的基板組W。
[0162]在涂布位置P3上，針對第一基板Wl或第二基板W2中的任意一個或兩個基板的貼合面配設(shè)了通過點(diǎn)膠機(jī)等將液態(tài)的粘結(jié)劑W3涂布為規(guī)定的圖案形狀的涂布機(jī)E。
[0163]在圖6及圖7所示的例子中，沿圓周方向依次配設(shè)四個位置，即轉(zhuǎn)移位置PO、粘結(jié)劑W3的涂布位置P3、粘合位置Pl及調(diào)整位置P2，將通過輸送機(jī)構(gòu)H)進(jìn)行輸送的輸送托盤I的輸送路徑Fl和第二輸送托盤2的輸送路徑F2沿XY方向分別配置于同心圓的外側(cè)和內(nèi)偵牝并且在涂布位置P3上僅對第一基板Wl的貼合面涂布液態(tài)的粘結(jié)劑W3。
[0164]在通過輸送機(jī)構(gòu)H)進(jìn)行輸送的輸送托盤I及第二輸送托盤2的成為停止位置的粘合位置P1、調(diào)整位置P2、涂布位置P3上至少具備用于從輸送機(jī)構(gòu)H)的下側(cè)支承各輸送托盤I的單元、及使被保持在各輸送托盤I的內(nèi)部板Ia上的第一基板Wl升降的按壓部件，使用該按壓部件進(jìn)行第一基板Wl的位置調(diào)整。
[0165]S卩，如圖7所示，當(dāng)在粘合位置Pl上配設(shè)下側(cè)的按壓部件BI和上側(cè)的按壓部件B2作為按壓單元B且輸送機(jī)構(gòu)H)為分度工作臺時，穿過開設(shè)在分度工作臺的貫穿孔F3，通過按壓單元B的按壓部件B1、B2使輸送托盤I的第一基板Wl和圖2(a)?(c)所示結(jié)構(gòu)的第二輸送托盤2的第二基板W2粘合。
[0166]另外，作為第一基板Wl及第二基板W2的粘合準(zhǔn)備，優(yōu)選在粘合位置Pl上設(shè)置用于使第二輸送托盤2反轉(zhuǎn)移動的反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)D。
[0167]當(dāng)在調(diào)整位置P2上配置如圖5(a)、(b)所示的大氣調(diào)整單元C和具有下側(cè)的按壓部件C5的下側(cè)的按壓單元CT且輸送機(jī)構(gòu)H)為分度工作臺時，穿過開設(shè)在分度工作臺的貫穿孔(未圖示)，通過按壓部件C5、C6和水平驅(qū)動部C3將第一基板Wl和第二基板W2沿XY Θ方向?qū)ξ弧?br> [0168]在涂布位置P3上配設(shè)了具有下側(cè)的按壓部件(未圖示)的下側(cè)的按壓單元ET，且在上部配設(shè)了用于使作為涂布機(jī)E的涂布頭沿XY Θ方向移動的支架機(jī)構(gòu)(未圖示)。
[0169]并且，作為其他例子雖未圖示，但也能夠做如下變更:沿圓周方向依次配設(shè)三個位置或五個以上的位置，或者內(nèi)外相反地配置輸送托盤I的輸送路徑Fl和第二輸送托盤2的輸送路徑F2，或者在涂布位置P3上僅對第二基板W2或?qū)Φ谝换錡l及第二基板W2這兩個基板涂布液態(tài)的粘結(jié)劑W3等。
[0170]根據(jù)這種本發(fā)明的實施例5所涉及的基板裝配線及基板組W的制造方法，能夠在多個位置上同時處理基板組W的制造工序。即，具有如下優(yōu)點(diǎn):可以同時進(jìn)行第一基板Wl及第二基板W2相對于內(nèi)部板Ia及第二內(nèi)部板2a的轉(zhuǎn)移及貼合完成后的基板組W的回收、對第一基板Wl或第二基板W2涂布粘結(jié)劑W3、第一基板Wl和第二基板W2的真空貼合、及大氣調(diào)整，從而可以實現(xiàn)制造的進(jìn)一步高速化。
[0171]另外，由于容納在輸送托盤上，因此可以歸類于與其他工序共同使用分度工作臺等的同步型輸送系統(tǒng)，能夠節(jié)省伴隨以往移載方式的、包含定位、基板的細(xì)膩把持、載置的時間損失，還消除移載裝置的配置等相關(guān)的麻煩。
[0172]實施例6
[0173]該實施例6，如圖8(a)、(b)所示，作為基板組W的制造工序，沿橫向以一直線狀分散配置多個位置，沿著連結(jié)這些位置彼此的直線狀的送路徑F設(shè)置間歇作動的輸送機(jī)構(gòu)F0，并且在該間歇作動的輸送機(jī)構(gòu)H)上以與各位置對應(yīng)的方式配置多組輸送托盤(第一輸送托盤)I和第二輸送托盤2并分別同時輸送(同步型輸送)，這種結(jié)構(gòu)與圖6及圖7所示的實施例5不同，除此以外的結(jié)構(gòu)與圖6及圖7所示的實施例5相同。
[0174]詳細(xì)而言示出如下分度型基板裝配線的情況，即以直線狀形成間歇作動的輸送機(jī)構(gòu)H)，針對于此，分別以各位置對應(yīng)的方式每隔定間隔配置用于設(shè)置多組輸送托盤I及第二輸送托盤2的多個定位單元G，并且通過輸送機(jī)構(gòu)H)的間歇作動分別同時輸送多組輸送托盤I及第二輸送托盤2。
[0175]尤其，優(yōu)選設(shè)為在輸送機(jī)構(gòu)FO的定位單兀G上朝向與其輸送方向交叉的寬度方向平行排列配置多組輸送托盤I及第二輸送托盤2的并列配置。
[0176]在圖8 (a)、(b)所示的例子中，作為間歇作動的輸送機(jī)構(gòu)FO，以大致水平狀配設(shè)包含例如帶式輸送機(jī)等的輸送用輸送機(jī)F4，在輸送用輸送機(jī)F4上分別裝卸自如地配置多個定位單元G。
[0177]對各定位單元G朝向與其輸送方向交叉的寬度方向并列配置兩組輸送托盤I及第二輸送托盤2。
[0178]作為定位單元G的具體例，如圖4(a)和圖5(a)、(b)所示，優(yōu)選相對于相當(dāng)于實施例I中的按壓單元B的下部BT的主體BT’，將托盤部件2’通過反轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)D被支承為反轉(zhuǎn)自如的單兀載置于輸送用輸送機(jī)F4的上表面。
[0179]并且，為了回收利用輸送用輸送機(jī)F4被輸送的定位單元G，在輸送用輸送機(jī)F4的下方以大致水平狀配設(shè)包含例如帶式輸送機(jī)等的回送用輸送機(jī)F5，并且在這些輸送用輸送機(jī)F4及回送用輸送機(jī)F5的端部設(shè)置將定位單元G從輸送用輸送機(jī)F4的下游端向回送用輸送機(jī)F5的上游端轉(zhuǎn)移的下降用升降機(jī)F6、及將定位單元G從回送用輸送機(jī)F5的下游端向輸送用輸送機(jī)F4的上游端轉(zhuǎn)移的上升用升降機(jī)F7。
[0180]另外，在圖8(a)、(b)所示的例子中，分別沿直線方向依次配設(shè)有六個位置，即用于將第一基板Wl和第二基板W2朝向定位單兀G的輸送托盤I及第二輸送托盤2搬入的搬入位置P01、用于剝離被預(yù)先貼附于所搬入的第一基板Wl及第二基板W2的貼合面上的保護(hù)薄膜(未圖示)的薄膜剝離位置P4、將粘結(jié)劑W3以邊框狀涂布于第一基板Wl或第二基板W2的貼合面上的壩式涂布(dam coating)位置P3a、在第一基板Wl或第二基板W2的貼合面上將粘結(jié)劑W3涂布于邊框狀的內(nèi)部的充滿涂布(fill coating)位置P3b、利用粘結(jié)劑W3貼合第一基板Wl及第二基板W2的粘合位置P1、及用于從定位單元G的輸送托盤I回收基板組W的搬出位置P02。
[0181]在薄膜剝離位置P4、壩式涂布位置P3a、充滿涂布位置P3b和粘合位置Pl上,例如驅(qū)動臂等從規(guī)定位置朝向各位置移動過來進(jìn)行規(guī)定的處理，在輸送托盤I和第二輸送托盤2側(cè)不具備始終啟動的動力源。
[0182]在搬入位置POl上，工作人員H進(jìn)行第一基板Wl及第二基板W2的搬入工作，在搬出位置P02上，工作人員H進(jìn)行基板組W的回收工作。
[0183]在粘合位置Pl上，在貼合第一基板Wl和第二基板W2之后，使粘結(jié)劑W3固化來臨時固定。
[0184]并且，作為其他例子雖未圖示，但也能夠做如下變更:例如追加調(diào)整位置P2等，沿直線方向依次配設(shè)七個以上的位置，或者與其相反地，沿直線方向依次配設(shè)五個以下的位置，或者將壩式涂布位置P3a和壩式涂布位置P3a合并為一個涂布位置P3，或者代替工作人員H使用輸送機(jī)械手等供給機(jī)構(gòu)(未圖示)自動進(jìn)行搬入位置POl及搬出位置P02上的工作等。
[0185]也能夠在各定位單元G上朝向與其輸送方向交叉的寬度方向并列配置三組以上的輸送托盤I及第二輸送托盤2。
[0186]根據(jù)這種本發(fā)明的實施例6所涉及的基板裝配線及基板組W的制造方法，作為基板組W的制造工序，多個位置沿橫向被分散配置為一直線狀，因此不受處理工序數(shù)的限制。即，通過延長以直線狀延伸的送路徑F的長度，能夠任意增加基板組W的制造工序中的處理位置，與具有圓環(huán)狀的輸送路徑F的實施例5相比，具有能夠使基板組W的制造工序中的專用面積小型化的優(yōu)點(diǎn)。
[0187]尤其，當(dāng)針對輸送機(jī)構(gòu)H)的定位單元G朝向與其輸送方向交叉的寬度方向?qū)⒍嘟M輸送托盤I和第二輸送托盤2平行排列配置(并列配置)時，具有能夠使基板組W的制造個數(shù)倍增的優(yōu)點(diǎn)。
[0188]另外，還具有能夠與基板組W的制造個數(shù)對應(yīng)地簡單增設(shè)生產(chǎn)線的優(yōu)點(diǎn)。
[0189]此外，在圖示例中，示出了夾住粘結(jié)劑W3被粘合的第一基板Wl及第二基板W2被保持在內(nèi)部板Ia上的情況，但并不限于此，也可以將夾住粘結(jié)劑W3被粘合的第一基板Wl及第二基板W2保持在第二內(nèi)部板2a而被搬出。
[0190]符號說明
[0191 ] 1-輸送托盤，Ia-內(nèi)部板，2-第二輸送托盤，2a_第二內(nèi)部板，2g-支承部件，3_密封部件，B-按壓單元，B1、B2-按壓部件，BS-空間部，P0-P3-位置，Pl-粘合位置，W-基板組，Wl-第一基板，W2-第二基板，W3-粘結(jié)劑。
【權(quán)利要求】
1.一種基板輸送裝置，使用于配備了將對置的第一基板和第二基板粘合的按壓單元的基板裝配線，所述基板輸送裝置的特征在于， 具備輸送托盤，其設(shè)有裝卸自如地保持所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板或所述第一基板及所述第二基板被粘合了的基板組的內(nèi)部板， 所述輸送托盤將所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板保持在所述內(nèi)部板上不變地被搬入到所述基板裝配線的粘合位置，在所述粘合位置，與所述第一基板或所述第二基板中的另一方基板對置，并且通過來自所述按壓單元的按壓力使所述第一基板和所述第二基板粘合，并將該被粘合的所述第一基板及所述第二基板保持在所述內(nèi)部板上不變地從所述粘合位置被搬出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于， 所述基板輸送裝置具備第二輸送托盤，所述第二輸送托盤設(shè)有與所述輸送托盤獨(dú)立地、裝卸自如地保持所述第一基板或所述第二基板中的另一方基板的第二內(nèi)部板， 所述第二輸送托盤將所述第二基板保持在所述第二內(nèi)部板上不變地被搬入到所述粘合位置，在所述粘合位置，以所述第一基板及所述第二基板對置的方式與所述輸送托盤相互重疊，并且在該重疊狀態(tài)下，通過來自所述按壓單元的按壓力使所述第一基板和所述第二基板粘合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于， 所述基板輸送裝置具備第二輸送托盤，所述第二輸送托盤設(shè)有與所述輸送托盤獨(dú)立地、裝卸自如地保持所述第一基板或所述第二基板中的另一方基板的第二內(nèi)部板， 所述第二輸送托盤被支承為朝向所述粘合位置反轉(zhuǎn)自如，遍及所述第二托盤與所述第二內(nèi)部板地設(shè)置支承部件，以在所述第二輸送托盤反轉(zhuǎn)時吊持所述第二內(nèi)部板，在所述粘合位置，以所述第一基板和所述第二基板對置的方式與所述輸送托盤相互重疊，并且在該重疊狀態(tài)下，通過來自所述按壓單元的按壓力使所述第一基板和所述第二基板粘合。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的基板輸送裝置，其特征在于， 在所述輸送托盤及所述第二輸送托盤的對置面中的任意一方或兩方對置面上設(shè)有將所述輸送托盤與所述第二輸送托盤之間密閉的密封部件，在所述粘合位置，將所述輸送托盤和所述第二輸送托盤以所述密封部件被夾在兩者之間的方式重疊，并且在該重疊狀態(tài)下，在所述輸送托盤及所述第二輸送托盤的內(nèi)部形成真空空間。
5.根據(jù)權(quán)利要求2、3或4所述的基板輸送裝置，其特征在于， 所述基板裝配線上的基板組的制造工序被分在多個位置進(jìn)行，將所述位置分散配置于環(huán)狀的輸送路徑上，并且在所述位置配置多組所述輸送托盤和所述第二輸送托盤來分別同時輸送。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送裝置，其特征在于， 在所述粘合位置具備所述按壓單元，所述按壓單元設(shè)有裝卸自如地保持所述第一基板或所述第二基板中的另一方基板的平臺板， 所述平臺板在所述粘合位置以所述第一基板和所述第二基板對置的方式與所述輸送托盤的所述內(nèi)部板相互接近配置，并且在該接近狀態(tài)下，通過來自所述按壓單元的按壓力使所述第一基板和所述第二基板粘合。
7.一種基板裝配線，其配備了將對置的第一基板和第二基板粘合的按壓單元，所述基板裝配線的特征在于，具備: 輸送托盤， 其設(shè)有裝卸自如地保持所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板或所述第一基板及所述第二基板被粘合了的基板組的內(nèi)部板；及所述按壓單元，設(shè)置于所述輸送托盤的輸送中途， 所述按壓單元具有:所述輸送托盤被搬入的空間部；及按壓部件，其將所述第一基板及所述第二基板的兩方基板向相互接近的方向推動，或者將所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板朝向另一方基板推動， 所述輸送托盤以在所述內(nèi)部板上保持所述第一基板或所述第二基板中的任意一方基板的狀態(tài)，被搬入到所述空間部，在所述空間部中，使其與所述第一基板或所述第二基板中的另一方基板對置，并且通過所述按壓部件的作動使所述第一基板和所述第二基板粘合，并以將該被粘合的所述第一基板及所述第二基板保持在所述內(nèi)部板上的狀態(tài)，從所述空間部被搬出。
【文檔編號】G09F9/00GK103959453SQ201180075019
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2011年11月25日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月25日
【發(fā)明者】橫田道也, 渡邊將幸 申請人:信越工程株式會社, 新光工程株式會社